JP2650282B2 - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JP2650282B2 JP2650282B2 JP62301563A JP30156387A JP2650282B2 JP 2650282 B2 JP2650282 B2 JP 2650282B2 JP 62301563 A JP62301563 A JP 62301563A JP 30156387 A JP30156387 A JP 30156387A JP 2650282 B2 JP2650282 B2 JP 2650282B2
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- Japan
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- magnetic
- magnetic recording
- group
- atomic
- alloy
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Description
【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明はコンピユータ用外部記憶装置および画像記憶
装置などに用いられる磁気記録媒体に関する。
装置などに用いられる磁気記録媒体に関する。
＜従来の技術＞ 近年、コンピユータの小型化に伴い外部記憶装置に用
いられる磁気記録媒体はより一層の高記録密度が要求さ
れている。
いられる磁気記録媒体はより一層の高記録密度が要求さ
れている。
そのためには磁気記録回路の薄膜化、高保磁力化およ
び高残留磁束密度化が必要である。
び高残留磁束密度化が必要である。
これらの条件を満たす磁気記録媒体としてCo合金系磁
性薄膜が注目され、めつき法もしくはスパツタ法によつ
て実用化されている。スパツタ法はめつき法に比べて合
成組成を自由に選択出来るため耐蝕性が良好でかつ保磁
力のコントロールがしやすい等の特徴がある。
性薄膜が注目され、めつき法もしくはスパツタ法によつ
て実用化されている。スパツタ法はめつき法に比べて合
成組成を自由に選択出来るため耐蝕性が良好でかつ保磁
力のコントロールがしやすい等の特徴がある。
スパツタ法Co合金系磁性媒体は一般に非磁性基体の表
面に非磁性金属層を設け、その上にCo磁性合金層を設
け、更に保護膜としてカーボン層が設けられている。
面に非磁性金属層を設け、その上にCo磁性合金層を設
け、更に保護膜としてカーボン層が設けられている。
非磁性金属層の材料としてはCrを用いるもの（特開昭
61−120330号公報および特開昭61−233428号公報）、Mo
を用いるもの（特開昭61−243928号公報）およびCr、Mo
もしくはＷを用いるもの（特開昭61−204830号公報）が
知られている。
61−120330号公報および特開昭61−233428号公報）、Mo
を用いるもの（特開昭61−243928号公報）およびCr、Mo
もしくはＷを用いるもの（特開昭61−204830号公報）が
知られている。
こゝで保磁力を高めるためには一般に非磁性金属層を
厚くすること、もしくは真空チャンバー槽でスパツタす
るときのAr圧力を高くすること等の手段がなされてい
る。
厚くすること、もしくは真空チャンバー槽でスパツタす
るときのAr圧力を高くすること等の手段がなされてい
る。
＜発明が解決しようとする問題点＞ しかしながら、保磁力を高めるために非磁性金属層を
厚くすることは生産性が著しく低下しコスト高になる。
また、スパツタ時のAr圧力を高くすることによつてもあ
る程度保磁力を高められるがAr圧力を高くすると角形比
が小なくなる等の欠点がある。
厚くすることは生産性が著しく低下しコスト高になる。
また、スパツタ時のAr圧力を高くすることによつてもあ
る程度保磁力を高められるがAr圧力を高くすると角形比
が小なくなる等の欠点がある。
また、これらの手段によつて保磁力をある程度は高め
られるが、その値は1000Oe以下である。また優れた高密
度記録特性を得る磁気記録媒体は得られていない。ま
た、前記のような非磁性金属層の材料では、結晶粒が大
きいためにその上に設ける磁性膜の結晶粒も大きくなり
磁気特性が改善できない。本発明は保磁力および角形比
がともに高く、かつ媒体ノズルが低い磁気記録媒体を提
供することを目的とする。
られるが、その値は1000Oe以下である。また優れた高密
度記録特性を得る磁気記録媒体は得られていない。ま
た、前記のような非磁性金属層の材料では、結晶粒が大
きいためにその上に設ける磁性膜の結晶粒も大きくなり
磁気特性が改善できない。本発明は保磁力および角形比
がともに高く、かつ媒体ノズルが低い磁気記録媒体を提
供することを目的とする。
＜問題を解決するための手段＞ 本発明らは前記問題は解決するために鋭意検討を行な
つた結果、非磁性基体の表面に下記の第１群元素と第２
元素とを含む非磁性合金層を設けることにより非磁性合
金の結晶粒が微細化しその上に設けられるCo磁性膜の結
晶粒が微細化され、このことによりCo磁性膜の特性が大
巾に向上出来ること、すなわち保磁力が高くかつ角形比
が高い磁性膜が得られること、また磁性膜の結晶粒の微
細化により媒体ノイズが大巾に低減でき、高記録密度に
適する磁気記録媒体となることを見出した。
つた結果、非磁性基体の表面に下記の第１群元素と第２
元素とを含む非磁性合金層を設けることにより非磁性合
金の結晶粒が微細化しその上に設けられるCo磁性膜の結
晶粒が微細化され、このことによりCo磁性膜の特性が大
巾に向上出来ること、すなわち保磁力が高くかつ角形比
が高い磁性膜が得られること、また磁性膜の結晶粒の微
細化により媒体ノイズが大巾に低減でき、高記録密度に
適する磁気記録媒体となることを見出した。
すなわち、本発明は非磁性基体の表面に下記の第１群
元素と第２群元素の合計が94原子％以上であり、且つ第
１群元素と第２群元素の合計を100原子％としたとき、
第１群元素の割合が99〜85原子％である非磁性合金層を
設け、その表面にCo磁性合金層と保護層を順に設けた磁
気記録媒体。
元素と第２群元素の合計が94原子％以上であり、且つ第
１群元素と第２群元素の合計を100原子％としたとき、
第１群元素の割合が99〜85原子％である非磁性合金層を
設け、その表面にCo磁性合金層と保護層を順に設けた磁
気記録媒体。
第１群元素…CrおよびＷから選ばれた１種以上の元素。
第２群元素…Ti、Zr、Hf、Nb、TaおよびMoから選ばれた
一種以上の元素である。
一種以上の元素である。
本発明において、比磁性基体とはアルミニウム合金、
樹脂、セラミツクスなどを円盤に加工し表面を研摩した
ものである。アルミニウム合金など表面が比較的傷がつ
きやすい基体の場合はその表面にNi−Ｐ無電解めつきを
施すなどして表面を硬くすることが好ましい。
樹脂、セラミツクスなどを円盤に加工し表面を研摩した
ものである。アルミニウム合金など表面が比較的傷がつ
きやすい基体の場合はその表面にNi−Ｐ無電解めつきを
施すなどして表面を硬くすることが好ましい。
本発明で用いる第１群元素はCrおよびＷから選ばれた
１種以上の元素である。また、第２群元素はTi、Zr、H
f、Nb、TaおよびMoから選ばれた一種である。第１群元
素と第２群元素との配合割合は好ましくは99〜85原子
％:1〜15原子％である。
１種以上の元素である。また、第２群元素はTi、Zr、H
f、Nb、TaおよびMoから選ばれた一種である。第１群元
素と第２群元素との配合割合は好ましくは99〜85原子
％:1〜15原子％である。
なお、必要に応じ、上記非磁性合金の成分として上記
以外の金属を加えてもよいが、非磁性合金中の第１群元
素の配合量と第２群元素の配合量の合計は少なくとも94
原子％以上であることが好ましい。これ以下の量では非
磁性合金の結晶粒が微細化されず、磁性Co合金の特性が
改善されない。配合方法はこれらの元素を合金として用
いるよりも、むしろ第１群元素からなるターゲツト板上
に第２群元素からなるターゲツト小片を載せる方が簡便
であり、配合比率の調整が容易にできる。
以外の金属を加えてもよいが、非磁性合金中の第１群元
素の配合量と第２群元素の配合量の合計は少なくとも94
原子％以上であることが好ましい。これ以下の量では非
磁性合金の結晶粒が微細化されず、磁性Co合金の特性が
改善されない。配合方法はこれらの元素を合金として用
いるよりも、むしろ第１群元素からなるターゲツト板上
に第２群元素からなるターゲツト小片を載せる方が簡便
であり、配合比率の調整が容易にできる。
これら非磁性合金層を設けるにはスパツタリング法、
イオンプレーテイング法または蒸着法によるが、これら
の方法のうちスパツタリング法による方法が最も好まし
い。非磁性合金層の表面にCo磁性合金層を設け、その表
面に保護層を設ける。保護層の材料はカーボンが好まし
い。必要に応じ保護層の表面に液体潤滑剤を塗布しても
よい。
イオンプレーテイング法または蒸着法によるが、これら
の方法のうちスパツタリング法による方法が最も好まし
い。非磁性合金層の表面にCo磁性合金層を設け、その表
面に保護層を設ける。保護層の材料はカーボンが好まし
い。必要に応じ保護層の表面に液体潤滑剤を塗布しても
よい。
＜実施例＞ 以下、本発明を具体的実施例１〜14および比較例１、
２により詳細に説明する。第１図は実施例の磁気記録媒
体の断面図である。
２により詳細に説明する。第１図は実施例の磁気記録媒
体の断面図である。
非磁性基体は直径95mm、厚さ12.5mmのアルミニウム合
金円盤１に厚さ20μｍのNi−Ｐ無電解めつき層２を設け
たのち鏡面研摩したものを用いた。
金円盤１に厚さ20μｍのNi−Ｐ無電解めつき層２を設け
たのち鏡面研摩したものを用いた。
実施例１〜４の場合、非磁性合金層は表１、２に示す
通り、第１群元素と第２群元素からなるものである。第
１群元素と第２群元素の配合割合は原子比で9:1にし
た。第１群元素からなる円板上に第２群元素からなるチ
ツプを載せたものをターゲツトとした。比較例１、２の
場合には表１、２に示す通り第２群元素を用いなかつ
た。
通り、第１群元素と第２群元素からなるものである。第
１群元素と第２群元素の配合割合は原子比で9:1にし
た。第１群元素からなる円板上に第２群元素からなるチ
ツプを載せたものをターゲツトとした。比較例１、２の
場合には表１、２に示す通り第２群元素を用いなかつ
た。
DCマグネトロンスパツタリング装置により基体上に厚
さ1500Åの非磁性合金層３を設けた。スパツタリング時
の雰囲気はアルゴン圧力10mTorr、ターゲツト印加電力5
W/cm2であつた。
さ1500Åの非磁性合金層３を設けた。スパツタリング時
の雰囲気はアルゴン圧力10mTorr、ターゲツト印加電力5
W/cm2であつた。
つぎにCo Nr Cr合金（Co62.5原子％、Ni30原子％お
よびCr7.5原子％）をターゲツトとして上記と同じスパ
ツタリングの条件で500Åの厚さのCo磁性合金層４を設
けた。このようにして得られた磁気記録媒体の磁気特性
をまとめて表１に示す。比較例は第２群元素のチツプを
載せないで作製したものであり、表１から明らかなよう
に本実施例１〜14による磁気記録媒体は保磁力がとくに
高く、かつ角形比を概して高いことがわかる。
よびCr7.5原子％）をターゲツトとして上記と同じスパ
ツタリングの条件で500Åの厚さのCo磁性合金層４を設
けた。このようにして得られた磁気記録媒体の磁気特性
をまとめて表１に示す。比較例は第２群元素のチツプを
載せないで作製したものであり、表１から明らかなよう
に本実施例１〜14による磁気記録媒体は保磁力がとくに
高く、かつ角形比を概して高いことがわかる。
つぎにスパリング装置により、これら磁気記録媒体に
厚さ300Åのカーボン保護層５を形成し、ついでフツ素
系の液体潤滑剤６をスピンコート法により厚さ30Åで塗
布した。得られた磁気記録媒体の記録再生特性を評価し
た。これらの結果を表２にまとめて示す。なお、上記各
実施例および比較例における磁気特性はVSMテスター
（振動式試料磁力計）により測定し、記録再生特性は18
KFCI（18000flux per inch）の条件で測定し、媒体ノイ
ズはRMS（root mean square）電圧計で測定した。
厚さ300Åのカーボン保護層５を形成し、ついでフツ素
系の液体潤滑剤６をスピンコート法により厚さ30Åで塗
布した。得られた磁気記録媒体の記録再生特性を評価し
た。これらの結果を表２にまとめて示す。なお、上記各
実施例および比較例における磁気特性はVSMテスター
（振動式試料磁力計）により測定し、記録再生特性は18
KFCI（18000flux per inch）の条件で測定し、媒体ノイ
ズはRMS（root mean square）電圧計で測定した。
＜発明の効果＞ 以上の実施例で明らかなように本発明は非磁性合金層
として第１群元素と第２群元素とを含むものを用いるこ
とにより保磁力がとくに高く、かつ角形比も概して高い
磁性膜が得られ、また媒体ノイズも大巾に低減出来る。
よつて本発明の磁気記録媒体は高記録密度に適する。
として第１群元素と第２群元素とを含むものを用いるこ
とにより保磁力がとくに高く、かつ角形比も概して高い
磁性膜が得られ、また媒体ノイズも大巾に低減出来る。
よつて本発明の磁気記録媒体は高記録密度に適する。
第１図は実施例の磁気記録媒体の断面図である。 符号 １……アルミニウム合金円盤、２……Ni−Ｐ無電
解めつき層、３……非磁性合金層、４……Co磁性合金
層、５……カーボン保護層、６……液体潤滑剤。
解めつき層、３……非磁性合金層、４……Co磁性合金
層、５……カーボン保護層、６……液体潤滑剤。
Claims (1)
- 【請求項１】非磁性基体の表面に下記の第１群元素と第
２群元素の合計が94原子％以上であり、且つ第１群元素
と第２群元素の合計を100原子％としたとき、第１群元
素の割合が99〜85原子％である非磁性合金層を設け、そ
の表面にCo磁性合金層と保護層を順に設けた磁気記録媒
体。 第１群元素…CrおよびＷから選ばれた１種以上の元素。 第２群元素…Ti、Zr、Hf、Nb、TaおよびMoから選ばれた
一種以上の元素。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62301563A JP2650282B2 (ja) | 1987-12-01 | 1987-12-01 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62301563A JP2650282B2 (ja) | 1987-12-01 | 1987-12-01 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01144209A JPH01144209A (ja) | 1989-06-06 |
| JP2650282B2 true JP2650282B2 (ja) | 1997-09-03 |
Family
ID=17898446
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62301563A Expired - Lifetime JP2650282B2 (ja) | 1987-12-01 | 1987-12-01 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2650282B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6703148B2 (en) | 1998-11-20 | 2004-03-09 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium and magnetic disk apparatus using the same |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002170224A (ja) * | 2000-11-29 | 2002-06-14 | Fuji Electric Co Ltd | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61267923A (ja) * | 1985-05-21 | 1986-11-27 | Nec Corp | 磁気記憶体 |
| JPS62129933A (ja) * | 1985-12-02 | 1987-06-12 | Victor Co Of Japan Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPS62129934A (ja) * | 1985-12-02 | 1987-06-12 | Victor Co Of Japan Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPS62154216A (ja) * | 1985-12-26 | 1987-07-09 | Victor Co Of Japan Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPS62195339A (ja) * | 1986-02-21 | 1987-08-28 | Kotaro Ogura | 常温におけるメタンのメタノ−ルへの転換 |
| JP2534659B2 (ja) * | 1986-03-04 | 1996-09-18 | 日本電気株式会社 | パルス圧縮レ−ダ送受信装置 |
| US4652499A (en) * | 1986-04-29 | 1987-03-24 | International Business Machines | Magnetic recording medium with a chromium alloy underlayer and a cobalt-based magnetic layer |
| JPH01232522A (ja) * | 1987-08-06 | 1989-09-18 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 磁気ディスク |
-
1987
- 1987-12-01 JP JP62301563A patent/JP2650282B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6703148B2 (en) | 1998-11-20 | 2004-03-09 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium and magnetic disk apparatus using the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01144209A (ja) | 1989-06-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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