JPH01232522A - 磁気ディスク - Google Patents

磁気ディスク

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Publication number
JPH01232522A
JPH01232522A JP17914188A JP17914188A JPH01232522A JP H01232522 A JPH01232522 A JP H01232522A JP 17914188 A JP17914188 A JP 17914188A JP 17914188 A JP17914188 A JP 17914188A JP H01232522 A JPH01232522 A JP H01232522A
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JP
Japan
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layer
weight
magnetic
less
magnetic disk
Prior art date
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Pending
Application number
JP17914188A
Other languages
English (en)
Inventor
Riyuuichi Kuguo
竜一 葛尾
Atsushi Kawamoto
淳 川本
Junya Tada
多田 準也
Kenji Omori
賢次 大森
Hiroko Sekiya
関矢 裕子
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Metal Mining Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Metal Mining Co Ltd filed Critical Sumitomo Metal Mining Co Ltd
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Priority to EP88307135A priority patent/EP0302706B1/en
Priority to DE3850824T priority patent/DE3850824T2/de
Priority to US07/227,800 priority patent/US5006388A/en
Publication of JPH01232522A publication Critical patent/JPH01232522A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気ディスク、更に詳しくは、磁気特性、特
に保磁力および/または耐食性を一段と向上させた磁気
ディスクに関するものである。
〔従来の技術〕
フロッピーディスク、ハードディスク等の磁気ディスク
には、r−FezChやFeなどの磁性粉末と合成樹脂
バインダーとを混練して得られる混練物を非磁性基板上
に塗布したものが使用されている。
しかし、このような磁気ディスクの磁性層は、その中に
占める磁性粉末の割合が30〜40容量%と少ないため
、磁気記録媒体として飽和磁束密度が不十分で、高密度
記録の磁気ディスクという点では支障がある。
この種の塗布型の磁気記録媒体に対して非磁性基板上に
金属磁性薄膜を形成した高密度記録の可能な磁気記録媒
体が開発されている。
この金属薄膜タイプの磁気記録媒体を形成する方法とし
ては、(1)湿式法としての化学メツキ法、(2)乾式
法としてのスパッタリング法、イオンブレーティング法
、真空蒸着法などが採用されている。
(1)の化学メツキ法によるものは、例えば、Co−P
、Co−N1−Pなどの金属薄膜媒体が提案されている
が、膜の積層構造の複雑さ、ヘッドに対する耐クラツシ
ユ性およびエラー特性などの信頼性、膜形成の際の安定
性などに問題を抱えている。一方、(2)の乾式法は、
これらの問題を解消するものであり、これによるものと
して、例えば、Co、 Co−Niが検討されているが
、形成された薄膜がhcp構造をとる場合、磁化容易軸
であるhcp構造のC軸が膜面に対して垂直に配向する
傾向があり、面内磁気記録媒体として好適でない。そこ
で、C軸の配向性を弱めるため、N(特開昭57−72
307)、酸素(特開昭6O−163225) 、Cr
(昭和60年応用物理学関係連合講演会予稿集29頁G
−1〜4、石川、谷等) 、W (RoD、Fishe
r et al:IEEE  Trans、  Mag
n、、  MAG−17,3190(198]、)) 
 、Pt  (J、八、  Aboaf  et  a
t  :  IEEE  Trans、  Magn、
MAG −19,1514(1983))などの他元素
を添加したもの、CoNi/CrやCoNiCr/Cr
の積層構造(昭和60年応用物理学関係連合講演会t!
75集29頁G1〜4、石川、谷等)などが提案されて
いる。
これらの磁気記録媒体は、飽和磁束密度、保磁力、角型
比といった磁気特性が極めて優れている。
〔発明が解決しようとする課題] しかしながら、これらの媒体の優れた保磁力を維持する
ために前記第1層としてのCr層の層厚を増大させる必
要があり、従って、成膜に時間を要し生産性が低い上に
、その表面性が悪化しエラー特性等の悪化をひき起こし
て信頼性が低下し易い。
更に、これらの媒体は、耐食性に乏しく、エラー特性等
の悪化を招き易いという問題点も抱えている。
本発明の目的は、このような問題点を解消し、前記した
従来の乾式法によって形成されたものに対して、磁気特
性および/または耐食性を一段と向上させた磁気ディス
クを提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は、前記目的を達成するものとして、非磁性基板
上に、第1層として、その組成が(1)  実質的にC
rまたは(2)  Cu、 Nb、 Ti、 V 、 
Zr、 Mo、 Zn、W 、 Taのうちの1掻取上
10重四%以下、残部実質的にCrからなるCr層、第
2層として、その組成が(1)実質的にCo、(2)N
i  30重旧知以下、残部実質的にCo、 (3) 
 Y 、 La、 Ce、 Pr、 Nd、 Sm、 
Gd、Tb、 Dyのうちの1種板上10重景%以下、
残部実質的にCo、(41Ni  30重量%以下、Y
、La、Ce、Pr、 Nd、 Sm、 Gd、 Tb
、 Dyのうちの1種以上10重量%以下、残部実質的
にCo、 (5)Cu、 Nb、 Ti、 V、Cr、
 Zr、 Mo、 Zn、 W 、 Taのうちの1種
以上のM210重量%以下、残部実質的にCo、(6)
  Ni  30重遭%以下、Cu、 Nb、Ti、 
V 、 Cr、 Zr、 Mo、 Zn、W、Taのう
ちの1種以上の門210重債%以下、残部実質的にCo
、(71Y 、 La、 Ce、 Pr、 Nd、 S
m、 Gd、Tb、 oyのうちの1種板上10重■%
以下、Cu、 Nb、Ti、 V 、 Cr、 Zr、
 Mo、 Zn、 W 、 Taのうちの1種以上lO
重量%以下、残部実質的にCoまたは(81Ni30重
量%以下、’l 、 La、 Ce、 Pr、 Nd、
 Sm、 Gd、Tb、 Dyのうちの1種以上10重
量%以下、Cu、 Nb、Ti、 V 、 Cr、 Z
r、 Mo、 Zn、 W 、 Taのうちの1種以上
10重量%以下、残部実質的にCoからなる磁気記録媒
体膜が形成されてなる磁気ディスクである。
但し、第1層が上記(1)、第2層が上記(1)および
(2)のもの、並びに第1層が上記(1)、第2層が上
記(5)および(6)のうち、M2カニ<Cr、 Ta
または−のものは公知であり、MZがこれらのうちの1
種以上のみであるものは本発明から除かれる。
〔作 用〕
以下、本発明を更に詳細に説明する。
本発明の磁気ディスクは、非磁性基板上に、第1層とし
てCr層、第2層としてNi−Co系もしくはCo系磁
気記録媒体膜が形成されてなるものである。
まず、前記非磁性基板としては、A1.N1−P下地が
施されたill、  AfzO+、耐熱性プラスチック
、ガラスなどが使用できる。
次に、この非磁性基板上に第1層として形成されるCr
層はその組成が(1)  実質的にCrまたは(2)C
u、 Nb+ Ti+ V、 Zr、 Mo、 Zn、
 W、 Taのうちの1種以上のM+10重量%以下、
残部実質的にCrからなる。M、の添加により、磁気特
性、特に保磁力が一段と向上した磁気ディスクが得られ
る。M。
が10重世%を超えると、磁気ディスクの保磁力が低下
する。このような効果は、Cr層の格子定数がMlの添
加によって変化することによると推察される。
更に、前記Cr層上に第2層として形成される6n気記
録媒体膜は、O〜30重墳%のNi並びにY。
La、 Ce、 I’r、 Nd、 Sm、 Gd、 
Tb+ Dyのうちの1種以上のR10重里%以下およ
び/またはCu、 Nb+ Ti。
V+ Cr、 Zr、 Mo、 Zn、 w、 Tdの
うちの1種以上のM21O重量%以下、残部実質的にC
oからなるものである。Niが30重量%を超えると、
この膜の残留磁化が大幅に低下し、電磁変換特性が劣化
する。
また、Rはこの膜の保磁力および耐食性を向上させるた
めに添加含有させる。Rが10重四%を超えると、膜の
保磁力や飽和磁化が城少し、耐食性も低下する傾向が生
ずる。更に、M2は磁気記録媒体膜の保磁力を向上させ
るために添加含有させる。このような効果は、M2が結
晶粒界に偏析し、結晶粒を孤立化させることによると推
察される。
M2が20重贋%を超えると、残留磁化が大幅に低下し
、電磁変換特性が劣化する。このようなRとM2とが共
に添加されると、これらの効果が相乗され、磁気特性、
耐食性いずれにも極めて優れた磁気ディスクを得ること
ができる。この膜の膜厚は、0.01〜0.15μmに
形成されるのが望ましい。膜厚が0.01μm未満では
、十分な再生出力が得られず、また、0.15μmを超
えると、保磁力の減少が著しくなる。
本発明の磁気ディスクには、前記磁気記録媒体膜上に更
に、ヘッドに対する耐摩耗性を向上させるため、5i0
2.カーボンなどの保護膜が形成されていることが望ま
しい。
本発明の第1層、第2層の膜は、スパッタリング法、真
空蒸着法、イオンブレーティング法などにより形成する
ことができる。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を比較例、従来例と共に説明する
厚さ1.5龍の、N1−P下地が施されたAβ基板上に
、マグネトロンスパッタ装置を用いて第1層として第1
表〜第22表のような成分組成および層厚を有するCr
層、第2層として上記表のような成分組成を有し、膜1
7500人の磁気記録媒体膜を形成した。この際の成膜
条件はいずれの試験においても次の通りであった。
到達真空度      2×10−Sm8×10−″’
Paスパッタガス(八r)圧   0.4〜1.2 P
aスパッタ電力      200〜600Wターゲツ
ト直径     15C屯 ターゲット−基板間路# 100〜150mm得られた
磁気ディスクは切断し、各々、組成分析と磁気特性およ
び耐食性の評価に供した。組成分析は、EPMA分析と
化学分析とを併用し、また磁気特性は、試料振動型磁力
計により測定した。耐食性の評価は、磁気ディスクの飽
和磁化と該ディスクを温度25℃のIN  NaC7!
水溶液中に浸漬した後の飽和磁化との比を求めることに
より行なった。
得られた結果を第1表〜第22表に示す。
〔発明の効果〕
以上から明らかなように、本発明は、従来のCo−Ni
系磁気ディスクに比較して、磁気特性および/または耐
食性を大幅に向上させたものを提供することができる。
特許出願人 住友金属鉱山株式会社

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、非磁性基板上に、第1層として、その組成が(1)
    実質的にCrまたは(2)Cu、Nb、Ti、V、Zr
    、Mo、Zn、W、Taのうちの1種以上10重量%以
    下、残部実質的にCrからなるCr層、第2層として、
    その組成が(1)実質的にCo、(2)Ni30重量%
    以下、残部実質的にCo、(3)Y、La、Ce、Pr
    、Nd、Sm、Gd、Tb、Dyのうちの1種以上10
    重量%以下、残部実質的にCo、(4)Ni30重量%
    以下、Y、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Gd、Tb
    、Dyのうちの1種以上10重量%以下、残部実質的に
    Co、(5)Cu、Nb、Ti、V、Cr、Zr、Mo
    、Zn、W、Taのうちの1種以上のM_Z10重量%
    以下、残部実質的にCo、(6)Ni30重量%以下、
    Cu、Nb、Ti、V、Cr、Zr、Mo、Zn、W、
    Taのうちの1種以上のM_Z10重量%以下、残部実
    質的にCo、(7)Y、La、Ce、Pr、Nd、Sm
    、Gd、Tb、Dyのうちの1種以上10重量%以下、
    Cu、Nb、Ti、V、Cr、Zr、Mo、Zn、W、
    Taのうちの1種以上10重量%以下、残部実質的にC
    oまたは(8)Ni30重量%以下、Y、La、Ce、
    Pr、Nd、Sm、Gd、Tb、Dyのうちの1種以上
    10重量%以下、Cu、Nb、Ti、V、Cr、Zr、
    Mo、Zn、W、Taのうちの1種以上10重量%以下
    、残部実質的にCoからなる磁気記録媒体膜が形成され
    てなる磁気ディスク(但し、第1層が上記(1)、第2
    層が上記(1)および(2)のもの、並びに第1層が上
    記(1)、第2層が上記(5)および(6)のうち、M
    _ZがCr、Ta、Wのうちの1種以上のみであるもの
    を除く。)。
JP17914188A 1987-08-06 1988-07-20 磁気ディスク Pending JPH01232522A (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17914188A JPH01232522A (ja) 1987-08-06 1988-07-20 磁気ディスク
EP88307135A EP0302706B1 (en) 1987-08-06 1988-08-02 In-plane magnetic disc
DE3850824T DE3850824T2 (de) 1987-08-06 1988-08-02 Magnetplatte für waagerechte Aufnahme.
US07/227,800 US5006388A (en) 1987-08-06 1988-08-03 Magnetic disc

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62-195339 1987-08-06
JP62-195338 1987-08-06
JP19533887 1987-08-06
JP62-204177 1987-08-19
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Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH01232522A true JPH01232522A (ja) 1989-09-18

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JP17914188A Pending JPH01232522A (ja) 1987-08-06 1988-07-20 磁気ディスク

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JP (1) JPH01232522A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01144209A (ja) * 1987-12-01 1989-06-06 Denki Kagaku Kogyo Kk 磁気記録媒体
US7087325B2 (en) 2000-02-23 2006-08-08 Showa Denko Kabushiki Kaisha Magnetic recording medium and production process thereof

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