JPH01232522A - 磁気ディスク - Google Patents
磁気ディスクInfo
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- JPH01232522A JPH01232522A JP17914188A JP17914188A JPH01232522A JP H01232522 A JPH01232522 A JP H01232522A JP 17914188 A JP17914188 A JP 17914188A JP 17914188 A JP17914188 A JP 17914188A JP H01232522 A JPH01232522 A JP H01232522A
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、磁気ディスク、更に詳しくは、磁気特性、特
に保磁力および/または耐食性を一段と向上させた磁気
ディスクに関するものである。
に保磁力および/または耐食性を一段と向上させた磁気
ディスクに関するものである。
フロッピーディスク、ハードディスク等の磁気ディスク
には、r−FezChやFeなどの磁性粉末と合成樹脂
バインダーとを混練して得られる混練物を非磁性基板上
に塗布したものが使用されている。
には、r−FezChやFeなどの磁性粉末と合成樹脂
バインダーとを混練して得られる混練物を非磁性基板上
に塗布したものが使用されている。
しかし、このような磁気ディスクの磁性層は、その中に
占める磁性粉末の割合が30〜40容量%と少ないため
、磁気記録媒体として飽和磁束密度が不十分で、高密度
記録の磁気ディスクという点では支障がある。
占める磁性粉末の割合が30〜40容量%と少ないため
、磁気記録媒体として飽和磁束密度が不十分で、高密度
記録の磁気ディスクという点では支障がある。
この種の塗布型の磁気記録媒体に対して非磁性基板上に
金属磁性薄膜を形成した高密度記録の可能な磁気記録媒
体が開発されている。
金属磁性薄膜を形成した高密度記録の可能な磁気記録媒
体が開発されている。
この金属薄膜タイプの磁気記録媒体を形成する方法とし
ては、(1)湿式法としての化学メツキ法、(2)乾式
法としてのスパッタリング法、イオンブレーティング法
、真空蒸着法などが採用されている。
ては、(1)湿式法としての化学メツキ法、(2)乾式
法としてのスパッタリング法、イオンブレーティング法
、真空蒸着法などが採用されている。
(1)の化学メツキ法によるものは、例えば、Co−P
、Co−N1−Pなどの金属薄膜媒体が提案されている
が、膜の積層構造の複雑さ、ヘッドに対する耐クラツシ
ユ性およびエラー特性などの信頼性、膜形成の際の安定
性などに問題を抱えている。一方、(2)の乾式法は、
これらの問題を解消するものであり、これによるものと
して、例えば、Co、 Co−Niが検討されているが
、形成された薄膜がhcp構造をとる場合、磁化容易軸
であるhcp構造のC軸が膜面に対して垂直に配向する
傾向があり、面内磁気記録媒体として好適でない。そこ
で、C軸の配向性を弱めるため、N(特開昭57−72
307)、酸素(特開昭6O−163225) 、Cr
(昭和60年応用物理学関係連合講演会予稿集29頁G
−1〜4、石川、谷等) 、W (RoD、Fishe
r et al:IEEE Trans、 Mag
n、、 MAG−17,3190(198]、))
、Pt (J、八、 Aboaf et a
t : IEEE Trans、 Magn、
。
、Co−N1−Pなどの金属薄膜媒体が提案されている
が、膜の積層構造の複雑さ、ヘッドに対する耐クラツシ
ユ性およびエラー特性などの信頼性、膜形成の際の安定
性などに問題を抱えている。一方、(2)の乾式法は、
これらの問題を解消するものであり、これによるものと
して、例えば、Co、 Co−Niが検討されているが
、形成された薄膜がhcp構造をとる場合、磁化容易軸
であるhcp構造のC軸が膜面に対して垂直に配向する
傾向があり、面内磁気記録媒体として好適でない。そこ
で、C軸の配向性を弱めるため、N(特開昭57−72
307)、酸素(特開昭6O−163225) 、Cr
(昭和60年応用物理学関係連合講演会予稿集29頁G
−1〜4、石川、谷等) 、W (RoD、Fishe
r et al:IEEE Trans、 Mag
n、、 MAG−17,3190(198]、))
、Pt (J、八、 Aboaf et a
t : IEEE Trans、 Magn、
。
MAG −19,1514(1983))などの他元素
を添加したもの、CoNi/CrやCoNiCr/Cr
の積層構造(昭和60年応用物理学関係連合講演会t!
75集29頁G1〜4、石川、谷等)などが提案されて
いる。
を添加したもの、CoNi/CrやCoNiCr/Cr
の積層構造(昭和60年応用物理学関係連合講演会t!
75集29頁G1〜4、石川、谷等)などが提案されて
いる。
これらの磁気記録媒体は、飽和磁束密度、保磁力、角型
比といった磁気特性が極めて優れている。
比といった磁気特性が極めて優れている。
〔発明が解決しようとする課題]
しかしながら、これらの媒体の優れた保磁力を維持する
ために前記第1層としてのCr層の層厚を増大させる必
要があり、従って、成膜に時間を要し生産性が低い上に
、その表面性が悪化しエラー特性等の悪化をひき起こし
て信頼性が低下し易い。
ために前記第1層としてのCr層の層厚を増大させる必
要があり、従って、成膜に時間を要し生産性が低い上に
、その表面性が悪化しエラー特性等の悪化をひき起こし
て信頼性が低下し易い。
更に、これらの媒体は、耐食性に乏しく、エラー特性等
の悪化を招き易いという問題点も抱えている。
の悪化を招き易いという問題点も抱えている。
本発明の目的は、このような問題点を解消し、前記した
従来の乾式法によって形成されたものに対して、磁気特
性および/または耐食性を一段と向上させた磁気ディス
クを提供することにある。
従来の乾式法によって形成されたものに対して、磁気特
性および/または耐食性を一段と向上させた磁気ディス
クを提供することにある。
本発明は、前記目的を達成するものとして、非磁性基板
上に、第1層として、その組成が(1) 実質的にC
rまたは(2) Cu、 Nb、 Ti、 V 、
Zr、 Mo、 Zn、W 、 Taのうちの1掻取上
10重四%以下、残部実質的にCrからなるCr層、第
2層として、その組成が(1)実質的にCo、(2)N
i 30重旧知以下、残部実質的にCo、 (3)
Y 、 La、 Ce、 Pr、 Nd、 Sm、
Gd、Tb、 Dyのうちの1種板上10重景%以下、
残部実質的にCo、(41Ni 30重量%以下、Y
、La、Ce、Pr、 Nd、 Sm、 Gd、 Tb
、 Dyのうちの1種以上10重量%以下、残部実質的
にCo、 (5)Cu、 Nb、 Ti、 V、Cr、
Zr、 Mo、 Zn、 W 、 Taのうちの1種
以上のM210重量%以下、残部実質的にCo、(6)
Ni 30重遭%以下、Cu、 Nb、Ti、
V 、 Cr、 Zr、 Mo、 Zn、W、Taのう
ちの1種以上の門210重債%以下、残部実質的にCo
、(71Y 、 La、 Ce、 Pr、 Nd、 S
m、 Gd、Tb、 oyのうちの1種板上10重■%
以下、Cu、 Nb、Ti、 V 、 Cr、 Zr、
Mo、 Zn、 W 、 Taのうちの1種以上lO
重量%以下、残部実質的にCoまたは(81Ni30重
量%以下、’l 、 La、 Ce、 Pr、 Nd、
Sm、 Gd、Tb、 Dyのうちの1種以上10重
量%以下、Cu、 Nb、Ti、 V 、 Cr、 Z
r、 Mo、 Zn、 W 、 Taのうちの1種以上
10重量%以下、残部実質的にCoからなる磁気記録媒
体膜が形成されてなる磁気ディスクである。
上に、第1層として、その組成が(1) 実質的にC
rまたは(2) Cu、 Nb、 Ti、 V 、
Zr、 Mo、 Zn、W 、 Taのうちの1掻取上
10重四%以下、残部実質的にCrからなるCr層、第
2層として、その組成が(1)実質的にCo、(2)N
i 30重旧知以下、残部実質的にCo、 (3)
Y 、 La、 Ce、 Pr、 Nd、 Sm、
Gd、Tb、 Dyのうちの1種板上10重景%以下、
残部実質的にCo、(41Ni 30重量%以下、Y
、La、Ce、Pr、 Nd、 Sm、 Gd、 Tb
、 Dyのうちの1種以上10重量%以下、残部実質的
にCo、 (5)Cu、 Nb、 Ti、 V、Cr、
Zr、 Mo、 Zn、 W 、 Taのうちの1種
以上のM210重量%以下、残部実質的にCo、(6)
Ni 30重遭%以下、Cu、 Nb、Ti、
V 、 Cr、 Zr、 Mo、 Zn、W、Taのう
ちの1種以上の門210重債%以下、残部実質的にCo
、(71Y 、 La、 Ce、 Pr、 Nd、 S
m、 Gd、Tb、 oyのうちの1種板上10重■%
以下、Cu、 Nb、Ti、 V 、 Cr、 Zr、
Mo、 Zn、 W 、 Taのうちの1種以上lO
重量%以下、残部実質的にCoまたは(81Ni30重
量%以下、’l 、 La、 Ce、 Pr、 Nd、
Sm、 Gd、Tb、 Dyのうちの1種以上10重
量%以下、Cu、 Nb、Ti、 V 、 Cr、 Z
r、 Mo、 Zn、 W 、 Taのうちの1種以上
10重量%以下、残部実質的にCoからなる磁気記録媒
体膜が形成されてなる磁気ディスクである。
但し、第1層が上記(1)、第2層が上記(1)および
(2)のもの、並びに第1層が上記(1)、第2層が上
記(5)および(6)のうち、M2カニ<Cr、 Ta
または−のものは公知であり、MZがこれらのうちの1
種以上のみであるものは本発明から除かれる。
(2)のもの、並びに第1層が上記(1)、第2層が上
記(5)および(6)のうち、M2カニ<Cr、 Ta
または−のものは公知であり、MZがこれらのうちの1
種以上のみであるものは本発明から除かれる。
以下、本発明を更に詳細に説明する。
本発明の磁気ディスクは、非磁性基板上に、第1層とし
てCr層、第2層としてNi−Co系もしくはCo系磁
気記録媒体膜が形成されてなるものである。
てCr層、第2層としてNi−Co系もしくはCo系磁
気記録媒体膜が形成されてなるものである。
まず、前記非磁性基板としては、A1.N1−P下地が
施されたill、 AfzO+、耐熱性プラスチック
、ガラスなどが使用できる。
施されたill、 AfzO+、耐熱性プラスチック
、ガラスなどが使用できる。
次に、この非磁性基板上に第1層として形成されるCr
層はその組成が(1) 実質的にCrまたは(2)C
u、 Nb+ Ti+ V、 Zr、 Mo、 Zn、
W、 Taのうちの1種以上のM+10重量%以下、
残部実質的にCrからなる。M、の添加により、磁気特
性、特に保磁力が一段と向上した磁気ディスクが得られ
る。M。
層はその組成が(1) 実質的にCrまたは(2)C
u、 Nb+ Ti+ V、 Zr、 Mo、 Zn、
W、 Taのうちの1種以上のM+10重量%以下、
残部実質的にCrからなる。M、の添加により、磁気特
性、特に保磁力が一段と向上した磁気ディスクが得られ
る。M。
が10重世%を超えると、磁気ディスクの保磁力が低下
する。このような効果は、Cr層の格子定数がMlの添
加によって変化することによると推察される。
する。このような効果は、Cr層の格子定数がMlの添
加によって変化することによると推察される。
更に、前記Cr層上に第2層として形成される6n気記
録媒体膜は、O〜30重墳%のNi並びにY。
録媒体膜は、O〜30重墳%のNi並びにY。
La、 Ce、 I’r、 Nd、 Sm、 Gd、
Tb+ Dyのうちの1種以上のR10重里%以下およ
び/またはCu、 Nb+ Ti。
Tb+ Dyのうちの1種以上のR10重里%以下およ
び/またはCu、 Nb+ Ti。
V+ Cr、 Zr、 Mo、 Zn、 w、 Tdの
うちの1種以上のM21O重量%以下、残部実質的にC
oからなるものである。Niが30重量%を超えると、
この膜の残留磁化が大幅に低下し、電磁変換特性が劣化
する。
うちの1種以上のM21O重量%以下、残部実質的にC
oからなるものである。Niが30重量%を超えると、
この膜の残留磁化が大幅に低下し、電磁変換特性が劣化
する。
また、Rはこの膜の保磁力および耐食性を向上させるた
めに添加含有させる。Rが10重四%を超えると、膜の
保磁力や飽和磁化が城少し、耐食性も低下する傾向が生
ずる。更に、M2は磁気記録媒体膜の保磁力を向上させ
るために添加含有させる。このような効果は、M2が結
晶粒界に偏析し、結晶粒を孤立化させることによると推
察される。
めに添加含有させる。Rが10重四%を超えると、膜の
保磁力や飽和磁化が城少し、耐食性も低下する傾向が生
ずる。更に、M2は磁気記録媒体膜の保磁力を向上させ
るために添加含有させる。このような効果は、M2が結
晶粒界に偏析し、結晶粒を孤立化させることによると推
察される。
M2が20重贋%を超えると、残留磁化が大幅に低下し
、電磁変換特性が劣化する。このようなRとM2とが共
に添加されると、これらの効果が相乗され、磁気特性、
耐食性いずれにも極めて優れた磁気ディスクを得ること
ができる。この膜の膜厚は、0.01〜0.15μmに
形成されるのが望ましい。膜厚が0.01μm未満では
、十分な再生出力が得られず、また、0.15μmを超
えると、保磁力の減少が著しくなる。
、電磁変換特性が劣化する。このようなRとM2とが共
に添加されると、これらの効果が相乗され、磁気特性、
耐食性いずれにも極めて優れた磁気ディスクを得ること
ができる。この膜の膜厚は、0.01〜0.15μmに
形成されるのが望ましい。膜厚が0.01μm未満では
、十分な再生出力が得られず、また、0.15μmを超
えると、保磁力の減少が著しくなる。
本発明の磁気ディスクには、前記磁気記録媒体膜上に更
に、ヘッドに対する耐摩耗性を向上させるため、5i0
2.カーボンなどの保護膜が形成されていることが望ま
しい。
に、ヘッドに対する耐摩耗性を向上させるため、5i0
2.カーボンなどの保護膜が形成されていることが望ま
しい。
本発明の第1層、第2層の膜は、スパッタリング法、真
空蒸着法、イオンブレーティング法などにより形成する
ことができる。
空蒸着法、イオンブレーティング法などにより形成する
ことができる。
以下、本発明の実施例を比較例、従来例と共に説明する
。
。
厚さ1.5龍の、N1−P下地が施されたAβ基板上に
、マグネトロンスパッタ装置を用いて第1層として第1
表〜第22表のような成分組成および層厚を有するCr
層、第2層として上記表のような成分組成を有し、膜1
7500人の磁気記録媒体膜を形成した。この際の成膜
条件はいずれの試験においても次の通りであった。
、マグネトロンスパッタ装置を用いて第1層として第1
表〜第22表のような成分組成および層厚を有するCr
層、第2層として上記表のような成分組成を有し、膜1
7500人の磁気記録媒体膜を形成した。この際の成膜
条件はいずれの試験においても次の通りであった。
到達真空度 2×10−Sm8×10−″’
Paスパッタガス(八r)圧 0.4〜1.2 P
aスパッタ電力 200〜600Wターゲツ
ト直径 15C屯 ターゲット−基板間路# 100〜150mm得られた
磁気ディスクは切断し、各々、組成分析と磁気特性およ
び耐食性の評価に供した。組成分析は、EPMA分析と
化学分析とを併用し、また磁気特性は、試料振動型磁力
計により測定した。耐食性の評価は、磁気ディスクの飽
和磁化と該ディスクを温度25℃のIN NaC7!
水溶液中に浸漬した後の飽和磁化との比を求めることに
より行なった。
Paスパッタガス(八r)圧 0.4〜1.2 P
aスパッタ電力 200〜600Wターゲツ
ト直径 15C屯 ターゲット−基板間路# 100〜150mm得られた
磁気ディスクは切断し、各々、組成分析と磁気特性およ
び耐食性の評価に供した。組成分析は、EPMA分析と
化学分析とを併用し、また磁気特性は、試料振動型磁力
計により測定した。耐食性の評価は、磁気ディスクの飽
和磁化と該ディスクを温度25℃のIN NaC7!
水溶液中に浸漬した後の飽和磁化との比を求めることに
より行なった。
得られた結果を第1表〜第22表に示す。
以上から明らかなように、本発明は、従来のCo−Ni
系磁気ディスクに比較して、磁気特性および/または耐
食性を大幅に向上させたものを提供することができる。
系磁気ディスクに比較して、磁気特性および/または耐
食性を大幅に向上させたものを提供することができる。
特許出願人 住友金属鉱山株式会社
Claims (1)
- 1、非磁性基板上に、第1層として、その組成が(1)
実質的にCrまたは(2)Cu、Nb、Ti、V、Zr
、Mo、Zn、W、Taのうちの1種以上10重量%以
下、残部実質的にCrからなるCr層、第2層として、
その組成が(1)実質的にCo、(2)Ni30重量%
以下、残部実質的にCo、(3)Y、La、Ce、Pr
、Nd、Sm、Gd、Tb、Dyのうちの1種以上10
重量%以下、残部実質的にCo、(4)Ni30重量%
以下、Y、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Gd、Tb
、Dyのうちの1種以上10重量%以下、残部実質的に
Co、(5)Cu、Nb、Ti、V、Cr、Zr、Mo
、Zn、W、Taのうちの1種以上のM_Z10重量%
以下、残部実質的にCo、(6)Ni30重量%以下、
Cu、Nb、Ti、V、Cr、Zr、Mo、Zn、W、
Taのうちの1種以上のM_Z10重量%以下、残部実
質的にCo、(7)Y、La、Ce、Pr、Nd、Sm
、Gd、Tb、Dyのうちの1種以上10重量%以下、
Cu、Nb、Ti、V、Cr、Zr、Mo、Zn、W、
Taのうちの1種以上10重量%以下、残部実質的にC
oまたは(8)Ni30重量%以下、Y、La、Ce、
Pr、Nd、Sm、Gd、Tb、Dyのうちの1種以上
10重量%以下、Cu、Nb、Ti、V、Cr、Zr、
Mo、Zn、W、Taのうちの1種以上10重量%以下
、残部実質的にCoからなる磁気記録媒体膜が形成され
てなる磁気ディスク(但し、第1層が上記(1)、第2
層が上記(1)および(2)のもの、並びに第1層が上
記(1)、第2層が上記(5)および(6)のうち、M
_ZがCr、Ta、Wのうちの1種以上のみであるもの
を除く。)。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17914188A JPH01232522A (ja) | 1987-08-06 | 1988-07-20 | 磁気ディスク |
EP88307135A EP0302706B1 (en) | 1987-08-06 | 1988-08-02 | In-plane magnetic disc |
DE3850824T DE3850824T2 (de) | 1987-08-06 | 1988-08-02 | Magnetplatte für waagerechte Aufnahme. |
US07/227,800 US5006388A (en) | 1987-08-06 | 1988-08-03 | Magnetic disc |
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62-195339 | 1987-08-06 | ||
JP62-195338 | 1987-08-06 | ||
JP19533887 | 1987-08-06 | ||
JP62-204177 | 1987-08-19 | ||
JP17914188A JPH01232522A (ja) | 1987-08-06 | 1988-07-20 | 磁気ディスク |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01232522A true JPH01232522A (ja) | 1989-09-18 |
Family
ID=26499087
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17914188A Pending JPH01232522A (ja) | 1987-08-06 | 1988-07-20 | 磁気ディスク |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01232522A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01144209A (ja) * | 1987-12-01 | 1989-06-06 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 磁気記録媒体 |
US7087325B2 (en) | 2000-02-23 | 2006-08-08 | Showa Denko Kabushiki Kaisha | Magnetic recording medium and production process thereof |
-
1988
- 1988-07-20 JP JP17914188A patent/JPH01232522A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01144209A (ja) * | 1987-12-01 | 1989-06-06 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 磁気記録媒体 |
US7087325B2 (en) | 2000-02-23 | 2006-08-08 | Showa Denko Kabushiki Kaisha | Magnetic recording medium and production process thereof |
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