JPS63251915A

JPS63251915A - 磁気デイスク

Info

Publication number: JPS63251915A
Application number: JP8575387A
Authority: JP
Inventors: Junya Tada; 多田　準也; Koichi Oka; 岡　公一
Original assignee: Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Current assignee: Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Priority date: 1987-04-09
Filing date: 1987-04-09
Publication date: 1988-10-19

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、磁気ディスク、特に磁気特性が従来のものと
同様もしくはそれ以上で、耐食性を一段と向上させた磁
気ディスクに関するものである。

〔従来の技術〕

フロッピーディスク、ハードディスク等の磁気ディスク
には、７−Ｆｅ、Ｏ，やＦｅなどの磁性粉末と合成樹脂
バインダーとを混練して得られる混練物を非磁性基板上
に塗布したものが使用されている。

しかし、このような磁気ディスクの磁性層は、その中に
占める磁性粉末の割合が３０〜４０容景％と少ないため
、磁気記録媒体として飽和磁束密度が不十分で、高密度
記録の磁気ディスクという点では支障がある。

この種の塗布型の磁気記録媒体に対して非磁性基板上に
金属磁性薄膜を形成した高密度記録の可能な磁気記録媒
体が開発されている。

この金属薄膜タイプの磁気記録媒体を形成する方法とし
ては、（ａ）湿式法としての化学メッキ法、（ｂ）乾式
法としてのスパッタリング法、イオンブレーティング法
、真空蒸着法などが採用されている。

（ａ）の化学メッキ法によるものは、例えば、ＣＯＰ％
Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐなどの金属薄膜媒体が提案されているが
、膜の積層構造の複雑さ、ヘッドに対する耐クラツシユ
性およびエラー特性などの信頬性、膜形成の際の安定性
などに問題を抱えている。一方、（ト））の乾式法は、
これらの問題を解消するものであり、これによるものと
して、例えば、Ｇｏ、　Ｃｏ−Ｎｉが知られており、ま
た、これらにＮ（特開昭５７−７２３０７）、Ｃｒ（昭
和６０年応用物理学関係連合講演会予稿集２９頁Ｇ−１
〜４、石川、谷等）、Ｗ（Ｒ，Ｄ、Ｆｉｓｈｅｒ　ｅｔ
　ａｌ　：　ＩＥＥｎ　Ｔｒａｎｓ、　Ｍａｇｎ、、Ｍ
ＡＧ−１７＋３１９０（１９８１））、Ｐｔ（Ｊ、Ａ、
Ａｂｏａｆ　ｅｔ　ａｌ　：　ｌｌ１ＥＥ　Ｔｒａｎｓ
。

Ｍａｇｎ、、ＭＡＧ−１９，１５１４（１９８３））な
どの他元素を添加したものも提案されている。しかしな
がら、これらの合金薄膜媒体は、耐食性に乏しく、腐食
作用により表面性の劣化、飽和磁束密度の減少およびむ
らが生じ、実用化の上で大きな問題となっている。

従来、これらの合金薄膜媒体の耐食性を向上させる磁気
ディスクとして、この媒体上に、Ｓｉｎ、、飽和脂肪酸
などの保護膜を積層、形成してなるものが提案されてい
る。しかしながら、これらの磁気ディスクは、保護膜が
厚すぎて、スペーシング損失が大きく、高密度記録の際
には再生出力の低下を招いたり、保護膜が薄すぎて、ピ
ンホールのない緻密な膜が得られず、耐食性が十分でな
かったりする。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明の目的は、これらの問題点を解消し、従来のもの
に対して磁気特性を低下させることなく、耐食性を一段
と向上させた磁気ディスクを提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、前記目的を達成するものとして、非磁性基板
上に、第１層として３０重量％以下のＮｉを含有するＮ
ｉ−Ｃｏ系もしくはＣｏ系磁気記録媒体膜および第２層
として３〜２０重量％の酸素を含有するＮｉ−Ｃｏ系も
しくはＣｏ系強磁性膜が形成されてなる磁気ディスクで
ある。

〔作　用〕

以下、本発明を更に詳細に説明する。

本発明の磁気ディスクは、非磁性基板上に第１層として
Ｎｉ−Ｃｏ系もしくはＣｏ系磁気記録媒体膜および第２
層としてＮｉ−Ｃｏ系もしくはＣｏ系強磁性膜が形成さ
れてなるものである。

まず、前記非磁性基板としては、陽極酸化処理されたア
ルミニウム、Ｃｒ下地が施されたアルミニウム、Ａｌ１
ｚ（ｈ、耐熱性プラスチック、ガラスなどが使用できる
。

次に、この非磁性基板上に第１Ｎとして形成される磁気
記録媒体膜はＮｉ−Ｃｏ系もしくはＣｏ系であり、公知
の組成のものを使用することができるが、好ましくは、
０〜３０重量％のＮｉ、およびＹ＋Ｌａ＋Ｃｅ＋Ｐｒ、
Ｎｄ　、　Ｓｍ＋Ｇｄ＋Ｄｙのうちの１種以上Ｒ１５重
量％以下、残部Ｃｏからなるものである。Ｒが１５重量
％を超えると、膜の保磁力や飽和磁化が減少し、耐食性
も低下する傾向が生ずる。このような磁気記録媒体膜中
のＮｉ量は、０〜３０重量％にする必要がある。３０重
量％を超えると、膜の残留磁化が大幅に低下し、電磁変
換特性が劣化する。この膜の膜厚は、０．０２〜０．１
５μｍに形成されるのが望ましい、膜厚が０．０２μｍ
未満では、十分な再生出力が得られず、一方、膜厚が０
．１５μｍを超えると、保磁力の減少が著しくなる。

更に、前記磁気記録媒体膜上に第２Ｎとして形成される
膜は、３〜２０Ｍ量％の酸素を含有するＮｉ−Ｃｏ系も
しくはＣｏ系強磁性膜である。この強磁性膜は、前記第
１層としての磁気記録媒体膜を腐食から保護してその磁
気特性を長期間維持発揮せしめるために、また、スペー
シング損失を小さく、再生出力を損わせな、いために、
形成され、好ましくは、酸素以外の組成が旧０〜３０重
量％、Ｙ、Ｌａ。

Ｃｅ、Ｐｒ、　Ｎｄ、Ｓｍ、Ｇｄ、Ｄｙのうちの１種以
上のＲ１５重量％以下、残部Ｃｏであるもの、また、酸
素以外の組成がＮｉ０〜３０重量％、Ｂ、Ａ　１　、Ｓ
ｉ＋Ｐ、Ｇｅ、Ｓｎ＋Ｓｂ＋　Ｓｅｔ　Ｔｅ、、Ｐ　ｂ
、　ａｉ、　Ｃｕ　＋　Ｔｔ　ｌＶ＋　Ｃｒ、　Ｚｒ＋
　Ｎｂｌ　Ｍｏ、　Ｗ＋　Ｔａ　のうちの１種以上のＭ
１〜１０重量％、残部Ｃｏであるものなどが挙げられる
。Ｒが１５重量％を超えると、この膜の保磁力、飽和磁
化が減少すると共に耐食性も低下し易い。また、Ｍが１
重量％未満では、十分緻密な膜が得られず、１０重量％
を超えると飽和磁化が減少する傾向が生ずる。これらの
うち、酸素以外は第１層の磁気記録媒体と同様の成分、
組成のものが好ましい。それは、膜形成の際、第１層に
引続いて酸素を導入するのみで筒便に第２層の形成を行
なうことができるからである。この膜中の酸素量が３重
量％未満では、前記この第２層は緻密化せず、この層形
成による耐食性向上の効果が十分得られず、一方、２０
重量％を超えると、磁気特性、特に飽和磁化の減少が著
しくなる。この膜の膜厚は、０．０２〜０．１０μｍに
形成されるのが望ましい。膜厚が０．０２μｍ未満では
、緻密で均質な膜が得られ難く、一方、０．１０μｍを
超えると、スペーシング損失が著しくなる。

本発明の第１層、第２層の膜は、スパッタリング法、イ
オンブレーティング法、真空薄着法などにより形成する
ことができる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を比較例、従来例と共に説明する
。

厚さ１．５龍の、Ｃｒ下地が膜厚３０００人で施された
アルミニウム基板上に、マグネトロンスパッタ装置を用
いて第１層として磁気記録媒体膜、第２層として強磁性
膜を形成した。この際の成膜条件はいずれの試験におい
ても次の通りであった。

到達真空度　　　　　８　ＸＩＯ”’　Ｐａスパッタガ
ス圧　　　１〜６×１０伺Ｐａスパツタ電力　　　　　
２００〜６００Ｗターゲツト直径　　　　　１５ｃｍターゲット基板間距離　１５（ｈｌ磁気記録媒体膜膜厚　　０．０３〜０．１０μｍ強磁性
膜膜厚　　　　　０．０３〜０．０５μｍ得られた磁気
ディスクは切断し、各々、組成分析と磁気特性および耐
食性の評価に供した。組成分析は、ＥＰＭＡ分析と化学
分析とを併用し、また磁気特性は、試料振動型磁力計に
より測定した。耐食性の評価は、磁気ディスクの飽和磁
化と該ディスクを温度５０℃、湿度９０％の腐食雰囲気
下で１００時間保持した後の飽和磁化との比を求めるこ
とにより行なった。

得られた結果を第１表に示す。

第１表から次のことが判る。即ち、従来何階１−１は、
第２層としての強磁性膜が形成されていす、また、比較
例階２−１．２−３．３−３．４−１．６−３は第２層
としての強磁性膜中の酸素が、同！１１１１６−２．７
−１．７−２．７−３は第１層としての磁気記録媒体膜
中の添加元素ＤｙまたはＣｅが本発明の組成範囲から外
れたものであり、耐食性または耐食性と磁気特性が劣っ
ていることを示しているが、一方、実施例１１ｈ２−２
．３−１゜３−２．４−２．４−３．４−４．５−１．
５−２．５−３．５−４．６−１は、磁気特性および耐
食性が優れていることを示している。

本発明は、以上説明した各側の構成に限るものでなく、
例えば、第３層として、ヘッドに対する耐摩耗性を向上
させるため、５ｉＯｚ、カーボンなどを被覆した構成の
ものなどが実現可能である。

〔発明の効果〕

以上から明らかなように、本発明は、従来のＣｏ・−Ｎ
ｉ系磁気ディスクに比較して、磁気特性を低下させるこ
となく、耐食性を大幅に向上させたものを堤供すること
ができる。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）非磁性基板上に、第１層として３０重量％以下の
Ｎｉを含有するＮｉ−Ｃｏ系もしくはＣｏ系磁気記録媒
体膜および第２層として３〜２０重量％の酸素を含有す
るＮｉ−Ｃｏ系もしくはＣｏ系強磁性膜が形成されてな
る磁気ディスク。
（２）Ｎｉ−Ｃｏ系もしくはＣｏ系磁気記録媒体は、そ
の組成がＮｉ０〜３０重量％、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、
Ｎｄ、Ｓｍ、Ｇｄ、Ｄｙのうちの１種以上０〜１５重量
％、残部Ｃｏであり、かつ、Ｎｉ−Ｃｏ系もしくはＣｏ
系強磁性膜は、その組成が酸素以外は前記磁気記録媒体
の組成と実質的に同一である特許請求の範囲第１項記載
の磁気ディスク。
（３）Ｎｉ−Ｃｏ系もしくはＣｏ系磁気記録媒体は、そ
の組成がＮｉ０〜３０重量％、残部Ｃｏであり、かつ、
Ｎｉ−Ｃｏ系もしくはＣｏ系強磁性膜は、その組成が酸
素以外はＮｉ０〜３０重量％、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、
Ｎｄ、Ｓｍ、Ｇｄ、Ｄｙのうちの１種以上１５重量％以
下、残部Ｃｏである特許請求の範囲第１項記載の磁気デ
ィスク。