JPS59119533A - 垂直磁化記録用磁気記録媒体 - Google Patents
垂直磁化記録用磁気記録媒体Info
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- JPS59119533A JPS59119533A JP22929882A JP22929882A JPS59119533A JP S59119533 A JPS59119533 A JP S59119533A JP 22929882 A JP22929882 A JP 22929882A JP 22929882 A JP22929882 A JP 22929882A JP S59119533 A JPS59119533 A JP S59119533A
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- Japan
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- thin film
- magnetic anisotropy
- magnetic recording
- recording medium
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/68—Record carriers characterised by the selection of the material comprising one or more layers of magnetisable material homogeneously mixed with a bonding agent
- G11B5/70—Record carriers characterised by the selection of the material comprising one or more layers of magnetisable material homogeneously mixed with a bonding agent on a base layer
- G11B5/706—Record carriers characterised by the selection of the material comprising one or more layers of magnetisable material homogeneously mixed with a bonding agent on a base layer characterised by the composition of the magnetic material
- G11B5/70605—Record carriers characterised by the selection of the material comprising one or more layers of magnetisable material homogeneously mixed with a bonding agent on a base layer characterised by the composition of the magnetic material metals or alloys
- G11B5/70621—Record carriers characterised by the selection of the material comprising one or more layers of magnetisable material homogeneously mixed with a bonding agent on a base layer characterised by the composition of the magnetic material metals or alloys containing Co metal or alloys
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、耐摩耗性および磁気特性にすぐれ、特に膜
面に対して垂直の磁気異方性をもった２層薄膜構造の垂
直磁化記録用磁気記録媒体に関するものである。
面に対して垂直の磁気異方性をもった２層薄膜構造の垂
直磁化記録用磁気記録媒体に関するものである。
従来、一般に、磁気ディスク、フロッピーディスク、オ
ーディオ用磁気テープ、ＶＴＲ用磁気テープ、磁気写真
用ディスク、さらにコンピュータ用磁気テ〒プなどが、
プラスチックフィルムや金属シート、さらに金属ディス
クやガラスディスクなどの基体の表面に、スパッタリン
グ法や真空蒸着法、さらに化学メッキ法などの表面処理
技術を用いて１例えば膜面に対して垂直の磁気異方性を
もったＣｏ −Ｃａｒ合金、Ｃｏ−Ｒｕ合金、およびＣ
ｏ −Ｏｒ −Ｒｕ合金などのＣｏ系合金で構成された
垂直磁化記録用磁気記録媒体の薄膜を形成することによ
って製造され、これによって高密度の磁気記録が可能に
なったことはよく知られるところである。
ーディオ用磁気テープ、ＶＴＲ用磁気テープ、磁気写真
用ディスク、さらにコンピュータ用磁気テ〒プなどが、
プラスチックフィルムや金属シート、さらに金属ディス
クやガラスディスクなどの基体の表面に、スパッタリン
グ法や真空蒸着法、さらに化学メッキ法などの表面処理
技術を用いて１例えば膜面に対して垂直の磁気異方性を
もったＣｏ −Ｃａｒ合金、Ｃｏ−Ｒｕ合金、およびＣ
ｏ −Ｏｒ −Ｒｕ合金などのＣｏ系合金で構成された
垂直磁化記録用磁気記録媒体の薄膜を形成することによ
って製造され、これによって高密度の磁気記録が可能に
なったことはよく知られるところである。
しかし、」二記のＣｏ系合金で構成された垂直磁化記録
用磁気記録媒体は、すぐれた垂直磁化特性をもつものの
、磁気記録時にこれと摩擦接触する磁気ヘッドが、Ｍｎ
−Ｚｎ系フェライトの単結晶や高密度フェライト、さ
らにセンダストや非晶質金属などの硬質の材料で構成さ
れているため、前記磁気ヘッドとの接触により著しく摩
耗し、損傷を受けることから、実用に際しては、さらに
その上面に数１００〜１０００λ程度の層厚で、ＳｉＯ
２などの非磁性薄膜を形成し、磁気ヘッドとの摩耗に対
する保護を行ない、磁気記録媒体としての信頼性を確保
しているのが現状である。
用磁気記録媒体は、すぐれた垂直磁化特性をもつものの
、磁気記録時にこれと摩擦接触する磁気ヘッドが、Ｍｎ
−Ｚｎ系フェライトの単結晶や高密度フェライト、さ
らにセンダストや非晶質金属などの硬質の材料で構成さ
れているため、前記磁気ヘッドとの接触により著しく摩
耗し、損傷を受けることから、実用に際しては、さらに
その上面に数１００〜１０００λ程度の層厚で、ＳｉＯ
２などの非磁性薄膜を形成し、磁気ヘッドとの摩耗に対
する保護を行ない、磁気記録媒体としての信頼性を確保
しているのが現状である。
しかしながら、この従来２層薄膜構造の垂直磁化記録用
磁気記録媒体においては、上記のように上層が５ｉ０２
などの非磁性薄膜で構成されているために、磁気記録に
際しては、磁気が前記上層の層厚分だけ離された状態１
、すなわちスペースロスのある状態で、下層の磁気記録
媒体に磁気記録がなされることになることから、その分
だけ垂直磁化記録密度が低下することになる。
磁気記録媒体においては、上記のように上層が５ｉ０２
などの非磁性薄膜で構成されているために、磁気記録に
際しては、磁気が前記上層の層厚分だけ離された状態１
、すなわちスペースロスのある状態で、下層の磁気記録
媒体に磁気記録がなされることになることから、その分
だけ垂直磁化記録密度が低下することになる。
そこで、本発明者等は、上述のような観点から、上記の
従来２層薄膜構造の垂直磁化記録用磁気記録媒体の上層
として適用するのに適した材料、すなわち、すぐｉた耐
摩耗性を有し、かつスペースロスをなくするために、そ
れ自身も膜面に対して垂直の磁気異方性をもった材料を
開発すべく研究を行なった結果、 通常のスパッタリング法などを用いて、プラスチックや
金属、さらにガラスなどのシートやディスクなどの基板
の表面に、実質的にターゲットと同じ組成をもったＣｏ
系合金からなる垂直磁化記録用磁気記録媒体の薄膜を形
成した状態で、さらに、Ｃｏ ： Ｑ、 １〜２５．０
係を含有し、さらに必要に応じてＮｉ ： ０．１〜２
０．０％を含有し、残シがＦｅ３Ｏ４と不可避不純物か
らなる組成Ｃ以上重量係、以下％は重量係を示す）を有
するマグネタイト系材料のターゲットを用い、これにＡ
ｒ、または酸素含有のＡｒ雰囲気中でスパッタリングを
行なって、上記のＣｏ系合金薄膜の上面に常温で、実質
的に」１記ターゲットと同じ組成をもったマグネタイ系
材料の薄膜を形成し、 ついで、この薄膜に、大気雰囲気中で、膜面に対して垂
直な磁場、望ましくは８００〜５０００ガウス弊−十の
磁場をかけながら、１５０〜３００℃の範囲内の温度に
加熱保持の磁場中熱処理を施すと、前記マグネタイト系
材料の上層薄膜は、垂直磁化記録が可能な膜面に対して
垂直の磁気異方性をもった磁気記録媒体となシ、この結
果磁気記録に際して、磁気ヘッドとの間にスペースロス
がなくなることから、高密度の垂直磁化記録が可能とな
フ、しかも前記マグネタイト系材料の薄膜はすぐれた耐
摩耗性と磁気特性をもっという知見を得たのである。
従来２層薄膜構造の垂直磁化記録用磁気記録媒体の上層
として適用するのに適した材料、すなわち、すぐｉた耐
摩耗性を有し、かつスペースロスをなくするために、そ
れ自身も膜面に対して垂直の磁気異方性をもった材料を
開発すべく研究を行なった結果、 通常のスパッタリング法などを用いて、プラスチックや
金属、さらにガラスなどのシートやディスクなどの基板
の表面に、実質的にターゲットと同じ組成をもったＣｏ
系合金からなる垂直磁化記録用磁気記録媒体の薄膜を形
成した状態で、さらに、Ｃｏ ： Ｑ、 １〜２５．０
係を含有し、さらに必要に応じてＮｉ ： ０．１〜２
０．０％を含有し、残シがＦｅ３Ｏ４と不可避不純物か
らなる組成Ｃ以上重量係、以下％は重量係を示す）を有
するマグネタイト系材料のターゲットを用い、これにＡ
ｒ、または酸素含有のＡｒ雰囲気中でスパッタリングを
行なって、上記のＣｏ系合金薄膜の上面に常温で、実質
的に」１記ターゲットと同じ組成をもったマグネタイ系
材料の薄膜を形成し、 ついで、この薄膜に、大気雰囲気中で、膜面に対して垂
直な磁場、望ましくは８００〜５０００ガウス弊−十の
磁場をかけながら、１５０〜３００℃の範囲内の温度に
加熱保持の磁場中熱処理を施すと、前記マグネタイト系
材料の上層薄膜は、垂直磁化記録が可能な膜面に対して
垂直の磁気異方性をもった磁気記録媒体となシ、この結
果磁気記録に際して、磁気ヘッドとの間にスペースロス
がなくなることから、高密度の垂直磁化記録が可能とな
フ、しかも前記マグネタイト系材料の薄膜はすぐれた耐
摩耗性と磁気特性をもっという知見を得たのである。
この発明は、」１記知見にもとづいてなされたものであ
って、いずれも膜面に対して垂直の磁気異方性をもった
２層薄膜からなシ、かつ、その上層薄膜が、Ｃｏ ：
０．１〜２５．０１ ｆ含有し、さらに必要に応じてＮ
ｉ：０．１〜２０．０ ％を含有し、残りがＦｅ３Ｏ４
と不可避不純物からなる組成を有する耐摩耗性にすぐれ
たマグネタイト系材料で構成され。
って、いずれも膜面に対して垂直の磁気異方性をもった
２層薄膜からなシ、かつ、その上層薄膜が、Ｃｏ ：
０．１〜２５．０１ ｆ含有し、さらに必要に応じてＮ
ｉ：０．１〜２０．０ ％を含有し、残りがＦｅ３Ｏ４
と不可避不純物からなる組成を有する耐摩耗性にすぐれ
たマグネタイト系材料で構成され。
その下層薄膜がＣｏ系合金で構成された垂直磁化記録用
磁気記録媒体に特命を有するものである。
磁気記録媒体に特命を有するものである。
つぎに、この発明の磁気記録媒体において、上層薄膜の
成分組成を上記の通フに限定した理由を説明する。
成分組成を上記の通フに限定した理由を説明する。
（ａ） 、Ｏ。
ＣＯ酸成分は、スパッタリング法などによシ形成された
薄膜に、１５０〜３００℃の低温での磁場中熱処理によ
り、膜面に対して垂直の磁気異方性を付与する作用があ
るが、その含有量が０．１％未満では所望の垂直磁気異
方性を確保することができず、一方２５．０ ％を越え
て含有させると、磁気異方性が、特に温度などの影響に
対して不安定となり、変動するようになることから、そ
の含有量を０．１〜２５．０係と定めた。
薄膜に、１５０〜３００℃の低温での磁場中熱処理によ
り、膜面に対して垂直の磁気異方性を付与する作用があ
るが、その含有量が０．１％未満では所望の垂直磁気異
方性を確保することができず、一方２５．０ ％を越え
て含有させると、磁気異方性が、特に温度などの影響に
対して不安定となり、変動するようになることから、そ
の含有量を０．１〜２５．０係と定めた。
（ｂ） Ｎｉ
Ｎ１成分にＦ’１ｓｃｏ成分によってもたらされる磁気
異方性の経時的劣化を防止する作用があるので、必要に
応じて含有されるが、その含有量が０．１％未満では前
記作用に所望の効果が得られず、一方。
異方性の経時的劣化を防止する作用があるので、必要に
応じて含有されるが、その含有量が０．１％未満では前
記作用に所望の効果が得られず、一方。
２０．０１を越えて含有させると、磁気異方性が劣化す
るようになることから、その含有量を０．１〜２０、０
ｑｂと定めた。
るようになることから、その含有量を０．１〜２０、０
ｑｂと定めた。
なお、この発明の上層薄膜に幹いては、主成分たるＦｅ
２Ｏ２によって、すぐれた耐摩耗性と磁気特性（特に飽
和磁化および角型比）が確保されるのである。
２Ｏ２によって、すぐれた耐摩耗性と磁気特性（特に飽
和磁化および角型比）が確保されるのである。
つぎに、この発明の磁気記録媒体を実施例により具体的
に説明する。
に説明する。
実施例
基板：平面１５０ｍ＋ｎ０ｘ厚さ７０μｍの寸法をもッ
タポリエチレンテレフクレート・シート、基板温度：１
’００℃ ターゲット：１８．２％のＯｒを含有するＣ０−Ｃｒ合
金、雰囲気：Ａｒガス、 雰囲気圧カニ ３ Ｘ １０ ｔｏｒｒ 。
タポリエチレンテレフクレート・シート、基板温度：１
’００℃ ターゲット：１８．２％のＯｒを含有するＣ０−Ｃｒ合
金、雰囲気：Ａｒガス、 雰囲気圧カニ ３ Ｘ １０ ｔｏｒｒ 。
スパッタ距離＝１００鱗、
スパッタ速度： １０００λ／罷、
の条件でマグネトロンスパッタリングを行ない、上記基
板表面に層厚： ４０００λのＣｏ−Ｃｒ合金からなる
下層薄膜を形成した。この下層薄膜は、振動試料型磁気
測定器にて、膜面に対して垂直方向の保磁カニ６８０エ
ルステツドを示し、きわめで角型比の良好なものであっ
た。
板表面に層厚： ４０００λのＣｏ−Ｃｒ合金からなる
下層薄膜を形成した。この下層薄膜は、振動試料型磁気
測定器にて、膜面に対して垂直方向の保磁カニ６８０エ
ルステツドを示し、きわめで角型比の良好なものであっ
た。
ついで、原料粉末として１粒度−３２５ｍｅｓｈのＦｅ
３Ｏ４粉末、同一３２５ ｍｅｓｈのＣＯ○粉末、およ
び同３００ ｍｅｓｈのＮｉＯ粉末を用意し、これら原
料粉末を適宜組成に配合し、ボールミルにて５時間湿式
混合し、乾燥した後、１ ｔｏｎ ／ ｃｒ＆の圧力に
て５０ｍｍ０Ｘ５ｍｍの寸法をもった圧粉体に成形し、
ついで水蒸気の雰囲気中、１０５０〜１０８０℃の範囲
内の温度に１２０分間保持の条件で焼結することによっ
て、それぞれ第１表に示される組成をもった上層薄膜形
成用ターゲットを製造し、引続いて、これらのターゲッ
トを用い。
３Ｏ４粉末、同一３２５ ｍｅｓｈのＣＯ○粉末、およ
び同３００ ｍｅｓｈのＮｉＯ粉末を用意し、これら原
料粉末を適宜組成に配合し、ボールミルにて５時間湿式
混合し、乾燥した後、１ ｔｏｎ ／ ｃｒ＆の圧力に
て５０ｍｍ０Ｘ５ｍｍの寸法をもった圧粉体に成形し、
ついで水蒸気の雰囲気中、１０５０〜１０８０℃の範囲
内の温度に１２０分間保持の条件で焼結することによっ
て、それぞれ第１表に示される組成をもった上層薄膜形
成用ターゲットを製造し、引続いて、これらのターゲッ
トを用い。
基板温度：室温。
雰囲気：Ａｒガス、
雰囲気圧カニ ３ Ｘ １０−”ｔｏｒｒ ｓスパッタ
距離＝５０．、 第１表 スパッタ速度：３２０λ／罷、 の条件でマグネトロンスパッタリングを行ない、上記の
Ｃｏ７Ｃｒ合金からなる下層薄膜の上面に、実質的に上
記上層薄膜形成用ターゲットと同一の組成をもった厚さ
： ２００ＯＡのマグネタイト系月料からなる上層薄膜
を形成し、ついでこれらの薄膜に対して、２００℃に加
熱された大気雰囲気中に、１３００ガウスの膜面に対し
て垂直な方向の磁場をかけながら３０分間保持後、炉冷
の磁場中熱処理を施すことによって、本発明磁気記録媒
体１〜１５をそれぞれ形成した。
距離＝５０．、 第１表 スパッタ速度：３２０λ／罷、 の条件でマグネトロンスパッタリングを行ない、上記の
Ｃｏ７Ｃｒ合金からなる下層薄膜の上面に、実質的に上
記上層薄膜形成用ターゲットと同一の組成をもった厚さ
： ２００ＯＡのマグネタイト系月料からなる上層薄膜
を形成し、ついでこれらの薄膜に対して、２００℃に加
熱された大気雰囲気中に、１３００ガウスの膜面に対し
て垂直な方向の磁場をかけながら３０分間保持後、炉冷
の磁場中熱処理を施すことによって、本発明磁気記録媒
体１〜１５をそれぞれ形成した。
ついで上記の本発明磁気記録媒体１〜１５のそ・れぞれ
を直径：５１ｎ、のフロッピーディスクに作成し、これ
にＭｎ −Ｚｎフェライト単結晶のリングヘッドを用い
、ギャップ：０．１２μｍ、記録電流＝５（１ｍＡ、デ
ィスク周速：２ｍ／ｓｅｅの条件で記録を行ない、記録
後、周波数と、読み出し電圧を測定し、この測定結果か
ら読み出し弧立波形の半分の出力、すなわち記録密度（
ＢＰＩ、 ビット・、＜−・インチ）を算出した。これ
らの結果を第１表に合せて示した。
を直径：５１ｎ、のフロッピーディスクに作成し、これ
にＭｎ −Ｚｎフェライト単結晶のリングヘッドを用い
、ギャップ：０．１２μｍ、記録電流＝５（１ｍＡ、デ
ィスク周速：２ｍ／ｓｅｅの条件で記録を行ない、記録
後、周波数と、読み出し電圧を測定し、この測定結果か
ら読み出し弧立波形の半分の出力、すなわち記録密度（
ＢＰＩ、 ビット・、＜−・インチ）を算出した。これ
らの結果を第１表に合せて示した。
１だ、比較の目的で、上記のＣ，ｏ −Ｏｒ金合金下層
薄膜の」二面に、 ターゲット：５ｉ０２、 基体温度：５０℃、 雰囲気ガス： Ａｒ１０２ ＝１／１ （容量比）、雰
囲気圧カニ ３ｘ １０ ｔｏｒｒ。
薄膜の」二面に、 ターゲット：５ｉ０２、 基体温度：５０℃、 雰囲気ガス： Ａｒ１０２ ＝１／１ （容量比）、雰
囲気圧カニ ３ｘ １０ ｔｏｒｒ。
スパッタ距離：５０間、
スパッタ速度：８００λ／ ｍｉｎ １の条件でマグネ
トロンスパッタリングを行ない。
トロンスパッタリングを行ない。
厚さ： ２０００＾の５１０２からなる上層薄膜゛を形
成することによって、従来磁気記録媒体を形成した。
成することによって、従来磁気記録媒体を形成した。
この従来磁気記録媒体の記録密度を同一条件で測定した
。この結果を第１表に示した。
。この結果を第１表に示した。
第１表に示される結果から、本発明磁気記録媒体１〜１
５は、いずれも従来磁気記録媒体に比して一段とすぐｉ
″した記録密度を示し、高密度の垂直磁化記録が可能で
あることが明らかである。
５は、いずれも従来磁気記録媒体に比して一段とすぐｉ
″した記録密度を示し、高密度の垂直磁化記録が可能で
あることが明らかである。
さらに、」１記本発明磁気記録媒体１〜１５および従来
磁気記録媒体について、摩耗試験を行なつたところ、い
ずれも同等のすぐれた耐摩耗性を示した。
磁気記録媒体について、摩耗試験を行なつたところ、い
ずれも同等のすぐれた耐摩耗性を示した。
また、本発明磁気記録媒体において、従来公知のように
、基板とｃｏ系合金の下層薄膜の間に高透磁率を有する
Ｆｅ −Ｎｉ系合金の薄膜を介在させ・ても、さらに耐
摩耗性および耐久性を向上させる目的で。
、基板とｃｏ系合金の下層薄膜の間に高透磁率を有する
Ｆｅ −Ｎｉ系合金の薄膜を介在させ・ても、さらに耐
摩耗性および耐久性を向上させる目的で。
その上面に有機系潤滑剤を塗布してもよいことは勿論で
ある。
ある。
上述のように、この発明の磁気記録媒体は、」二層薄膜
が膜面に対して垂直の磁気異方性を有し、かつ耐摩耗性
および磁気特性にすぐれたマグネタイト系材料で構成さ
れているので、高密度の垂直磁化記録が可能となるばか
りでなく、すぐれた耐摩耗性および磁気特性を示すなど
工業」−有用な特性を有するのである。
が膜面に対して垂直の磁気異方性を有し、かつ耐摩耗性
および磁気特性にすぐれたマグネタイト系材料で構成さ
れているので、高密度の垂直磁化記録が可能となるばか
りでなく、すぐれた耐摩耗性および磁気特性を示すなど
工業」−有用な特性を有するのである。
出願人 三菱金属株式会社
代理人 富 １）和 夫 外１名
Claims (2)
- （１）いずれも膜面に対して垂直の磁気異方性をもった
２層薄膜からなり、かつ、その上層薄膜が、Ｏｏ：Ｏ１
１〜２５．０重量係を含有し、残りがＦｅ３Ｏ４と不可
避不純物からなる組成を有する耐摩耗性にすぐれたマグ
ネタイト系材料で構成され、その下層薄膜がＣｏ系合金
で構成されたことを特徴とする垂直磁化記録用磁気記録
媒体。 - （２）いずれも膜面に対して垂直の磁気異方性をもった
２層薄膜からなシ、かつ、その上層薄膜が、ＣＯ：０．
１〜２５．０重量％ｉ含有し、さう［Ｎｉ：０、１〜２
０．、Ｏ重量ｑｂを含有し、残シがＦｅ３Ｏ４と不可避
不純物からなる組成を有する耐摩耗性にすぐれたマグネ
タイト系材料で構成され、その下層薄膜がＣｏ系合金で
構成されたことを特徴とする垂直磁化記録用磁気記録媒
体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22929882A JPS59119533A (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | 垂直磁化記録用磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22929882A JPS59119533A (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | 垂直磁化記録用磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59119533A true JPS59119533A (ja) | 1984-07-10 |
| JPS6126131B2 JPS6126131B2 (ja) | 1986-06-19 |
Family
ID=16889938
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22929882A Granted JPS59119533A (ja) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | 垂直磁化記録用磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59119533A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59157832A (ja) * | 1983-02-28 | 1984-09-07 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
-
1982
- 1982-12-27 JP JP22929882A patent/JPS59119533A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59157832A (ja) * | 1983-02-28 | 1984-09-07 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6126131B2 (ja) | 1986-06-19 |
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