JPH0312814A

JPH0312814A - 金属薄膜型磁気記録媒体

Info

Publication number: JPH0312814A
Application number: JP14763889A
Authority: JP
Inventors: Toshiaki Morichika; 森近　俊明; Toshio Tani; 谷　登志夫; Hideo Koshimoto; 越本　秀生
Original assignee: Kubota Corp
Current assignee: Kubota Corp
Priority date: 1989-06-09
Filing date: 1989-06-09
Publication date: 1991-01-21
Anticipated expiration: 2011-08-28
Also published as: JP2527617B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明はノイズ特性にすぐれた金属薄膜型磁気記録媒体
に関する。

〔従来の技術〕

近時、磁気記録装置の記録媒体として、非磁性基体上の
磁性膜を強磁性金属薄膜とした金属薄膜型磁気記録媒体
が、その高密度記録性により、従来の所謂塗布型磁気記
録媒体に置き代わりつつある。その非磁性基体上に形成
される強磁性金属薄膜の成分構成は、磁気的性質、記録
再生特性、耐候性等の総合的評価に基づいて決定され、
−船釣にＣｏ、ＣｏＮｉ系、ＣｏＣｒ系、またはＣｏＮ
ｉＣｒ系合金が使用されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記金属薄膜型磁気記録媒体は、これまでの塗布型磁気
記録媒体にまさる高密度の記録が可能であるが、次世代
の磁気記録媒体としては更に記録密度の向上が要求され
る。そのためには、変調ノイズや再生波形ピークシフ１
〜等の記録再生ノイズ特性を改善することが必要である
。

本発明は上記要請に応えるべくなされたものであり、記
録再生ノイズを可及的に低くして分解能とノイズのつり
合いのとれたピークシフトの低い高密度記録用金属薄膜
型磁気記録媒体を提供する。

〔課題を解決するための手段および作用〕本発明の金属
薄膜型磁気記録媒体は、その磁性膜が、下式Ｎ）または
〔ＩＩ）で示される成分組成を有する合金からなること
を特徴としている。

ｃｏｌ−Ｖ−Ｘ−１−２Ｎ　ｉｖ　Ｃｒｘ　Ｍｖ　Ｐｚ
　−（Ｉ　）Ｃ０８−ｘ−ｖ−ｚ　Ｃｒｘ　Ｍｖ　Ｐｚ
　　　　　”’　（Ｕ）式中、Ｍは、Ｔａ、Ｎｂ、Ｖか
ら選ばれる１種ないし２種以上の元素であり、ｖ、　　
ｘ、　　ｙ、　　ｚは原子組成比を表し、■は０．０５
〜０．２５．　　ｘはｏ、０７〜０．１６．　　ｙは０
．０１〜０．０４．　　ｚば０．０１〜０．０５である
。

本発明の磁気記録媒体の金属系磁性膜は、上記のように
ＣｏＣｒ系、またはＣｏＮｉＣｒ系合金をヘースとし、
これにＭで表される元素、すなわちＴａ、Ｎｂ、Ｖから
選ばれる１種ないし２種以上の元素とＰとが複合添加さ
れた成分構成を存している。ＣｏＣｒ系、またはＣｏＮ
ｉＣｒ系合金は、高保磁力（Ｈｃ　）および高残留磁束
密度（Ｂｒ）を有する合金であり、本発明に従ってこれ
にＭで表される元素とＰの適量が複合添加されると、Ｍ
元素によるＣｒの粒界析出と、非磁性Ｐおよびその化合
物の粒界偏析による磁性粒子（磁区）の孤立化がもたら
されると共に、保磁力（Ｈｃ）の増加をみる。このＭ元
素とＰの複合添加に伴う保磁力増加と磁性粒子の孤立化
とによって顕著なノイズ特性改善効果が得られる。なお
、Ｍ元素またばＰの単独添加においても磁性粒子の孤立
化、保磁力増加をみるが、その効果は十分でない。後記
実施例に示したように、その顕著な改善効果は両元素の
複合添加によって確保される。

本発明において磁性膜の合金成分組成につき、Ｃｒ量（
ｘ）を０．０７〜．０．１６としたのは、０．０７未満
では、磁性膜の耐候性が不足し、他方０．１６より多く
なると、良好な磁気！１４゛性・電気特性を確保できな
くなるからでである。また、Ｎｉを含む磁性膜である場
合のＮｉ量（Ｖ）の下限を０．０５としたのは、Ｎｉ添
加による耐候性改善効果を十分ならしめるためであり、
上限を０．２５としたのは、それをこえると、飽和磁束
密度（Ｂｓ）が減少し、良好な磁気特性および電気特性
が得られなくなるからである。

更に、本発明の最も特徴とするＭ元素とＰにつき、Ｍ元
素の下限値を０．０１、Ｐの下限値を０．ＯＩとしたの
は、その複合添加による磁性粒子の孤立化に伴う磁化遷
移幅の減少、高保磁力化の効果を確保するためであり、
他方Ｍ元素の上限値を０．０４、Ｐの上限値を０．０５
としたのは、それをこえると効果がほぼ飽和してしまう
だけでなく、却って磁気特性・電気特性の低下を招くか
らである。

本発明の金属薄膜型磁気記録媒体は、磁気ディスクをは
じめ、磁気ドラム、磁気テープ、磁気シート等を包含す
る。これらは、いずれもその磁性膜が前記（１）弐また
は［１１）式で示される組成を有する合金からなる点を
除いて、公知の工程および条件に従って製作することが
できる。例えば、面内記録用磁気ディスクについて述べ
れば、アルミニウム合金板等を基体とし、その表面に無
電解めっきにより硬質のＮ１−Ｐめっき膜（膜厚：例え
ば１５〜２５μｍ）を設け、めっき膜面にテキスチャ処
理を施したのち、磁性膜に面内異方性を与えるための下
地層としてＣｒ膜を適宜の膜厚（例えば５００〜３００
０人）に形成する。そのＣｒ膜面上に、前記組成をもつ
磁性膜（膜厚は例えば５００〜２０００人）を成膜する
。ついで磁性膜の摩耗・損傷を防止するための保護膜と
して、潤滑性と耐摩耗性を備えた被膜、例えば炭素質膜
（膜Ｗ：例えば１５０〜６００人）を形成することによ
り、多層積層構造を有する面内記録用磁気ディスクを得
る。その積層構造は上記の例に限定されず、例えば、磁
性膜の上に、炭素質膜を成膜するに先立って、Ｃｒ膜（
膜厚約１００〜５００人）を形成することにより、磁気
ディスクの耐候性をさらに高めることができ、また磁性
膜面に炭素質膜を形成したうえ、更にその表面に潤滑剤
（膜厚：例えば１０〜１００人）を設けて、磁気ヘラ１
′に対する保護潤滑機能をより良好なものとすることも
できる。なお、各層の成膜は、スパッタリング法、イオ
ンブレーティング法、真空蒸着法などにより行うことが
できる。

〔実施例〕

実施上ユ（ＣｏＮｉＣｒ系磁性膜）〔１〕供試磁気デイスクの製作アルミニウム合金基板（外径１３０ｍｍ、内径４０ｍｍ
、厚さ１．９ｍｍ）の表面に、Ｎ１−Ｐ無電解めっき膜
（膜厚２０μｍ）を形成し、表面にポリッシュとテキス
チャ処理を行ったのち、マグネトロンスパッタリング法
（但し、アルゴン雰囲気圧：ｏ、７ｘｉｏ−２ｔｏｒｒ
　）により、Ｃｒ膜（下地層）、ＣｏＮｉＣｒ系磁性膜
および潤滑膜としての炭素質膜（膜厚３００人）とをこ
の順に積層成膜して供試磁気ディスクを得た。各供試磁
気ディスク同士の記録再生特性の正当な比較を行うため
に、各供試磁気ディスクの保磁力（Ｈｃ）、および残留
磁束密度（Ｂｒ）と膜厚（δ）の積（Ｂｒ・δ）が互い
に等しくなるように下地層および磁性膜の成膜を行った
。そのＨｃは１２５００ｅとし、Ｂｒ・δは４５０Ｇ・
μとした。

〔■〕記録再生特性試験各供試磁気ディスクについて、フエライ１〜ヘッドを使
用し、記録線密度２８ＫＰＣＩで、信号の記録再生試験
を行った。ヘッド仕様は、ギャップ幅：　１３．５μ、
ギャップ長さ：　０．７９μ、インダクタンス：８μＨ
１フライングハイ１〜：　０．２０μ、ローディング・
フォース：　９．５ｇｆ、コイル巻数：２６であり、回
転速度は３６００ｒｐｍとした。

客供試磁気ディスクの試験結果を、その磁性膜の合金組
成と併せて第１表に示す。表中、Ｎｏ、　１１〜１５は
Ｍ元素とＰを複合金有する発明例、Ｎｏ、　１６．１７
はＭ元素またはＰの単独添加の比較例である。なお、「
Ｓ／Ｎ」は再生信号出力とメディアノイズ強さの比を、
ｒＰＭ、はフェイズマージンをそれぞれ意味している。

また、第１図はＣｏＮｉＣｒ系磁性膜の保磁力（Ｈｃ）
を、その下地層（Ｃｒ膜）の膜厚との関係で示したグラ
フであり、図中（ａ）は第１表の供試磁気ディスクＮｏ
、　１１の磁性膜と同一組成（Ｔ　ａ　、　Ｐ複合添加
）の磁性膜（ＣＯｏ、６５Ｎｉｏ、　＋ｓＣｒ　０．　
＋２Ｔ　ａ　ｏ、’ｏ４Ｐ　Ｏ，０４）　、（ｔ））は
Ｎｏ、　１６の磁性膜と同一組成（Ｔａ単独添加）の磁
性膜（ＣＯｏ、６９Ｎｉｏ、＋５Ｃｒｏ、＋ｚＴａｏ、
ｏ４）　、（Ｃ）はＮｏ、　１７の磁性膜と同一組成（
Ｐ単独添加）の磁性膜（ＣＯｏ、　ｂｑＮ　ｉｏ、、５
ｃ　ｒｏ、ｌ２Ｐ０．０４）についての測定結果をそれ
ぞれ示している。

又施撚２　（ＣｏＣｒ系磁性膜）磁性膜合金をＣｏＣｒ系とした点を除いて実施例１と同
じ工程と条件で供試磁気ディスクを得、それぞれについ
て前記と同じ記録再生特性試験を行った。各供試磁気デ
ィスクの磁性膜合金組成および試験結果を第２表に示す
。Ｎｏ、２１〜２５はＭ元素とＰを複合金有する発明例
、Ｎｏ、２６．２７はＭ元素またはＰの単独添加の例で
ある。

れたノイズ特性を有していることがわかる。

上記各実施例の試験結果から、ＣｏＣｒ系またはＣｏＮ
ｉＣｒ系合金にＭ元素とＰとが複合添加された磁性膜を
有する発明例の磁気ディスクは、変調ノイズ、Ｓ／Ｎ比
、ピークシフト等の改良さ０特開平３１２８１４（４）〔発明の効果〕本発明の金属薄膜型磁気記録媒体は、従来材より保磁力
が高く、ノイズ特性にすくれ、記録再生ノイズが低いこ
とにより従来品を凌く高密度記録が可能であり、これに
より磁気記録媒体のコンパクト化と高品質・高性能化等
の効果を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、磁性膜の保磁力（Ｈｃ）を、その下地層の膜
厚との関係で示したグラフである。

Claims

【特許請求の範囲】１、非磁性基体上に金属系磁性膜が形成された磁気記録
媒体において、該金属系磁性膜が、Ｃｏ＿１＿−＿Ｖ＿
−＿Ｘ＿−＿Ｙ＿−＿ＺＮｉ＿ＶＣｒ＿ＸＭ＿ＹＰ＿Ｚ
〔但し、Ｍは、Ｔａ、Ｎｂ、Ｖから選ばれる１種ないし
２種以上の元素を表す。ｖ、ｘ、ｙ、ｚは原子組成比で
あり、ｖは０．０５〜０．２５、ｘは０．０７〜０．１
６、ｙは０．０１〜０．０４、ｚは０．０１〜０．０５
である〕で示される組成を有することを特徴とするノイ
ズ特性にすぐれた金属薄膜型磁気記録媒体。２、非磁性基体上に金属系磁性膜が形成された磁気記録
媒体において、該金属系磁性膜が、Ｃｏ＿１＿−＿Ｘ＿
−＿Ｙ＿−＿ＺＣｒ＿ＸＭ＿ＹＰ＿Ｚ〔但し、Ｍは、Ｔ
ａ、Ｎｂ、Ｖから選ばれる１種ないし２種以上の元素を
表す。ｘ、ｙ、ｚは原子組成比であり、ｘは０．０７〜
０．１６、ｙは０．０１〜０．０４、ｚは０．０１〜０
．０５である〕で示される組成を有することを特徴とするノイズ特性に
すぐれた金属薄膜型磁気記録媒体。