JPH0831638A - 金属薄膜型磁気記録媒体 - Google Patents

金属薄膜型磁気記録媒体

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Publication number
JPH0831638A
JPH0831638A JP16412294A JP16412294A JPH0831638A JP H0831638 A JPH0831638 A JP H0831638A JP 16412294 A JP16412294 A JP 16412294A JP 16412294 A JP16412294 A JP 16412294A JP H0831638 A JPH0831638 A JP H0831638A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
recording medium
layer
alloy
magnetic recording
Prior art date
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Pending
Application number
JP16412294A
Other languages
English (en)
Inventor
Kiyouha You
興波 楊
Ken Akita
憲 秋田
Makoto Maeda
誠 前田
Yoshinobu Okumura
善信 奥村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kubota Corp
Original Assignee
Kubota Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Kubota Corp filed Critical Kubota Corp
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  • Magnetic Record Carriers (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 高保磁力を有すると共に、低ノイズの金属薄
膜型磁気記録媒体を提供する。 【構成】 非磁性の媒体基板1の上に下地層2、磁性層
3および保護層4が同順序で積層成膜された磁気記録媒
体において、前記磁性層2はat%でCr:6〜20
%、Ta:9%以下、Cu:0.5〜7%を本質的成分
として含有し、残部が実質的にCoからなるCo合金に
より形成されている。前記Co合金には、Pt:20a
t%以下及び/又はB:8at%以下を含有することが
できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク装置等の記
憶装置に使用される磁気記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】磁気記録媒体の高密度記録化に伴って、
一軸結晶磁気異方性を有するCo合金を非磁性の媒体基
板上にCr下地層を介して成膜した金属薄膜型磁気記録
媒体が用いられている。高密度記録を行うには、高い保
磁力を具備させる必要があり、このため磁性層を形成す
る磁性材料としてCoCrTa合金やCoCrTaPt
合金等の高保磁力を有するCo合金が使用され、また磁
性層は薄膜ほど保磁力が向上するので、磁性層の薄膜化
も図られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】近年、高密度記録化が
より一層求められており、線記録密度のみならず、トラ
ック密度をも向上させる必要があり、単に高保磁力が得
られるだけでなく、記録分解能に優れた低ノイズの媒体
が要求されている。本発明はかかる問題に鑑みなされた
もので、高保磁力を有すると共に、低ノイズの金属薄膜
型磁気記録媒体を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、非磁性の媒体
基板の上に下地層、磁気記録層および保護層が同順序で
積層成膜された磁気記録媒体において、前記磁性層はa
t%でCr:6〜20%、Ta:9%以下、Cu:0.
5〜7%を本質的成分として含有し、残部が実質的にC
oからなるCo合金により形成されている。前記Co合
金には、Pt:20at%以下及び/又はB:8at%
以下を含有することができる。
【0005】
【作用】金属薄膜型磁気記録媒体における媒体ノイズ
は、磁化遷移領域の結晶粒の境界がジグザグ状であるた
め、結晶粒間の磁気的相互作用が大きいことに起因する
ものと考えられる。従って、媒体ノイズを低減するに
は、結晶粒の微細化と共に結晶粒子間の磁気的相互作用
を弱め、各結晶粒子に磁気的孤立性を持たせることが必
要である。
【0006】CuはCo、Cr、Ta及びPtに固溶し
難い。このため、CoCrTaを本質的成分とする一軸
磁気異方性を有するCo合金に、Cu原子を固溶させる
と、スパッタリング等により磁性層を成膜する際に結晶
粒子を微細化することができる。しかも、Cu原子は結
晶粒界に析出するため、各結晶粒子の磁気的孤立性を促
進することができる。
【0007】本発明の磁性層を形成するCo合金の組成
(原子%、残部Co)は、下記の理由により限定され
る。 Cr:6〜20% Crは結晶粒界に偏析し、結晶粒子の磁気的相互作用を
抑制すると共に保磁力を向上させる。6%未満ではかか
る作用が過少であり、一方20%を越えると非磁性に近
づき、保磁力が低下するようになる。尚、好ましい範囲
は、10〜18%である。 Ta:9%以下 TaはCrの偏析作用を助長し、それ自身も結晶粒界に
偏析し、保磁力及びSNmの向上に寄与する。しかし、
9%を越えると結晶がアモルファス状態に近づき、電気
的、磁気的特性が劣化する。尚、好ましい範囲は、4〜
7%である。 Cu:0.5〜7% CuはCr、Ta等に固溶し難く、結晶粒の微細化作用
を奏すると共に結晶粒界に析出して結晶粒の孤立化に寄
与する。0.5%未満ではかかる作用が過少であり、一
方7%を越えると磁気異方性が低下するようになる。
尚、好ましい範囲は、2〜5%である。
【0008】本発明におけるCo合金は上記合金成分の
ほか、残部が実質的にCoにより形成されるが、磁気
的、電気的性質を向上させる適宜の元素を含有すること
ができる。例えば、Pt:20at%以下(好ましくは5
〜16at%)及び/又はB:8at%以下(好ましくは3
〜6at%)を含有することできる。これらの元素は磁気
異方性を大きくし保磁力の向上に寄与するが、Pt:2
0at%、B:8at%を越えると、Cr及びTaの粒界へ
の偏析を抑制するようになると共に、結晶配向がランダ
ム配向の傾向を示すようになり、保磁力の低下を招来す
る。
【0009】
【実施例】図1は実施例に係る磁気記録媒体の部分断面
図を示しており、非磁性の基板1の上に下地層2、磁性
層3および非磁性の保護層4がこの順序で形成されてお
り、前記基板1としては、Al合金製基体に非晶質Ni
−Pめっき層が形成されたもの(NiP/Al基板)、
ガラス基板、セラミックス基板、硬質プラスチック基板
等の各種の基板を使用することができる。尚、基板の表
面には、通常、方向磁気異方性を向上させたり、CSS
特性を向上させるためにテキスチャーと呼ばれる微細な
凹凸が形成される。
【0010】基板1の上に形成される下地層2は、その
上に形成される磁性層3の一軸結晶磁気異方性を示すC
oCr合金(結晶構造hcp)のC軸(磁気異方性を示
す結晶軸)を面内配向させるために形成されるもので、
通常、Cr又はCr合金により500〜2000Å程度
の厚さに形成される。前記磁性層3は、既述の通り、C
oCrTaCu、CoCrTaPtCu、CoCrTa
PtBCu等のCo合金で形成される。尚、磁性層はC
o合金を単層に形成したものに限らず、Co合金層とC
r層とを交互に複層形成したもの(最上層はCo合金
層) でもよい。磁性層3の層厚(Co合金単層ならその
層厚、複層ならCo合金層の合計厚) は通常400〜8
00Å程度とされる。
【0011】前記磁性層3の上にはカーボン等からなる
非磁性の保護層4が150〜400Å程度形成されてお
り、更にその上にフッ素化ポリエーテル等の潤滑剤を1
0〜50Å程度塗布してもよい。尚、前記保護層や潤滑
剤塗布層は必要に応じて形成すればよい。前記下地層
2、磁性層3、保護層4を形成する手段としては、スパ
ッタリングが一般的に適用されるが、他の物理気相蒸着
法を利用することもできる。
【0012】次に具体的実施例を掲げる。テキスチャー
を施したNiP/Al基板を用いて、その上にCr下地
層を700Å、表1に記載した各種Co合金からなる磁
性層を400Å、カーボン保護層を180Å積層成膜し
た。更に、その上にフッ素化高分子化合物系の液体潤滑
剤を20Å塗布し、磁気記録媒体を製作した。尚、試料
No. 1及び4は従来例、No. 2、3、5及び6は実施例
である。
【0013】実施例及び従来例の磁気記録媒体を用い
て、MR(磁気抵抗型)ヘッドによる電気的・磁気的特
性(R/W特性)を調べた。その結果を同表に示す。
【0014】
【表1】
【0015】同表より、同成分系(No. 1〜4又はNo.
4〜6)においては、磁気的特性については実施例と従
来例とは略同程度で良好な特性を有していたが、R/W
特性については実施例は従来例に比して、特にSNm
(出力対ノイズ比)の向上、Nm(媒体ノイズ)の低下
が著しい。尚、テスト項目の数値の評価については、T
AA(再生出力)、RES(分解能)、SNmは大きい
方が良く、一方PW50(孤立再生信号の半値幅)、N
mは小さい方が良い。
【0016】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明の磁気記録媒
体は、磁性層を形成するCoCrTa等のCo合金にC
uを所定量含有させたので、高保磁力を有するだけでな
く、結晶粒の微細化及び磁気的孤立化を促進することが
でき、媒体ノズルの低減、引いては高記録密度化を促進
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の磁気記録媒体の要部断面図である。
【符号の説明】
1 基板 2 下地層 3 磁性層 4 保護層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 奥村 善信 大阪府大阪市浪速区敷津東一丁目2番47号 株式会社クボタ内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 非磁性の媒体基板の上に下地層、磁性層
    および保護層が同順序で積層成膜された磁気記録媒体に
    おいて、 前記磁性層はat%でCr:6〜20%、Ta:9%以
    下、Cu:0.5〜7%を本質的成分として含有し、残
    部が実質的にCoからなるCo合金により形成されてい
    る金属薄膜型磁気記録媒体。
  2. 【請求項2】 Ptを20at%以下含有する請求項1
    に記載した金属薄膜型磁気記録媒体。
  3. 【請求項3】 Bを8at%以下含有する請求項1又は
    2に記載した金属薄膜型磁気記録媒体。
JP16412294A 1994-07-15 1994-07-15 金属薄膜型磁気記録媒体 Pending JPH0831638A (ja)

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JP16412294A JPH0831638A (ja) 1994-07-15 1994-07-15 金属薄膜型磁気記録媒体

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JP (1) JPH0831638A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003017258A1 (fr) * 2001-08-17 2003-02-27 Showa Denko K.K. Support d'enregistrement magnetique, procede permettant de le produire et dispositif magnetique d'enregistrement/de reproduction
US6682834B2 (en) 2000-09-25 2004-01-27 Fujitsu Limited Magnetic storage medium having a high recording density
US6723458B2 (en) 2001-08-17 2004-04-20 Showa Denko K.K. Magnetic recording medium, method of manufacture therefor, and magnetic read/write apparatus
US6803117B2 (en) * 2001-09-26 2004-10-12 Fujitsu Limited Magnetic recording medium with an exchange layer structure including a CoCrPtB ferromagnetic layer
US7282277B2 (en) * 2004-04-20 2007-10-16 Seagate Technology Llc Magnetic recording media with Cu-containing magnetic layers

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US6723458B2 (en) 2001-08-17 2004-04-20 Showa Denko K.K. Magnetic recording medium, method of manufacture therefor, and magnetic read/write apparatus
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