JPH0831638A - 金属薄膜型磁気記録媒体 - Google Patents
金属薄膜型磁気記録媒体Info
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- JPH0831638A JPH0831638A JP16412294A JP16412294A JPH0831638A JP H0831638 A JPH0831638 A JP H0831638A JP 16412294 A JP16412294 A JP 16412294A JP 16412294 A JP16412294 A JP 16412294A JP H0831638 A JPH0831638 A JP H0831638A
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- Japan
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- magnetic
- recording medium
- layer
- alloy
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高保磁力を有すると共に、低ノイズの金属薄
膜型磁気記録媒体を提供する。 【構成】 非磁性の媒体基板１の上に下地層２、磁性層
３および保護層４が同順序で積層成膜された磁気記録媒
体において、前記磁性層２はａｔ％でＣｒ：６〜２０
％、Ｔａ：９％以下、Ｃｕ：０．５〜７％を本質的成分
として含有し、残部が実質的にＣｏからなるＣｏ合金に
より形成されている。前記Ｃｏ合金には、Ｐｔ：２０ａ
ｔ％以下及び／又はＢ：８ａｔ％以下を含有することが
できる。
膜型磁気記録媒体を提供する。 【構成】 非磁性の媒体基板１の上に下地層２、磁性層
３および保護層４が同順序で積層成膜された磁気記録媒
体において、前記磁性層２はａｔ％でＣｒ：６〜２０
％、Ｔａ：９％以下、Ｃｕ：０．５〜７％を本質的成分
として含有し、残部が実質的にＣｏからなるＣｏ合金に
より形成されている。前記Ｃｏ合金には、Ｐｔ：２０ａ
ｔ％以下及び／又はＢ：８ａｔ％以下を含有することが
できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク装置等の記
憶装置に使用される磁気記録媒体に関する。
憶装置に使用される磁気記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気記録媒体の高密度記録化に伴って、
一軸結晶磁気異方性を有するＣｏ合金を非磁性の媒体基
板上にＣｒ下地層を介して成膜した金属薄膜型磁気記録
媒体が用いられている。高密度記録を行うには、高い保
磁力を具備させる必要があり、このため磁性層を形成す
る磁性材料としてＣｏＣｒＴａ合金やＣｏＣｒＴａＰｔ
合金等の高保磁力を有するＣｏ合金が使用され、また磁
性層は薄膜ほど保磁力が向上するので、磁性層の薄膜化
も図られている。
一軸結晶磁気異方性を有するＣｏ合金を非磁性の媒体基
板上にＣｒ下地層を介して成膜した金属薄膜型磁気記録
媒体が用いられている。高密度記録を行うには、高い保
磁力を具備させる必要があり、このため磁性層を形成す
る磁性材料としてＣｏＣｒＴａ合金やＣｏＣｒＴａＰｔ
合金等の高保磁力を有するＣｏ合金が使用され、また磁
性層は薄膜ほど保磁力が向上するので、磁性層の薄膜化
も図られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】近年、高密度記録化が
より一層求められており、線記録密度のみならず、トラ
ック密度をも向上させる必要があり、単に高保磁力が得
られるだけでなく、記録分解能に優れた低ノイズの媒体
が要求されている。本発明はかかる問題に鑑みなされた
もので、高保磁力を有すると共に、低ノイズの金属薄膜
型磁気記録媒体を提供することを目的とする。
より一層求められており、線記録密度のみならず、トラ
ック密度をも向上させる必要があり、単に高保磁力が得
られるだけでなく、記録分解能に優れた低ノイズの媒体
が要求されている。本発明はかかる問題に鑑みなされた
もので、高保磁力を有すると共に、低ノイズの金属薄膜
型磁気記録媒体を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、非磁性の媒体
基板の上に下地層、磁気記録層および保護層が同順序で
積層成膜された磁気記録媒体において、前記磁性層はａ
ｔ％でＣｒ：６〜２０％、Ｔａ：９％以下、Ｃｕ：０．
５〜７％を本質的成分として含有し、残部が実質的にＣ
ｏからなるＣｏ合金により形成されている。前記Ｃｏ合
金には、Ｐｔ：２０ａｔ％以下及び／又はＢ：８ａｔ％
以下を含有することができる。
基板の上に下地層、磁気記録層および保護層が同順序で
積層成膜された磁気記録媒体において、前記磁性層はａ
ｔ％でＣｒ：６〜２０％、Ｔａ：９％以下、Ｃｕ：０．
５〜７％を本質的成分として含有し、残部が実質的にＣ
ｏからなるＣｏ合金により形成されている。前記Ｃｏ合
金には、Ｐｔ：２０ａｔ％以下及び／又はＢ：８ａｔ％
以下を含有することができる。
【０００５】
【作用】金属薄膜型磁気記録媒体における媒体ノイズ
は、磁化遷移領域の結晶粒の境界がジグザグ状であるた
め、結晶粒間の磁気的相互作用が大きいことに起因する
ものと考えられる。従って、媒体ノイズを低減するに
は、結晶粒の微細化と共に結晶粒子間の磁気的相互作用
を弱め、各結晶粒子に磁気的孤立性を持たせることが必
要である。
は、磁化遷移領域の結晶粒の境界がジグザグ状であるた
め、結晶粒間の磁気的相互作用が大きいことに起因する
ものと考えられる。従って、媒体ノイズを低減するに
は、結晶粒の微細化と共に結晶粒子間の磁気的相互作用
を弱め、各結晶粒子に磁気的孤立性を持たせることが必
要である。
【０００６】ＣｕはＣｏ、Ｃｒ、Ｔａ及びＰｔに固溶し
難い。このため、ＣｏＣｒＴａを本質的成分とする一軸
磁気異方性を有するＣｏ合金に、Ｃｕ原子を固溶させる
と、スパッタリング等により磁性層を成膜する際に結晶
粒子を微細化することができる。しかも、Ｃｕ原子は結
晶粒界に析出するため、各結晶粒子の磁気的孤立性を促
進することができる。
難い。このため、ＣｏＣｒＴａを本質的成分とする一軸
磁気異方性を有するＣｏ合金に、Ｃｕ原子を固溶させる
と、スパッタリング等により磁性層を成膜する際に結晶
粒子を微細化することができる。しかも、Ｃｕ原子は結
晶粒界に析出するため、各結晶粒子の磁気的孤立性を促
進することができる。
【０００７】本発明の磁性層を形成するＣｏ合金の組成
（原子％、残部Ｃｏ）は、下記の理由により限定され
る。 Ｃｒ：６〜２０％ Ｃｒは結晶粒界に偏析し、結晶粒子の磁気的相互作用を
抑制すると共に保磁力を向上させる。６％未満ではかか
る作用が過少であり、一方２０％を越えると非磁性に近
づき、保磁力が低下するようになる。尚、好ましい範囲
は、１０〜１８％である。 Ｔａ：９％以下 ＴａはＣｒの偏析作用を助長し、それ自身も結晶粒界に
偏析し、保磁力及びＳＮｍの向上に寄与する。しかし、
９％を越えると結晶がアモルファス状態に近づき、電気
的、磁気的特性が劣化する。尚、好ましい範囲は、４〜
７％である。 Ｃｕ：０．５〜７％ ＣｕはＣｒ、Ｔａ等に固溶し難く、結晶粒の微細化作用
を奏すると共に結晶粒界に析出して結晶粒の孤立化に寄
与する。０．５％未満ではかかる作用が過少であり、一
方７％を越えると磁気異方性が低下するようになる。
尚、好ましい範囲は、２〜５％である。
（原子％、残部Ｃｏ）は、下記の理由により限定され
る。 Ｃｒ：６〜２０％ Ｃｒは結晶粒界に偏析し、結晶粒子の磁気的相互作用を
抑制すると共に保磁力を向上させる。６％未満ではかか
る作用が過少であり、一方２０％を越えると非磁性に近
づき、保磁力が低下するようになる。尚、好ましい範囲
は、１０〜１８％である。 Ｔａ：９％以下 ＴａはＣｒの偏析作用を助長し、それ自身も結晶粒界に
偏析し、保磁力及びＳＮｍの向上に寄与する。しかし、
９％を越えると結晶がアモルファス状態に近づき、電気
的、磁気的特性が劣化する。尚、好ましい範囲は、４〜
７％である。 Ｃｕ：０．５〜７％ ＣｕはＣｒ、Ｔａ等に固溶し難く、結晶粒の微細化作用
を奏すると共に結晶粒界に析出して結晶粒の孤立化に寄
与する。０．５％未満ではかかる作用が過少であり、一
方７％を越えると磁気異方性が低下するようになる。
尚、好ましい範囲は、２〜５％である。
【０００８】本発明におけるＣｏ合金は上記合金成分の
ほか、残部が実質的にＣｏにより形成されるが、磁気
的、電気的性質を向上させる適宜の元素を含有すること
ができる。例えば、Ｐｔ：２０at％以下（好ましくは５
〜１６at％）及び／又はＢ：８at％以下（好ましくは３
〜６at％）を含有することできる。これらの元素は磁気
異方性を大きくし保磁力の向上に寄与するが、Ｐｔ：２
０at％、Ｂ：８at％を越えると、Ｃｒ及びＴａの粒界へ
の偏析を抑制するようになると共に、結晶配向がランダ
ム配向の傾向を示すようになり、保磁力の低下を招来す
る。
ほか、残部が実質的にＣｏにより形成されるが、磁気
的、電気的性質を向上させる適宜の元素を含有すること
ができる。例えば、Ｐｔ：２０at％以下（好ましくは５
〜１６at％）及び／又はＢ：８at％以下（好ましくは３
〜６at％）を含有することできる。これらの元素は磁気
異方性を大きくし保磁力の向上に寄与するが、Ｐｔ：２
０at％、Ｂ：８at％を越えると、Ｃｒ及びＴａの粒界へ
の偏析を抑制するようになると共に、結晶配向がランダ
ム配向の傾向を示すようになり、保磁力の低下を招来す
る。
【０００９】
【実施例】図１は実施例に係る磁気記録媒体の部分断面
図を示しており、非磁性の基板１の上に下地層２、磁性
層３および非磁性の保護層４がこの順序で形成されてお
り、前記基板１としては、Ａｌ合金製基体に非晶質Ｎｉ
−Ｐめっき層が形成されたもの（ＮｉＰ／Ａｌ基板）、
ガラス基板、セラミックス基板、硬質プラスチック基板
等の各種の基板を使用することができる。尚、基板の表
面には、通常、方向磁気異方性を向上させたり、ＣＳＳ
特性を向上させるためにテキスチャーと呼ばれる微細な
凹凸が形成される。
図を示しており、非磁性の基板１の上に下地層２、磁性
層３および非磁性の保護層４がこの順序で形成されてお
り、前記基板１としては、Ａｌ合金製基体に非晶質Ｎｉ
−Ｐめっき層が形成されたもの（ＮｉＰ／Ａｌ基板）、
ガラス基板、セラミックス基板、硬質プラスチック基板
等の各種の基板を使用することができる。尚、基板の表
面には、通常、方向磁気異方性を向上させたり、ＣＳＳ
特性を向上させるためにテキスチャーと呼ばれる微細な
凹凸が形成される。
【００１０】基板１の上に形成される下地層２は、その
上に形成される磁性層３の一軸結晶磁気異方性を示すＣ
ｏＣｒ合金（結晶構造ｈｃｐ）のＣ軸（磁気異方性を示
す結晶軸）を面内配向させるために形成されるもので、
通常、Ｃｒ又はＣｒ合金により５００〜２０００Å程度
の厚さに形成される。前記磁性層３は、既述の通り、Ｃ
ｏＣｒＴａＣｕ、ＣｏＣｒＴａＰｔＣｕ、ＣｏＣｒＴａ
ＰｔＢＣｕ等のＣｏ合金で形成される。尚、磁性層はＣ
ｏ合金を単層に形成したものに限らず、Ｃｏ合金層とＣ
ｒ層とを交互に複層形成したもの（最上層はＣｏ合金
層) でもよい。磁性層３の層厚（Ｃｏ合金単層ならその
層厚、複層ならＣｏ合金層の合計厚) は通常４００〜８
００Å程度とされる。
上に形成される磁性層３の一軸結晶磁気異方性を示すＣ
ｏＣｒ合金（結晶構造ｈｃｐ）のＣ軸（磁気異方性を示
す結晶軸）を面内配向させるために形成されるもので、
通常、Ｃｒ又はＣｒ合金により５００〜２０００Å程度
の厚さに形成される。前記磁性層３は、既述の通り、Ｃ
ｏＣｒＴａＣｕ、ＣｏＣｒＴａＰｔＣｕ、ＣｏＣｒＴａ
ＰｔＢＣｕ等のＣｏ合金で形成される。尚、磁性層はＣ
ｏ合金を単層に形成したものに限らず、Ｃｏ合金層とＣ
ｒ層とを交互に複層形成したもの（最上層はＣｏ合金
層) でもよい。磁性層３の層厚（Ｃｏ合金単層ならその
層厚、複層ならＣｏ合金層の合計厚) は通常４００〜８
００Å程度とされる。
【００１１】前記磁性層３の上にはカーボン等からなる
非磁性の保護層４が１５０〜４００Å程度形成されてお
り、更にその上にフッ素化ポリエーテル等の潤滑剤を１
０〜５０Å程度塗布してもよい。尚、前記保護層や潤滑
剤塗布層は必要に応じて形成すればよい。前記下地層
２、磁性層３、保護層４を形成する手段としては、スパ
ッタリングが一般的に適用されるが、他の物理気相蒸着
法を利用することもできる。
非磁性の保護層４が１５０〜４００Å程度形成されてお
り、更にその上にフッ素化ポリエーテル等の潤滑剤を１
０〜５０Å程度塗布してもよい。尚、前記保護層や潤滑
剤塗布層は必要に応じて形成すればよい。前記下地層
２、磁性層３、保護層４を形成する手段としては、スパ
ッタリングが一般的に適用されるが、他の物理気相蒸着
法を利用することもできる。
【００１２】次に具体的実施例を掲げる。テキスチャー
を施したＮｉＰ／Ａｌ基板を用いて、その上にＣｒ下地
層を７００Å、表１に記載した各種Ｃｏ合金からなる磁
性層を４００Å、カーボン保護層を１８０Å積層成膜し
た。更に、その上にフッ素化高分子化合物系の液体潤滑
剤を２０Å塗布し、磁気記録媒体を製作した。尚、試料
No. １及び４は従来例、No. ２、３、５及び６は実施例
である。
を施したＮｉＰ／Ａｌ基板を用いて、その上にＣｒ下地
層を７００Å、表１に記載した各種Ｃｏ合金からなる磁
性層を４００Å、カーボン保護層を１８０Å積層成膜し
た。更に、その上にフッ素化高分子化合物系の液体潤滑
剤を２０Å塗布し、磁気記録媒体を製作した。尚、試料
No. １及び４は従来例、No. ２、３、５及び６は実施例
である。
【００１３】実施例及び従来例の磁気記録媒体を用い
て、ＭＲ（磁気抵抗型）ヘッドによる電気的・磁気的特
性（Ｒ／Ｗ特性）を調べた。その結果を同表に示す。
て、ＭＲ（磁気抵抗型）ヘッドによる電気的・磁気的特
性（Ｒ／Ｗ特性）を調べた。その結果を同表に示す。
【００１４】
【表１】
【００１５】同表より、同成分系（No. １〜４又はNo.
４〜６）においては、磁気的特性については実施例と従
来例とは略同程度で良好な特性を有していたが、Ｒ／Ｗ
特性については実施例は従来例に比して、特にＳＮｍ
（出力対ノイズ比）の向上、Ｎｍ（媒体ノイズ）の低下
が著しい。尚、テスト項目の数値の評価については、Ｔ
ＡＡ（再生出力）、ＲＥＳ（分解能）、ＳＮｍは大きい
方が良く、一方ＰＷ５０（孤立再生信号の半値幅）、Ｎ
ｍは小さい方が良い。
４〜６）においては、磁気的特性については実施例と従
来例とは略同程度で良好な特性を有していたが、Ｒ／Ｗ
特性については実施例は従来例に比して、特にＳＮｍ
（出力対ノイズ比）の向上、Ｎｍ（媒体ノイズ）の低下
が著しい。尚、テスト項目の数値の評価については、Ｔ
ＡＡ（再生出力）、ＲＥＳ（分解能）、ＳＮｍは大きい
方が良く、一方ＰＷ５０（孤立再生信号の半値幅）、Ｎ
ｍは小さい方が良い。
【００１６】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明の磁気記録媒
体は、磁性層を形成するＣｏＣｒＴａ等のＣｏ合金にＣ
ｕを所定量含有させたので、高保磁力を有するだけでな
く、結晶粒の微細化及び磁気的孤立化を促進することが
でき、媒体ノズルの低減、引いては高記録密度化を促進
することができる。
体は、磁性層を形成するＣｏＣｒＴａ等のＣｏ合金にＣ
ｕを所定量含有させたので、高保磁力を有するだけでな
く、結晶粒の微細化及び磁気的孤立化を促進することが
でき、媒体ノズルの低減、引いては高記録密度化を促進
することができる。
【図１】本発明の磁気記録媒体の要部断面図である。
１ 基板 ２ 下地層 ３ 磁性層 ４ 保護層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 奥村 善信 大阪府大阪市浪速区敷津東一丁目２番47号 株式会社クボタ内
Claims (3)
- 【請求項１】 非磁性の媒体基板の上に下地層、磁性層
および保護層が同順序で積層成膜された磁気記録媒体に
おいて、 前記磁性層はａｔ％でＣｒ：６〜２０％、Ｔａ：９％以
下、Ｃｕ：０．５〜７％を本質的成分として含有し、残
部が実質的にＣｏからなるＣｏ合金により形成されてい
る金属薄膜型磁気記録媒体。 - 【請求項２】 Ｐｔを２０ａｔ％以下含有する請求項１
に記載した金属薄膜型磁気記録媒体。 - 【請求項３】 Ｂを８ａｔ％以下含有する請求項１又は
２に記載した金属薄膜型磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16412294A JPH0831638A (ja) | 1994-07-15 | 1994-07-15 | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16412294A JPH0831638A (ja) | 1994-07-15 | 1994-07-15 | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0831638A true JPH0831638A (ja) | 1996-02-02 |
Family
ID=15787170
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16412294A Pending JPH0831638A (ja) | 1994-07-15 | 1994-07-15 | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0831638A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003017258A1 (fr) * | 2001-08-17 | 2003-02-27 | Showa Denko K.K. | Support d'enregistrement magnetique, procede permettant de le produire et dispositif magnetique d'enregistrement/de reproduction |
| US6682834B2 (en) | 2000-09-25 | 2004-01-27 | Fujitsu Limited | Magnetic storage medium having a high recording density |
| US6723458B2 (en) | 2001-08-17 | 2004-04-20 | Showa Denko K.K. | Magnetic recording medium, method of manufacture therefor, and magnetic read/write apparatus |
| US6803117B2 (en) * | 2001-09-26 | 2004-10-12 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium with an exchange layer structure including a CoCrPtB ferromagnetic layer |
| US7282277B2 (en) * | 2004-04-20 | 2007-10-16 | Seagate Technology Llc | Magnetic recording media with Cu-containing magnetic layers |
-
1994
- 1994-07-15 JP JP16412294A patent/JPH0831638A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6682834B2 (en) | 2000-09-25 | 2004-01-27 | Fujitsu Limited | Magnetic storage medium having a high recording density |
| WO2003017258A1 (fr) * | 2001-08-17 | 2003-02-27 | Showa Denko K.K. | Support d'enregistrement magnetique, procede permettant de le produire et dispositif magnetique d'enregistrement/de reproduction |
| US6723458B2 (en) | 2001-08-17 | 2004-04-20 | Showa Denko K.K. | Magnetic recording medium, method of manufacture therefor, and magnetic read/write apparatus |
| US6803117B2 (en) * | 2001-09-26 | 2004-10-12 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium with an exchange layer structure including a CoCrPtB ferromagnetic layer |
| US7282277B2 (en) * | 2004-04-20 | 2007-10-16 | Seagate Technology Llc | Magnetic recording media with Cu-containing magnetic layers |
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