JP2630138B2 - 半導体集積回路 - Google Patents

半導体集積回路

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JP2630138B2
JP2630138B2 JP3284637A JP28463791A JP2630138B2 JP 2630138 B2 JP2630138 B2 JP 2630138B2 JP 3284637 A JP3284637 A JP 3284637A JP 28463791 A JP28463791 A JP 28463791A JP 2630138 B2 JP2630138 B2 JP 2630138B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体集積回路に搭載
するモニターに関する。近年の半導体集積回路には、チ
ップに搭載されている各素子の単体特性を早期に測定
し、特性のバラツキ等をチェックしておくことが要求さ
れている。その為、素子特性を測定する為のモニターを
必ず搭載させる必要がある。
【０００２】
【従来の技術】従来の半導体集積回路においては、チッ
プ内の適当な空き領域を見つけて、モニターを搭載して
いた。
【０００３】ところが、近年の半導体集積回路には、高
密度化が要求される為、モニターを搭載する様な空き領
域を確保する事が非常に困難となっていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従って、モニターを搭
載する為の領域を確保する為に、意識的に空き領域を作
るという手間が生じ、高密度化の妨げとなるいった問題
を生じていた。
【０００５】本発明は、以上の点を鑑み、領域確保をあ
まり意識することなく、モニターを配置することを目的
とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】図１は、本発明の原理説
明図である。図中１は電源、２はグランド、３は抵抗モ
ニター、４はスペーサセル枠、５はパッドである。
【０００７】このスペーサセルでは、グランド２とパッ
ド５の間に抵抗モニター３を配置し、グランド２とパッ
ド５の間の抵抗値を測定するものである。スペーサセル
の説明：入出力バッファや電源・グランド用のＩ／Ｏセ
ルと同じ大きさを持つが、信号用でも電源用でもないセ
ル。信号と信号の間等の隙間を埋める為に使用される。
他のＩ／Ｏと同じ大きさを持つことにより、配置が簡単
に出来、パッド位置の標準化等に役立つ。
【０００８】
【作用】本発明では、図１の様にスペーサセル内にモニ
ターが入っている為、通常のスペーサセルと同様にＩ／
Ｏ領域に配置するだけで良い（図３参照）。
【０００９】モニター測定時には、本スペーサセルのパ
ッド５とグランドセル９のパッド５をプロービングする
だけで抵抗値等が測定可能となる。
【００１０】
【実施例】図２は、本発明の１実施例を示す。スペーサ
セル内に抵抗モニタ３を配置し、一端を本スペーサセル
のパッド５に別の一端をグランド２又は電源１用の配線
に接続する。そして、図３に示す様にスペーサセルを配
置し、本スペーサセルのパッド５とグランドセル９又は
電源セル１０のパッド５をプローブすることにより、抵
抗特性を測定する。
【００１１】上記の実施例では、グランド２か電源１の
どちらか一方を使用したが、拡散抵抗等の場合には、バ
ックゲート依存を測定する為にグランド２と電源１の両
方を使用しても良い。この場合の実施例を図４に示す。
【００１２】又、Ｐ型１６（Ｎ型１７）ＭＯＳトランジ
スタ（以下、ＭＯＳ Ｔｒと称する）の場合には、ゲー
ト部を本スペーサセルのパッド５に、ソース及びバック
ゲート部を電源１（グランド２）配線に、ドレイン部を
グランド２（電源１）配線に接続し、Ｔｒ特性を測定し
ても良い。この場合の実施例を図５に示す。この実施例
では、ＭＯＳ Ｔｒで例を示したがバイポーラＴｒ等で
も良い。
【００１３】同じモニター入りスペーサセル８を図６に
示す様に、チップの各部に配置し、チップ内の特性のバ
ラツキを測定することも可能である。
【００１４】
【発明の効果】本発明によれば、容易にモニターを配置
でき、電源１０又はグランド９用のパッド５を利用する
為に、余分な面積を必要としない為、高密度化や設計手
法の標準化に寄与するところが大きい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の原理を説明する図である。
【図２】本発明の実施例１を説明する図である。
【図３】本発明の実施例２を説明する図である。
【図４】本発明の実施例３を説明する図である。
【図５】本発明の実施例４を説明する図である。
【図６】本発明の実施例５を説明する図である。
【符号の説明】
１ 電源 ２ グランド ３ 抵抗モニタ ４ スペーサセル ５ パッド ６ ＬＳＩ ７ Ｉ／Ｏ領域 ８ モニター入りスペーサセル ９ グランドセル １０ 電源セル １１ Ｐ型拡散（抵抗） １２ Ｎ型拡散（抵抗） １３ 基板コンタクト（Ｎ型拡散） １４ 基板コンタクト（Ｐ型拡散） １５ Ｔｒモニタ １６ Ｐ型（Ｔｒ） １７ Ｎ型（Ｔｒ）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 27/04 Ｈ０１Ｌ 21/82 Ｐ (56)参考文献 特開 平２−307266（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−217340（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−67931（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−267337（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−80250（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−126263（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−115540（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−104363（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−316455（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−5031（ＪＰ，Ａ)

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 複数のＩ／Ｏセルとスペーサセル（８）
    を連接配置したＩ／Ｏ領域（７）と、該Ｉ／Ｏ領域
    （７）上を通る電源配線（１）およびグランド配線
    （２）を有する半導体集積回路であって、 前記スペーサセル（８）は、探針接触可能なパッド
    （５）と、 ２端子素子（３）または３端子素子（１５）からなるモ
    ニター用素子を有し、 該モニター用素子（３，１５）の第１の端子が前記パッ
    ド（５）に接続され、 該モニター用素子（３，１５）の他の端子が、スペーサ
    セル（８）上を通る前記電源配線（１）またはグランド
    配線（２）と接続されたことを特徴とする半導体集積回
    路。
  2. 【請求項２】 請求項１記載の半導体集積回路におい
    て、 前記スペーサセル（８）は、前記モニター用素子（３，
    １５）が形成された基板と電気的なコンタクトをとる基
    板コンタクト（１３，１４）を有し、 該基板コンタクト（１３，１４）が、前記電源配線
    （１）またはグランド配線（２）と接続されたことを特
    徴とする半導体集積回路。
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