JP2021103787A5

JP2021103787A5 - 基板を搬送する方法

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Publication number: JP2021103787A5
Application number: JP2021050232A
Authority: JP
Filing date: 2021-03-24
Publication date: 2023-07-06
Anticipated expiration: 2040-09-01

Description

本発明は、基板を搬送する方法に関する。

本発明の１つの側面は、減圧処理装置と接続されるトランスファー室に対してローダー室からロードロック装置を介して基板を搬送する方法に係り、前記ロードロック装置は、前記トランスファー室と接続される第１搬送口、および、前記ローダー室と接続される第２搬送口とを有するロードロック室と、前記ロードロック室の中で基板を保持する基板ホルダと、前記基板ホルダを昇降させるように前記ロードロック室の下方に配置され、連結部材を介して前記基板ホルダに連結された駆動機構と、前記ロードロック室の下部から側方に延長された延長室と、前記延長室の下方に配置され前記延長室を介して前記ロードロック室のガスを排出するポンプと、前記第１搬送口を通して前記基板が前記トランスファー室に搬送される状態における前記基板ホルダと前記トランスファー室との間の経路の上方に配置されたガス導入部と、を備え、前記延長室は、前記基板ホルダの鉛直下方からずれた位置に開口を有する底面を有し、前記開口に前記ポンプが接続され、前記基板ホルダの側面と前記ロードロック室の内側面との間隙の面積が前記第２搬送口の断面積より小さく、前記方法は、前記ローダー室から前記第２搬送口を通して前記ロードロック室の内部空間に前記基板を搬送する際に、前記ガス導入部から前記ロードロック室の前記内部空間に導入されたガスの一部が前記間隙を通して前記ポンプによって排出されることを含む。

Claims

減圧処理装置と接続されるトランスファー室に対してローダー室からロードロック装置を介して基板を搬送する方法であって、
前記ロードロック装置は、
前記トランスファー室と接続される第１搬送口、および、前記ローダー室と接続される第２搬送口とを有するロードロック室と、
前記ロードロック室の中で基板を保持する基板ホルダと、
前記基板ホルダを昇降させるように前記ロードロック室の下方に配置され、連結部材を介して前記基板ホルダに連結された駆動機構と、
前記ロードロック室の下部から側方に延長された延長室と、
前記延長室の下方に配置され前記延長室を介して前記ロードロック室のガスを排出するポンプと、
前記第１搬送口を通して前記基板が前記トランスファー室に搬送される状態における前記基板ホルダと前記トランスファー室との間の経路の上方に配置されたガス導入部と、を備え、
前記延長室は、前記基板ホルダの鉛直下方からずれた位置に開口を有する底面を有し、前記開口に前記ポンプが接続され、
前記基板ホルダの側面と前記ロードロック室の内側面との間隙の面積が前記第２搬送口の断面積より小さく、
前記方法は、
前記ローダー室から前記第２搬送口を通して前記ロードロック室の内部空間に前記基板を搬送する際に、前記ガス導入部から前記ロードロック室の前記内部空間に導入されたガスの一部が前記間隙を通して前記ポンプによって排出されることを含む、
ことを特徴とする方法。
減圧処理装置と接続されるトランスファー室に対してローダー室からロードロック装置を介して基板を搬送する方法であって、
前記ロードロック装置は、
前記トランスファー室と接続される第１搬送口、および、前記ローダー室と接続される第２搬送口とを有するロードロック室と、
前記ロードロック室の中で基板を保持する基板ホルダと、
前記基板ホルダを昇降させるように前記ロードロック室の下方に配置され、連結部材を介して前記基板ホルダに連結された駆動機構と、
前記ロードロック室の下部から側方に延長された延長室と、
前記延長室の下方に配置され前記延長室を介して前記ロードロック室のガスを排出するポンプと、
前記第１搬送口を通して前記基板が前記トランスファー室に搬送される状態における前記基板ホルダと前記トランスファー室との間の経路の上方に配置されたガス導入部と、を備え、
前記延長室は、前記基板ホルダの鉛直下方からずれた位置に開口を有する底面を有し、前記開口に前記ポンプが接続され、
前記基板ホルダの側面と前記ロードロック室の内側面との間隙の面積が前記第２搬送口の断面積の１／２より小さく、
前記方法は、
前記ローダー室から前記第２搬送口を通して前記ロードロック室の内部空間に前記基板を搬送する際に、前記ガス導入部から前記ロードロック室の前記内部空間に導入されたガスの一部が前記間隙を通して前記ポンプによって排出されることを含む、
ことを特徴とする方法。
減圧処理装置と接続されるトランスファー室に対してローダー室からロードロック装置を介して基板を搬送する方法であって、
前記ロードロック装置は、
前記トランスファー室と接続される第１搬送口、および、前記ローダー室と接続される第２搬送口とを有するロードロック室と、
前記ロードロック室の中で基板を保持する基板ホルダと、
前記基板ホルダを昇降させるように前記ロードロック室の下方に配置され、連結部材を介して前記基板ホルダに連結された駆動機構と、
前記ロードロック室の下部から側方に延長された延長室と、
前記延長室の下方に配置され前記延長室を介して前記ロードロック室のガスを排出するポンプと、を備え、
前記延長室は、前記基板ホルダの鉛直下方からずれた位置に開口を有する底面を有し、前記開口に前記ポンプが接続され、
前記基板ホルダの側面と前記ロードロック室の内側面との間隙の面積は、前記開口の断面積より小さく、
前記方法は、
前記ローダー室から前記第２搬送口を通して前記ロードロック室の内部空間に前記基板を搬送する際に、前記ロードロック室の前記内部空間のガスの一部が前記間隙を通して前記ポンプによって排出されることを含む、
ことを特徴とする方法。
減圧処理装置と接続されるトランスファー室に対してローダー室からロードロック装置を介して基板を搬送する方法であって、
前記ロードロック装置は、
減圧処理装置と接続されるトランスファー室と接続される第１搬送口、および、ローダー室と接続される第２搬送口とを有するロードロック室と、
前記ロードロック室の中で基板を保持する基板ホルダと、
前記基板ホルダを昇降させるように前記ロードロック室の下方に配置され、連結部材を介して前記基板ホルダに連結された駆動機構と、
前記ロードロック室の下部から側方に延長された延長室と、
前記延長室の下方に配置され前記延長室を介して前記ロードロック室のガスを排出するポンプと、を備え、
前記延長室は、前記基板ホルダの鉛直下方からずれた位置に開口を有する底面を有し、前記開口に前記ポンプが接続され、
前記基板ホルダの側面と前記ロードロック室の内側面との間隙の面積は、前記ロードロック室と前記延長室との間の接続部分の断面積より小さく、
前記方法は、
前記ローダー室から前記第２搬送口を通して前記ロードロック室の内部空間に前記基板を搬送する際に、前記ロードロック室の前記内部空間のガスの一部が前記間隙を通して前記ポンプによって排出される工程を含む、
ことを特徴とする方法。
前記ロードロック装置は、前記第１搬送口を通して前記基板が前記トランスファー室に搬送される状態における前記基板ホルダと前記トランスファー室との間の経路の上方に配置されたガス導入部を更に備え、
前記方法は、前記ローダー室から前記第２搬送口を通して前記ロードロック室の内部空間に前記基板を搬送する際に、前記ガス導入部から前記ロードロック室の前記内部空間にガスを導入することを含む、
ことを特徴とする請求項３に記載の方法。
前記ロードロック装置は、前記第１搬送口を通して前記基板が前記トランスファー室に搬送される状態における前記基板ホルダと前記トランスファー室との間の経路の上方に配置されたガス導入部を更に備え、
前記方法は、前記ローダー室から前記第２搬送口を通して前記ロードロック室の内部空間に前記基板を搬送する際に、前記ガス導入部から前記ロードロック室の前記内部空間にガスを導入することを含む、
ことを特徴とする請求項４に記載の方法。
前記第１搬送口の高さは、前記第２搬送口の高さより低い、
ことを特徴とする請求項５または６に記載の方法。
前記ガス導入部は、ガスを分散させるガス分散部を含み、
前記ガス分散部は、前記第２搬送口に対向する位置に配置されている、
ことを特徴とする請求項１、２、５及び６のいずれか１項に記載の方法。
前記基板ホルダの高さ方向の寸法は、前記基板ホルダの側面と前記ロードロック室の内側面との間隙の寸法より大きい、
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の方法。
前記基板ホルダの高さ方向の寸法は、前記基板ホルダの側面と前記ロードロック室の内側面との間隙の最大寸法の３倍以上かつ１１５倍以下である、
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の方法。
前記延長室の高さ方向の寸法は、前記基板ホルダの高さ方向の寸法より大きい、
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の方法。
前記第１搬送口を通して前記ロードロック室と前記トランスファー室との間で基板が移動する状態において、前記基板ホルダの下端の高さが前記延長室の天井面の高さより高い、
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の方法。
前記延長室の少なくとも一部は、前記第２搬送口と前記ポンプとの間に配置される、
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の方法。
前記延長室の少なくとも一部は、前記ローダー室と前記ポンプとの間に配置される、
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の方法。
前記ガス導入部は、前記ロードロック室の内部空間にガスを分散させるガス分散部を含み、
前記ガス分散部は、前記第２搬送口に対向するように配置され、
前記延長室の少なくとも一部は、前記第２搬送口と前記ポンプとの間に配置される、
ことを特徴とする請求項１、２、５及び６のいずれか１項に記載の方法。
前記ガス導入部は、前記ロードロック室の内部空間にガスを分散させるガス分散部を含み、
前記ガス分散部は、前記第２搬送口に対向するように配置され、
前記延長室の少なくとも一部は、前記ローダー室と前記ポンプとの間に配置される、
ことを特徴とする請求項１、２、５及び６のいずれか１項に記載の方法。
前記基板ホルダが配置されうる位置は、前記基板ホルダによって保持された前記基板の側面の一部が前記ガス分散部に対向する位置を含む、
ことを特徴とする請求項１６に記載の方法。
前記ガス導入部は、前記ロードロック室の内部空間にガスを分散させるガス分散部を含み、
前記ロードロック装置が配置された床に対する正射影において、前記ガス分散部と前記延長室との間に前記基板ホルダが位置する、
ことを特徴とする請求項１、２、５及び６のいずれか１項に記載の方法。
前記ガス導入部は、前記ロードロック室の内部空間にガスを分散させるガス分散部を含み、
前記ロードロック装置が配置された床に対する正射影において、前記ガス分散部と前記開口との間に前記基板ホルダが位置する、
ことを特徴とする請求項１、２、５及び６のいずれか１項に記載の方法。