JP5193904B2 - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Description
2 処理容器
3 試料
4 試料台
5,8 蓋部材
6 シャワープレート
7 アンテナ
9 ソレノイドコイル
10 マスフローコントローラ
11 電波源
12 誘電体
13 高周波電源
14 ターボ分子ポンプ
15 可変バルブ
16 フタ
17 反射部材
18 見込み角
19 処理室
20 制御装置
21 ドライポンプ
22 ゲートバルブ
23 圧力計
24 反跳微粒子の軌跡
25 網
26 固定翼
27 羽根車
28 回転軸
29 排気ダクト
30 排気口
31 開口
Claims (5)
- 真空容器内部の処理室内に配置された試料台上に載せられた試料をこの処理室内に形成したプラズマを用いて処理するプラズマ処理装置であって、
前記処理室と連通して水平方向に接続されこの処理室内のガスが通る排気用の空間と、この空間の下部に配置され当該空間内部と連通し前記排気されるガスが排出される排気口と、この排気口の下方に連通して配置され前記空間に向けた入口を有して前記ガスを排気するためのポンプと、前記排気用の空間の内部でこの排気用空間の内部が前記処理室内部と連通する開口と前記排気口との間に配置されこれらの間を結ぶ方向に沿って延びる板部材であって、前記試料台の上面の外周端から前記開口を通し前記排気用の空間の内部を見込んだ場合の視野角外に配置された板部材とを備えたプラズマ処理装置。
- 真空容器内部の処理室内に配置された試料台上に載せられた試料をこの処理室内に形成したプラズマを用いて処理するプラズマ処理装置であって、
前記処理室と連通して水平方向に接続されこの処理室内のガスが通流して排気される排気ダクトと、このダクトの下部に配置され当該ダクト内の空間に連通し前記排気されるガスが排出される排気口と、この排気口の下方に連通して配置され前記空間に向けた入口を有して前記ガスを排気するためのポンプと、前記排気ダクトでこの排気ダクトの内部が前記処理室内部と連通する開口と前記排気口との間に配置されこの排気ダクト内のガスの流れに沿って延びる板部材であって、前記試料台の上面の外周端から前記開口を通し前記排気ダクトの内部を見込んだ場合の視野角外に配置された板部材とを備えたプラズマ処理装置。
- 請求項1に記載のプラズマ処理装置であって、
前記処理室の前記プラズマが形成される空間が円筒形状し、前記試料台が円筒形を有して前記プラズマが形成される空間と同軸に配置され、前記排気用の空間が前記試料台の下方に配置された前記接続部の開口から水平方向に延在した平面形が多角形の空間であって、前記排気口が前記空間の底面に前記開口から水平方向に距離をあけて配置されたプラズマ処理装置。
- 請求項2に記載のプラズマ処理装置であって、
前記処理室の前記プラズマが形成される空間が円筒形状し、前記試料台が円筒形を有して前記プラズマが形成される空間と同軸に配置され、前記排気ダクトが前記試料台の下方に配置された前記接続部の開口から水平方向に延在した空間であって、前記排気口が前記空間の底面に前記開口から水平方向に距離をあけて配置されたプラズマ処理装置。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載のプラズマ処理装置であって、
前記板部材の前記処理室側の先端が前記接続部より前記排気口側に位置しているプラズマ処理装置。
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