JP2020131406A - 加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被加工物を保持する保持テーブルと、加工液を噴射する噴射ノズルと、を備えた加工装置で、第1の方向に沿った第1の加工予定ライン及び第2の方向に沿った第2の加工予定ラインが設定された該被加工物を加工する加工方法であって、該被加工物の該第1の方向を加工送り方向に合わせ該噴射ノズルを該第1の加工予定ラインの一端に位置付ける第1の位置付けステップと、加工液で該第1の加工予定ラインに沿って該被加工物を加工する第1の加工ステップと、該保持テーブルを回転させて該被加工物の該第2の方向を該加工送り方向に合わせるとともに該噴射ノズルを該第2の加工予定ラインの一端に位置付ける第2の位置付けステップと、を備え、該第2の位置付けステップでは、該保持テーブルの回転中に加工液が該被加工物に噴射され続けるように該保持テーブル及び該噴射ノズルを相対的に移動させる。
【選択図】図5
Description
1a 基板
1b 樹脂層
1c,1d 方向
3a,3b 加工予定ライン
5 デバイス
5a 電極
5b デバイス領域
5c 外周余剰領域
7 粘着テープ
9 環状フレーム
11 フレームユニット
13a,13b 溝
2 加工装置
4 基台
4a,4b,4c 開口
6 カセット支持台
8 カセット
10 X軸移動機構
12 テーブルカバー
12a 加工送り方向
14 防塵防滴カバー
16 仮置き機構
16a,16b ガイドレール
18 保持テーブル
18a 保持面
20 クランプ
22 切削ユニット
24 噴射ユニット
24a 供給源
24b 切り替え弁
24c 噴射ノズル
24d 供給路
24e カバー
24f チューブ
24g 軌道
26 支持構造
28a,28b 移動ユニット
30,38a,38b ガイドレール
32a,32b,40a,40b 移動プレート
34a,34b,42a,42b ボールネジ
36,44a,44b Y軸パルスモータ
46a,46b 撮像ユニット
48 洗浄ユニット
Claims (3)
- 被加工物を保持する保持面を有する保持テーブルと、該保持テーブルで保持された被加工物に加工液を噴射する噴射ノズルと、該保持テーブル及び該噴射ノズルを加工送り方向に沿って相対的に移動させる加工送りユニットと、該保持テーブルを該保持面に垂直な方向に沿った軸の周りに回転させる回転ユニットと、を備えた加工装置で、第1の方向に沿った第1の加工予定ライン及び該第1の方向に交差する第2の方向に沿った第2の加工予定ラインが表面に設定された該被加工物を加工する加工方法であって、
該被加工物を該保持テーブルで保持する保持ステップと、
該保持ステップを実施した後、該回転ユニットで該保持テーブルを回転させて該被加工物の該第1の方向を該加工送り方向に合わせるとともに、該噴射ノズルを該第1の加工予定ラインの一端に位置付ける第1の位置付けステップと、
該第1の位置付けステップを実施した後、該噴射ノズルからの加工液の噴射を開始し、その後、該保持テーブル及び該噴射ノズルを該加工送り方向に沿って相対的に移動させることで該加工液で該第1の加工予定ラインに沿って該被加工物を加工する第1の加工ステップと、
該第1の加工ステップを実施した後、該回転ユニットで該保持テーブルを回転させて該被加工物の該第2の方向を該加工送り方向に合わせるとともに、該噴射ノズルを該第2の加工予定ラインの一端に位置付ける第2の位置付けステップと、
該第2の位置付けステップを実施した後、該保持テーブル及び該噴射ノズルを該加工送り方向に沿って相対的に移動させて該噴射ノズルから噴射される該加工液で該第2の加工予定ラインに沿って該被加工物を加工する第2の加工ステップと、を備え、
該第2の位置付けステップでは、該保持テーブルの回転中に該加工液が該被加工物に噴射され続けるように該保持テーブル及び該噴射ノズルを相対的に移動させることを特徴とする加工方法。 - 該被加工物の該表面には、複数の該第1の加工予定ライン及び複数の該第2の加工予定ラインが設定され、
該被加工物は、該第1の加工予定ラインと、該第2の加工予定ラインと、で区画される各領域にそれぞれデバイスが配設されたデバイス領域と、該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域と、を該表面に有し、
該第2の位置付けステップでは、該保持テーブルの回転中に該加工液が該被加工物の該外周余剰領域に噴射され続けることを特徴とする請求項1に記載の加工方法。 - 該被加工物の該表面には、該第1の加工予定ラインに沿った第1の溝と、該第2の加工予定ラインに沿った第2の溝と、が形成されており、
該第2の位置付けステップでは、該保持テーブルの回転中に該加工液が該被加工物の該第1の溝または該第2の溝のいずれかに噴射され続けることを特徴とする請求項1に記載の加工方法。
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