JP2020126705A - 積層型半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
例えば、下記特許文献1には、少なくとも一つのアンチヒューズを組み込むスイッチング・マトリクスを備えた半導体ダイが開示されている。この構成によれば、半導体ダイの上の信号経路を選択的にルート指定することができ、チップのピン割り当てを再構成することができるとされている。
(10)また、本発明は、(8)記載の積層型半導体装置において、前記制御チップは、いずれの制御線が不良であるかを表す情報を記憶する記憶部と、前記記憶部が記憶する前記情報に基づき、前記不良である制御線に対するアクセスが発生したか否かを判定する判定部と、前記判定部が、不良である制御線に対するアクセスが発生したと判断した場合に、前記不良である制御線に対するアクセスを、前記予備半導体チップの前記制御線に対するアクセスに切り替える制御部と、を含む積層型半導体装置である。
(12)また、本発明は、(1)〜(11)のいずれか1項に記載の積層型半導体装置において、前記半導体チップは、情報を記憶できる半導体記憶チップであり、前記制御チップは、前記半導体記憶チップと、外部の回路とを接続するためのインターポーザーチップである積層型半導体装置である。
前記検査をした複数の前記半導体チップを含む半導体ウエハ、及び、前記予備半導体チップを含む半導体ウエハを積層する第1積層ステップと、前記積層した半導体ウエハ群をダイシングし、前記半導体チップ及び前記予備半導体チップが積層された積層半導体チップを形成するダイシングステップと、前記積層半導体チップと、前記制御チップとを積層する第2積層ステップと、前記制御チップの前記記憶部に、前記不良がある半導体チップに関する情報を記憶させる記憶ステップと、を含む積層型半導体装置の製造方法である。
構成
図1は、本実施形態の積層型DRAM8の半導体チップの構成を模式的に示すチップ構成図である。
メモリチップCCは、従来のメモリチップと同様に、メモリセルが配置されている回路ブロックBK0〜BK15と、回路ブロックBK中のワード線やビット線との信号の送受信を行う周辺回路群9とを備えている半導体チップである。予備メモリチップRC0も、メモリチップCCと同様な構成を備えた半導体チップであり、正規のメモリチップCCの予備として用いるための半導体チップである。
インターポーザーチップI/Pは、メモリチップCC及び予備メモリチップRC0と、外部のCPU等の別デバイスとを接続するための半導体チップである。また、インターポーザーチップI/Pは、メモリチップCC及び予備メモリチップRC0とを制御するロジック回路を備えており、上述したインターフェースI/Fの機能をも備えている。
インターポーザーチップI/Pの機能ブロックと、メモリチップCC及び予備メモリチップRCとの信号接続の様子が図2に示されている。この図に示すように、積層型DRAM8に対する電源ラインVDD(正電源)は、まずインターポーザーチップI/Pに供給され、インターポーザーチップI/PからTSVを介して、各メモリチップCC及び予備メモリチップRC0に供給される。各メモリチップCC及び予備メモリチップRC0においては、電力はクランプMOSFET10を介してそれぞれの内部回路に供給されている。
本実施形態1に係る積層型DRAM8において特徴的なことは、メモリチップCCに関して、その予備となる予備メモリチップRC0が設けられていることである。これによって、いずれかのメモリチップCCが不良である場合でも、その不良メモリチップCCに替えて予備メモリチップを利用することができる。このように、本実施形態1によれば、積層型DRAMの不良率を低減させることが可能であり、以て、積層型DRAMの製造において歩留まり率の向上を図ることができる。特に、WOW(WaferOnWafer)積層時に、電流不良チップが存在しても、積層型チップ全体を救済することができるので、積層型DRAMの製造における歩留まりの低下を抑制することができる。
上記実施形態1においては、検知する不良の単位として、重畳して接合するメモリチップ(CC0〜CC3)を採用した。本実施形態2においては、検知する不良の単位としてチャネルを採用している。すなわち、各メモリチップCC上に複数のチャネルが配置されている場合、そのチャネル毎に不良を検知し、不良であると判断したチャネルを非稼働状態に置いた例が本実施形態2である。以下、図面に基づき、本実施形態2を詳細に説明する。
図3は、実施形態1における図1と同様の、実施形態2に係る積層型DRAM18の構成を模式的に示すチップ構成図である。実施形態1と同様に、本実施形態2に係る積層型DRAM18は、複数のメモリチップCC0、CC1、CC2、CC3が重畳して接合されている。また実施形態1と同様に、複数のメモリチップCCに重畳して一方面にインターポーザーチップI/Pが接合され、他方面側には、上記メモリチップCCの予備とするための予備メモリチップRC0が接合されている。
本実施形態2に係るメモリチップCCは、実施形態1と異なり、複数のチャネルを備えており、全体でチャネル構成タイプの積層チップ(積層型DRAM28)を構成している。図3に示すように、各メモリチップCCは、4個のチャネルCH0、CH1、CH2、CH3を備えている。また、本実施形態2に係る予備メモリチップRC0も、図3に示すように、メモリチップCCと同様に4チャネルを備えている。このようなチャネル構成タイプの積層チップの構成においては、各チャネル単位でアドレスやコマンド回路が設けられている。
本実施形態2に係るインターポーザーチップI/Pは、実施形態1と同様に、メモリチップCC及び予備メモリチップRC0と、外部のCPU等の別デバイスとを接続するための半導体チップである。また、同様に、インターフェースI/Fの機能をも備えている。本実施の形態2におけるインターポーザーチップI/Pは、上記メモリチップCC及び予備メモリチップRC0の各チャネルのクランプMOSFET20に対する制御信号(ゲート信号)を供給しており、各メモリチップCC上のチャネル毎の稼働/非稼働を制御している。
本実施形態2における積層型DRAM18の動作は、実施形態1における積層型DRAM8とほぼ同様である。インターポーザーチップI/Pの機能ブロックと、メモリチップCC及び予備メモリチップRCとの信号接続の様子も、実施形態1における図2と同様である。
また、第1のChip判定回路14は、複数のメモリチップCCの複数のチャネルで不良が検知された場合でも、それらを救済することできる場合がある。本実施形態2の例においては、予備メモリチップRC0(及びメモリチップCC)は4個のチャネルを備えているので、いずれかのメモリチップCCの4個のチャネルにおいて不良が検知された場合でも、それらを救済できる場合がある。
このような処理の結果、不良である例えばメモリチップCC0のチャネルCH0に替えて例えば予備メモリチップRC0のチャネルCH0を利用することができるので、積層型DRAM28が不良品となる恐れを軽減することができ、積層型DRAM28の製造における歩留まりを向上させることができる。このように、本実施形態2における積層型DRAM28において特徴的なことは、不良を検知する単位が、メモリチップCC内のチャネルとしたことである。また、稼働/非稼働を制御するための単位もチャネルとしたことも、同様に特徴的な事項である。
上記実施形態1においては、メモリチップCCごとに不良を検知して、不良が検知されたメモリチップCCを、予備メモリチップRC0と代替し、不良メモリチップCCの救済を実現している。この場合、電力幹線を制御し、電力の供給を切り替えることによって、不良メモリチップCCを、予備メモリチップRC0に置き換えている。
図4は、実施形態1における図1と同様の、積層型DRAM28の構成を模式的に示すチップ構成図である。実施形態1と同様に、本実施形態3に係る積層型DRAM28は、複数のメモリチップCC0、CC1、CC2、CC3が重畳して接合されている。また実施形態1と同様に、複数のメモリチップCCに重畳して一方面にインターポーザーチップI/Pが接合され、他方面側には、上記メモリチップCCの予備とするための予備メモリチップRC0が接合されている。
本実施形態3に係るメモリチップCCも予備メモリチップRC0も、実施形態1と同様の構成である。
本実施形態3に係るインターポーザーチップI/Pは、実施形態1で説明したインターポーザーチップと同様の機能を備えている。本実施形態3において、インターポーザーチップI/Pは、実施形態1におけるインターポーザーチップI/Pの構成及び機能に加えて、各メモリチップ及び予備メモリチップRC0に対するワード線のアドレスを検査し、アクセスするべきチップを切り替えて選択する機能を備えている。このような機能を備えていることによって、いずれかのワード線に不良が検知(発見)された場合は、その不良ワード線WL(を備えたメモリチップCC)へのアクセスを、予備メモリチップRC0のワード線RWLへのアクセスに切り替えることができる(図4参照)。
本実施形態3における積層型DRAM28の動作は、実施形態1における積層型DRAM8の機能・動作を包含している。本実施形態3におけるインターポーザーチップI/Pの機能ブロックと、メモリチップCC及び予備メモリチップRCとの信号接続の様子が、図5に示されている。この図5は、実施形態1における図2に対応する図である。
アドレス
第1の入力初段回路32は、制御信号であるADD(アドレス)信号等を入力する初段回路である。制御信号としては、BAやCH(チャネル)等の信号を用いてもよいし、他の種々の制御信号を用いてもよい。これらは、請求の範囲の「外部からの制御信号」の好適な例に相当する。
さらに、図5に示すように、第2の入力初段回路40は、他の種類の制御信号であるCMD(コマンド)信号等を入力する初段回路である。コマンド信号のような制御信号でもメモリチップCCへのアクセスが生じるので、上述したアドレス(ADD)の場合と同様に扱うことが好ましい。このCMD(コマンド)信号も、請求の範囲の「外部からの制御信号」の好適な一例に相当する。「外部からの制御信号」としては、さまざまな種類のコマンド信号、例えば、リード、ライト、ベリファイ等の種々の信号を利用することができる。
このような処理の結果、不良である例えばメモリチップCC0の制御線に替えて例えば予備メモリチップRC0の制御線を利用することができるので、積層型DRAM28が不良品となる恐れを軽減することができ、積層型DRAM28の製造における歩留まりを向上させることができる。本実施形態3において特徴的なことは、不良が検知された制御線に対してアクセスが行われる場合に、その制御線に対して出力される信号の送信先を変更するように構成したことである。このように、アクセスを切り替えた結果、メモリチップCCにおいて複数の不良が検知された場合でも、制御線毎に予備メモリチップRC0に置き換えることができる。
上記実施形態3においては、不良が検知された制御線に対してアクセスが行われる場合に、その制御線に対して出力される信号の送信先を変更(アクセス先を変更)、すなわち、アクセスを切り替えるように構成している。このような構成によって、アクセスを切り替えた結果、メモリチップCCにおいて複数の不良が検知された場合でも、制御線毎に予備メモリチップRC0に置き換えることができたものである。
しかし、このような制御線に対するアクセスを、予備メモリチップRC0への切り替える動作は、実施形態1、2で述べたような不良チップが発見された場合、又は、不良ブロックの発見が成された場合でも実行される。また、メモリチップCC上で、ビット線の不良であるビット不良や、ワード線の不良であるワード線不良が発見された場合にも実行される。
すなわち、インターポーザーチップI/Pは、複数のメモリチップCCの中から不良チップが発見された場合、不良チップの制御線に対するアクセスを、予備メモリチップRC0の制御線に対するアクセスに切り替えることができるか、又は、メモリチップCCの複数の中から不良ブロックが発見された場合、不良ブロックの制御線に対するアクセスを、予備メモリチップRC0の制御線に対するアクセスに切り替えることができるか、又は、メモリチップ上でビット不良又はワード線不良が発見された場合、ビット不良又はワード不良が発見されたメモリチップの制御線に対するアクセスを、予備メモリチップの制御線に対するアクセスに切り替えることができる。
このような動作を実現するためには、基本的には上記実施形態3で説明した構成を採用しつつ、下記のような動作を実行させる。
また、上述した救済判定回路34は、上記第2のFuse回路36が記憶する情報に基づき、救済すべき対象を知ることができる。そして、第1の入力手段回路を介して供給される制御信号が、救済すべき対象に対する制御線へのアクセスを生じさせるか否かを判定する。判定の結果、救済すべき対象へのアクセスを生じさせると判定した場合は、救済信号を出力する。
また、上述したデコード回路38は、この救済信号に基づき、デコードしている制御線が救済するべき対象に対する制御線であるか否かを知ることができる。デコードしている制御線が救済対象に対する制御線である場合は、デコードした信号の出力先を、メモリチップCCから、予備メモリチップRC0に切り替えることは、上記実施形態3と同様である。
また、上述した第2のChip判定回路42は、上述した救済信号に基づき、出力する信号が救済するべき対象に対する信号であるか否かを知ることができる。そして、出力するコマンド信号(又はコマンド信号を制御する信号)が救済対象に対する信号に関するものである場合は、信号の出力先を、メモリチップCCから、予備メモリチップRC0に切り替える。これによって、実施形態3と同様に、第2のChip判定回路42は、メモリチップCC上で不良が検知された対象に対する制御線に替えて、予備メモリチップRC0上の対応する対象に対する制御線に対して信号を出力することができる。対応する対象とは、例えば、メモリチップCC上で不良ブロックが発見された場合は、その不良ブロックに対応する予備メモリチップRC上の回路ブロックである。また例えば、メモリチップCC上でビット不良が発見された場合は、そのビット不良に対応する予備メモリチップRC上のビット線である。
このような処理の結果、いずれかの不良が発見されたメモリチップCC0に対するアクセスを、予備メモリチップRC0に対するアクセスに切り替えることができる。従って、積層型DRAM28が不良品となる恐れを軽減することができ、積層型DRAM28の製造における歩留まりを向上させることができる。
本実施形態3その2において特徴的なことは、いずれかの不良が検知されたメモリチップCCに対してアクセスが行われる場合に、そのアクセス先を予備メモリチップRC0向けに変更するように構成したことである。このように、アクセスを切り替えた結果、メモリチップCCにおいていずれかの複数の不良が検知された場合に、予備メモリチップRC0を置き換えて利用することができる。
次に、上述した実施形態1〜3で説明した積層型DRAM8、18、28の積層チップの製造プロセスの一部をフローチャートに基づき説明する。図6は、上記実施形態1〜3で説明したま予備メモリチップRC0を備えた積層型DRAM8、18、28(チップ積層体)の製造プロセスの一部を示すフローチャートである。
また、ステップS100におけるこの検査において、回路ブロックBKにも異常が検知された場合も、同様にそのブロックBKの情報も検査者側(テスター)が記憶しておく。実施形態2で説明したように、ここで検知された不良回路ブロックの情報は、後に第1のFuse回路16に記憶される。ステップS100は、請求の範囲のウエハ上ブロック検査ステップの好適な一例にも相当する。
次に、これまでテスタ側が記憶しておいたワード線等の制御線の不良の情報を、第2のFuse回路36に書き込む。書き込みはステップS104で説明した手法で行う。ここで書き込まれた情報は、実施形態3で説明したように、電源投入時に第2のChip判定回路42で参照され、ワード線WLに対するアクセスを、予備メモリチップRC0上のワード線RWLに対するアクセスに変更する等の処理に利用される。ステップS105は、請求の範囲の記憶ステップの好適な一例にも相当する。
上述した実施形態4においては、積層型DRAM8(18,28)は図6に示すフローチャートに従って製造されたが、図7に示すフローチャートに従って製造されてもよい。図7は、上記実施形態1〜3で説明した予備メモリチップRC0を備えた積層型DRAM8、18、28の製造プロセスの一部を示すフローチャートである。
(A)Fuse回路について
実施形態1〜4において、不良に関する情報を記憶する手段として、第1のFuse回路16や、第2のFuse回路36を説明したが、これらは、請求の範囲の記憶部の好適な一例に相当する。実施形態では説明の便宜上2個の別体で説明したが、単一のFuse回路を共用することも好適である。
上述した実施形態1〜4においては、積層した半導体チップ間の信号の送受信は、非接触通信(TCI)で実行され、特にコイル間の磁界結合(誘導結合)を利用しているが、他の種類の非接触通信を利用してもよい。
積層した半導体チップ間の信号の送受信は、導体を介した通信(接触通信)であってもよい。例えば、積層した半導体チップ間の信号の送受信は、TSV(Through-silicon via)を介して行われてもよい。
また、積層した半導体チップ間の信号の送受信の一部を非接触通信とし、積層した半導体チップ間の信号の送受信の一部以外の送受信を接触通信としてもよい。例えば、インターポーザーチップI/Pが出力する制御信号(PVDDT_CC0、PVDDT_CC1、PVDDT_CC2、PVDDT_CC3、PVDDT_RC0)は、電源ラインと同様にTSVを用いて各半導体チップに供給され、電源ライン及び制御信号以外の信号(データ信号やアドレス信号等)は非接触通信で供給されてもよい。或いは、インターポーザーチップI/Pが出力する制御信号(PVDDT_CC0、PVDDT_CC1、PVDDT_CC2、PVDDT_CC3、PVDDT_RC0)は非接触通信で供給され、電源ライン及び制御信号以外の信号(データ信号やアドレス信号等)はTSVを用いて各半導体チップに供給されてもよい。
上述した実施形態1〜4においては、予備メモリチップRC0、複数のメモリチップCC、インターポーザーチップI/Pの順番で積層する例を説明したが、この順番に限定されるものではなく、どのような順番でもよい。
上述した実施形態1〜4においては、インターポーザーチップI/Pが、不良が検出されたメモリチップ等を代替する機能を備えていたが、インターポーザーチップI/Pに限定されるものではなく、単なるLogicDieの半導体チップを利用してこのLogicDie上にメモリチップCC等を代替する機能を備えさせてもよい。すなわち、図2や図5等に記載の手段が備えられていれば、インターポーザーチップI/P以外の半導体チップを利用してもよい。これらの半導体チップも、インターポーザーチップI/Pと同様に、請求の範囲における制御チップの好適な一例に相当する。
9、52 周辺回路群
10a、10b、10c、10d、10e クランプMOSFET
12 電源回路
14 第1のChip判定回路
16 第1のFuse回路
20a、20b、20c、20d、20e、20f、20g、20h、20i、20j、20k、20l、20m、20n20 クランプMOSFET
32 第1の入力初段回路
34 救済判定回路
36 第2のFuse回路
38 デコード回路
40 第2の入力初段回路
42 第2のChip判定回路
BK0、BK1、BK2、BK3 回路ブロック
CC0、CC1、CC2、CC3 メモリチップ
I/F インターフェースチップ
I/P インターポーザーチップ
RC0 予備メモリチップ
Claims (20)
- 複数の半導体チップと、
前記半導体チップの予備として用いるための予備半導体チップと、
前記複数の半導体チップの稼働状態と、前記予備半導体チップの稼働状態と、を制御する制御チップと、が積層された積層型半導体装置であって、
前記半導体チップ及び前記予備半導体チップは、非接触通信部と、稼働スイッチと、を含み、
前記半導体チップ及び前記予備半導体チップは、前記非接触通信部を介して他の前記半導体チップと非接触に通信可能であり、
前記制御チップは、前記半導体チップの前記稼働スイッチを切り替えることによって前記半導体チップの稼働状態を制御し、前記予備半導体チップの前記稼働スイッチを切り替えることによって前記予備半導体チップの稼働状態を制御する積層型半導体装置。 - 請求項1記載の積層型半導体装置において、
前記制御チップは、
前記複数の半導体チップのうち不良チップが発見された場合、前記不良チップ上の前記稼働スイッチを切り替えて前記不良チップを非稼働状態におき、前記予備半導体チップ上の前記稼働スイッチを切り替えて前記予備半導体チップを稼働状態におく積層型半導体装置。 - 請求項2記載の積層型半導体装置において、
前記制御チップは、
いずれの半導体チップが不良チップであるかを表す情報を記憶する記憶部と、
前記記憶部が記憶する前記情報に基づき、前記不良チップ上の前記稼働スイッチを切り替え、前記予備半導体チップ上の前記稼働スイッチを切り替える制御部と、
を含む積層型半導体装置。 - 複数の半導体チップと、
前記半導体チップの予備として用いるための予備半導体チップと、
前記複数の半導体チップの回路ブロックの稼働状態と、前記予備半導体チップの回路ブロックの稼働状態と、を制御する制御チップと、が積層された積層型半導体装置であって、
前記半導体チップ及び前記予備半導体チップは、非接触通信部と、複数の前記回路ブロックと、複数の前記回路ブロック毎に設けられ、それぞれの前記回路ブロックの稼働状態を切り替える稼働スイッチと、を含み、
前記半導体チップ及び前記予備半導体チップは、前記非接触通信部を介して他の前記半導体チップと非接触に通信可能であり、
前記制御チップは、前記半導体チップの前記稼働スイッチを切り替えることによって前記半導体チップのそれぞれの前記回路ブロックの稼働状態を制御し、前記予備半導体チップの前記稼働スイッチを切り替えることによって前記予備半導体チップのそれぞれの前記回路ブロックの稼働状態を制御する積層型半導体装置。 - 請求項4記載の積層型半導体装置において、
前記制御チップは、
前記複数の回路ブロックのうち不良ブロックが発見された場合、前記不良ブロックに設けられた前記稼働スイッチを切り替えて前記不良ブロックを非稼働状態におき、前記不良ブロックに対応する前記予備半導体チップ上の前記回路ブロックに設けられた前記稼働スイッチを切り替えて当該切り替えた前記稼働スイッチが設けられている前記回路ブロックを前記不良ブロックに替えて稼働状態におく積層型半導体装置。 - 請求項5記載の積層型半導体装置において、
前記制御チップは、
いずれの回路ブロックが不良ブロックであるかを表す情報を記憶する記憶部と、
前記記憶部が記憶する前記情報に基づき、前記不良ブロック上の前記稼働スイッチを切り替え、前記不良ブロックに対応する前記予備半導体チップ上の前記回路ブロックに設けられた稼働スイッチを切り替える制御部と、
を含む積層型半導体装置。 - 複数の半導体チップと、
前記半導体チップの予備として用いるための予備半導体チップと、
前記複数の半導体チップの制御線に対するアクセス状態と、前記予備半導体チップの制御線に対するアクセス状態と、を制御する制御チップと、が積層された積層型半導体装置であって、
前記半導体チップ及び前記予備半導体チップは、非接触通信部を備え、前記非接触通信部を介して他の前記半導体チップと非接触に通信可能であり、
前記制御チップは、外部からの制御信号に基づく前記半導体チップの前記制御線に対するアクセスと、前記予備半導体チップの前記制御線に対するアクセスとを切り替えることができる積層型半導体装置。 - 請求項7記載の積層型半導体装置において、
前記制御チップは、
複数の前記制御線のうちいずれかの制御線に不良が検知された場合、前記不良が検知された制御線に対するアクセスを、前記予備半導体チップの前記制御線に対するアクセスに切り替えることができる積層型半導体装置。 - 請求項7記載の積層型半導体装置において、
前記制御チップは、
前記複数の半導体チップの中から不良チップが発見された場合、前記不良チップの前記制御線に対するアクセスを、前記予備半導体チップの前記制御線に対するアクセスに切り替えることができるか、
又は、
前記半導体チップの複数の中から不良ブロックが発見された場合、前記不良ブロックの前記制御線に対するアクセスを、前記予備半導体チップの前記制御線に対するアクセスに切り替えることができるか、
又は、
前記半導体チップ上でビット不良又はワード線不良が発見された場合、ビット不良又はワード不良が発見された前記半導体チップの前記制御線に対するアクセスを、前記予備半導体チップの前記制御線に対するアクセスに切り替えることができる積層型半導体装置。 - 請求項8記載の積層型半導体装置において、
前記制御チップは、
いずれの制御線が不良であるかを表す情報を記憶する記憶部と、
前記記憶部が記憶する前記情報に基づき、前記不良である制御線に対するアクセスが発生したか否かを判定する判定部と、
前記判定部が、不良である制御線に対するアクセスが発生したと判断した場合に、前記不良である制御線に対するアクセスを、前記予備半導体チップの前記制御線に対するアクセスに切り替える制御部と、
を含む積層型半導体装置。 - 請求項9記載の積層型半導体装置において、
前記制御チップは、
いずれの半導体チップが不良であるか、又は、いずれの回路ブロックが不良ブロックであるか、又は、いずれのビット線がビット不良であるか、又は、いずれのワード線がワード線不良であるか、を表す情報を記憶する記憶部と、
前記記憶部が記憶する前記情報に基づき、前記いずれかの不良が発見された前記半導体チップの前記制御線に対するアクセスが発生したか否かを判定する判定部と、
前記判定部が、前記いずれかの不良が発見された前記半導体チップの前記制御線に対するアクセスが発生したと判断した場合に、前記いずれかの不良が発見された前記半導体チップの制御線に対するアクセスを、前記予備半導体チップの前記制御線に対するアクセスに切り替える制御部と、
を含む積層型半導体装置。 - 請求項1から11のいずれか1項に記載の積層型半導体装置において、
前記半導体チップは、情報を記憶できる半導体記憶チップであり、
前記制御チップは、前記半導体記憶チップと、外部の回路とを接続するためのインターポーザーチップである積層型半導体装置。 - 請求項3記載の積層型半導体装置を製造する方法において、
複数の前記半導体チップを含む半導体ウエハ、及び、前記予備半導体チップを含む半導体ウエハを検査し、不良がある半導体チップに関する情報を検出するウエハ検査ステップと、
前記検査をした複数の前記半導体チップを含む半導体ウエハ、及び、前記予備半導体チップを含む半導体ウエハを積層する第1積層ステップと、
前記積層した半導体ウエハ群をダイシングし、前記半導体チップ及び前記予備半導体チップが積層された積層半導体チップを形成するダイシングステップと、
前記積層半導体チップと、前記制御チップとを積層する第2積層ステップと、
前記制御チップの前記記憶部に、前記不良がある半導体チップに関する情報を記憶させる記憶ステップと、
を含む積層型半導体装置の製造方法。 - 請求項3記載の積層型半導体装置を製造する方法において、
複数の前記半導体チップを含む半導体ウエハ、及び、前記予備半導体チップを含む半導体ウエハを検査し、不良がある半導体チップに関する情報を検出するウエハ検査ステップと、
前記検査をした複数の前記半導体チップを含む半導体ウエハ、前記予備半導体チップを含む半導体ウエハ及び前記制御チップを含む半導体ウエハを積層する第3積層ステップと、
前記制御チップの前記記憶部に、前記不良がある半導体チップに関する情報を記憶させる記憶ステップと、
前記積層した半導体ウエハ群をダイシングし、前記半導体チップ、前記予備半導体チップ及び制御チップが積層された積層半導体チップを形成するダイシングステップと、
を含む積層型半導体装置の製造方法。 - 請求項6記載の積層型半導体装置を製造する方法において、
複数の前記半導体チップを含む半導体ウエハ、及び、前記予備半導体チップを含む半導体ウエハを検査し、前記半導体ウエハが含む半導体チップ内の不良がある回路ブロックに関する情報を検出するウエハ上ブロック検査ステップと、
前記検査をした回路ブロックを有する前記半導体チップを含む複数の半導体ウエハ、及び、前記予備半導体チップを含む半導体ウエハ、を積層する第1積層ステップと、
前記積層した半導体ウエハ群をダイシングし、前記半導体チップ及び前記予備半導体チップが積層された積層半導体チップを形成するダイシングステップと、
前記積層半導体チップと、前記制御チップとを積層する第2積層ステップと、
前記制御チップの前記記憶部に、前記不良がある回路ブロックに関する情報を記憶させる記憶ステップと、
を含む積層型半導体装置の製造方法。 - 請求項6記載の積層型半導体装置を製造する方法において、
複数の前記半導体チップを含む半導体ウエハ、及び、前記予備半導体チップを含む半導体ウエハを検査し、前記半導体ウエハが含む半導体チップ内の不良がある回路ブロックに関する情報を検出するウエハ上ブロック検査ステップと、
前記検査をした回路ブロックを有する前記半導体チップを含む複数の半導体ウエハ、前記予備半導体チップを含む半導体ウエハ及び前記制御チップを含む半導体ウエハ、を積層する第3積層ステップと、
前記制御チップの前記記憶部に、前記不良がある回路ブロックに関する情報を記憶させる記憶ステップと、
前記積層した半導体ウエハ群をダイシングし、前記半導体チップ、前記予備半導体チップ及び制御チップが積層された積層半導体チップを形成するダイシングステップと、
を含む積層型半導体装置の製造方法。 - 請求項10又は11記載の積層型半導体装置を製造する方法において、
前記複数の前記半導体チップを含む半導体ウエハ、及び、前記予備半導体チップを含む半導体ウエハを積層する第1積層ステップと、
前記積層した半導体ウエハ群を検査し、前記半導体ウエハが含む半導体チップ内の不良である制御線に関する情報を検出するウエハ上制御線検査ステップと、
前記積層した半導体ウエハ群をダイシングし、前記半導体チップ及び前記予備半導体チップが積層された積層半導体チップを形成するダイシングステップと、
前記積層半導体チップと、前記制御チップとを積層する第2積層ステップと、
前記制御チップの前記記憶部に、前記不良である制御線に関する情報を記憶させる記憶ステップと、
を含む積層型半導体装置の製造方法。 - 請求項10又は11記載の積層型半導体装置を製造する方法において、
前記複数の前記半導体チップを含む半導体ウエハ、前記予備半導体チップを含む半導体ウエハ及び前記制御チップを含む半導体ウエハ、を積層する第3積層ステップと、
前記積層した半導体ウエハ群を検査し、前記半導体ウエハが含む半導体チップ内の不良である制御線に関する情報を検出するウエハ上制御線検査ステップと、
前記制御チップの前記記憶部に、前記不良である制御線に関する情報を記憶させる記憶ステップと、
前記積層した半導体ウエハ群をダイシングし、前記半導体チップ、前記予備半導体チップ及び前記制御チップが積層された積層半導体チップを形成するダイシングステップと、
を含む積層型半導体装置の製造方法。 - 請求項10又は11記載の積層型半導体装置を製造する方法において、
前記半導体チップ及び前記予備半導体チップが積層された積層半導体チップを検査し、前記半導体チップ内の不良である制御線に関する情報を検出する制御線検査ステップと、
前記制御チップの前記記憶部に、前記不良である制御線に関する情報を記憶させる記憶ステップと、
を含む積層型半導体装置の製造方法。 - 請求項13又は14に記載の積層型半導体装置の製造方法において、
前記半導体チップは、情報を記憶できる半導体記憶チップであり、
前記制御チップは、前記半導体記憶チップと、外部の回路とを接続するためのインターポーザーチップである積層型半導体装置の製造方法。
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