JP2019514042A - 予めパターン形成されたリソグラフィ・テンプレート、該テンプレートを使用した放射線パターニングに基づくプロセス、及び該テンプレートを形成するためのプロセス - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2016年3月11日に出願された、「Pre−Patterning Lithography Templates, Processes Based on Radiation Patterning Using the Templates and Processes to Form the Templates」と題されたStowersらによる米国仮特許出願第62/306,979号明細書の優先権を主張するものであり、この米国仮特許出願は、参照により本明細書に組み込まれる。
テンプレートは、最終的な製品に少なくともその一部が組み込まれることがある基板と、基板上の予めパターン形成された構造の形態をしたパターニング補助部との両方を提供する。ハードマスク層が、予めパターン形成された構造と基板との間のバッファを提供し、このバッファは、以降の章で説明するように、予めパターン形成された構造の高解像度パターニングの維持を容易にし、かつ、基板を予備的な処理ステップから保護する。予めパターン形成された構成は周期的格子上に配置され、周期的格子は、高解像度でのパターンの形成を容易にし、後続の処理のために所望のパターニングの柔軟性を提供することができる。テンプレート構造は、選択された基板上に組み立てることができる。特に、基板の任意の予備的な準備の後で、バッファハードマスク層を基板上に配置することができる。次いで、事前パターニング用のテンプレートハードマスク層を、この構造体のバッファハードマスク上に配置することができる。次いで、放射線感受性フォトレジストをテンプレートハードマスク上に堆積させることができ、その後、フォトレジストの後続のパターニングを行って、周期的格子に沿ったテンプレートハードマスク層のエッチングを導くことができる。周期的な穴を設けるための幾つかの手順が説明され、これは特に、高品質の穴状の小さなフィーチャパターンを得るための効率的な処理方式が、直交平行線模様のレジストパターンを形成することを含む、ということを含む。直交平行線模様のレジストパターンは、パターニングプロセスに対して特に安定した金属オキソ/ヒドロキソベースのレジスト組成物を使用することにより、効果的に形成することができる。直交平行線模様のレジストパターンは、所望の小さなピッチ及び良好なエッジ平滑性を有することができる穴の形成を導く。直交平行線模様を用いたこのパターニングは望ましい結果をもたらすことができるものの、代替の方式も想定される。事前パターニングステップは一般的に、バッファハードマスクを実質的に無傷で残しながら、テンプレートハードマスク層をパターン形成されたハードマスク層に変換する。次いで、予めパターン形成されたハードマスクを通る穴又は間隙に充填材を配置して、完全な形のテンプレート構造を形成することができる。研磨又は他の手段を用いて、パターン形成されたハードマスクより上に延在している充填材料を除去することができ、これにより、以降の章で説明するように、選択されたパターニングのためにテンプレートを準備のできた状態にすることができる。
テンプレート構造を形成するために使用される手順に関わらず、この構造を、パターニングの次の段階のために効果的に使用して、テンプレートの規則的な構造に基づく特定の構造を形成することができる。このパターニングプロセスは、テンプレートの高エッチングコントラスト構成材料と共に高エッチングコントラスト放射線レジストを頼りにしている。特定のターゲットパターンを得るために行われるパターニングは、低解像度に基づいていながら、テンプレートの高解像度フィーチャを利用することができる。処理のこの段階でのレジストのパターニングは、テンプレートのフィーチャを選択的に曝露させるのに十分な解像度を有するべきである。次いで、後に続くエッチングにより、テンプレート内の選択されたフィーチャを、更なる処理のために曝露することができる。エッチングプロセスは、下にあるテンプレートパターンの選択された部分を用いて、より低解像度でパターン形成されたレジストからのパターン転写を改善するように調節されることができる。この処理は、解像度を得るための全般的なプロセスに対して、著しい効率をもたらす。
Claims (22)
- 基板上にフィーチャをパターン形成するための方法であって、
構造体上の放射線感受性層を選択的にパターン形成された放射線に曝露するステップであって、前記構造体は、前記基板の表面を覆うバッファハードマスク層上のテンプレートハードマスク材料を通る周期的にパターン形成された間隙内部に充填材料を含む、予めパターン形成されたテンプレート構造上に、前記放射線感受性層を含み、前記放射線感受性層は、前記選択的にパターン形成された放射線によって曝露されて、前記放射線感受性層内に潜像を有する、曝露された放射線感受性層を形成する、ステップと、
前記曝露された放射線感受性層を現像して、前記潜像に基づいてパターン形成された層を有するパターン形成された構造を形成するステップと、
前記パターン形成された構造をエッチングして、前記充填材料を有する前記パターン形成された層を通る穴の重なりのおかげで、前記エッチングプロセスを受けやすくなっている前記充填材料を、選択的に除去するステップと、を含む、方法。 - 前記放射線感受性層は、無機オキソ/ヒドロキソベースの組成物を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記放射線感受性層は、ペルオキソ及び/又はアルキル配位子を有する金属オキソ/ヒドロキソ組成物を有する放射線感受性材料を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記曝露するステップは、約10.0mJ/cm2以下のドーズ量を有する電磁放射線を用いて行われる、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記テンプレートハードマスク材料は、酸化ケイ素、窒化チタン、窒化タンタル、又は窒化ケイ素を含み、前記充填材料は、炭素の豊富な組成物又はシリカガラス組成物を含み、前記充填材料は、前記テンプレートハードマスク材料の表面とほぼ同じ高さになっている、請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記バッファハードマスク層は、窒化チタン、窒化タンタル、窒化ケイ素、又は酸化ケイ素を含む、請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記予めパターン形成されたテンプレート構造の前記周期的にパターン形成された間隙は、約100nm以下の平均ピッチを有する、請求項1〜6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記現像するステップは、約8秒間〜約15分間の間、前記表面に曝された塩基水溶液又は酸性水溶液を用いて行われる、請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記現像するステップは有機溶媒を用いて行われる、請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記エッチングするステップは、前記充填材料に対しては比較的に高いエッチングレートを有し、前記テンプレートハードマスク、前記バッファハードマスク、及び前記感光性層に対しては比較的に低いエッチングレートを同時に有する、プラズマエッチングを用いて行われる、請求項1〜9のいずれか一項に記載の方法。
- 前記エッチングするステップは、酸素の豊富な又は酸素/窒素の豊富なエッチング環境で行われる、請求項10に記載の方法。
- 予めパターン形成されたテンプレート構造を形成するステップであって、
組成的に積層された積層体の表面上で予備放射線感受性層を周期的な放射線パターンに曝露するステップであって、前記組成的に積層された積層体は、基板と、前記基板の表面上のバッファハードマスク層と、前記バッファハードマスク層の前記基板と反対側上の前記テンプレートハードマスク材料の層と、を含み、前記予備放射線感受性層、前記バッファハードマスク層、及び前記テンプレートハードマスク材料は差別的なエッチング特性を有する、ステップと、
前記予備放射線感受性層を、曝露後に現像して、パターン形成された曝露された構造を形成するステップと、
前記パターン形成された曝露された構造をエッチングして、周期的にパターン形成されたテンプレート材料を形成するステップと、
前記周期的にパターン形成されたテンプレート材料を通る穴の内部に充填材料を堆積させて、前記予めパターン形成されたテンプレート構造を形成するステップと、
を含むステップを更に含む、請求項1〜11のいずれか一項に記載の方法。 - 予めパターン形成されたテンプレート構造であって、基板と、約2nm〜約250nmの平均厚さを有する前記基板の表面上のバッファハードマスク層と、前記バッファハードマスク層上の前記基板と反対側上のテンプレートハードマスク材料を通る周期的なパターンの間隙を有する前記テンプレートハードマスク材料と、前記テンプレート材料の前記周期的なパターンによって形成された間隙を充填する充填材料と、感光性無機オキソ/ヒドロキソベースの組成物の層と、を含み、前記バッファハードマスク層は前記基板とは異なる無機材料を含み、前記テンプレートハードマスク材料は前記バッファハードマスク材料とは異なる材料を含み、前記充填材料は前記テンプレートハードマスク材料とは異なっており、前記バッファハードマスクは、窒化チタン、窒化タンタル、窒化ケイ素、又は酸化ケイ素を含む、予めパターン形成されたテンプレート構造。
- 単一のエッチングプロセスの場合、前記充填材料は、前記感光性層、前記テンプレートハードマスク、及び前記バッファハードマスクの各々よりも少なくとも5倍速くエッチングされることができる、請求項13に記載の予めパターン形成されたテンプレート構造。
- 単一のエッチングプロセスの場合、前記テンプレートハードマスク材料は、前記充填材料及び前記バッファハードマスクよりも少なくとも5倍速くエッチングされることができる、請求項13に記載の予めパターン形成されたテンプレート構造。
- 前記バッファハードマスク層は、窒化チタン、窒化タンタル、窒化ケイ素、酸化ケイ素、又はそれらの組み合わせを含み、前記テンプレートハードマスク材料は窒化チタン、窒化タンタル、窒化ケイ素、又は酸化ケイ素を含み、前記バッファハードマスク層と前記テンプレートハードマスク材料とは同時に同一ではなく、前記充填材料は炭素の豊富な組成物又はシリカガラス組成物を含む、請求項13〜15のいずれか一項に記載の予めパターン形成されたテンプレート構造。
- 前記充填材料は、テンプレートハードマスク表面に沿って、前記テンプレートハードマスク材料とほぼ同じ高さである、請求項13〜16のいずれか一項に記載の予めパターン形成されたテンプレート構造。
- 前記オキソ/ヒドロキソベースの組成物は、ペルオキソ配位子及び/又はアルキル配位子を含む、請求項13〜17のいずれか一項に記載の予めパターン形成されたテンプレート構造。
- 予めパターン形成されたテンプレート構造を形成するための方法であって、
組成的に積層された積層体の表面上で放射線感受性層を周期的な放射線パターンに曝露するステップであって、前記組成的に積層された積層体は、表面を有する基板と、前記基板の表面上のバッファハードマスク層と、前記バッファハードマスク層の前記基板と反対側上のテンプレートハードマスク材料の層と、を含み、前記放射線感受性組成物、前記バッファハードマスク層、及び前記テンプレートハードマスク材料は差別的なエッチング特性を有し、前記バッファハードマスク層は約2nm〜約250nmの平均厚さを有する、ステップと、
前記放射線感受性層を、曝露後に現像して、パターン形成された曝露された構造を形成するステップと、
前記パターン形成された曝露された構造をエッチングして、前記テンプレートハードマスク材料を通る穴を有する周期的にパターン形成されたテンプレート材料を形成するステップと、
前記パターン形成されたテンプレート材料を通る穴の内部に充填材料を堆積させるステップであって、前記充填材料は、前記バッファハードマスク層及び前記テンプレートハードマスク材料に対して差別的なエッチング特性を有する、ステップと、を含む方法。 - 前記充填材料が、前記パターン形成されたテンプレート材料の表面と実質上同じ高さになるように、前記充填材料を平滑化するステップを更に含む、請求項19に記載の方法。
- 前記バッファハードマスク層は、窒化チタン、窒化タンタル、窒化ケイ素、酸化ケイ素、又はそれらの組み合わせを含み、前記テンプレートハードマスク材料は窒化チタン、窒化タンタル、窒化ケイ素、又は酸化ケイ素を含み、前記バッファハードマスク層と前記テンプレートハードマスク材料とは同時に同一ではなく、前記充填材料は炭素の豊富な組成物又はシリカガラス組成物を含む、請求項19又は請求項20に記載の方法。
- 前記曝露するステップは、少なくとも約10.0mJ/cm2のドーズ量を有する電磁放射線又はeビーム放射線を用いて行われ、前記現像するステップは酸性水溶液又は塩基水溶液を用いて行われ、前記エッチングするステップはプラズマを用いて行われる、請求項19〜21のいずれか一項に記載の方法。
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