JP2019096715A - 半導体装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】取り扱い性に優れ、より高い動作信頼性を有する半導体装置を提供する。【解決手段】本発明の一実施態様に係る半導体装置は、基体と、半導体素子と、第1の導体と、第2の導体とを備える。基体は、互いに実質的に平行をなす第1の部分および第2の部分、ならびに第1の部分および第2の部分の双方と交差する方向に延びる第3の部分、を含む外縁を有する。半導体素子は、基体に設けられたものである。第1の導体は、半導体素子と接続され、外縁のうちの第1の部分から基体の外部へ突出している。第2の導体は、半導体素子と接続され、外縁のうちの第3の部分から基体の外部へ突出している。【選択図】図1A

Description

本発明は、基体に設けられた半導体素子を備えた半導体装置に関する。
基板上に半導体素子を備えた半導体装置が知られている。そのような半導体装置を製造する際には、半導体素子を取り付けたリードフレームを用いるようにしている(例えば特許文献1参照。)
実公昭49−22855号公報
ところで、上述のようにリードフレームに半導体素子を支持したものを用いる場合、最終的にリードフレームは半導体装置から除去される。しかしながら、半導体素子を支持するために用いられた導電性の線条部分の一部が半導体装置に残存し、モールド成型された絶縁体から先端が突出した状態となっている。このような導電性の線条部分はタイバーなどと呼ばれる。このタイバーは半導体素子と導通していることが多いので、例えばタイバーに対し他の導電体が不用意に触れてしまった場合には半導体素子に悪影響を与えてしまうおそれがある。
したがって、取り扱い性に優れ、より高い動作信頼性を有する半導体装置を提供することが望まれる。
本発明の一実施態様に係る半導体装置は、基体と、半導体素子と、第1の導体と、第2の導体とを備える。基体は、互いに実質的に平行をなす第1の部分および第2の部分、ならびに第1の部分および第2の部分の双方と交差する方向に延びる第3の部分、を含む外縁を有する。半導体素子は、基体に設けられたものである。第1の導体は、半導体素子と接続され、外縁のうちの第1の部分から基体の外部へ突出している。第2の導体は、半導体素子と接続され、外縁のうちの第3の部分から基体の外部へ突出している。
本発明の一実施態様に係る半導体装置では、第1の導体は外縁のうちの第1の部分から基体の外部へ突出し、第2の導体は外縁のうちの第3の部分から基体の外部へ突出している。第3の部分は、第1の部分と交差する方向に延びている。よって、半導体装置の基体をピンセットなどの導電性器具により掴む際、その導電性器具が第1の導体と第2の導体との双方と同時に接触する可能性が極めて低くなる。
本発明の一実施態様に係る半導体装置によれば、優れた取り扱い性と、より高い動作信頼性とを確保することができる。
本発明の一実施の形態に係る半導体装置の外観の概略構成例を表す平面図である。 図1Aに示した半導体装置の内部の概略構成例を表す平面図である。 図1Aに示した半導体装置の製造方法における一工程を表す平面図である。 図2Aに続く一工程を表す平面図である。 図2Bに続く一工程を表す平面図である。 図2Cに続く一工程を表す平面図である。 図2Dに続く一工程を表す平面図である。 第1の変形例としての半導体装置の外観の概略構成例を表す平面図である。 第2の変形例としての半導体装置の外観の概略構成例を表す平面図である。 第3の変形例としての半導体装置の外観の概略構成例を表す平面図である。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
1.実施の形態(半導体素子が埋設されたモールド樹脂から3つのタイバーが突出している半導体装置の例。)
1.1 半導体装置の全体構成
1.2 半導体装置の製造方法
1.3 半導体装置の作用効果
2.変形例(第1〜第3の変形例)
2.1 第1の変形例(半導体素子が埋設されたモールド樹脂から4つのタイバーが突出している半導体装置の例。)
2.2 第2の変形例(半導体素子が埋設された半円形状のモールド樹脂の湾曲した外縁部分から3つのタイバーが突出している半導体装置の例。)
2.3 第3の変形例(半導体素子が埋設されたモールド樹脂の、湾曲した外縁部分および直線状の外縁部分から複数のタイバーが突出している半導体装置の例。)
<1.実施の形態>
[1.1 半導体装置1の全体構成]
図1Aは、本発明の一実施の形態に係る半導体素子11を備えた半導体装置1の外観の概略構成例を模式的に表した平面図である。また、図1Bは、半導体装置1の内部の概略構成例を模式的に表した平面図である。
図1Aおよび図1Bに示したように、半導体装置1は、半導体素子11を含む半導体チップ12が埋設されたモールド樹脂10と、そのモールド樹脂10の外縁から突出したタイバーT1〜T3および複数のリード2とを有している。
モールド樹脂10は、例えばエポキシ樹脂からなり、XY平面において、外縁部分E1〜E5からなる外縁により画定される五角形をなしている。ここで、外縁部分E1と外縁部分E5とが互いに実質的に平行をなしており、いずれもX軸方向に延在している。また、外縁部分E2と外縁部分E4とが互いに実質的に平行をなしており、いずれもY軸方向に延在している。すなわち、外縁部分E1および外縁部分E5と、外縁部分E2および外縁部分E4とは、互いに実質的に直交している。さらに、外縁部分E3は、外縁部分E1および外縁部分E5に対して交差する方向であって外縁部分E2および外縁部分E4に対しても交差する方向に延在している。すなわち、外縁部分E3は、X軸方向およびY軸方向の双方に対して傾斜した方向に延在している。
タイバーT1〜T3は、モールド樹脂10の外縁部分E1〜E3からそれぞれモールド樹脂10の外部へ突出している。複数のリード2は、モールド樹脂10の外縁部分E5からそれぞれ−Y方向へ突出し、外縁部分E5に沿って並ぶように、すなわちX軸方向において互いに隣り合うように配置されている。複数のリード2は、半導体チップ12と外部装置との接続を行うための配線として機能する。
半導体チップ12は、タイバーT2と繋がっている支持部21に載置された基板13の上に、半導体素子11などが設けられたものである。基板13の上には、半導体素子11のほか、第1パッド14と、複数の第2パッド15と、第3パッド16とがそれぞれ設けられている。第1パッド14、第2パッド15および第3パッド16は、いずれも半導体素子11と接続されている。第1パッド14は、ワイヤW1を介してタイバーT1と接続されている。複数の第1パッド14は、複数のワイヤW2をそれぞれ介して複数のリード2とそれぞれ接続されている。さらに、第3パッド16は、ワイヤW3を介してタイバーT3と接続されている。したがって、タイバーT1、リード2およびタイバーT3は、それぞれ、ワイヤW1〜W3と第1パッド14、第2パッド15および第3パッド16を介して半導体素子11と接続されている。
なお、本実施の形態におけるモールド樹脂10が本発明の「基体」に対応する一具体例である。また、本実施の形態における外縁部分E1,E5,E2およびE3が、本発明の「第1の部分」、「第2の部分」、「第3の部分」および「第4の部分」にそれぞれ対応する一具体例である。また、本実施の形態の半導体素子11が本発明の「半導体素子」に対応する一具体例であり、本実施の形態のタイバーT1〜T3が本発明の「第1〜第3の導体」にそれぞれ対応する一具体例である。
この半導体装置1では、タイバーT1とタイバーT2との間に第1電子部品31が設けられており、タイバーT3と一のリード2との間に第2電子部品32が設けられている。第1電子部品31および第2電子部品32は、例えばコンデンサや抵抗体などである。
また、半導体装置1では、図1Aに示したように、タイバーT1における外縁部分E1からの突出長さL1、タイバーT2における外縁部分E2からの突出長さL2、およびタイバーT3における外縁部分E3からの突出長さL3は、いずれも、リード2における外縁部分E5からの突出長さLLよりも十分に小さい。
[1.2 半導体装置1の製造方法]
次に、図2A〜図2Eを参照しつつ、半導体装置1の製造方法について説明する。図2A〜図2Eは、それぞれ半導体装置1の製造方法における一工程を模式的に表す平面図である。
まず、図2Aに示したように、リードフレーム2Zを用意する。リードフレーム2Zは、最終的に支持部21、タイバーT1〜T3および複数のリード2となる部分がフレーム部分20とそれぞれ接続されて一体化された導体である。
次に、図2Bに示したように、リードフレーム2Zにおける支持部21となる部分に半導体チップ12を載置する。そののち、図2Cに示したように、ワイヤボンディングにより、タイバーT1と第1パッド14とを繋ぐワイヤW1、リード2と第2パッド15とを繋ぐワイヤW2、およびタイバーT3と第3パッド16とを繋ぐワイヤW3をそれぞれ形成する。
続いて、図2Dに示したように、タイバーT1とタイバーT2とを跨ぐように第1電子部品31を載置すると共に、一のリード2と第3パッド16とを跨ぐように第2電子部品32を載置する。
次に、リードフレーム2Zのうちの半導体チップ12が設けられた部分を、図示しない一対の金型により挟み、その一対の金型同士に挟まれた空間にエポキシ樹脂などを充填して固化することにより、図2Eに示したように半導体チップ12を埋設するモールド樹脂10を形成する。
最後に、リードフレーム2Zにおけるフレーム部分20をカッター等により切り落とすことにより、図1Aおよび図1Bに示した半導体装置1を得る。
[1.3 半導体装置1の作用効果]
このように本実施の形態の半導体装置1では、タイバーT1は外縁部分E1からモールド樹脂10の外部へ突出し、タイバーT2は、外縁部分E2からモールド樹脂10の外部へ突出している。ここで、外縁部分E1と外縁部分E2とは互いに交差する方向(図1Aおよび図1Bでは直交する方向)に延びている。すなわち、外縁部分E1と外縁部分E2とは互いに非平行をなすように延在している。よって、半導体装置1のモールド樹脂10をピンセットなどの導電性器具により掴む際、その導電性器具がタイバーT1およびタイバーT2の双方と同時に接触する可能性が極めて低くなる。このため、タイバーT1とタイバーT2とがピンセットなどの導電性器具を介して短絡することで半導体素子11が損傷を受けるなどの不測の事態を回避できる。したがって半導体装置1によれば、優れた取り扱い性と、より高い動作信頼性とを確保することができる。
特に、本実施の形態の半導体装置1では、半導体素子11と接続されたタイバーT3を有しているが、タイバーT3は、モールド樹脂10のうち外縁部分E1および外縁部分E2の双方に対して交差する斜め方向に延びる外縁部分E3からモールド樹脂10の外部へ突出するようにしている。このため、半導体装置1のモールド樹脂10をピンセットなどの導電性器具により掴む際、その導電性器具がタイバーT1およびタイバーT3の双方と同時に接触したり、導電性器具がタイバーT2およびタイバーT3の双方と同時に接触したりする可能性が極めて低くなる。このため、タイバーT1とタイバーT3とが短絡したりタイバーT2とタイバーT3とが短絡したりすることで半導体素子11が損傷を受けるなどの不測の事態を回避できる。
また、本実施の形態の半導体装置1では、タイバーT1の外縁部分E1からの突出長さL1、タイバーT2の外縁部分E2からの突出長さL2、およびタイバーT3の外縁部分E3からの突出長さL3は、いずれも、リード2における外縁部分E5からの突出長さLLよりも十分に小さくなるようにした。このため、半導体装置1のモールド樹脂10をピンセットなどの導電性器具により掴む際、その導電性器具を介してタイバーT1〜T3の意図しない短絡が生じる確率を十分に低減できる。
<2.変形例>
以上、実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はこの実施の形態に限定されず、種々の変形が可能である。
例えば、半導体装置1における各部材の構成例(形状、配置、個数等)を具体的に挙げて説明したが、それらは上記実施の形態で説明したものには限られず、他の形状や配置、個数等であってもよい。具体的には、本発明の半導体装置における基体の形状は、図1Aおよび図1Bに示したモールド樹脂10に限定されるものではない。また、本発明の半導体装置における電子部品は、図1B等に示した第1電子部品31および第2電子部品32の形状および配置に限定されず、他の形状および配置を採ることができる。また、本発明の半導体装置は、さらに他の電子部品を有していてもよい。また、本発明の第1から第3の導体の形状および配置は、図1Aおよび図1B等に示したものに限定されず、他の形状および配置であってもよい。さらに、本発明の半導体装置における導体の数は3つに限定されず、2つでもよいし、4以上であってもよい。以下、本発明に係るいくつかの変形例としての半導体装置について説明する。
[2.1 第1の変形例]
図3は、本発明の第1の変形例としての半導体装置1Aにおける外観の概略構成例を表す平面図である。

半導体装置1Aは、モールド樹脂10Aをモールド樹脂10の代わりに備えると共に、タイバーT4をさらに備えたことを除き、他は上記実施の形態の半導体装置1と実質的に同じ構成を有する。モールド樹脂10Aは、外縁部分E1〜E5に加えて外縁部分E6をさらに有する点がモールド樹脂10と異なる。タイバーT4は、外縁部分E6からモールド樹脂10Aの外部へ突出している。半導体装置1Aでは、モールド樹脂10Aが六角形の平面形状を有しており、外縁部分E1と外縁部分E2との間に挟まれた外縁部分E6が、外縁部分E1、外縁部分E2および外縁部分E3のいずれに対しても交差する方向に延在している。
このように本変形例としての半導体装置1Aでは、タイバーT1〜T4がそれぞれ外縁部分E1〜E4からモールド樹脂10Aの外部へ突出している。ここで、外縁部分E1〜E4は、互いに交差する方向(すなわち、互いに非平行をなすように)延在している。よって、半導体装置1Aのモールド樹脂10Aをピンセットなどの導電性器具により掴む際、その導電性器具がタイバーT1〜T4のうちの2以上と同時に接触する可能性が極めて低くなる。このため、タイバーT1〜T4のうちの2以上同士がピンセットなどの導電性器具を介して短絡することで半導体素子11が損傷を受けるなどの不測の事態を回避できる。したがって半導体装置1Aにおいても、優れた取り扱い性と、より高い動作信頼性とを確保することができる。
[2.2 第2の変形例]
図4は、本発明の第2の変形例としての半導体装置1Bにおける外観の概略構成例を表す平面図である。半導体装置1Bは、モールド樹脂10の代わりにモールド樹脂10Bを備えるようにした。この点を除き、他は上記実施の形態の半導体装置1と実質的に同じ構成を有する。モールド樹脂10Bは略半円形状の平面形状を有しており、湾曲した外縁部分E11と、略直線状に延びる外縁部分E12とを含んでいる。ここで、タイバーT1〜T3はいずれも湾曲した外縁部分E11からモールド樹脂10Bの外部へ突出している。ただし、外縁部分E11のうちタイバーT1が設けられた位置での接線S1と、外縁部分E11のうちタイバーT2が設けられた位置での接線S2と、外縁部分E11のうちタイバーT3が設けられた位置での接線S3とは、互いに平行ではなく互いに交差する方向に延在している。特に、接線S1〜S3が互いに交差する角度は45°以上であることが望ましい。
このように本変形例としての半導体装置1Bでは、タイバーT1〜T3が、いずれも、湾曲した外縁部分E11からモールド樹脂10Bの外部へ突出している。ここで、外縁部分E11のうちタイバーT1が設けられた位置での接線S1と、外縁部分E11のうちタイバーT2が設けられた位置での接線S2と、外縁部分E11のうちタイバーT3が設けられた位置での接線S3とは、互いに異なる方向に延在している。したがって、半導体装置1Bのモールド樹脂10Bをピンセットなどの導電性器具により掴む際、その導電性器具がタイバーT1〜T3のうちの2以上と同時に接触する可能性が極めて低くなる。ところが、仮に接線S1〜S3が平行である場合、例えばタイバーT1とタイバーT2とが隣り合ったり、タイバーT1とタイバーT3とがモールド樹脂10Bを挟んで正反対の位置関係となったりする。このため、モールド樹脂10Bを把持する導電性器具がタイバーT1およびタイバーT2の双方と同時に接触し、あるいは、タイバーT1およびタイバーT3の双方と同時に接触しやすくなる。これに対し、本変形例としての半導体装置1Bでは、接線S1〜S3が互いに非平行であるので、タイバーT1〜T3のうちの2以上同士がピンセットなどの導電性器具を介して短絡することで半導体素子11が損傷を受けるなどの不測の事態を回避できる。したがって半導体装置1Bにおいても、優れた取り扱い性と、より高い動作信頼性とを確保することができる。
[2.3 第3の変形例]
図5は、本発明の第3の変形例としての半導体装置1Cにおける外観の概略構成例を表す平面図である。半導体装置1Cは、モールド樹脂10の代わりにモールド樹脂10Cを備えるようにした。この点を除き、他は上記実施の形態の半導体装置1と実質的に同じ構成を有する。モールド樹脂10Cは、湾曲した外縁部分E23と、略直線状に延びる外縁部分E21,E22およびE24とを含んでいる。外縁部分E21と外縁部分E24とは互いに平行であり、いずれもX軸方向に延在している。外縁部分E22は外縁部分E21および外縁部分E24の双方と交差(図5では直交)しており、例えばY軸方向に延在している。外縁部分E23は外縁部分E21と外縁部分E24とを繋いでおり、円弧状に延在している。ここで、タイバーT1〜T3は、それぞれ、外縁部分E21〜E23からモールド樹脂10Cの外部へ突出している。ただし、外縁部分E23のうちタイバーT3が設けられた位置での接線S23は、外縁部分E21および外縁部分E22のいずれに対しても平行ではなく交差する方向に延在している。特に、接線S3は、外縁部分E21および外縁部分E22のそれぞれに対してより大きな角度(すなわち45°に近い角度)をなしていることが望ましい。
このように本変形例としての半導体装置1Cでは、タイバーT1〜T3が、それぞれ外縁部分E21〜E23からモールド樹脂10Cの外部へ突出している。ここで、外縁部分E21と外縁部分E22とが互いに交差する方向へ延在すると共に、外縁部分E23のうちタイバーT3が設けられた位置での接線S23が外縁部分E21および外縁部分E22の双方に対して交差する方向に延在している。したがって、半導体装置1Cのモールド樹脂10Cをピンセットなどの導電性器具により掴む際、その導電性器具がタイバーT1〜T3のうちの2以上と同時に接触する可能性が極めて低くなる。このため、タイバーT1〜T3のうちの2以上同士がピンセットなどの導電性器具を介して短絡することで半導体素子11が損傷を受けるなどの不測の事態を回避できる。したがって半導体装置1Cにおいても、優れた取り扱い性と、より高い動作信頼性とを確保することができる。
また、本発明の半導体装置では、リードの形状、配置および個数は図1A等に示したものに限定されず、他の形状、配置および個数を選択することが可能である。
なお、本明細書中に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、また、他の効果があってもよい。
1,1A〜1C…半導体装置、10,10A〜10C…モールド樹脂、11…半導体素子、12…半導体チップ、13…基板、14…第1パッド、15…第2パッド、16…第3パッド、21…支持部、31…第1電子部品、32…第2電子部品、E1〜E6,E11,E12,E21〜E24…外縁部分、T1〜T4…タイバー。
半導体チップ12は、タイバーT2と繋がっている支持部21に載置された基板13の上に、半導体素子11などが設けられたものである。基板13の上には、半導体素子11のほか、第1パッド14と、複数の第2パッド15と、第3パッド16とがそれぞれ設けられている。第1パッド14、第2パッド15および第3パッド16は、いずれも半導体素子11と接続されている。第1パッド14は、ワイヤW1を介してタイバーT1と接続されている。複数の第2パッド15は、複数のワイヤW2をそれぞれ介して複数のリード2とそれぞれ接続されている。さらに、第3パッド16は、ワイヤW3を介してタイバーT3と接続されている。したがって、タイバーT1、リード2およびタイバーT3は、それぞれ、ワイヤW1〜W3と第1パッド14、第2パッド15および第3パッド16を介して半導体素子11と接続されている。
続いて、図2Dに示したように、タイバーT1とタイバーT2とを跨ぐように第1電子部品31を載置すると共に、一のリード2とタイバーT3とを跨ぐように第2電子部品32を載置する。
このように本変形例としての半導体装置1Aでは、タイバーT1〜T4がそれぞれ外縁部分E1〜E3,E6からモールド樹脂10Aの外部へ突出している。ここで、外縁部分E1〜E4は、互いに交差する方向(すなわち、互いに非平行をなすように)延在している。よって、半導体装置1Aのモールド樹脂10Aをピンセットなどの導電性器具により掴む際、その導電性器具がタイバーT1〜T4のうちの2以上と同時に接触する可能性が極めて低くなる。このため、タイバーT1〜T4のうちの2以上同士がピンセットなどの導電性器具を介して短絡することで半導体素子11が損傷を受けるなどの不測の事態を回避できる。したがって半導体装置1Aにおいても、優れた取り扱い性と、より高い動作信頼性とを確保することができる。
[2.3 第3の変形例]
図5は、本発明の第3の変形例としての半導体装置1Cにおける外観の概略構成例を表す平面図である。半導体装置1Cは、モールド樹脂10の代わりにモールド樹脂10Cを備えるようにした。この点を除き、他は上記実施の形態の半導体装置1と実質的に同じ構成を有する。モールド樹脂10Cは、湾曲した外縁部分E23と、略直線状に延びる外縁部分E21,E22およびE24とを含んでいる。外縁部分E21と外縁部分E24とは互いに平行であり、いずれもX軸方向に延在している。外縁部分E22は外縁部分E21および外縁部分E24の双方と交差(図5では直交)しており、例えばY軸方向に延在している。外縁部分E23は外縁部分E21と外縁部分E24とを繋いでおり、円弧状に延在している。ここで、タイバーT1〜T3は、それぞれ、外縁部分E21〜E23からモールド樹脂10Cの外部へ突出している。ただし、外縁部分E23のうちタイバーT3が設けられた位置での接線S23は、外縁部分E21および外縁部分E22のいずれに対しても平行ではなく交差する方向に延在している。特に、接線S23は、外縁部分E21および外縁部分E22のそれぞれに対してより大きな角度(すなわち45°に近い角度)をなしていることが望ましい。

Claims (10)

  1. 互いに実質的に平行をなす第1の部分および第2の部分、ならびに前記第1の部分および前記第2の部分の双方と交差する方向に延びる第3の部分、を含む外縁を有する基体と、
    前記基体に設けられた半導体素子と、
    前記半導体素子と接続された第1の導体と、
    前記半導体素子と接続された第2の導体と
    を備え、
    前記第1の導体は、前記外縁のうちの前記第1の部分から前記基体の外部へ突出しており、
    前記第2の導体は、前記外縁のうちの前記第3の部分から前記基体の外部へ突出している
    半導体装置。
  2. 前記半導体素子と接続された第3の導体をさらに備え、
    前記外縁は、前記第1の部分、前記第2の部分および前記第3の部分のいずれとも交差する方向に延びる第4の部分をさらに含み、
    前記第3の導体は、前記外縁のうちの前記第4の部分から前記基体の外部へ突出している
    請求項1記載の半導体装置。
  3. 前記第1の導体と前記第2の導体との間に第1の電子部品が設けられている
    請求項2記載の半導体装置。
  4. 前記半導体素子と接続されると共に前記第2の部分から前記基体の外部へ突出した1以上のリードをさらに備えた
    請求項2または請求項3記載の半導体装置。
  5. 前記第3の導体と前記リードとの間に第2の電子部品が設けられている
    請求項4記載の半導体装置。
  6. 前記第1の導体における前記第1の部分からの突出長さ、前記第2の導体における前記第3の部分からの突出長さおよび前記第3の導体における前記第4の部分からの突出長さは、いずれも前記リードにおける前記第2の部分からの突出長さよりも小さい
    請求項4または請求項5記載の半導体装置。
  7. 前記リードは、前記外縁のうちの前記第2の部分に沿って複数並んでいる
    請求項4から請求項6のいずれか1項に記載の半導体装置。
  8. 前記半導体素子と接続されると共に前記第2の部分から前記基体の外部へ突出した1以上のリードをさらに備えた
    請求項1記載の半導体装置。
  9. 前記第1の導体における前記第1の部分からの突出長さおよび前記第2の導体における前記第3の部分からの突出長さは、前記リードにおける前記第2の部分からの突出長さよりも小さい
    請求項8記載の半導体装置。
  10. 前記リードは、前記外縁のうちの前記第2の部分に沿って複数並んでいる
    請求項8または請求項9記載の半導体装置。
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01230263A (ja) * 1989-01-27 1989-09-13 Hitachi Ltd 電子装置の組立方法
JP2000124380A (ja) * 1998-10-15 2000-04-28 Nec Kansai Ltd 樹脂モールド型半導体装置
JP2009129952A (ja) * 2007-11-20 2009-06-11 Denso Corp 半導体装置
JP2010080914A (ja) * 2008-08-29 2010-04-08 Sanyo Electric Co Ltd 樹脂封止型半導体装置とその製造方法、リードフレーム

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4922855Y1 (ja) 1970-08-17 1974-06-19
JPS5244506B2 (ja) 1972-06-21 1977-11-08
JPS61269345A (ja) * 1985-05-24 1986-11-28 Hitachi Ltd 半導体装置
US5521429A (en) * 1993-11-25 1996-05-28 Sanyo Electric Co., Ltd. Surface-mount flat package semiconductor device
JP4471600B2 (ja) * 2003-08-20 2010-06-02 三洋電機株式会社 回路装置
JP4305310B2 (ja) * 2004-07-15 2009-07-29 株式会社デンソー 半導体装置
JP5390064B2 (ja) * 2006-08-30 2014-01-15 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置
CN101131940A (zh) * 2007-09-14 2008-02-27 广东省粤晶高科股份有限公司 在sop封装线上实现多芯片、被动元件封装的工艺
US8023279B2 (en) * 2009-03-12 2011-09-20 Fairchild Semiconductor Corporation FLMP buck converter with a molded capacitor and a method of the same
US8941221B2 (en) * 2011-09-30 2015-01-27 Mediatek Inc. Semiconductor package
US8629539B2 (en) * 2012-01-16 2014-01-14 Allegro Microsystems, Llc Methods and apparatus for magnetic sensor having non-conductive die paddle
JP6130238B2 (ja) * 2013-06-14 2017-05-17 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置および電子装置
US20180138110A1 (en) * 2016-11-17 2018-05-17 Texas Instruments Incorporated Enhanced Adhesion by Nanoparticle Layer Having Randomly Configured Voids

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01230263A (ja) * 1989-01-27 1989-09-13 Hitachi Ltd 電子装置の組立方法
JP2000124380A (ja) * 1998-10-15 2000-04-28 Nec Kansai Ltd 樹脂モールド型半導体装置
JP2009129952A (ja) * 2007-11-20 2009-06-11 Denso Corp 半導体装置
JP2010080914A (ja) * 2008-08-29 2010-04-08 Sanyo Electric Co Ltd 樹脂封止型半導体装置とその製造方法、リードフレーム

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