JP2019034370A

JP2019034370A - 加工装置

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Publication number: JP2019034370A
Application number: JP2017157067A
Authority: JP
Inventors: 悟志佐脇; Satoshi Sawaki; 聡花島; Satoshi Hanashima
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2017-08-16
Filing date: 2017-08-16
Publication date: 2019-03-07
Anticipated expiration: 2037-08-16
Also published as: KR20190019015A; TWI787319B; KR102523322B1; JP6983004B2; CN109404711A; TW201910948A; CN109404711B

Abstract

【課題】押し間違えることなく、タッチパネル上の駆動停止ボタンを容易にタッチすること。【解決手段】タッチパネル（７５）に対する操作に応じてユニットの駆動を制御手段で制御する切削装置（１）であって、タッチパネルにユニットが駆動を開始してから所定のタイミングでユニットの駆動を停止する駆動停止ボタン（８１）が全面に表示される構成にした。この構成により、駆動停止ボタンを押し間違えることなく、タッチパネル上の駆動停止ボタンを容易にタッチすることが可能になっている。【選択図】図７

Description

本発明は、ワークを加工する加工装置に関する。

従来、半導体ウェーハの加工を行う加工装置として、切削装置、研削装置、研磨装置、レーザ加工装置等の各種の加工装置が知られている。これらの加工装置には、一般に加工条件等の操作指令の入力を受け付けるタッチパネル式の表示モニタが備えられ、表示モニタによって入力装置と表示装置が兼用されている。加工装置の表示モニタには安全対策として駆動停止ボタンが表示されており、メンテナンス時等に装置各部をオペレータがマニュアル操作する際に、駆動停止ボタンがタッチされることで装置各部を緊急停止させている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１４−１１３６６９号公報

しかしながら、タッチパネルの一部に駆動停止ボタンが表示されていると、メンテナンスやセットアップ等の際に、装置の動作をオペレータが監視している間は、オペレータの視線は装置内にあってタッチパネルを見ることができない。このため、緊急停止したいときに、タッチパネル上のボタンを押し間違えたり、駆動停止ボタンを押すのに時間がかかったりするという問題があった。加工装置の筐体に設けたＥＭＯ（Emergency Off）スイッチであれば、押し間違い等を減らすことができるが、加工装置の全機能が停止するため、再起動や初期化が必要になって復帰に時間がかかってしまっていた。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、押し間違えることなく、タッチパネル上の駆動停止ボタンを容易にタッチすることができる加工装置を提供することを目的の１つとする。

本発明の一態様の加工装置は、駆動可能なユニットと、該ユニットの操作画面を表示するタッチパネルと、該タッチパネルに対する操作に応じてユニットの駆動を制御する制御手段とを備える加工装置であって、該タッチパネルには、該ユニットが駆動を開始して所定のタイミングで、該ユニットの駆動を停止する駆動停止ボタンが全面に表示されること、を特徴とする。

この構成によれば、タッチパネルの全面に駆動停止ボタンが表示されているため、タッチパネルのどの位置をタッチしてもユニットを駆動停止させることができる。よって、オペレータがタッチパネルを見ることができない状態でも、駆動停止ボタンを押し間違えることなく、ユニットを的確に緊急停止することができる。

本発明によれば、タッチパネルの全面に駆動停止ボタンが表示されているため、駆動停止ボタンを押し間違えることなく、タッチパネル上の駆動停止ボタンを容易にタッチすることができる。

本実施の形態の切削装置の外観斜視図である。本実施の形態の切削装置の内部の斜視図である。比較例の軸動作画面の表示例を示す図である。本実施の形態のタッチパネルの断面模式図である。本実施の形態のユニットの操作制御を示すブロック図である。本実施の形態の停止画面の表示例を示す図である。本実施の形態のユニットの停止方法の一例を示す図である。

以下、添付図面を参照して、本実施の形態の切削装置について説明する。図１は、本実施の形態の切削装置の外観斜視図である。図２は、本実施の形態の切削装置の内部の斜視図である。図３は、比較例の操作画面の表示例を示す図である。なお、本実施の形態では、加工装置として切削装置を例示して説明するが、加工装置はタッチパネルを備えていれば、特に限定されない。

切削装置１には、オペレータの操作を受け付けるタッチパネル７５が設けられており、タッチパネル７５によって各種加工条件が設定されている。切削装置１は、タッチパネル７５で設定された設定条件に基づいて、切削ブレード７１（図２参照）とチャックテーブル１４に保持されたワークＷとを相対的に移動させて、チャックテーブル１４上のワークＷを分割予定ラインに沿って切削するように構成されている。ワークＷの表面は、格子状の分割予定ラインによって複数の領域に区画されており、区画された各領域には各種デバイスが形成されている。

ワークＷの裏面にはダイシングテープＴが貼着されており、ダイシングテープＴの外周にはリングフレームＦが貼着されている。ワークＷは、ダイシングテープＴを介してリングフレームＦに支持された状態で切削装置１に搬入される。なお、ワークＷは、加工対象になるものであればよく、例えば、デバイス形成済みの半導体ウエーハや光デバイスウエーハでもよい。また、ダイシングテープＴは、テープ基材に粘着層が塗布された通常の粘着テープの他、テープ基材にＤＡＦが貼着されたＤＡＦ（Dai Attach Film）テープでもよい。

切削装置１は、切削加工の加工スペースを覆う直方体状の筐体１０と、筐体１０に隣接して待機スペースや洗浄スペースを形成する支持台１３とを有している。支持台１３の上面中央は、筐体１０内に向かって延在するように開口されており、この開口はチャックテーブル１４と共に移動可能な移動板１５及び蛇腹状の防水カバー１６に覆われている。防水カバー１６の下方には、チャックテーブル１４をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構５０（図２参照）が設けられている。図１においては、チャックテーブル１４を筐体１０の外部に移動させて支持台１３上で待機させた状態を示している。

チャックテーブル１４は、ポーラスセラミック材によって保持面１７が形成されており、この保持面１７に生じる負圧によってワークＷが吸引保持される。チャックテーブル１４の周囲にはエア駆動式の４つのクランプ１８が設けられており、各クランプ１８によってワークＷの周囲のリングフレームＦが四方から挟持固定される。チャックテーブル１４の上方には、Ｙ軸方向に延在する一対のセンタリングガイド２１が設けられている。一対のセンタリングガイド２１のＸ軸方向の離間接近によって、チャックテーブル１４に対してワークＷのＸ軸方向が位置決めされる。

支持台１３には、チャックテーブル１４の隣に、カセットが載置されるエレベータユニット２２が設けられている。エレベータユニット２２では、カセットが載置されたステージ２３が昇降されて、カセット内のワークＷの出し入れ位置が高さ方向で調整される。筐体１０の側面１１には、一対のセンタリングガイド２１にリングフレームＦをガイドさせながらカセットにワークＷを出し入れするプッシュプルアーム２４が設けられている。また、筐体１０の側面１１には、一対のセンタリングガイド２１とチャックテーブル１４との間でワークＷを搬送する搬入アーム３１、搬出アーム４１が設けられている。

プッシュプルアーム２４は、筐体１０の側面１１に配設された水平移動機構２５で駆動される。水平移動機構２５は、筐体１０の側面１１に配置されたＹ軸方向に平行な一対のガイドレール２６と、一対のガイドレール２６にスライド可能に設置されたモータ駆動のスライダ２７とを有している。スライダ２７の背面側には、図示しないナット部が形成され、このナット部にボールネジ２８が螺合されている。ボールネジ２８の一端部に連結された駆動モータ２９が回転駆動されることで、プッシュプルアーム２４が一対のガイドレール２６に沿ってＹ軸方向にプッシュプル動作を実施する。

搬入アーム３１及び搬出アーム４１は、筐体１０の側面１１に配設された水平移動機構３２、４２で駆動される。水平移動機構３２、４２は、筐体１０の側面１１に配置されたＹ軸方向に平行な一対のガイドレール３３、４３と、一対のガイドレール３３、４３にスライド可能に設置されたモータ駆動のスライダ３４、４４とを有している。スライダ３４、４４の背面側には、図示しないナット部が形成され、このナット部にボールネジ３５、４５が螺合されている。ボールネジ３５、４５の一端部に連結された駆動モータ３６、４６が回転駆動されることで、搬入アーム３１及び搬出アーム４１が一対のガイドレール３３、４３に沿ってＹ軸方向に搬送移動される。

図２に示すように、筐体１０及び支持台１３（図１参照）内の基台１９上には、チャックテーブル１４をＸ軸方向に移動するＸ軸移動機構５０が設けられている。Ｘ軸移動機構５０は、基台１９上に配置されたＸ軸方向に平行な一対のガイドレール５１と、一対のガイドレール５１にスライド可能に設置されたモータ駆動のＸ軸テーブル５２とを有している。Ｘ軸テーブル５２の背面側には、図示しないナット部が形成され、このナット部にボールネジ５３が螺合されている。ボールネジ５３の一端部に連結された駆動モータ５４が回転駆動されることで、チャックテーブル１４が一対のガイドレール５１に沿ってＸ軸方向に移動される。

基台１９上には、チャックテーブル１４の移動経路を跨ぐように立設した門型の立壁部２０が設けられている。立壁部２０には、切削手段７０をＹ軸方向に移動するＹ軸移動機構６０と、切削手段７０をＺ軸方向に移動するＺ軸移動機構６５とが設けられている。Ｙ軸移動機構６０は、立壁部２０の前面に配置されたＹ軸方向に平行な一対のガイドレール６１と、一対のガイドレール６１にスライド可能に設置されたＹ軸テーブル６２とを有している。Ｚ軸移動機構６５は、Ｙ軸テーブル６２上に配置されたＺ軸方向に平行な一対のガイドレール６６と、一対のガイドレール６６にスライド可能に設置されたＺ軸テーブル６７とを有している。

各Ｚ軸テーブル６７の下部には、ワークＷを切削する切削手段７０が設けられている。Ｙ軸テーブル６２及びＺ軸テーブル６７の背面側には、それぞれナット部が形成されており、これらナット部にボールネジ６３、６８が螺合されている。Ｙ軸テーブル６２用のボールネジ６３、Ｚ軸テーブル６７用のボールネジ６８の一端部には、それぞれ駆動モータ６４、６９が連結されている。駆動モータ６４、６９により、それぞれのボールネジ６３、６８が回転駆動されることで、各切削手段７０がガイドレール６１に沿ってＹ軸方向に移動され、各切削手段７０がガイドレール６６に沿ってＺ軸方向に移動される。

各切削手段７０のスピンドルには、チャックテーブル１４に保持されたワークＷを切削する切削ブレード７１が回転可能に装着される。各切削ブレード７１は、例えばダイヤモンド砥粒を結合剤で固めて円板状に成形されている。また、切削手段７０のスピンドルケースには、アライメント用の顕微鏡（不図示）が設けられている。図１に戻り、筐体１０の前面１２には、タッチパネル７５が設置されている。タッチパネル７５には各種加工条件の設定画面の他、チャックテーブル１４や切削手段７０等の各ユニットの操作画面等が表示される。また、詳細は後述するが、タッチパネル７５には、メンテナンス時やセットアップ時に各ユニットを停止させる駆動停止ボタン８１（図６参照）が表示される。

ところで、図３の比較例に示すように、一般的な操作画面では、メンテナンス時やセットアップ時に手動で切削手段等のユニットを停止させるために、画面の隅の方に駆動停止ボタン９１が小さく表示されている。メンテナンス時やセットアップ時には、オペレータはユニットの駆動を注視しなければならないため、タッチパネルの操作画面を見ながらユニットの駆動を確認することができない。このため、ユニットを緊急停止させたいときには、ユニットから操作画面に視線を戻して駆動停止ボタン９１をタッチする必要があるが、瞬時に駆動停止ボタン９１をタッチすることは難しい。

駆動停止ボタン９１は画面の隅の方に小さく表示されているため、操作画面で駆動停止ボタン９１を見つけ難く、さらに駆動停止ボタン９１を別のボタンと押し間違えるおそれがある。この点、ＥＭＯスイッチ７４（図１参照）であれば、筐体１０から突出して設けられており、目立つ色で十分な大きさに形成されているため、緊急時にはオペレータがＥＭＯスイッチ７４を瞬時に押し込むことができる。ＥＭＯスイッチ７４の周りには似たようなスイッチがないため、押し間違えることなく確実にユニットを停止することができるが、装置の全機能が停止するため再起動等に時間がかかってしまっていた。

そこで、本実施の形態では、タッチパネル７５（図１参照）の全面に駆動停止ボタン８１（図６参照）を表示することで、メンテナンス時やセットアップ時にユニットの駆動を注視した状態でも、駆動停止ボタン８１を瞬時にタッチできるようにしている。ＥＭＯスイッチ７４（図１参照）のように他の機能を停止させることがなく、必要なユニットだけが停止される。また、タッチパネル７５の全面に駆動停止ボタン８１で表示されるため、他のボタンを押し間違えることがない。このように、駆動停止ボタン８１によってユニットを停止し易くすると共に、他のボタンを押すことによる誤作動を確実に防止できる。

以下、図４及び図５を参照して、ユニットの操作制御について説明する。図４は、本実施の形態のタッチパネルの断面模式図である。図５は、本実施の形態のユニットの操作制御を示すブロック図である。なお、本実施の形態のユニットは、例えば、チャックテーブル、切削手段、プッシュプルアーム、搬入アーム、搬出アーム、顕微鏡を示している。また、本実施の形態の駆動軸は、例えば、Ｘ軸移動機構、Ｙ軸移動機構、Ｚ軸移動機構、各アームの水平移動機構、チャックテーブルの回転軸、スピンドルの回転軸、顕微鏡上下移動軸を示している。

図４に示すように、タッチパネル７５は、いわゆる静電容量方式のタッチパネルであり、液晶パネル７６上にガラス基板７７、透明電極膜７８、保護膜７９を積層して構成されている。液晶パネル７６には操作画面が表示されており、パネル上面を指先で触れることで操作画面に各種情報を入力することが可能になっている。この場合、ガラス基板７７の四隅には電極（不図示）が設けられており、各電極に電圧を印加してタッチパネル全体に均一な電界を発生させており、タッチパネル７５の画面に指先が触れた時の静電容量の変化から指先の座標を検出している。

図５に示すように、タッチパネル７５には、マニュアル操作時に各ユニット８８に対する各種操作を受け付ける操作画面Ｓ１が表示される。操作画面Ｓ１でユニット８８が駆動されると、操作画面Ｓ１から駆動停止ボタン８１（図６参照）を全面に表示した停止画面Ｓ２に切り替えられる。このタッチパネル７５には、パネル操作に応じてユニット８８の駆動を制御する制御手段８５が接続されている。制御手段８５には、タッチパネル７５に表示された駆動ボタンに応じて駆動軸８９を駆動させる駆動制御部８６と、タッチパネル７５の全面にユニット８８の駆動を停止する駆動停止ボタン８１を表示させる表示制御部８７とが設けられている。

駆動制御部８６は、タッチパネル７５の操作に応じて各ユニット８８の駆動軸８９の駆動及び停止を制御している。例えば、タッチパネル７５に操作画面Ｓ１が表示された状態で駆動ボタンが押されると、駆動制御部８６によって駆動軸８９を介してユニット８８が駆動される。また、タッチパネル７５に停止画面Ｓ２が表示された状態で駆動停止ボタン８１が押されると、駆動制御部８６によって駆動軸８９を介してユニット８８が停止される。表示制御部８７は、マニュアル操作時にタッチパネル７５に操作画面Ｓ１を表示させ、ユニット８８が駆動を開始してから所定のタイミングで停止画面Ｓ２に切り替えて駆動停止ボタン８１をパネル全面に表示させる。

タッチパネル７５の全面に駆動停止ボタン８１が表示されたときには、タッチパネル７５の画面全体が検知領域として機能する。したがって、タッチパネル７５のタッチ位置に関わらず、ユニット８８の駆動が停止される。なお、駆動停止ボタン８１は、ユニット８８が駆動を開始した後に自動で表示されてもよいし、ユニット８８が駆動を開始してから切換ボタン等を押すことによって手動で表示されてもよい。したがって、所定のタイミングとは、ユニット８８が駆動を開始した後のタイミングであり、ユニット８８が駆動を開始したタイミングの他、手動で駆動停止ボタン８１を表示させたタイミングを含んでいる。

このように、タッチパネル７５の駆動停止ボタン８１が全面に表示されることで、駆動中のユニット８８を容易に緊急停止させることが可能になっている。なお、制御手段８５の各部は、各種処理を実行するプロセッサやメモリ等により構成されている。メモリは、用途に応じてＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等の一つ又は複数の記憶媒体で構成される。メモリには、例えば、装置各部の駆動制御用のプログラムや表示制御用のプログラムが記憶されている。また、制御手段８５は、切削装置１全体の制御とは別に、タッチパネル７５専用に設けられていてもよい。

図６を参照して、駆動停止ボタンを表示した停止画面について説明する。図６は、本実施の形態の停止画面の表示例を示す図である。なお、図６では、図５の符号を適宜使用して説明する。

図６Ａに示すように、メンテナンス時やセットアップ時には、タッチパネル７５の停止画面Ｓ２に駆動停止ボタン８１が全体的に表示され、駆動停止ボタン８１の一角に停止画面Ｓ２から操作画面Ｓ１に戻るクローズボタン８２が表示されている。よって、本実施の形態では、厳密にはタッチパネル７５の画面全体が駆動停止ボタン８１になるのではなく、クローズボタン８２の表示領域を除く残りの領域が駆動停止ボタン８１になっている。すなわち、駆動停止ボタン８１がタッチパネル７５の全面に表示されるとは、必ずしも画面全体に駆動停止ボタン８１が表示される構成に限らず、略画面全体に駆動停止ボタン８１が表示される構成を含んでいる。

また、クローズボタン８２は、オペレータに誤ってタッチされないように、駆動停止ボタン８１の一角に表示されている。このため、タッチパネル７５からオペレータの視線が外れた状態でも、クローズボタン８２が誤ってタッチされることが防止される。また、停止画面には、駆動停止ボタン８１とクローズボタン８２の２種類のボタンしか表示されていないため、タッチパネル７５を目視すればクローズボタン８２の位置を容易に特定できる。このように、タッチパネル７５から視線が外れた状態では駆動停止ボタン８１にタッチし易く、タッチパネル７５を目視すればクローズボタン８２にもタッチし易くなっている。

また、図６Ｂに示すように、メンテナンス時やセットアップ時には、タッチパネル７５に駆動停止ボタン８１だけが表示されてもよい。また、駆動停止ボタン８１は、ユニット８８を駆動停止させるだけでなく、ユニット８８の駆動停止後にユニット８８を原点復帰させてもよい。例えば、切削ブレード７１（図１参照）の接触式セットアップ時に駆動停止ボタン８１がタッチされると、切削ブレード７１の下降動作が停止されるだけでなく、切削ブレード７１が原点位置まで戻ってチャックテーブル１４との接触位置から離間される。

図７を参照して、タッチパネルを用いたユニットの停止方法について説明する。図７は、本実施の形態のユニットの停止方法の一例を示す図である。

図７Ａに示すように、メンテナンス等でユニット８８（図２参照）が駆動されると、切削装置１のタッチパネル７５が操作画面から停止画面に切り替えられて、タッチパネル７５の全面に駆動停止ボタン８１が表示される。オペレータは切削装置１のユニット８８の動作を監視しなければならないため、矢印に示すようにオペレータの視線が切削装置１の内部を向いており、装置外部のタッチパネル７５から外れている。このとき、タッチパネル７５全体が駆動停止ボタン８１として機能しているため、オペレータはタッチパネル７５の設置位置だけを認識しておけば、緊急時にも対応することもできる。

図７Ｂに示すように、ユニット８８の駆動に問題が生じた場合には、オペレータによってタッチパネル７５の画面がタッチされる。タッチパネル７５には駆動停止ボタン８１が全面に表示されているため、タッチパネル７５の画面の一部にタッチすることでユニット８８が停止される。矢印に示すようにオペレータの視線がタッチパネル７５の画面から外れていても、タッチパネル７５の設置位置さえ分ければ駆動停止ボタン８１をタッチすることができ、ボタンの押し間違えが生じることもない。よって、駆動停止ボタン８１を瞬時かつ正確にタッチしてユニット８８を停止させることができる。

以上のように、本実施の形態の切削装置１によれば、タッチパネル７５の全面に駆動停止ボタン８１が表示されているため、タッチパネル７５のどの位置をタッチしてもユニット８８を駆動停止させることができる。よって、オペレータがタッチパネル７５を見ることができない状態でも、駆動停止ボタン８１を押し間違えることなく、ユニット８８を的確に緊急停止することができる。

なお、本実施の形態では、静電容量方式（表面型静電容量方式）のタッチパネルを例示したが、この構成に限定されない。タッチパネルはユニットの操作画面を表示可能であればよく、例えば、抵抗膜方式、投影型静電量方式、超音波表面弾性波方式、光学方式、電磁誘導方式のいずれのタッチパネルが用いられてもよい。

また、本実施の形態では、加工装置としてワークを切削する切削装置を例示して説明したが、この構成に限定されない。本発明は、タッチパネルを備えた他の加工装置に適用可能である。例えば、タッチパネルを備えた加工装置であれば、切削装置、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置、プラズマエッチング装置、エッジトリミング装置、エキスパンド装置、ブレーキング装置、及びこれらを組み合わせたクラスター装置等の他の加工装置に適用されてもよい。

したがって、本実施の形態では、ユニットとしてチャックテーブル、切削手段、プッシュプルアーム、搬入アーム、搬出アーム、顕微鏡を例示したが、この構成に限定されない。ユニットは、駆動可能な構成であればよく、例えば、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置、プラズマエッチング装置、エッジトリミング装置、エキスパンド装置、ブレーキング装置、クラスター装置で使用されている各種加工手段、テーブル、搬送手段、顕微鏡等のユニットでもよい。

さらに、本実施の形態では、駆動軸としてＸ軸移動機構、Ｙ軸移動機構、Ｚ軸移動機構、各アームの水平移動機構、チャックテーブルの回転軸、スピンドルの回転軸、顕微鏡上下駆動軸を例示したが、この構成に限定されない。駆動軸は、駆動させる構成であればよく、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置、プラズマエッチング装置、エッジトリミング装置、エキスパンド装置、ブレーキング装置、クラスター装置で使用されているＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向、θ軸方向に駆動させる駆動軸でもよい。

また、加工対象としては、加工の種類に応じて、例えば、半導体デバイスウエーハ、光デバイスウエーハ、パッケージ基板、半導体基板、無機材料基板、酸化物ウエーハ、生セラミックス基板、圧電基板等の各種ワークが用いられてもよい。半導体デバイスウエーハとしては、デバイス形成後のシリコンウエーハや化合物半導体ウエーハが用いられてもよい。光デバイスウエーハとしては、デバイス形成後のサファイアウエーハやシリコンカーバイドウエーハが用いられてもよい。また、パッケージ基板としてはＣＳＰ（Chip Size Package）基板、半導体基板としてはシリコンやガリウム砒素等、無機材料基板としてはサファイア、セラミックス、ガラス等が用いられてもよい。さらに、酸化物ウエーハとしては、デバイス形成後又はデバイス形成前のリチウムタンタレート、リチウムナイオベートが用いられてもよい。

また、本発明の実施の形態を説明したが、本発明の他の実施の形態として、上記実施の形態及び変形例を全体的又は部分的に組み合わせたものでもよい。

また、本発明の実施の形態は上記の実施の形態及び変形例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施形態をカバーしている。

また、本実施の形態では、本発明を切削装置に適用した構成について説明したが、タッチパネルで駆動させる他の装置に適用することも可能である。

以上説明したように、本発明は、タッチパネル上の駆動停止ボタンを容易にタッチすることができるという効果を有し、特に、ワークを切削する切削装置に有用である。

１切削装置（加工装置）
１４チャックテーブル（ユニット）
２４プッシュプルアーム（ユニット）
３１搬入アーム（ユニット）
４１搬出アーム（ユニット）
７０切削手段（ユニット）
７５タッチパネル
８１駆動停止ボタン
８２クローズボタン
８５制御手段
８６駆動制御部
８７表示制御部
８８ユニット

Claims

駆動可能なユニットと、該ユニットの操作画面を表示するタッチパネルと、該タッチパネルに対する操作に応じてユニットの駆動を制御する制御手段とを備える加工装置であって、
該タッチパネルには、該ユニットが駆動を開始して所定のタイミングで、該ユニットの駆動を停止する駆動停止ボタンが全面に表示されること、を特徴とする加工装置。