JP2018074101A - 加工装置のチャックテーブル - Google Patents
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Abstract
【課題】チャックテーブルから被加工物を剥離する際に発生する剥離帯電を抑制することができる加工装置のチャックテーブルを提供すること。【解決手段】加工装置である洗浄装置は、裏面に粘着テープが貼着された被加工物を保持面1aで保持するチャックテーブル1と、チャックテーブル1で保持した被加工物Wを洗浄する洗浄ユニットと、を備える。チャックテーブル1の保持面1aは、粘着テープTの樹脂層と摩擦帯電系列が同等の材質で構成され、被加工物Wの剥離帯電が抑えられる。【選択図】図3
Description
本発明は、加工装置のチャックテーブルに関する。
半導体デバイス等のデバイスが形成された被加工物を個々のデバイスチップに分割する分割装置として、切削装置やレーザ加工装置が知られている。これらの装置では、装置内に被加工物があるときに発生する静電気を極力抑え、静電気によるデバイス破損が起きないよう、各所にイオナイザーなどを搭載して対策が実施されている(例えば、特許文献1及び特許文献2参照)。
前述した特許文献1及び特許文献2に示された装置は、チャックテーブルから被加工物を剥離する際に発生する剥離帯電によって、特に、静電気が発生し易い。
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、チャックテーブルから被加工物を剥離する際に発生する剥離帯電を抑制することができる加工装置のチャックテーブルを提供することである。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置のチャックテーブルは、裏面に保護部材が貼着された被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持した被加工物を加工する加工ユニットと、を備える加工装置のチャックテーブルであって、該チャックテーブルの保持面は、該保護部材と摩擦帯電系列が同等の材質で構成され、被加工物の剥離帯電が抑えられることを特徴とする。
該保護部材は、粘着テープであり、該保持面は、該粘着テープと同じ材質により構成することができる。
該加工ユニットは、被加工物を洗浄する洗浄ユニットとすることができる。
そこで、本願発明の加工装置のチャックテーブルは、保持面から被加工物を剥離する際に発生する剥離帯電を抑制することができるという効果がある。
本発明を実施するための形態(実施形態)につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
〔実施形態1〕
本発明の実施形態1に係る加工装置のチャックテーブルを図面に基いて説明する。図1は、実施形態1に係る加工装置である洗浄装置を備える切削装置の構成例を示す斜視図である。図2は、図1に示された切削装置の加工対象の被加工物及び粘着テーブルの一部の断面図である。図3は、図1に示された洗浄装置のチャックテーブルの断面図である。図4は、図3に示すチャックテーブルの要部の断面図である。図5は、図1に示された洗浄装置の洗浄中の状態を示す断面図である。図6は、図5に示された洗浄装置のチャックテーブルから被加工物を搬出する状態を示す断面図である。
本発明の実施形態1に係る加工装置のチャックテーブルを図面に基いて説明する。図1は、実施形態1に係る加工装置である洗浄装置を備える切削装置の構成例を示す斜視図である。図2は、図1に示された切削装置の加工対象の被加工物及び粘着テーブルの一部の断面図である。図3は、図1に示された洗浄装置のチャックテーブルの断面図である。図4は、図3に示すチャックテーブルの要部の断面図である。図5は、図1に示された洗浄装置の洗浄中の状態を示す断面図である。図6は、図5に示された洗浄装置のチャックテーブルから被加工物を搬出する状態を示す断面図である。
実施形態1に係る加工装置のチャックテーブル1は、図1に示す切削装置100を構成する。切削装置100は、板状物である被加工物Wを切削(加工)する装置である。
実施形態1では、被加工物Wは、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハである。被加工物Wは、表面WSに格子状に形成された複数のストリートSによって格子状に区画された領域にデバイスDが形成されている。本発明の被加工物Wは、中央部が薄化され、外周部に厚肉部が形成された所謂TAIKOウエーハでもよく、ウエーハの他に、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス板、ガラス板等でも良い。被加工物Wは、裏面WRに保護部材である粘着テープTに貼着されている。粘着テープTは、外周に環状フレームFが取り付けられている。
粘着テープTは、図2に示すように、合成樹脂により構成された樹脂層RLと、樹脂層RLの一方の表面上に形成されかつ被加工物Wの裏面WRに貼着する粘着層ALとを備える。
図1に示された切削装置100は、被加工物Wを切削(加工)して、被加工物Wを個々のデバイスDに分割する加工装置である。切削装置100は、図1に示すように、被加工物Wを保持面110aで吸引保持するチャックテーブル110と、チャックテーブル110に保持された被加工物Wを切削する切削手段120と、切削手段120により切削された被加工物Wを洗浄する加工装置である洗浄装置10と、図6に示す搬送ユニット130と、を備える。
また、切削装置100は、図1に示すように、チャックテーブル110を水平方向及び装置本体102の短手方向と平行なX軸方向に加工送りする図示しないX軸移動手段と、切削手段120を水平方向と平行及び装置本体102の長手方向でかつX軸方向に直交するY軸方向に割り出し送りするY軸移動手段140と、切削手段120をX軸方向とY軸方向との双方と直交する鉛直方向に平行なZ軸方向に切り込み送りするZ軸移動手段150と、制御装置160とを少なくとも備える。切削装置100は、図1に示すように、切削手段120を2つ備えた、即ち、2スピンドルのダイサ、いわゆるフェイシングデュアルタイプの切削装置である。
チャックテーブル110は、円盤形状であり、被加工物Wを保持する保持面110aがポーラスセラミック等から形成されている。また、チャックテーブル110は、X軸移動手段により移動自在で回転駆動源により回転自在に設けられている。チャックテーブル110は、図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源により吸引されることで、被加工物Wを吸引、保持する。
切削手段120は、チャックテーブル110に保持された被加工物Wを切削する切削ブレード121を装着する図示しないスピンドルを備えるものである。切削手段120は、それぞれ、チャックテーブル110に保持された被加工物Wに対して、Y軸移動手段140によりY軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Z軸移動手段150によりZ軸方向に移動自在に設けられている。
一方の切削手段120は、図1に示すように、Y軸移動手段140、Z軸移動手段150などを介して、装置本体102から立設した一方の柱部103aに設けられている。他方の切削手段120は、図1に示すように、Y軸移動手段140、Z軸移動手段150などを介して、装置本体102から立設した他方の柱部103bに設けられている。なお、柱部103a,103bは、上端が水平梁103cにより連結されている。
切削手段120は、Y軸移動手段140及びZ軸移動手段150により、チャックテーブル110の保持面110aの任意の位置に切削ブレード121を位置付け可能となっている。また、一方の切削手段120は、被加工物Wの表面WSを撮像する撮像手段180が一体的に移動するように固定されている。撮像手段180は、チャックテーブル110に保持された切削前の被加工物Wの分割すべき領域を撮像するCCDカメラを備えている。CCDカメラは、チャックテーブル110に保持された被加工物Wを撮像して、被加工物Wと切削ブレード121との位置合わせを行なうアライメントを遂行するための画像を得、得た画像を制御装置160に出力する。
切削ブレード121は、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。スピンドルは、切削ブレード121を回転させることで被加工物Wを切削する。スピンドルは、スピンドルハウジング内に収容され、スピンドルハウジングは、Z軸移動手段150に支持されている。切削手段120のスピンドル及び切削ブレード121の軸心は、Y軸方向と平行に設定されている。
X軸移動手段は、チャックテーブル110をX軸方向に移動させることで、チャックテーブル110をX軸方向に加工送りする加工送り手段である。Y軸移動手段140は、切削手段120をY軸方向に移動させることで、切削手段120を割り出し送りする割り出し送り手段である。Z軸移動手段150は、切削手段120をZ軸方向に移動させることで、切削手段120を切り込み送りするものである。X軸移動手段、Y軸移動手段140及びZ軸移動手段150は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させる周知のパルスモータ及びチャックテーブル110又は切削手段120をX軸方向、Y軸方向又はZ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレールを備える。
搬送ユニット130は、チャックテーブル110の保持面110aに被加工物Wを搬入又は搬出するとともに、洗浄装置10に被加工物Wを搬入又は搬出する。搬送ユニット130は、環状フレームFの上面を吸着保持して、被加工物Wを保持する保持ユニット131と、保持ユニット131をY軸方向に移動させる図示しないY軸移動機構と、保持ユニット131をZ軸方向に移動させる図示しない昇降機構とを備える。保持ユニット131は、図示しない真空吸引源からの吸引力により環状フレームFを吸着する吸着部132を複数備える。
洗浄装置10は、被加工物Wを回転させながら洗浄水を被加工物Wに向けて噴射することで、被加工物Wの表面WSを洗浄する、所謂、スピンナ洗浄装置である。また、本発明では、洗浄装置10は、切削装置100などの加工装置に設置されることなく単独で構成されてもよい。
洗浄装置10は、図1に示すように、切削装置100の装置本体102に設置された洗浄チャンバー20と、被加工物Wを保持するチャックテーブル1と、被加工物Wを洗浄する加工ユニットである洗浄ユニット30とを備えている。洗浄チャンバー20は、被加工物Wの洗浄を外部と隔離した状態で行うためのものである。洗浄チャンバー20は、本実施形態では、上方が開口した円筒状の形状であり、内部に、チャックテーブル1と、洗浄ユニット30などが配設されている。洗浄チャンバー20は、上方の開口を通して、搬送ユニット130により被加工物Wが出し入れされる。また、洗浄チャンバー20は、被加工物Wを洗浄する際には、上方の開口が図示しない蓋等により塞がれる。
洗浄ユニット30は、チャックテーブル1に保持された被加工物Wの表面WSを洗浄(加工に相当)するものである。洗浄ユニット30は、図1に示すように、洗浄水を被加工物Wの表面WSに向けて噴射する噴射ノズル31を備えている。噴射ノズル31は、チャックテーブル1の上方に対向する位置と、チャックテーブル1の上方から退避する位置とに亘って、図示しないモータにより揺動される。
チャックテーブル1は、円盤形状であり、裏面WRに粘着テープTが貼着された被加工物Wを保持面1aで保持する。チャックテーブル1は、Z軸方向と平行な軸心回りに回転可能である。チャックテーブル1は、切換弁2を介して真空吸引源3と接続され、真空吸引源3により吸引されることで、被加工物Wを保持面1aに吸引、保持する。また、チャックテーブル1の周囲には、被加工物Wの周囲の環状フレームFを挟持するクランプ部4が複数設けられている。
チャックテーブル1は、図3及び図4に示すように、円盤状の保持部5と、保持部5を囲繞しかつリング状の枠部7と、保持部5上を覆った帯電抑制層6とを備える。保持部5は、ポーラスセラミック等から形成されている。帯電抑制層6は、保持部5及び枠部7上を覆い、かつ粘着テープTの樹脂層RLと摩擦帯電系列が同等の材質で構成されている。摩擦帯電系列とは、MIL−STD(米軍規格)−1686C及びMIL−HDBK−263B(米軍規格に基づく静電気管理)に定められた摩擦帯電系列を示している。帯電抑制層6の表面は、保持面1aである。帯電抑制層6が粘着テープTの樹脂層RLと摩擦帯電系列が同等の材質により構成されることで、チャックテーブル1の保持面1aは、粘着テープTの樹脂層RLと摩擦帯電系列が同等の材質により構成され、被加工物Wの剥離帯電が抑えられている。
チャックテーブル1の保持面1aが粘着テープTの樹脂層RLと、摩擦帯電系列が同等の材質により構成されているとは、洗浄装置10の洗浄後にチャックテーブル1の保持面1aから被加工物Wを上昇させて、保持面1aから被加工物Wに貼着された粘着テープTの樹脂層RLを剥離させた際に、剥離帯電によってチャックテーブル1の保持面1aに生じる静電気の電圧がデバイスDを破損させることのない(即ちデバイスDの破損を抑制する)電圧値以下であることを示している。具体的には、チャックテーブル1の保持面1aが粘着テープTの樹脂層RLと、摩擦帯電系列が同等の材質により構成されているとは、前述した剥離帯電によってチャックテーブル1の保持面1aに生じる静電気の電圧が1000V(ボルト)以下、望ましくは、100V以下、即ちデバイスDを破損させることが無い電圧値であることを示している。なお、チャックテーブル1の保持面1aに生じる静電気の電圧とは、保持面1aに保持された被加工物Wから30mm離れた位置の電圧を測定器ZJ−SD(スマート静電気センサ、オムロン株式会社製)により測定した電圧を示している。
実施形態1において、帯電抑制層6は、粘着テープTの樹脂層RLであり、粘着テープTの粘着層ALが保持部5に貼着されて、保持部5に固定されている。実施形態1において、保持面1aは、粘着テープTの樹脂層RLと同じ材質により構成されている。帯電抑制層6は、図4に示すように、保持面1aから粘着テープTの粘着層ALに亘って貫通した貫通孔6aが複数設けられている。実施形態1において、帯電抑制層6即ち保持面1aは、粘着テープTにより構成されているが、帯電抑制層6即ち保持面1aの構成は、これに限定されない。
実施形態1において、帯電抑制層6は、粘着テープTの樹脂層RLと同じ材質により構成されている。しかしながら、本発明では、帯電抑制層6は、粘着テープTの樹脂層RLと前述した摩擦帯電系列が同等の材質により構成されていれば、粘着テープTの樹脂層RLと異なる材質により構成されても良い。本発明では、粘着テープTの樹脂層RLと帯電抑制層6とは、それぞれ、ポリオレフィン(Polyolefin)、塩化ビニール(Polyvinyl Chloride:PVC)、又はポリエチレンテレフタレート(Polyethylene Terephthalate:PET)により構成することができる。
また、切削装置100は、切削前後の被加工物Wを収容するカセット171が載置されかつカセット171をZ軸方向に移動させるカセットエレベータ170と、カセット171に被加工物Wを出し入れする図示しない搬送手段を備える。
制御装置160は、上述した構成要素をそれぞれ制御して、被加工物Wに対する加工動作を切削装置100に実施させるものである。なお、制御装置160は、コンピュータシステムを含む。制御装置160は、CPU(central processing unit)のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ROM(read only memory)又はRAM(random access memory)のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有する。制御装置160の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、切削装置100を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して切削装置100の上述した構成要素に出力する。また、制御装置160は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される図示しない表示手段や、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力手段と接続されている。入力手段は、表示手段に設けられたタッチパネルと、キーボード等とのうち少なくとも一つにより構成される。
次に、実施形態1に係る切削装置100の加工動作について説明する。加工動作では、オペレータが加工内容情報を制御装置160に登録し、オペレータから加工動作の開始指示があった場合に、切削装置100が加工動作を開始する。まず、オペレータが切削加工前の被加工物Wをカセット171内に収容し、オペレータから加工動作の開始指示があると、制御装置160は図示しない搬送手段を用いて、カセット171から切削加工前の被加工物Wを取り出し、搬送ユニット130で取り出した被加工物Wをチャックテーブル110の保持面110aに被加工物Wを吸引保持する。
次に、制御装置160は、X軸移動手段によりチャックテーブル110を切削手段120の下方に向かって移動して、一方の切削手段120に取り付けられた撮像手段180の下方にチャックテーブル110に保持された被加工物Wを位置付け、撮像手段180に被加工物Wを撮像させる。制御装置160が、チャックテーブル110に保持された被加工物WのストリートSと、切削手段120の切削ブレード121との位置合わせを行なうためのパターンマッチング等の画像処理を実行し、チャックテーブル110に保持された被加工物Wと切削手段120との相対位置を調整する。
そして、制御装置160は、加工内容情報に基づいて、X軸移動手段とY軸移動手段140とZ軸移動手段150と回転駆動源により、切削ブレード121と被加工物WとをストリートSに沿って相対的に移動させて、切削ブレード121によりストリートSを切削する。
制御装置160は、すべてのストリートSを切削して、被加工物Wを個々のデバイスDに分割すると、チャックテーブル110を切削手段120の下方から退避させた後、チャックテーブル110の吸引保持を解除する。そして、制御装置160が、搬送ユニット130を用いて切削加工済みの被加工物Wを洗浄装置10に搬送し、洗浄装置10のチャックテーブル1の保持面1aに被加工物Wを載置する。制御装置160は、切換弁2を介して真空吸引源3の吸引力を保持面1aに作用させて、保持面1a上に粘着テープTを介して吸引保持し、クランプ部4が環状フレームFをクランプする。制御装置160は、チャックテーブル1をZ軸方向と平行な軸心回りに回転させながら、図5に示すように、洗浄ユニット30の噴射ノズル31から洗浄水を被加工物Wの表面WSに噴射して、被加工物Wを洗浄する。
制御装置160は、洗浄装置10の洗浄が完了すると、チャックテーブル1の上方から噴射ノズル31を退避させ、切換弁2に真空吸引源3の吸引力を保持面1aに作用させることを停止させ、クランプ部4のクランプを解除する。制御装置160は、搬送ユニット130の吸着部132に環状フレームFを吸着させ、保持ユニット131を上昇させて、図6に示すように、洗浄済みの被加工物Wを洗浄装置10のチャックテーブル1から剥離させる。制御装置160は、洗浄済みの被加工物Wをカセット171内に収容する。制御装置160は、切削前の被加工物Wを再度、チャックテーブル110上に載置し、前述の工程を繰り返して、被加工物Wを個々のデバイスDに分割する。
以上のように、実施形態1に係るチャックテーブル1によれば、保持面1aを保持面1aに接触している粘着テープTの樹脂層RLと摩擦帯電系列が同等の材質により構成しているので、被加工物Wを保持面1aから剥がす際に生じる剥離帯電を抑制でき、チャックテーブル1に生じる静電気を抑制することができるという効果がある。
また、実施形態1に係るチャックテーブル1によれば、保持面1aが粘着テープTの樹脂層RLと同じ材質により構成されているので、被加工物Wを保持面1aから剥がす際に生じる剥離帯電を確実に抑制でき、チャックテーブル1に生じる静電気を確実に抑制することができるという効果がある。
また、実施形態1に係るチャックテーブル1によれば、被加工物Wを保持面1aから剥がす際に生じる剥離帯電を確実に抑制でき、チャックテーブル1に生じる静電気を確実に抑制することができるので、加工装置に設置する静電気を除去する除電器(イオナイザー)を抑制することができるという効果がある。
実施形態1において、加工ユニットとして、洗浄ユニット30を示しているが、これに限定されずに、加工ユニットが、切削装置100の切削手段120、レーザ加工装置のレーザ光線照射ユニット、研削装置の研削ユニット又は研磨装置の研磨ユニットでも良い。即ち、実施形態1において、チャックテーブル1は、洗浄装置10を構成するものを示しているが、本発明は、切削装置100のチャックテーブル110、レーザ加工装置のチャックテーブル、研削装置のチャックテーブル、及び研磨装置のチャックテーブルに適用しても良い。また、帯電抑制層6は、粘着層ALを介して貼着する以外に、保持部5の表面に樹脂を塗布したり吹き付けたりして被覆させても良い。また、保護部材が粘着テープTではなく、シリコンウエーハやガラス基板、セラミックス基板の場合は、保持面1aをシリコンやガラス、セラミックスで形成しても良い。
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
1 チャックテーブル
1a 保持面
10 洗浄装置(加工装置)
30 洗浄ユニット(加工ユニット)
T 粘着テープ(保護部材)
W 被加工物
WR 裏面
1a 保持面
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30 洗浄ユニット(加工ユニット)
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Claims (3)
- 裏面に保護部材が貼着された被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持した被加工物を加工する加工ユニットと、を備える加工装置のチャックテーブルであって、
該チャックテーブルの保持面は、該保護部材と摩擦帯電系列が同等の材質で構成され、被加工物の剥離帯電が抑えられることを特徴とする加工装置のチャックテーブル。 - 該保護部材は、粘着テープであり、
該保持面は、該粘着テープと同じ材質により構成されていることを特徴とする請求項1に記載の加工装置のチャックテーブル。 - 該加工ユニットは、被加工物を洗浄する洗浄ユニットであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の加工装置のチャックテーブル。
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