JP2018098299A - リードフレーム - Google Patents
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Abstract
Description
Ni層が所定量エッチングされると、Pd、Auめっき層が、エッチングされずに残るNiめっき層の周囲から所定量突出してバリを形成し、バリが折れ、欠け等して、不良の原因となることがあり、半導体装置の信頼性を落とす要因となる。
上述したように、特許文献2に記載のような、リードフレーム基材となる金属板の所定部位に、順に、Ni、Pd、Auめっきを施してPPFめっき層を形成(図4(a)参照)後、リードフレーム形状をエッチング加工すると、エッチング処理時にNiめっき層も基材と一緒に所定量エッチングされ易い。Niめっき層がエッチングされると、図4(b)に示すように、Pd、Auめっき層がエッチングされずに残るNi層の周囲から所定量突出してバリを形成し、バリが折れ、欠け等して、不良の原因となることがある。その結果、このリードフレームを用いて製造した場合、半導体装置の信頼性を落とす要因となる。
また、特許文献3に記載のような、Niめっき層の厚みを厚くしたリードフレームでは、Niめっき層の厚みを持たせた分、材料のロスが大きく製造コストが増加する上、Niめっき時間が大きくとられて製造効率が低下する。
その結果、金属板がエッチングされて、内部接続端子又は内部接続端子及びパッドとなる柱状部を区画する凹部が形成された後、めっき層の裏面(即ち、バリア層を構成するAuめっき層の裏面)は、エッチングされずに残った。しかし、バリア層の上のNiめっき層は、側方からエッチングが進行し、バリア層を構成するAu、Pdめっき層と、表面側のPd、Auめっき層が所定量突出してバリを形成し、バリの折れや欠けが生じた。
また、上記方策においては、バリア層を構成するAu、Pdめっき層を形成するためのめっき工程が増えるため、製造コストが増大し、製造効率が低下することが問題となった。
試行錯誤及び考察検討を重ねた結果、めっき層が突出して形成されるバリは、柱状部の全周囲に及ぶときに折れや欠けを生じ易いが、断続的に形成された場合には折れや欠けが生じ難いことが判明した。
そこで、本発明者は、めっき層が突出してバリが形成されたとしても、柱状部の全周囲に連続的には形成されないようにエッチングすることで、バリの折れや欠けを抑えることができると考え、本発明を導出するに至った。
なお、本願発明においては、直線部中央におけるめっき層の側面が、金属板の側面最上部と横方向の位置が「略同じ」とは、直線部中央におけるめっき層の側面が、金属板の側面最上部と横方向の位置が一致する他に、直線部中央におけるめっき層の側面が、金属板の側面最上部から横方向へ5μm以下の長さで突出している場合を含むものとする。
その結果、本発明のリードフレームのようにすれば、PPFめっき層のバリの折れや欠けを防止することが可能となる。
しかも、特許文献3に記載のリードフレームのようにNiめっき層を厚くする必要がなく、また、本件発明者が本発明を導出する前の段階で着想したリードフレームのようにNiめっき層に対するエッチングのバリアとなる層として、金属板側から順に、Au、Pdめっきからなる層を設ける必要もないため、製造コストの増加や製造効率の低下を抑えることができる。
この程度のバリの突出量であれば、バリの折れや欠けが生じ難い。
このようにすれば、材料のロスを低減でき、より一層、製造コストの増加や製造効率の低下を抑えることができる。
銅板の上面側からハーフエッチング加工を施す場合、通常のエッチング液を用いると、上面側から下面側に向けて、順次、エッチング処理が施され、めっき層の側面が柱状部の全周囲にわたって横方向に突出した形状のバリが形成されてしまう。
これに対し、銅と親和性のあるエッチング抑制剤を含有するエッチング液を用いると、ハーフエッチング加工後に残すべき、内部接続端子又は内部接続端子及びパッドとなる柱状部となる銅板の上面側部分にエッチング抑制剤が吸着され、その部分のエッチング処理が抑制され易くなる。そして、柱状部の直線部の方向に対しては、銅と親和性のあるエッチング抑制剤の特性により、側面上部のエッチングの進行が遅くなる。一方、隣接する直線部同士の間に位置するR部に対しては、2つの異なる直線部の方向に沿って流れるエッチング液の回り込みが速くなり、直線部に比べてエッチング抑制剤が吸着され難いため、側面上部のエッチングの進行が直線部に比べて速くなる。その結果、柱状部における、R部のめっき層の側面は、金属板の側面最上部よりも横方向に突出し、直線部中央におけるめっき層の側面は、金属板の側面最上部と横方向の位置が略同じで略突出しないリードフレームが形成される。
図1は本発明の一実施形態にかかるリードフレームの凹部により区画される柱状部の構成を示す図で、(a)は平面図、(b)は(a)のA−A断面図、(c)は(a)のB−B断面図である。図2は本発明の一実施形態にかかるリードフレーム及び本発明の比較例にかかるリードフレームにおける柱状部の上部に形成されるめっき層の面のサイズ及び形状とめっき層の突出部の形成範囲を示す説明図で、(a)〜(f)は本発明の一実施形態にかかるリードフレームにおける柱状部の上部に形成されるめっき層の面のサイズ及び形状とめっき層の突出部の形成範囲を夫々示す平面図、(g)〜(i)は比較例にかかるリードフレームにおける柱状部の上部に形成されるめっき層の面のサイズ及び形状とめっき層の突出部の形成範囲を夫々示す平面図である。図3は本発明の一実施例にかかるリードフレームの凹部により区画される柱状部の構成を示す写真の画像で、(a)は柱状部の側面を斜め上方から示す画像、(b)は柱状部を構成する内部接続端子のR部の側面を横方向から示す画像、(c)は内部接続端子の直線部の側面を横方向から示す画像、(d)は柱状部を構成するパッドのR部の側面を横方向から示す画像、(c)はパッドの直線部の側面を横方向から示す画像である。
本発明の一実施形態のリードフレームは、図1(a)〜図1(c)に示すように、金属板1に、内部接続端子又は内部接続端子及びパッドとなる柱状部2を区画する凹部3が形成されている。
柱状部2の上部には、金属板1の上面に対して順に、Ni、Pd、Auを積層してなるめっき層4が形成されている。なお、めっき層4の総厚さは5μm以下に形成されているのが好ましい。
柱状部2の上部は、直線部21と、隣接する直線部21同士の間に位置するR部22を有する。R部22は、R形状に形成されている。
R部22におけるめっき層4の側面は、金属板1の側面最上部よりも5〜50μm横方向に突出している。
また、直線部21の中央におけるめっき層4の側面は、金属板1の側面最上部と横方向の位置が略同じ(即ち、めっき層4の側面の金属板1の側面最上部からの横方向の突出長さが0〜5μmの範囲内であって、金属板1がめっき層4よりも横方向には突出しない位置)に形成されている。
例えば、柱状部2の上部に形成されるめっき層4の面が4つの直線辺を有し、且つ、めっき層4の面における二方向のサイズが、いずれも0.3mm以上である場合は、図2(a)〜図2(c)に示すように、金属板1には4つの直線部21が形成され、4つの直線部21の中央におけるめっき層4の側面は、金属板1の側面最上部と横方向の位置が略同じに形成されて金属板1の側面最上部から横方向には突出せず、4つのR部22におけるめっき層4の側面のみが金属板1の側面最上部から横方向に突出する。また、めっき層4の突出部の形成範囲及びサイズは、柱状部2の上部に形成されるめっき層4の面のサイズを大きくしても、ほとんど変化がない。そして、直線部21における、めっき層4の側面は、金属板1の側面最上部と横方向の位置が略同じに形成されるため、横方向に突出部が形成されない部位が広がる。
また、例えば、柱状部2の上部に形成されるめっき層4の面が4つの直線辺を有し、且つ、めっき層4の面における二方向のサイズのうちの一方向(図2における矢印C方向)のサイズが0.3mm以上で、他方向(図2における矢印D方向)のサイズが0.3mmを下回る場合は、図2(d)〜図2(f)に示すように、めっき層4の面における0.3mm以上のサイズとなる方向(矢印C方向)においては、金属板1に2つの直線部21が形成され、2つの直線部21の中央におけるめっき層4の側面は、金属板1の側面最上部と横方向の位置が略同じに形成されて金属板1の側面最上部から横方向には突出せず、2つの直線部21の間に径の大きなR部22が形成され、2つのR部22におけるめっき層4の側面のみが金属板1の側面最上部から横方向に突出する。また、めっき層4の突出部の形成範囲及びサイズは、柱状部2の上部に形成されるめっき層4の面における0.3mm以上である一方向(矢印C方向)の辺のサイズを大きくしても、他方向(矢印D方向)の辺が0.3mmを下回る限り、ほとんど変化がない。そして、直線部21における、めっき層4の側面は、金属板1の側面最上部と横方向の位置が略同じに形成されるため、横方向に突出部が形成されない部位が広がる。
なお、めっき層4の面における他方向のサイズが0.3mm以下である場合は、図2(d)〜図2(f)に示すように、R部22の中央においては、めっき層4の側面の金属板1の側面最上部から横方向への突出長さが小さくなる。このため、他方向のサイズによっては、R部22の中央において、めっき層4の側面が金属板1の側面最上部と横方向の位置が略同じに形成されて金属板1の側面最上部から横方向には略突出しない態様に形成され得る。その場合には、めっき層4の突出部は、4つの角部にのみ形成される。
エッチング液には、銅と親和性のある窒素や硫黄をエッチング抑制剤として含有する塩化第二銅液を用いる。これにより、ハーフエッチング加工後に残すべき、内部接続端子又は内部接続端子及びパッドとなる柱状部2となる銅板の上面側部分にエッチング抑制剤が吸着され、その部分のエッチング処理が抑制され易くなる。そして、柱状部2における直線部21の方向に対しては、銅と親和性のあるエッチング抑制剤の特性により、金属板1である銅板の側面上部に対するエッチングの進行が遅くなる。一方、隣接する直線部21同士の間に位置するR部22に対しては、2つの異なる直線部21の方向に沿って流れるエッチング液の回り込みが速くなり、直線部21に比べてエッチング抑制剤が吸着され難くなるため、金属板1である銅板の側面上部に対するエッチングの進行が直線部21に比べて速くなる。その結果、柱状部2における、R部22のめっき層4の側面は、金属板1の側面最上部よりも横方向に突出し、直線部21の中央におけるめっき層4の側面は、金属板1の側面最上部と横方向の位置が略同じで略突出しないリードフレームが形成される。
次に、裏面側に形成しためっき層をエッチングマスクとして、銅材をエッチング加工して、端子部を独立させる。次に、ダイシングなどの方法で個々のパッケージサイズに切断する。
これにより、パッケージが得られる。
しかも、特許文献3に記載のリードフレームのようにNiめっき層を厚くする必要がなく、また、本件発明者が本発明を導出する前の段階で着想したリードフレームのようにNiめっき層に対するエッチングのバリアとなる層として、金属板側から順に、Au、Pdめっきからなる層を設ける必要もないため、製造コストの増加や製造効率の低下を抑えることができる。
まず、金属板1として、厚さ0.125mmの銅系合金材を用いて、両面にドライフィルムレジストをラミネートした。
次に、めっき用のレジストマスクの開口部に電気めっきで、順に、Ni、Pd、Auをめっきし、めっき層4を形成した。
また、R部22において横方向に突出しためっき層4に折れや欠けは生じなかった。
比較例として、上記と同じレジストマスクを形成した材料を用いて、エッチング加工において、エッチング液として、従来使用されている塩化第二鉄液を用いて、ハーフエッチングを行なうとともに、めっき層の形成工程において、金属板1に対して順に、Au、Pdめっきを施してNiのバリア層を形成した後に、上記と同様の、Ni、Pd,Auめっきを施すことによってめっき層を形成した以外は、上記と同様の手順でリードフレームを得た(図6参照)。
2 柱状部
21 直線部
22 R部
3 凹部
4 めっき層
Claims (3)
- 金属板に、内部接続端子又は内部接続端子及びパッドとなる柱状部を区画する凹部が形成され、
前記柱状部の上部には、卑金属と貴金属を積層してなるめっき層が形成されたリードフレームであって、
前記柱状部の上部は、直線部と、隣接する前記直線部同士の間に位置するR部を有し、
前記R部における前記めっき層の側面は、前記金属板の側面最上部よりも横方向に突出し、
前記直線部中央における前記めっき層の側面は、前記金属板の側面最上部と横方向の位置が略同じに形成されていることを特徴とするリードフレーム。 - 前記R部における前記めっき層の側面は、前記金属板の側面最上部よりも5〜50μm横方向に突出していることを特徴とする請求項1に記載のリードフレーム。
- 前記めっき層は、前記柱状部の上部に対して順に、Ni、Pd、Auが積層されてなり、総厚さが5μm以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載のリードフレーム。
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