JP2018067613A - ダイパッド、半導体装置、および、半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本願明細書に開示される技術に関するダイパッドは、ダイパッド基板70と、ダイパッド基板の上面に形成される、台座状の第1の凸部(4、4D)と、ダイパッド基板の上面において、平面視で第1の凸部を少なくとも一部囲んで形成される、堤状の第2の凸部(71、71A、71B、71D)と、ダイパッド基板の上面において、平面視で第2の凸部を少なくとも一部囲んで形成される、堤状の第3の凸部(72、72A、72B、72D)とを備える。
【選択図】図3
Description
以下、本実施の形態に関するダイパッド、半導体装置、および、半導体装置の製造方法について説明する。
図1は、本実施の形態に関するダイパッドを実現するための構成を概略的に例示する斜視図である。なお、構成を理解しやすくする観点から、図1においては、一部の構成要素が省略、または、簡略化されて示される場合がある。
本実施の形態に関するダイパッド、半導体装置、および、半導体装置の製造方法について説明する。以下の説明においては、以上に記載された実施の形態で説明された構成と同様の構成については同じ符号を付して図示し、その詳細な説明については適宜省略するものとする。
図5は、本実施の形態に関するダイパッドを実現するための構成を概略的に例示する斜視図である。なお、構成を理解しやすくする観点から、図5においても、一部の構成要素が省略、または、簡略化されて示される場合がある。
本実施の形態に関するダイパッド、半導体装置、および、半導体装置の製造方法について説明する。以下の説明においては、以上に記載された実施の形態で説明された構成と同様の構成については同じ符号を付して図示し、その詳細な説明については適宜省略するものとする。
ダイパッド基板70上に形成されるそれぞれの凸部の形成方法について、以下説明する。
本実施の形態に関するダイパッド、半導体装置、および、半導体装置の製造方法について説明する。以下の説明においては、以上に記載された実施の形態で説明された構成と同様の構成については同じ符号を付して図示し、その詳細な説明については適宜省略するものとする。
図8は、本実施の形態に関するダイパッドを実現するための構成を概略的に例示する断面図である。なお、構成を理解しやすくする観点から、図8においても、一部の構成要素が省略、または、簡略化されて示される場合がある。
次に、以上に記載された実施の形態によって生じる効果を例示する。なお、以下の説明においては、以上に記載された実施の形態に例示された具体的な構成に基づいて当該効果が記載されるが、同様の効果が生じる範囲で、本願明細書に例示される他の具体的な構成と置き換えられてもよい。
以上に記載された実施の形態では、それぞれの構成要素の材質、材料、寸法、形状、相対的配置関係または実施の条件などについても記載する場合があるが、これらはすべての局面において例示であって、本願明細書に記載されたものに限られることはないものとする。
Claims (12)
- ダイパッド基板と、
前記ダイパッド基板の上面に形成される、台座状の第1の凸部と、
前記ダイパッド基板の上面において、平面視で前記第1の凸部を少なくとも一部囲んで形成される、堤状の第2の凸部と、
前記ダイパッド基板の上面において、平面視で前記第2の凸部を少なくとも一部囲んで形成される、堤状の第3の凸部とを備える、
ダイパッド。 - 前記第2の凸部は、その周方向において複数に離間して形成される、
請求項1に記載のダイパッド。 - 前記第3の凸部は、その周方向において複数に離間して形成される、
請求項1または請求項2に記載のダイパッド。 - 前記第2の凸部は、平面視で、前記第1の凸部を部分的に囲んで形成される、
請求項1から請求項3のうちのいずれか1項に記載のダイパッド。 - 前記第3の凸部は、平面視で、前記第2の凸部を部分的に囲んで形成される、
請求項1から請求項4のうちのいずれか1項に記載のダイパッド。 - 前記第1の凸部の側面が、前記第1の凸部の上面から、前記第1の凸部に外周側で隣接する前記ダイパッド基板の上面に近づくにつれて、外側へ拡がる傾斜形状である、
請求項1から請求項5のうちのいずれか1項に記載のダイパッド。 - 前記第2の凸部の側面が、前記第2の凸部の上面から、前記第2の凸部に外周側で隣接する前記ダイパッド基板の上面に近づくにつれて、外側へ拡がる傾斜形状である、
請求項1から請求項6のうちのいずれか1項に記載のダイパッド。 - 前記第3の凸部の側面が、前記第3の凸部の上面から、前記第3の凸部に外周側で隣接する前記ダイパッド基板の上面に近づくにつれて、外側へ拡がる傾斜形状である、
請求項1から請求項7のうちのいずれか1項に記載のダイパッド。 - ダイパッドと、
前記ダイパッドの上面に、接合材を介して配置される半導体チップとを備え、
前記ダイパッドは、
ダイパッド基板と、
前記ダイパッド基板の上面のうち、前記半導体チップが配置される領域に形成される、台座状の第1の凸部と、
前記ダイパッド基板の上面において、平面視で前記第1の凸部を少なくとも一部囲んで形成される、堤状の第2の凸部と、
前記ダイパッド基板の上面において、平面視で前記第2の凸部を少なくとも一部囲んで形成される、堤状の第3の凸部とを備え、
前記ダイパッド基板の上面に配置される前記半導体チップの端部は、前記第1の凸部と前記第2の凸部との間に形成される第1の溝部の上方、前記第2の凸部と前記第3の凸部との間に形成される第2の溝部の上方、または、前記第3の凸部よりも外周側の前記ダイパッド基板の上方に位置する、
半導体装置。 - 前記半導体チップの端部が前記第1の溝部の上方に位置する場合、前記半導体チップの幅は、前記第1の凸部の形成領域の幅より100μm以上大きく、
前記半導体チップの端部が前記第2の溝部の上方に位置する場合、前記半導体チップの幅は、前記第2の凸部の形成領域の幅より100μm以上大きく、
前記半導体チップの端部が前記第3の凸部よりも外周側の前記ダイパッド基板の上方に位置する場合、前記半導体チップの幅は、前記第3の凸部の形成領域の幅より100μm以上大きい、
請求項9に記載の半導体装置。 - 前記接合材が、導電性を有する、
請求項9または請求項10に記載の半導体装置。 - ダイパッドを用意し、
前記ダイパッドの上面に、接合材を介して半導体チップを配置し、
前記ダイパッドを用意することは、
ダイパッド基板を用意し、
前記ダイパッド基板の上面において、一部の領域を囲む第1の溝部を形成することによって、台座状の第1の凸部を形成し、
前記ダイパッド基板の上面において、前記第1の溝部を囲む第2の溝部を形成することによって、堤状の第2の凸部を形成し、
前記ダイパッド基板の上面において、前記第2の溝部を囲む第3の溝部を形成することによって、堤状の第3の凸部を形成することであり、
前記ダイパッドの上面に、前記接合材を介して前記半導体チップを配置することは、
前記ダイパッド基板の上面における前記第1の凸部に、前記接合材を介して前記半導体チップを配置することであり、
前記ダイパッドの上面に、前記接合材を介して前記半導体チップを配置する際に、
前記ダイパッド基板の上面に配置される前記半導体チップの端部を、前記第1の溝部の上方、前記第2の溝部の上方、または、前記第3の溝部の上方に位置させる、
半導体装置の製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016204875A JP6758151B2 (ja) | 2016-10-19 | 2016-10-19 | ダイパッド、半導体装置、および、半導体装置の製造方法 |
US15/648,774 US10290563B2 (en) | 2016-10-19 | 2017-07-13 | Semiconductor device including die pad with projections |
DE102017218365.9A DE102017218365A1 (de) | 2016-10-19 | 2017-10-13 | Die-Kontaktstelle, Halbleitervorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung |
CN201710976758.2A CN107968082B (zh) | 2016-10-19 | 2017-10-19 | 芯片焊盘、半导体装置及半导体装置的制造方法 |
US16/281,524 US10658271B2 (en) | 2016-10-19 | 2019-02-21 | Die pad including projections |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016204875A JP6758151B2 (ja) | 2016-10-19 | 2016-10-19 | ダイパッド、半導体装置、および、半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018067613A true JP2018067613A (ja) | 2018-04-26 |
JP6758151B2 JP6758151B2 (ja) | 2020-09-23 |
Family
ID=61764651
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016204875A Active JP6758151B2 (ja) | 2016-10-19 | 2016-10-19 | ダイパッド、半導体装置、および、半導体装置の製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10290563B2 (ja) |
JP (1) | JP6758151B2 (ja) |
CN (1) | CN107968082B (ja) |
DE (1) | DE102017218365A1 (ja) |
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- 2016-10-19 JP JP2016204875A patent/JP6758151B2/ja active Active
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2017
- 2017-07-13 US US15/648,774 patent/US10290563B2/en active Active
- 2017-10-13 DE DE102017218365.9A patent/DE102017218365A1/de active Pending
- 2017-10-19 CN CN201710976758.2A patent/CN107968082B/zh active Active
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DE102017218365A1 (de) | 2018-04-19 |
JP6758151B2 (ja) | 2020-09-23 |
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US10290563B2 (en) | 2019-05-14 |
US10658271B2 (en) | 2020-05-19 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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