JP2018056595A - 半導体装置及び半導体素子保護用材料 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る半導体装置は、半導体素子と、前記半導体素子の第1の表面上に配置された硬化物とを備え、前記硬化物を得るための半導体素子保護用材料は、熱硬化性化合物と、硬化剤又は硬化触媒と、熱伝導率が10W/m・K以上である無機フィラーとを含み、三量体から十量体までの環状シロキサン化合物を含まないか、又は三量体から十量体までの環状シロキサン化合物を500ppm以下で含み、前記硬化物における前記無機フィラーの含有量が60重量%以上、92重量%以下であり、前記硬化物の電気伝導度が50μS/cm以下である。
【選択図】図1
Description
(A)熱硬化性化合物としては、オキセタン化合物、エポキシ化合物、エピスルフィド化合物、(メタ)アクリル化合物、フェノール化合物、アミノ化合物、不飽和ポリエステル化合物、ポリウレタン化合物、シリコーン化合物及びポリイミド化合物等が挙げられる。(A)熱硬化性化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
上記半導体素子保護用材料100重量%中、(A1)エポキシ化合物の含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは2重量%以上であり、好ましくは10重量%以下、より好ましくは8重量%以下である。(A1)エポキシ化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、半導体素子保護用材料の塗布性、硬化物の柔軟性及び耐湿性がより一層良好になり、硬化物の半導体素子に対する接着性がより一層良好になり、保護フィルムに対する貼り付きをより一層抑えることができる。
(B)硬化剤又は硬化触媒として、(B1)硬化剤を用いてもよく、(B2)硬化触媒を用いてもよい。(A1)エポキシ化合物を用いる場合には、(B1)硬化剤が好ましい。(A2)シリコーン化合物を用いる場合には、(B2)硬化触媒が好ましい。
(C)熱伝導率が10W/m・K以上である無機フィラーを用いることによって、半導体素子保護用材料の塗布性を高く維持しつつ、かつ硬化物の柔軟性を高く維持しつつ、硬化物の放熱性を高めることができる。(C)無機フィラーは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
(D)硬化促進剤の使用によって、硬化速度を速くし、半導体素子保護用材料を効率的に硬化させることができる。(D)硬化促進剤は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
上記半導体素子保護用材料は、(E)カップリング剤を含むことが好ましい。(E)カップリング剤の使用により、半導体素子保護用材料の硬化物の耐湿性がより一層高くなる。(E)カップリング剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
硬化物の絶縁信頼性を効果的に高める観点からは、上記半導体素子保護用材料は、(F)イオン捕捉剤を含むことが好ましい。(F)イオン捕捉剤は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
上記半導体素子保護用材料は、必要に応じて、カルナバワックス等の天然ワックス、ポリエチレンワックス等の合成ワックス、ステアリン酸やステアリン酸亜鉛等の高級脂肪酸及びその金属塩類若しくはパラフィン等の離型剤;カーボンブラック、ベンガラ等の着色剤;臭素化エポキシ樹脂、三酸化アンチモン、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、硼酸亜鉛、モリブデン酸亜鉛、フォスファゼン等の難燃剤;酸化ビスマス水和物等の無機イオン交換体;シリコーンオイル、シリコーンゴム等の低応力化成分;酸化防止剤等の各種添加剤を含んでいてもよい。
上記半導体素子保護用材料は、半導体素子を保護するために、上記半導体素子の表面上に塗布して用いられる。上記半導体素子保護用材料は、半導体素子と他の接続対象部材との間に配置されて、上記半導体素子と上記他の接続対象部材とを剥離しないように接着及び固定する硬化物を形成するものとは異なる。上記半導体素子保護用材料は、半導体素子の表面を被覆する被覆材料であることが好ましい。上記半導体素子保護用材料は、半導体素子の側面上に塗布されないことが好ましい。上記半導体素子保護用材料は、上記半導体素子を封止するための材料とは異なることが好ましく、上記半導体素子を封止するための封止剤ではないことが好ましい。上記半導体素子保護用材料は、アンダーフィル材ではないことが好ましい。上記半導体素子が、第2の表面側に第1の電極を有し、上記半導体素子保護用材料は、上記半導体素子の上記第2の表面側とは反対の第1の表面上に塗布されて用いられることが好ましい。上記半導体素子保護用材料は、半導体装置において、半導体素子を保護するために、上記半導体素子の表面上に硬化物を形成するために好適に用いられる。上記半導体素子保護用材料は、半導体素子を保護するために、上記半導体素子の表面上に硬化物を形成するために好適に用いられ、かつ上記硬化物の上記半導体素子側とは反対の表面上に保護フィルムを配置して、半導体装置を得るために好適に用いられる。上記半導体装置において、上記硬化物の電気伝導度は50μS/cm以下であることが好ましい。
EX−821(n=4)((A11)可撓性エポキシ化合物、ナガセケムテックス社製、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、エポキシ当量:185)
EX−830(n=9)((A11)可撓性エポキシ化合物、ナガセケムテックス社製、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、エポキシ当量:268)
EX−931(n=11)((A11)可撓性エポキシ化合物、ナガセケムテックス社製、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、エポキシ当量:471)
EX−861(n=22)((A11)可撓性エポキシ化合物、ナガセケムテックス社製、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、エポキシ当量:551)
PB3600(ダイセル社製、ポリプダジエン変性エポキシ樹脂、エポキシ当量:200)
jER828((A12)エポキシ化合物、三菱化学社製、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、エポキシ当量:188)
jER834((A12)エポキシ化合物、三菱化学社製、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、軟化点:30℃、エポキシ当量:255)
[シリコーン化合物であるポリマーAの合成]
温度計、滴下装置及び攪拌機を備えた1000mLのセパラブルフラスコに、ジメチルジメトキシシラン164.1g、メチルフェニルジメトキシシラン20.1g及び1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン4.7gを入れ、50℃で攪拌した。その中に、水酸化カリウム2.2gを水35.1gに溶かした溶液をゆっくりと滴下し、滴下後に50℃で6時間攪拌し、反応させて、反応液を得た。次に、減圧して揮発成分を除去し、反応液に酢酸2.4gを加え、減圧下で加熱した。その後、酢酸カリウムをろ過により除去して、ポリマーAを得た。
合成に用いる有機珪素化合物の種類及び配合量をかえたこと以外はポリマーAの合成と同様にして、ポリマーB〜Dを得た。
(SiO4/2)0.20(ViMe2SiO1/2)0.40(Me3SiO1/2)0.40
数平均分子量 2000
フェニル基及びメチル基の含有比率は83.3モル%、ビニル基の含有比率は16.7モル%
(MeSiO3/2)0.20(PhMeSiO2/2)0.70(ViMe2SiO1/2)0.10
数平均分子量 4000
フェニル基及びメチル基の含有比率は94.7モル%、ビニル基の含有比率は5.3モル%
(PhSiO3/2)0.80(ViMe2SiO1/2)0.20
数平均分子量 1700
フェニル基及びメチル基の含有比率は85.7モル%、ビニル基の含有比率は14.3モル%
温度計、滴下装置及び攪拌機を備えた1000mLのセパラブルフラスコに、ジフェニルジメトキシシラン80.6g、及び1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン45gを入れ、50℃で攪拌した。その中に、酢酸100gと水27gの溶液をゆっくりと滴下し、滴下後に50℃で6時間攪拌し、反応させて、反応液を得た。次に、減圧して揮発成分を除去してポリマーを得た。得られたポリマーにヘキサン150gと酢酸エチル150gとを添加し、イオン交換水300gで10回洗浄を行い、減圧して揮発成分を除去してポリマーEを得た。
ポリマーEの合成において、イオン交換水での洗浄を1回に変更したこと以外は同様にして、ポリマーFを得た。
温度計、滴下装置及び攪拌機を備えた1000mLのセパラブルフラスコに、ジメチルジメトキシシラン80.6g、及び1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン45gを入れ、50℃で攪拌した。その中に、酢酸100gと水27gの溶液をゆっくりと滴下し、滴下後に50℃で6時間攪拌し、反応させて、反応液を得た。次に、得られた反応液にヘキサン150gと酢酸エチル150gとを添加し、イオン交換水300gで10回洗浄を行い、分液にて溶剤成分を除去してポリマーGを得た。
フジキュアー7000(富士化成社製、23℃で液状、アミン化合物)
MEH−8005(明和化成社製、23℃で液状、アリルフェノールノボラック化合物)
TD−2131(DIC社製、23℃で固体状、フェノールノボラック化合物)
白金の1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン錯体
SA−102(サンアプロ社製、DBUオクチル酸塩)
FAN−f05(古河電子社製、窒化アルミニウム、熱伝導率:100W/m・K、球状、平均粒子径:6μm)
FAN−f50(古河電子社製、窒化アルミニウム、熱伝導率:100W/m・K、球状、平均粒子径:30μm)
CB−P05(昭和電工社製、酸化アルミニウム、熱伝導率:20W/m・K、球状、平均粒子径:4μm)
CB−P40(昭和電工社製、酸化アルミニウム、熱伝導率:20W/m・K、球状、平均粒子径:44μm)
SSC−A15(信濃電気精錬社製、炭化ケイ素、熱伝導率:100W/m・K、球状、平均粒子径:19μm)
SSC−A30(信濃電気精錬社製、炭化ケイ素、熱伝導率:100W/m・K、球状、平均粒子径:34μm)
HS−306(マイクロン社製、酸化ケイ素、熱伝導率:2W/m・K、球状、平均粒子径:2.5μm)
HS−304(マイクロン社製、酸化ケイ素、熱伝導率:2W/m・K、球状、平均粒子径:25μm)
KBM−403(信越化学工業社製、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、100℃における重量減少:10重量%を超える)
A−LINK599(momentive社製、3−オクタノイルチオ−1−プロピルトリエトキシシラン、100℃における重量減少:10重量%以下)
TOG(IPAカット)(日本曹達社製、チタニウム−i−プロポキシオクチレングリコレート、100℃における重量減少:10重量%以下)
AL−M(味の素ファインテクノ社製、アセトアルコキシアルミニウムジイソプロピレート、100℃における重量減少:10重量%以下)
BYK−9076(BYK社製、分散剤)
IXE−300(東亞合成社製、酸化アンチモン系イオン捕捉剤)
IXE−600(東亞合成社製、酸化アンチモン・酸化ビスマス系イオン捕捉剤)
DHT−4A(協和化学工業社製、ハイドロタルサイト系イオン捕捉剤)
EX−821(n=4)を6.5重量部、jER828を2.5重量部、フジキュアー7000を5重量部、SA−102を0.5重量部、CB−P05を42.5重量部、CB−P40を42.5重量部、及びBYK−9076を0.5重量部混合し、脱泡を行い、半導体素子保護用材料を得た。
配合成分の種類及び配合量を下記の表1〜4に示すように変更したこと以外は実施例1と同様にして、半導体素子保護用材料を得た。
(1)25℃における粘度の測定
B型粘度計(東機産業社製「TVB−10型」)を用いて半導体素子保護用材料の25℃における10rpmでの粘度(Pa・s)を測定した。
得られた半導体素子保護用材料において、ガスクロマトグラフ質量分析装置(GC−MS)(島津製作所社製「QP2010SE」)を用いて、(X)三量体から十量体までの環状シロキサン化合物の含有量を評価した。
得られた半導体素子保護用材料において、JIS K7215に準拠して、カールフィッシャー水分計(京都電子工業社製「MKV−710B」)を用いて(Y)水の含有量を評価した。
半導体素子保護用材料を150℃で2時間硬化させて硬化物を得た。得られた硬化物を5mm角程度に粉砕し、粉砕物2.5gにイオン交換水25mLを加え、PCT(121℃±2℃/湿度100%/2atmの槽)で20Hr置いた。その後、室温まで冷却して得た抽出液を試験液として得た。この試験液の電気伝導度を伝導度計(東亜電波工業社製の電気伝導率計「CM−42X」)を用いて測定した。
得られた半導体素子保護用材料を150℃で2時間加熱し、硬化させ、100mm×100mm×厚さ50μmの硬化物を得た。この硬化物を評価サンプルとした。
得られた半導体素子保護用材料をディスペンサー装置(武蔵エンジニアリング社製「SHOTMASTER−300」)から、ポリイミドフィルムに直径5mm、高さ2mmになるように直接吐出した後、半導体素子保護用材料を150℃で2時間加熱して硬化させた。硬化後の半導体素子保護用材料の形状から塗布性を下記の基準で判定した。
○:直径5.3mm以上、高さ1.8mm未満(流動性あり)
△:直径5mmを超え、5.3mm未満、高さ1.8mmを超え、2mm未満(流動性少しあり)
×:直径5mm、高さ2mmのまま(流動性なし)
ポリイミドフィルムにアンダーフィル剤(ナミックス社製、U8437−2)を幅3mm、長さ18mmになるように塗布し、幅3mm、長さ18mm、厚み0.3mmのSiチップを載せて、150℃で1時間硬化させた試験片を準備した。準備した試験片に、得られた半導体素子保護用材料をディスペンサー装置(武蔵エンジニアリング社製「SHOTMASTER−300」)から、Siチップを全て覆うように、幅5mm、長さ21mm、厚み0.9mmになるように直接吐出した後、半導体素子保護用材料を150℃で2時間加熱して硬化させた。硬化後の半導体素子保護用材料におけるボイドの有無を顕微鏡で観察し評価した。
○:ボイドなし
△:直径100μm未満の目視不能なボイドがある
△△:直径100μm以上、150μm未満の目視可能なボイドがある
×:直径150μm以上の目視可能なボイドがある
得られた半導体素子保護用材料を150℃で2時間加熱し、硬化させ、100mm×100mm×厚さ50μmの硬化物を得た。この硬化物を評価サンプルとした。
○:試験前後の体積抵抗率の低下率が10%以下
△:試験前後の体積抵抗率の低下率が10%を超え、20%以下
×:試験前後の体積抵抗率の低下率が20%を超える
ポリイミド基板上に、接着面積が3mm×3mmになるように半導体素子保護用材料を塗布し、3mm角のSiチップを載せて、テストサンプルを得た。
○:ダイシェア強度が10N以上
△:ダイシェア強度が6N以上、10N未満
△△:ダイシェア強度が5N以上、6N未満
×:ダイシェア強度が5N未満
得られた半導体素子保護用材料を150℃で2時間加熱し、硬化させ、100mm×100mm×厚さ50μmの硬化物を得た。この硬化物を評価サンプルとした。
○:応力が50gf/cm2未満
△:応力が50gf/cm2以上、100gf/cm2未満
×:応力が100gf/cm2以上
得られた半導体素子保護用材料をディスペンサー装置(武蔵エンジニアリング社製「SHOTMASTER―300」)から、ポリイミドフィルムに縦20mm、横100mm、高さ10mmになるように直接吐出した後、半導体素子保護用材料を150℃で2時間加熱して硬化させた。硬化後にポリイミドフィルムの反りを目視で確認し、フィルム反りを下記の基準で判定した。
○:ポリイミドフィルムの反りなし
△:ポリイミドフィルムの反りがわずかに発生(使用上問題なし)
×:ポリイミドフィルムの反り発生(使用上問題あり)
得られた半導体素子保護用材料を150℃で2時間加熱し、硬化させ、100mm×100mm×厚さ50μmの硬化物を得た。この硬化物を評価サンプルとした。
○○:試験前後の体積抵抗率の低下率が5%以下
○:試験前後の体積抵抗率の低下率が5%を超え、10%以下
△:試験前後の体積抵抗率の低下率が10%を超え、20%以下
×:試験前後の体積抵抗率の低下率が20%を超える
基板(ポリイミドフィルム)上に形成された櫛歯型電極(材質:銅の上にスズめっき、パターンピッチ:50μm、L/S=25μm/25μm)の上に、熱硬化ソルダーレジスト(日本ポリテック社製「NPR−3300」)を10μmの膜厚で塗布して150℃で1時間加熱硬化させて、テストパターンを準備した。上記テストパターンに半導体素子保護用材料を塗布し、150℃で2時間加熱硬化させて、試験片を得た。加熱後の試験片を85℃及び湿度85%の槽(エスペック社製「SH641」)へ入れ、マイグレーションテスター(IMV社製「MIG−8600B」)を用いて電極間に40Vの直流電圧を印加して、電極間の抵抗を測定した。絶縁信頼性を以下の基準で判定した。○、△又は△△の判定基準の場合に、絶縁信頼性は合格と判断され、実使用に支障が無い絶縁性保持性があり、絶縁信頼性に優れている。
○:抵抗が1×109Ω以上で100時間以上持続し、絶縁性が非常に良好
△:抵抗が1×108Ω以上、1×109Ω未満で100時間以上持続し、絶縁性が良好
△△:100時間未満で抵抗が1×108Ω未満に低下するが、1×108Ω以上の抵抗を50時間以上、100時間未満持続し、絶縁性がやや良好
×:50時間未満で抵抗が1×108Ω未満に低下し、絶縁不良とみなされる
上記(11)フィルム反りの評価後に、半導体素子保護用材料の硬化物とポリイミドフィルムとの積層体を、180℃で100時間放置した。放置後に、ポリイミドフィルムの反りを目視で確認し、耐熱試験後のフィルム反りを下記の基準で判定した。
○:耐熱試験前のフィルムの反り量に対して、耐熱試験後のフィルムの反り量が1.1倍未満
△:耐熱試験前のフィルムの反り量に対して、耐熱試験後のフィルムの反り量が1.1倍以上、1.2倍未満
×:耐熱試験前のフィルムの反り量に対して、耐熱試験後のフィルムの反り量が1.2倍以上
半導体素子保護用材料の調製において、IXE−300(東亞合成社製、酸化アンチモン系イオン捕捉剤)0.5重量部を更に添加したこと以外は実施例1と同様にして、半導体素子保護用材料を得た。
半導体素子保護用材料の調製において、IXE−600(東亞合成社製、酸化アンチモン・酸化ビスマス系イオン捕捉剤)0.5重量部を更に添加したこと以外は実施例1と同様にして、半導体素子保護用材料を得た。
半導体素子保護用材料の調製において、DHT−4A(協和化学工業社製、ハイドロタルサイト系イオン捕捉剤)0.5重量部を更に添加したこと以外は実施例1と同様にして、半導体素子保護用材料を得た。
半導体素子保護用材料の調製において、IXE−300(東亞合成社製、酸化アンチモン系イオン捕捉剤)0.5重量部を更に添加したこと以外は実施例18と同様にして、半導体素子保護用材料を得た。
半導体素子保護用材料の調製において、IXE−600(東亞合成社製、酸化アンチモン・酸化ビスマス系イオン捕捉剤)0.5重量部を更に添加したこと以外は実施18と同様にして、半導体素子保護用材料を得た。
半導体素子保護用材料の調製において、DHT−4A(協和化学工業社製、ハイドロタルサイト系イオン捕捉剤)0.5重量部を更に添加したこと以外は実施例18と同様にして、半導体素子保護用材料を得た。
半導体素子保護用材料の調製において、IXE−600(東亞合成社製、酸化アンチモン・酸化ビスマス系イオン捕捉剤)0.5重量部を更に添加したこと以外は実施例19と同様にして、半導体素子保護用材料を得た。
半導体素子保護用材料の調製において、IXE−600(東亞合成社製、酸化アンチモン・酸化ビスマス系イオン捕捉剤)0.5重量部を更に添加したこと以外は実施例20と同様にして、半導体素子保護用材料を得た。
半導体素子保護用材料の調製において、IXE−600(東亞合成社製、酸化アンチモン・酸化ビスマス系イオン捕捉剤)0.5重量部を更に添加したこと以外は実施例21と同様にして、半導体素子保護用材料を得た。
実施例23〜31について、上記(13)絶縁信頼性の評価を実施した。
2…半導体素子
2a…第1の表面
2b…第2の表面
2A…第1の電極
3,3X…硬化物
4…接続対象部材
4a…表面
4A…第2の電極
5…他の硬化物
6…導電性粒子
7…保護フィルム
Claims (20)
- 半導体素子と、
前記半導体素子の第1の表面上に配置された硬化物とを備え、
前記硬化物が、半導体素子保護用材料の硬化物であり、
前記半導体素子保護用材料が、熱硬化性化合物と、硬化剤又は硬化触媒と、熱伝導率が10W/m・K以上である無機フィラーとを含み、
前記半導体素子保護用材料が、三量体から十量体までの環状シロキサン化合物を含まないか、又は三量体から十量体までの環状シロキサン化合物を500ppm以下で含み、
前記硬化物における前記無機フィラーの含有量が60重量%以上、92重量%以下であり、
前記硬化物の電気伝導度が50μS/cm以下である、半導体装置。 - 前記熱硬化性化合物が、エポキシ化合物又はシリコーン化合物を含む、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記熱硬化性化合物がシリコーン化合物を含む、請求項2に記載の半導体装置。
- 前記硬化剤がアリルフェノールノボラック化合物である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記熱硬化性化合物が、可撓性エポキシ化合物を含む、請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記熱硬化性化合物が、前記可撓性エポキシ化合物と、可撓性エポキシ化合物とは異なるエポキシ化合物とを含む、請求項5に記載の半導体装置。
- 前記半導体素子保護用材料に含まれる前記可撓性エポキシ化合物が、アルキレングリコール基が9以上繰り返された構造単位を有するポリアルキレングリコールジグリシジルエーテルである、請求項5又は6に記載の半導体装置。
- 接続対象部材を備え、
前記接続対象部材上に、前記半導体素子が前記第1の表面とは反対の第2の表面側から実装されている、請求項1〜7のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 第2の電極を表面に有する接続対象部材を備え、
前記半導体素子が、前記第1の表面側とは反対の第2の表面側に第1の電極を有し、前記半導体素子の第1の電極が、前記第2の電極を表面に有する前記接続対象部材における前記第2の電極と電気的に接続されている、請求項1〜8のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記硬化物の前記半導体素子側とは反対の表面上に、保護フィルムが配置されているか、又は、前記硬化物の前記半導体素子側とは反対の表面が露出している、請求項1〜9のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 半導体素子を保護するために、前記半導体素子の表面上に塗布して、前記半導体素子の表面上に硬化物を形成するために用いられる半導体素子保護用材料であり、
半導体素子と他の接続対象部材との間に配置されて、前記半導体素子と前記他の接続対象部材とを剥離しないように接着及び固定する硬化物を形成するものとは異なり、
熱硬化性化合物と、硬化剤又は硬化触媒と、熱伝導率が10W/m・K以上である無機フィラーとを含み、
三量体から十量体までの環状シロキサン化合物を含まないか、又は三量体から十量体までの環状シロキサン化合物を500ppm以下で含み、
前記無機フィラーの含有量が60重量%以上、92重量%以下であり、
150℃で2時間加熱して硬化物を得たときに、前記硬化物の電気伝導度が50μS/cm以下である、半導体素子保護用材料。 - 接続対象部材上に実装された半導体素子を保護するために、前記半導体素子の前記接続対象部材側とは反対の表面上に塗布して、前記半導体素子の前記接続対象部材側とは反対の表面上に硬化物を形成するために用いられる半導体素子保護用材料であり、
熱硬化性化合物と、硬化剤又は硬化触媒と、熱伝導率が10W/m・K以上である無機フィラーとを含み、
三量体から十量体までの環状シロキサン化合物を含まないか、又は三量体から十量体までの環状シロキサン化合物を500ppm以下で含み、
前記無機フィラーの含有量が60重量%以上、92重量%以下であり、
150℃で2時間加熱して硬化物を得たときに、前記硬化物の電気伝導度が50μS/cm以下である、半導体素子保護用材料。 - 前記熱硬化性化合物が、エポキシ化合物又はシリコーン化合物を含む、請求項11又は12に記載の半導体素子保護用材料。
- 前記熱硬化性化合物がシリコーン化合物を含む、請求項13に記載の半導体素子保護用材料。
- 前記硬化剤がアリルフェノールノボラック化合物である、請求項11〜14のいずれか1項に記載の半導体素子保護用材料。
- 前記熱硬化性化合物が、可撓性エポキシ化合物を含む、請求項11〜15のいずれか1項に記載の半導体素子保護用材料。
- 前記熱硬化性化合物が、前記可撓性エポキシ化合物と、可撓性エポキシ化合物とは異なるエポキシ化合物とを含む、請求項16に記載の半導体素子保護用材料。
- 半導体素子保護用材料に含まれる前記可撓性エポキシ化合物が、アルキレングリコール基が9以上繰り返された構造単位を有するポリアルキレングリコールジグリシジルエーテルである、請求項16又は17に記載の半導体素子保護用材料。
- 水を含まないか、又は水を1000ppm以下で含む、請求項11〜18のいずれか1項に記載の半導体素子保護用材料。
- 半導体素子を保護するために、前記半導体素子の表面上に硬化物を形成し、かつ前記硬化物の前記半導体素子側とは反対の表面上に保護フィルムを配置して、半導体装置を得るために用いられるか、又は、半導体素子を保護するために、前記半導体素子の表面上に硬化物を形成し、かつ前記硬化物の前記半導体素子側とは反対の表面が露出している半導体装置を得るために用いられる、請求項11〜19のいずれか1項に記載の半導体素子保護用材料。
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