JP2017162745A - 膜・電極層接合体の製造装置および製造方法 - Google Patents

膜・電極層接合体の製造装置および製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】膜・電極層接合体の製造装置において、膜・触媒接合体を効果的に品質管理できる技術を提供することを目的とする。【解決手段】この膜・触媒接合体の製造装置1は、裏面に第1触媒粒子を含む第1電極層9aが形成された長尺帯状の電解質膜92を、その長手方向である搬送方向に搬送する複数の搬送ローラと、その外周面の一部で電解質膜92の裏面を吸着保持するとともに、その軸心周りに回転する吸着ローラ10と、吸着ローラ10に吸着保持されつつ移動する電解質膜92の表面に、第2触媒粒子を含む電極材料を供給し、第2電極層9bを形成する材料供給部と、電解質膜92が吸着ローラ10から離間した後に、少なくとも第1電極層9aを検査する検査部と、を備える。【選択図】図1

Description

本発明は、長尺帯状の電解質膜を搬送しつつ、電解質膜の表面に電極層を形成する膜・電極層接合体の製造装置および製造方法に関する。
近年、自動車や携帯電話などの駆動電源として、燃料電池が注目されている。燃料電池は、燃料に含まれる水素(H2)と空気中の酸素(O2)との電気化学反応によって電力を作り出す発電システムである。燃料電池は、他の電池と比べて、発電効率が高く環境への負荷が小さいという特長を有する。
燃料電池には、使用する電解質によって幾つかの種類が存在する。そのうちの1つが、電解質としてイオン交換膜(電解質膜)を用いた固体高分子形燃料電池(PEFC:Polymer Electrolyte Fuel Cell)である。固体高分子形燃料電池は、常温での動作および小型軽量化が可能であるため、自動車や携帯機器への適用が期待されている。
固体高分子形燃料電池は、一般的には複数のセルが積層された構造を有する。1つのセルは、膜・電極層接合体(MEA:Membrane-Electrode-Assembly)の両側を一対のセパレータで挟み込むことにより構成される。膜・電極層接合体は、電解質膜と、電解質膜の両面に形成された一対の電極層とを有する。一対の電極層の一方はアノード電極であり、他方がカソード電極となる。アノード電極に水素を含む燃料ガスが接触するとともに、カソード電極に空気が接触すると、電気化学反応によって電力が発生する。
上記の膜・電極層接合体は、典型的には、電解質膜の表面に、白金(Pt)を含む触媒粒子をアルコールなどの溶媒中に分散させた触媒インク(電極ペースト)を塗布し、その触媒インクを乾燥させることによって作成される。従来の膜・電極層接合体の製造技術については、例えば、特許文献1に記載されている。
特許文献1の製造装置では、吸着ローラの外周面に、電解質膜が保持される。そして、吸着ローラを回転させることによって、電解質膜を搬送しつつ、塗工ノズルから電極インクを吐出することによって、電解質膜の表面に電極インクを塗布する。
特開2015−15258号公報
電解質膜に形成された電極層は、燃料ガスおよび空気を効率よく拡散させるために、多孔質状となっている。このため、電極層は、外部からの圧力によって損傷しやすく、また、電解質膜から剥がれやすいことが知られている。したがって、膜・電極層接合体の製造時に、電解質膜に形成された電極層を検査し不良の有無を判断できる技術が、膜・電極層接合体の品質を管理する上で重要である。特に、電解質膜の裏面は吸着ローラに吸着保持される。このため、吸着ローラから離間した後に、電解質膜の裏面に形成された電極層に不良が発生していないかどうかを検査することが、膜・電極層接合体の品質を管理する上でより重要となる。
本発明は、このような事情に鑑みなされたものであり、膜・電極層接合体の製造装置において、吸着ローラから離間した後に、電解質膜の裏面に形成された電極層に不良が発生していないかどうかを検査して、膜・触媒接合体を効果的に品質管理できる技術を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本願の第1発明は、電解質膜の裏面に第1電極層を有するとともに、前記電解質膜の表面に第2電極層を有する膜・電極層接合体の製造装置であって、裏面に第1触媒粒子を含む前記第1電極層が形成された長尺帯状の前記電解質膜を、その長手方向である搬送方向に搬送する複数の搬送ローラと、前記複数の搬送ローラにより搬送される前記電解質膜の裏面を、その外周面の一部で吸着保持するとともに、その軸心周りに回転する吸着ローラと、前記吸着ローラに吸着保持されつつ移動する前記電解質膜の表面に、第2触媒粒子を含む電極材料を供給し、第2電極層を形成する材料供給部と、前記電解質膜が前記吸着ローラから離間した後に、前記第1電極層を検査する、一つ以上の検査部と、を備える。
本願の第2発明は、第1発明の製造装置であって、前記検査部は、前記第1電極層の外観を検査する外観検査部を有する。
本願の第3発明は、第1発明または第2発明の製造装置であって、前記検査部は、前記電解質膜が前記吸着ローラから離間した後に、前記第1電極層に含まれる前記第1触媒粒子の担持量および前記第2電極層に含まれる前記第2触媒粒子の担持量を検査する合計担持量検査部と、前記合計担持量検査部により得られた合計担持量から、予め取得した前記第1電極層に含まれる前記第1触媒粒子の第1担持量を差し引くことにより、前記第2触媒粒子の担持量を求める演算部と、を有する。
本願の第4発明は、第3発明の製造装置であって、前記検査部は、前記電解質膜が前記吸着ローラに到達する前に、前記電解質膜の裏面の前記第1電極層に含まれる前記第1触媒粒子の前記第1担持量を検査する、第1担持量検査部をさらに有する。
本願の第5発明は、第3発明または第4発明の製造装置であって、前記演算部は、前記合計担持量および前記第1担持量から、前記第2触媒粒子の第2担持量を求め、前記検査部は、前記第2担持量が異常値であるか否かにより、前記第1電極層を検査する。
本願の第6発明は、第1発明から第5発明までのいずれか1つの製造装置であって、長尺帯状の多孔質基材を、前記吸着ローラと前記電解質膜との間に介在させつつ搬送する多孔質基材搬送部を、さらに備える。
本願の第7発明は、第1発明から第6発明までのいずれか1つの製造装置であって、前記複数の搬送ローラのうち、前記検査部よりも搬送方向下流側の搬送ローラは、前記電解質膜の表面側に配置される。
本願の第8発明は、第1発明から第7発明までのいずれか1つの製造装置であって、前記検査部の検査結果に基づいて不良と判断された前記第1電極層付近に、マーキングするマーキング部を、さらに有する。
本願の第9発明は、第1発明から第8発明までのいずれか1つの製造装置であって、前記電解質膜の裏面と前記第1電極層とが、露出した状態で、前記吸着ローラに吸着保持される。
本願の第10発明は、電解質膜の裏面に第1電極層を有するとともに、前記電解質膜の表面に第2電極層を有する膜・電極層接合体の製造方法であって、a)第1触媒粒子を含む第1電極層が形成された長尺帯状の前記電解質膜の裏面を、吸着ローラの外周面の一部で吸着保持するとともに、前記吸着ローラをその軸心周りに回転させつつ、前記電解質膜を搬送する搬送工程と、b)前記吸着ローラに吸着保持されつつ移動する前記電解質膜の表面に、第2触媒粒子を含む電極材料を供給し、前記第2電極層を形成する工程と、c)前記電解質膜が前記吸着ローラから離間した後に、前記第1電極層を検査する工程と、を含む。
本願の第11発明は、第10発明の製造方法であって、前記工程c)は、d)前記第1電極層の外観を検査する工程を有する。
本願の第12発明は、第10発明または第11発明の製造方法であって、前記工程c)は、e)前記第1電極層に含まれる前記第1触媒粒子の担持量および前記第2電極層に含まれる前記第2触媒粒子の担持量を検査する工程と、f)前記工程e)により得られた合計担持量から、予め取得した前記第1電極層に含まれる前記第1触媒粒子の第2担持量を差し引くことにより、前記第2触媒粒子の担持量を求める工程と、を有する。
本願の第13発明は、第12発明の製造方法であって、前記電解質膜が前記吸着ローラに到達する前に、前記電解質膜の裏面の前記第1電極層に含まれる前記第1触媒粒子の第1担持量を検査する工程を、さらに有し、前記工程f)では、前記合計担持量から前記第1担持量を差し引くことにより、前記第2触媒粒子の前記第2担持量を求める。
本願の第14発明は、第12発明または第13発明の製造方法であって、前記工程c)では、前記第2担持量が異常値であるか否かにより、前記第1電極層を検査する。
本願の第15発明は、第10発明から第14発明までのいずれか1つの製造方法であって、前記工程a)では、長尺帯状の多孔質基材を、前記吸着ローラと前記電解質膜との間に介在させつつ搬送する。
本願の第16発明は、第10発明から第15発明までのいずれか1つの製造方法であって、前記工程c)の後に、前記電解質膜の表面側に配置される複数の搬送ローラにより、前記電解質膜を搬送する。
本願の第17発明は、第10発明から第16発明までのいずれか1つの製造方法であって、g)前記工程c)の検査結果に基づいて、不良と判断された前記第1電極層付近に、マーキングする工程を、さらに有する。
本願の第18発明は、第10発明から第17発明までのいずれか1つの製造方法であって、前記工程a)では、前記電解質膜の裏面と前記第1電極層とが、露出した状態で、前記吸着ローラに吸着保持される。
本願の第1発明〜第18発明によれば、電解質膜が吸着ローラから離間した後に、電解質膜に形成された第1電極層の、損傷や異物の付着等の不良を検出できる。これにより、膜・電極層接合体を効果的に品質管理でき、膜・電極層接合体の不良率を低減できる。また、検査結果に基づいて、次工程での処理の要否を判断することができる。このため、膜・電極層接合体の生産効率を向上できる。
特に、本願の第2発明および第11発明によれば、電解質膜に形成された第1電極層の形状や位置精度等の不良を、検査することができる。このため、膜・電極層接合体をより効果的に品質管理することができる。
特に、本願の第3発明および第12発明によれば、第2電極層に含まれる第2触媒粒子の担持量を検査できる。
特に、本願の第4発明および第13発明によれば、電解質膜が吸着ローラに吸着支持される前に、第1電極層に含まれる第1触媒粒子の担持量を検査できる。
特に、本願の第5発明および第14発明によれば、第2触媒粒子の担持量の検査結果に基づいて第1電極層を検査できる。その結果、第1電極層の欠陥をより多角的に検査できる。
特に、本願の第6発明および第15発明によれば、電解質膜は、多孔質基材を介して吸着ローラにより吸着支持される。このため、吸着ローラに付着した異物等が、電解質膜へと転着することを抑制できる。
特に、本願の第7発明および第16発明によれば、電解質膜が吸着ローラから離間した後は、電解質膜の裏面は搬送ローラと接触しない。このため、吸着ローラから離間した後に、第1電極層に損傷や異物の転着等の不良が発生することを防止できる。その結果、検査部による検査の信頼性を向上できる。
特に、本願の第8発明および第17発明によれば、検査部の検査結果に基づいて、電解質膜をマーキングできる。これにより、膜・電極層接合体をより効果的に品質管理することができる。
特に、本願の第9発明および第18発明によれば、吸着ローラに吸着保持された、電解質膜の裏面に露出した第1電極層を、電解質膜が吸着ローラから離間した後に検査できる。これにより、膜・電極層接合体をより効果的に品質管理することができる。
膜・電極層接合体の製造装置の構成を示した図である。 吸着ローラの下部付近の拡大図である。 制御部と各部との接続を示したブロック図である。 担持量検査部による触媒粒子の検査の様子を示す図である。 制御部により算出された触媒粒子の担持量を示すグラフである。 担持量検査部による触媒粒子の検査の様子を示す図である。 制御部により算出された触媒粒子の担持量を示すグラフである。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
<1.製造装置の構成>
図1は、本発明の一実施形態に係る膜・電極層接合体の製造装置1の構成を示した図である。この製造装置1は、長尺帯状の基材である電解質膜を、複数の搬送ローラにより長手方向(搬送方向)に搬送しつつ、電解質膜の表面に電極層を形成して、固体高分子形燃料電池用の膜・電極層接合体を製造する装置である。図1に示すように、本実施形態の膜・電極層接合体の製造装置1は、吸着ローラ10、多孔質基材搬送部20、電解質膜供給部30、材料供給部40、乾燥炉50、接合体回収部60、検査部70、マーキング部79および制御部80を備えている。
吸着ローラ10は、多孔質基材91および複数の搬送ローラにより搬送される電解質膜92を吸着保持しつつ回転するローラである。吸着ローラ10は、複数の吸着孔を有する円筒状の外周面を有する。吸着ローラ10の直径は、例えば、200mm〜1600mmとされる。図2は、吸着ローラ10の下部付近の拡大図である。図2中に破線で示したように、吸着ローラ10には、モータ等の駆動源を有する回転駆動部11が接続される。回転駆動部11を動作させると、吸着ローラ10は、水平に延びる軸心周りに回転する。なお、本実施形態の製造装置1では、複数の搬送ローラは、後述する、複数の積層基材搬入ローラ32および複数の接合体搬出ローラ64により構成される。
吸着ローラ10の材料には、例えば、多孔質カーボンや多孔質セラミックス等の多孔質材料が用いられる。多孔質セラミックスの具体例としては、アルミナ(Al2O3)または炭化ケイ素(SiC)の焼結体を挙げることができる。多孔質の吸着ローラ10における気孔径は、例えば5μm以下とされ、気孔率は、例えば15%〜50%とされる。
なお、吸着ローラ10の材料に、多孔質材料に代えて、金属を用いてもよい。金属の具体例としては、SUS等のステンレスまたは鉄を挙げることができる。吸着ローラ10の材料に金属を用いる場合には、吸着ローラ10の外周面に、微小な吸着孔を、加工により形成すればよい。吸着孔の直径は、吸着痕の発生を防止するために、2mm以下とすることが好ましい。
吸着ローラ10の端面には、吸引口12が設けられている。吸引口12は、図外の吸引機構(例えば、排気ポンプ)に接続される。吸引機構を動作させると、吸着ローラ10の吸引口12に負圧が生じる。そして、吸着ローラ10内の気孔を介して、吸着ローラ10の外周面に設けられた複数の吸着孔にも、負圧が発生する。多孔質基材91および電解質膜92は、当該負圧によって、吸着ローラ10の外周面に吸着保持されつつ、吸着ローラ10の回転によって円弧状に搬送される。
また、図2中に破線で示すように、吸着ローラ10の内部には、複数の水冷管13が設けられている。水冷管13には、図外の給水機構から、所定温度に温調された冷却水が供給される。製造装置1の動作時には、吸着ローラ10の熱が、熱媒体である冷却水に吸収される。これにより、吸着ローラ10が冷却される。熱を吸収した冷却水は、図外の排液機構へ排出される。
なお、後述する乾燥炉50に代えて、吸着ローラ10の内部に、温水循環機構やヒータなどの加熱機構が設けられていてもよい。その場合、吸着ローラ10の内部に水冷管を設けず、吸着ローラ10の内部に設けられた加熱機構を制御することによって、吸着ローラ10の外周面の温度を制御してもよい。
多孔質基材搬送部20は、長尺帯状の多孔質基材91を吸着ローラ10へ向けて供給するとともに、使用後の多孔質基材91を回収する部位である。多孔質基材91は、多数の微細な気孔を有する通気可能な基材である。多孔質基材91は、異物が発生しにくい材料で形成されていることが好ましい。図1に示すように、多孔質基材搬送部20は、多孔質基材供給ローラ21、複数の多孔質基材搬入ローラ22、複数の多孔質基材搬出ローラ23および多孔質基材回収ローラ24を有する。多孔質基材供給ローラ21、複数の多孔質基材搬入ローラ22、複数の多孔質基材搬出ローラ23および多孔質基材回収ローラ24は、いずれも、吸着ローラ10と平行に配置される。
供給前の多孔質基材91は、多孔質基材供給ローラ21に巻き付けられている。多孔質基材供給ローラ21は、図示を省略したモータの動力により回転する。多孔質基材供給ローラ21が回転すると、多孔質基材91は、多孔質基材供給ローラ21から繰り出される。繰り出された多孔質基材91は、複数の多孔質基材搬入ローラ22により案内されつつ、所定の搬入経路に沿って、吸着ローラ10の外周面まで搬送される。そして、多孔質基材91は、吸着ローラ10の外周面に吸着保持されつつ、吸着ローラ10の回転によって、円弧状に搬送される。なお、図2では、理解容易のため、吸着ローラ10と、吸着ローラ10に保持される多孔質基材91とが、間隔を空けて図示されている。
多孔質基材91は、吸着ローラ10の軸心を中心として、180°以上、好ましくは270°以上搬送される。その後、多孔質基材91は、吸着ローラ10の外周面から離れる。吸着ローラ10から離れた多孔質基材91は、複数の多孔質基材搬出ローラ23により案内されつつ、所定の搬出経路に沿って、多孔質基材回収ローラ24まで搬送される。多孔質基材回収ローラ24は、図示を省略したモータの動力により回転する。これにより、使用後の多孔質基材91が、多孔質基材回収ローラ24に巻き取られる。
電解質膜供給部30は、電解質膜92および第1支持フィルム93の2層で構成される積層基材94を、吸着ローラ10の周囲へ供給するとともに、電解質膜92から第1支持フィルム93を剥離する部位である。
電解質膜92には、例えば、フッ素系または炭化水素系の高分子電解質膜が用いられる。電解質膜92の具体例としては、パーフルオロカーボンスルホン酸を含む高分子電解質膜(例えば、米国DuPont社製のNafion(登録商標)、旭硝子(株)製のFlemion(登録商標)、旭化成(株)製のAciplex(登録商標)、ゴア(Gore)社製のGoreselect(登録商標))を挙げることができる。電解質膜92の膜厚は、例えば、5μm〜30μmとされる。電解質膜92は、大気中の湿気によって膨潤する一方、湿度が低くなると収縮する。すなわち、電解質膜92は、大気中の湿度に応じて変形しやすい性質を有する。
第1支持フィルム93は、電解質膜92の変形を抑制するためのフィルムである。第1支持フィルム93の材料には、電解質膜92よりも機械的強度が高く、形状保持機能に優れた樹脂が用いられる。第1支持フィルム93の具体例としては、PEN(ポリエチレンナフタレート)やPET(ポリエチレンテレフタレート)のフィルムを挙げることができる。第1支持フィルム93の膜厚は、例えば25μm〜100μmとされる。
図1に示すように、電解質膜供給部30は、積層基材供給ローラ31(電解質膜供給ローラ)、複数の積層基材搬入ローラ32、剥離ローラ33、複数の第1支持フィルム搬出ローラ34および第1支持フィルム回収ローラ35を有する。積層基材供給ローラ31、複数の積層基材搬入ローラ32、剥離ローラ33、複数の第1支持フィルム搬出ローラ34および第1支持フィルム回収ローラ35は、いずれも、吸着ローラ10と平行に配置される。
供給前の積層基材94は、第1支持フィルム93が外側となるように、積層基材供給ローラ31に巻き付けられている。本実施形態では、電解質膜92の、第1支持フィルム93とは反対側の面(以下「裏面」と称する)に、予め第1電極層9aが形成されている。そして、第1電極層9aには、第1触媒粒子が含まれている。第1電極層9aは、この製造装置1とは別の装置において、第1支持フィルム93および電解質膜92の2層で構成される積層基材94を、そのままロール・ツー・ロール方式で搬送しつつ、電解質膜92の裏面に電極材料を間欠塗布し、塗布された電極材料を乾燥させることによって形成される。
積層基材供給ローラ31は、図示を省略したモータの動力により回転する。積層基材供給ローラ31が回転すると、積層基材94は、積層基材供給ローラ31から繰り出される。繰り出された積層基材94は、搬送ローラである複数の積層基材搬入ローラ32により案内されつつ、所定の搬入経路に沿って、剥離ローラ33まで搬送される。電解質膜92の裏面と第1電極層9aとは、支持フィルムに覆われることなく露出している。
剥離ローラ33は、電解質膜92から第1支持フィルム93を剥離するためのローラである。剥離ローラ33は、吸着ローラ10よりも径の小さい円筒状の外周面を有する。剥離ローラ33の少なくとも外周面は、弾性体により形成される。剥離ローラ33は、吸着ローラ10に対する多孔質基材91の導入位置よりも、吸着ローラ10の回転方向のやや下流側において、吸着ローラ10に隣接配置されている。また、剥離ローラ33は、図示を省略したエアシリンダによって、吸着ローラ10側へ加圧されている。
図2に示すように、複数の積層基材搬入ローラ32により搬入される積層基材94は、吸着ローラ10と剥離ローラ33との間へ導入される。このとき、電解質膜92の裏面は、第1電極層9aとともに、吸着ローラ10に保持された多孔質基材91の表面に接触し、第1支持フィルム93は、剥離ローラ33の外周面に接触する。また、積層基材94は、剥離ローラ33から受ける圧力で、吸着ローラ10側へ押し付けられる。吸着ローラ10に保持された多孔質基材91の表面には、吸着ローラ10からの吸引力によって、負圧が生じる。電解質膜92は、当該負圧によって、多孔質基材91の表面に吸着される。そして、電解質膜92は、多孔質基材91とともに吸着ローラ10に保持されつつ、吸着ローラ10の回転によって、円弧状に搬送される。なお、図2では、理解容易のため、吸着ローラ10に保持される多孔質基材91と電解質膜92とが、間隔を空けて図示されている。
このように、本実施形態では、吸着ローラ10の外周面と電解質膜92との間に、多孔質基材91を介在させる。このため、吸着ローラ10の外周面と、電解質膜92の裏面に形成された第1電極層9aとは、直接接触しない。したがって、第1電極層9aの一部が吸着ローラ10の外周面に付着したり、吸着ローラ10の外周面から電解質膜92へ異物が転着したりすることを、抑制できる。
一方、吸着ローラ10と剥離ローラ33との間を通過した第1支持フィルム93は、吸着ローラ10から離れて、複数の第1支持フィルム搬出ローラ34側へ搬送される。これにより、電解質膜92から第1支持フィルム93が剥離される。その結果、電解質膜92の裏面とは反対側の面(以下「表面」と称する)が露出する。剥離された第1支持フィルム93は、複数の第1支持フィルム搬出ローラ34により案内されつつ、所定の搬出経路に沿って、第1支持フィルム回収ローラ35まで搬送される。第1支持フィルム回収ローラ35は、図示を省略したモータの動力により回転する。これにより、第1支持フィルム93が、第1支持フィルム回収ローラ35に巻き取られる。
材料供給部40は、吸着ローラ10の周囲において、電解質膜92の表面に電極材料を塗布する機構である。電極材料には、例えば、白金(Pt)を含む第2触媒粒子をアルコールなどの溶媒中に分散させた触媒インク(電極ペースト)が用いられる。図1に示すように、材料供給部40はノズル41を有する。ノズル41は、吸着ローラ10による電解質膜92の搬送方向において、剥離ローラ33よりも下流側に設けられている。ノズル41は、吸着ローラ10の外周面に対向する吐出口411を有する。吐出口411は、吸着ローラ10の外周面に沿って、水平に延びるスリット状の開口である。
ノズル41は、図示を省略した電極材料供給源と接続されている。材料供給部40を駆動させると、電極材料供給源から配管を通ってノズル41に、電極材料が供給される。そして、ノズル41の吐出口411から電解質膜92の表面に向けて、電極材料が吐出される。これにより、電解質膜92の表面に、電極材料が塗布される。
本実施形態では、ノズル41に流路接続される供給用配管に介設されたバルブを一定の周期で開閉することによって、ノズル41の吐出口411から、電極材料を断続的に吐出する。これにより、電解質膜92の表面に、電極材料を搬送方向に一定の間隔で間欠塗布する。ただし、バルブを連続的に開放して、電解質膜92の表面に、搬送方向に切れ目無く電極材料を塗布してもよい。
なお、電極材料中の触媒粒子には、高分子形燃料電池のアノードまたはカソードにおいて燃料電池反応を起こす材料が用いられる。具体的には、白金(Pt)、白金合金、白金化合物等の粒子を、触媒粒子として用いることができる。白金合金の例としては、例えば、ルテニウム(Ru)、パラジウム(Pd)、ニッケル(Ni)、モリブデン(Mo)、イリジウム(Ir)、鉄(Fe)等からなる群から選択される少なくとも1種の金属と白金との合金を挙げることができる。一般的には、カソード用の電極材料には白金が用いられ、アノード用の電極材料には白金合金が用いられる。ノズル41から吐出される電極材料は、カソード用であってもアノード用であってもよい。ただし、電解質膜92の表裏に形成される電極層9a,9bには、互いに逆極性の電極材料が用いられる。
材料供給部40のノズル41や配管は、定期的に分解洗浄等のメンテナンスを行う必要がある。このため、この製造装置1は、材料供給部40のメンテナンスを行うためのメンテナンススペース2を有する。本実施形態では、材料供給部40と第1支持フィルム回収ローラ35との間に、メンテナンススペース2が配置されている。材料供給部40のメンテナンスを行うときには、メンテナンススペース2に設けられた足場201の上に作業者3が立って、材料供給部40を構成する部品の洗浄等を行う。
乾燥炉50は、電解質膜92の表面に塗布された電極材料を乾燥させる部位である。本実施形態の乾燥炉50は、吸着ローラ10による電解質膜92の搬送方向において、材料供給部40よりも下流側に配置されている。また、乾燥炉50は、吸着ローラ10の外周面に沿って、円弧状に設けられている。乾燥炉50は、吸着ローラ10の周囲において、電解質膜92の表面に、加熱された気体(熱風)を吹き付ける。そうすると、電解質膜92の表面に塗布された電極材料が加熱され、電極材料中の溶剤が気化する。これにより、電極材料が乾燥して、電解質膜92の表面に電極層(以下、「第2電極層9b」と称する)が形成される。その結果、電解質膜92、第1電極層9aおよび第2電極層9bで構成される膜・電極層接合体95が得られる。
接合体回収部60は、膜・電極層接合体95に第2支持フィルム96を貼り付けて、膜・電極層接合体95を回収する部位である。図1に示すように、接合体回収部60は、第2支持フィルム供給ローラ61、複数の第2支持フィルム搬入ローラ62、ラミネートローラ63、搬送ローラである複数の接合体搬出ローラ64および接合体回収ローラ65を有する。第2支持フィルム供給ローラ61、複数の第2支持フィルム搬入ローラ62、ラミネートローラ63、複数の接合体搬出ローラ64および接合体回収ローラ65は、いずれも、吸着ローラ10と平行に配置される。
供給前の第2支持フィルム96は、第2支持フィルム供給ローラ61に巻き付けられている。第2支持フィルム供給ローラ61は、図示を省略したモータの動力により回転する。第2支持フィルム供給ローラ61が回転すると、第2支持フィルム96は、第2支持フィルム供給ローラ61から繰り出される。繰り出された第2支持フィルム96は、複数の第2支持フィルム搬入ローラ62により案内されつつ、所定の搬入経路に沿って、ラミネートローラ63まで搬送される。
第2支持フィルム96の材料には、電解質膜92よりも機械的強度が高く、形状保持機能に優れた樹脂が用いられる。第2支持フィルム96の具体例としては、PEN(ポリエチレンナフタレート)やPET(ポリエチレンテレフタレート)のフィルムを挙げることができる。第2支持フィルム96の膜厚は、例えば25μm〜100μmとされる。第2支持フィルム96は、第1支持フィルム93と同じものであってもよい。また、第1支持フィルム回収ローラ35に巻き取られた第1支持フィルム93を、第2支持フィルム96として第2支持フィルム供給ローラ61から繰り出すようにしてもよい。
ラミネートローラ63は、膜・電極層接合体95に第2支持フィルム96を貼り付けるためのローラである。ラミネートローラ63の材料には、例えば、耐熱性の高いゴムが用いられる。ラミネートローラ63は、吸着ローラ10よりも径の小さい円筒状の外周面を有する。ラミネートローラ63は、吸着ローラ10の回転方向において、乾燥炉50よりも下流側、かつ、吸着ローラ10から多孔質基材91が離れる位置よりも上流側において、吸着ローラ10に隣接配置されている。また、ラミネートローラ63は、図示を省略したエアシリンダによって、吸着ローラ10側へ加圧されている。
図2に示すように、ラミネートローラ63の内部には、通電により発熱するヒータ631が設けられている。ヒータ631には、例えば、シーズヒータが用いられる。ヒータ631に通電すると、ヒータ631から生じる熱によって、ラミネートローラ63の外周面が、環境温度よりも高い所定の温度に温調される。なお、ラミネートローラ63の外周面の温度を放射温度計等の温度センサを用いて測定し、その測定結果に基づいて、ラミネートローラ63の外周面が一定の温度となるように、ヒータ631の出力を制御してもよい。
複数の第2支持フィルム搬入ローラ62により搬入される第2支持フィルム96は、図2に示すように、吸着ローラ10の周囲において搬送される膜・電極層接合体95とラミネートローラ63との間へ導入される。このとき、第2支持フィルム96は、ラミネートローラ63からの圧力により、膜・電極層接合体95に押し付けられるとともに、ラミネートローラ63の熱により加熱される。その結果、電解質膜92の表面に、第2支持フィルム96が貼り付けられる。電解質膜92の表面に形成された第2電極層9bは、電解質膜92と第2支持フィルム96との間に挟まれる。
吸着ローラ10とラミネートローラ63との間を通過した第2支持フィルム96付きの膜・電極層接合体95は、吸着ローラ10から離れる方向へ搬送される。これにより、多孔質基材91から膜・電極層接合体95が剥離される。
また、本実施形態では、ラミネートローラ63の近傍に、押圧ローラ66が配置されている。押圧ローラ66は、吸着ローラ10とラミネートローラ63との間の隙間よりも、膜・電極層接合体95の搬送方向下流側において、ラミネートローラ63に隣接配置されている。また、押圧ローラ66は、図示を省略したエアシリンダによって、ラミネートローラ63側へ加圧されている。多孔質基材91から離れた第2支持フィルム96付きの膜・電極層接合体95は、続いて、ラミネートローラ63と押圧ローラ66との間を通過する。これにより、電解質膜92の表面に対する第2支持フィルム96の密着性が向上する。
その後、第2支持フィルム96付きの膜・電極層接合体95は、後述する検査部70により検査されつつ、複数の接合体搬出ローラ64により案内される。そして、第2支持フィルム96付きの膜・電極層接合体95は、所定の搬出経路に沿って、接合体回収ローラ65まで搬送される。接合体回収ローラ65は、図示を省略したモータの動力により回転する。これにより、第2支持フィルム96付きの膜・電極層接合体95が、第2支持フィルム96が外側となるように、接合体回収ローラ65に巻き取られる。
このように、本実施形態の製造装置1では、積層基材供給ローラ31からの積層基材94の繰り出し、電解質膜92からの第1支持フィルム93の剥離、電解質膜92への電極材料の塗布、乾燥炉50による乾燥、電解質膜92への第2支持フィルム96の貼り付け、検査部70による検査、接合体回収ローラ65への膜・電極層接合体95の巻取りの各工程が、順次に実行される。これにより、固体高分子形燃料電池の電極に用いられる膜・電極層接合体95が製造される。電解質膜92は、第1支持フィルム93、吸着ローラ10、または第2支持フィルム96に、常に保持されている。これにより、製造装置1における電解質膜92の膨潤・収縮等の変形が抑制される。
制御部80は、製造装置1内の各部を動作制御するための手段である。図3は、制御部80と、製造装置1内の各部との電気的な接続関係を示したブロック図である。図3中に概念的に示したように、制御部80は、CPU等の演算部81、RAM等のメモリ82およびハードディスクドライブ等の記憶部83を有するコンピュータにより構成される。記憶部83内には、膜・電極層接合体の製造処理を実行するためのコンピュータプログラムPが、インストールされている。
また、図3に示すように、制御部80は、上述した吸着ローラ10の回転駆動部11、吸着ローラ10の吸引機構、多孔質基材供給ローラ21のモータ、多孔質基材回収ローラ24のモータ、積層基材供給ローラ31のモータ、剥離ローラ33のエアシリンダ、第1支持フィルム回収ローラ35のモータ、材料供給部40、乾燥炉50、第2支持フィルム供給ローラ61のモータ、ラミネートローラ63のエアシリンダ、ラミネートローラ63のヒータ631、押圧ローラ66のエアシリンダ、接合体回収ローラ65のモータ、後述する検査部70およびマーキング部79と、それぞれ通信可能に接続されている。
制御部80は、記憶部83に記憶されたコンピュータプログラムPやデータをメモリ82に一時的に読み出し、当該コンピュータプログラムPに基づいて、演算部81が演算処理を行うことにより、上記の各部を動作制御する。これにより、製造装置1における膜・電極層接合体の製造処理が進行する。
<2.検査部およびマーキング部について>
続いて、上述した製造装置1における、検査部70およびマーキング部79について、説明する。
検査部70は、電解質膜92に形成された電極層9a,9bを検査する機構である。本実施形態の検査部70は、第1検査部71および第2検査部72を有する。第1検査部71は、ラミネートローラ63よりも搬送方向下流側に配置され、電解質膜92が吸着ローラ10から離間した後に、電解質膜92に形成された電極層9a,9bを検査する。
第1検査部71は、外観検査部73および合計担持量検査部74aを有する。外観検査部73は、電解質膜92に形成された電極層9a,9bの、形状や形成位置等の外観を検査する機構である。外観検査部73は、例えば、レンズ等の光学系およびCCDやCMOS等の撮像素子を有するラインセンサにより実現される。ただし、外観検査部73は、他の手段によって実現されるものであってもよい。外観検査部73により取得された画像は、制御部80へ入力され画像処理がなされる。そして、制御部80は、画像処理された画像から、電極層9a,9bについての、形成位置異常、異物の付着および損傷等の不良の有無を判断する。
図1に示すように、本実施形態の外観検査部73は、第1電極層9aを検査する外観検査部73aおよび第2電極層9bを検査する外観検査部73bを有する。外観検査部73bは、ラミネートローラ63よりも搬送方向下流側で、かつ、膜・電極層接合体95の表面側に配置され、第2支持フィルム96を介して第2電極層9bの外観を検査する。また、外観検査部73aは、外観検査部73bよりもさらに搬送方向下流側で、かつ、膜・電極層接合体95の裏面側に配置され、第1電極層9aの外観を検査する。これにより、第1電極層9aおよび第2電極層9bのそれぞれについて、外観不良の有無を判断できる。また、電解質膜92が吸着ローラ10により吸着支持されたことによって、第1電極層9aに生じた不良の有無も判断できる。
本実施形態の外観検査部73aは、搬送ローラである接合体搬出ローラ64と当接する電解質膜92の裏面側から、第1電極層9aの外観を検査する。搬送中の電解質膜92は、接合体搬出ローラ64と当接する箇所で撓みが抑えられる。このため、外観検査部73bは、当該箇所を裏面から検査することで、より精度よく第1電極層9aの外観を検査できる。
合計担持量検査部74aは、電極層9a,9b中の第1触媒粒子および第2触媒粒子の担持量を検査する。図4は、合計担持量検査部74aによる電極層9a,9b中の第1触媒粒子および第2触媒粒子の検査の様子を示す図である。図5は、制御部80により算出された、電解質膜92の搬送距離に対する電極層9a,9b中の第1触媒粒子および第2触媒粒子の担持量を示すグラフである。
図1および図4に示すように、本実施形態の合計担持量検査部74aは、X線照射部75aおよびX線検出部76aを有する。X線照射部75aは、電解質膜92の表面側に配置される。X線検出部76aは、電解質膜92の裏面側に配置される。ただし、X線照射部75aは、電解質膜92の裏面側に配置され、X線検出部76aは、電解質膜92の表面側に配置されてもよい。X線照射部75aにより照射されたX線は、第2支持フィルム96、第2電極層9b、電解質膜92および第1電極層9aを通過して、裏面側から取り出される。そして、電解質膜92の裏面側から取り出されたX線は、X線検出部76aにより検出される。
X線照射部75aから照射されたX線の一部は、第1電極層9a中の第1触媒粒子および第2電極層9b中の第2触媒粒子により吸収される。このため、X線検出部76aにより検出されるX線の強度は、X線照射部75aから照射されたX線の強度よりも低くなる。X線検出部76aは、検出したX線の強度を制御部80へ入力する。制御部80は、X線照射部75aから照射されたX線の強度と、X線検出部76aにより検出されたX線の強度の差分から、X線透過率を算出する。そして、制御部80は、算出されたX線透過率、予め記憶されたデータおよびコンピュータプログラムから、第1電極層9a中の第1触媒粒子および第2電極層9b中の第2触媒粒子の合計の担持量である合計担持量D0を算出する。
第2検査部72は、吸着ローラ10よりも搬送方向上流側に配置され、電解質膜92の裏面に形成された第1電極層9aを検査する。本実施形態の第2検査部72は、第1担持量検査部74bを有する。図6は、第1担持量検査部74bによる第1電極層9a中の第1触媒粒子の検査の様子を示す図である。図7は、制御部80により算出された、電解質膜92の搬送距離に対する第1電極層9a中の第1触媒粒子の担持量を示すグラフである。
第1担持量検査部74bは、合計担持量検査部74aと同様に、X線照射部75bおよびX線検出部76bを有する。X線照射部75bは、電解質膜92の表面側に配置される。X線検出部76bは、電解質膜92の裏面側に配置される。X線照射部75bにより照射されたX線は、電解質膜92、第1電極層9aおよび第1支持フィルム93を通過して、裏面側から取り出される。そして、電解質膜92の裏面側から取り出されたX線は、X線検出部76bにより検出される。制御部80は、X線照射部75bから照射されたX線の強度と、X線検出部76bにより検出されたX線の強度の差分から、X線透過率を算出する。そして、制御部80は、算出されたX線透過率および予め記憶されたデータやコンピュータプログラムから、第1電極層9a中の第1触媒粒子の担持量である第1担持量D1を算出する。
制御部80内の演算部81は、合計担持量D0と、第1担持量D1との差分から、第2触媒粒子の担持量である第2担持量を算出する。これにより、第2電極層9bの不良の有無を判断できる。また、第2電極層9bに欠損が発生する可能性が低く、第2触媒粒子の担持量を、略一定と仮定できるのであれば、合計担持量D0から、略一定と仮定した第2触媒粒子の担持量を差し引くことで、吸着ローラ10から離間した後の第1電極層9a中の第1触媒粒子の担持量を算出することも可能である。その場合、演算部81は、電解質膜92が吸着ローラ10に吸着支持される前の第1触媒粒子の第1担持量D1と、電解質膜92が吸着ローラ10から離間した後の第1触媒粒子の担持量とを比較できる。これにより、第1電極層9aの不良の有無をより多角的に判断できる。
また、制御部80は、算出された第2担持量が極端に変化するなどの異常値となった場合、第1電極層9aに脱落等の不良が発生している可能性があると判断する。このように、本実施形態の検査部70は、第2担持量が異常値であるか否かにより、第1電極層9aを検査することができる。その結果、第1電極層9aの欠陥をより多角的に検査できる。
マーキング部79は、電解質膜92または第2支持フィルム96にマーキングする機構である。マーキング部79によるマーキングは、例えば、マーキング用のインクをインクジェット吐出機構により吐出することで実現される。マーキング部79は、検査部70による検査の結果、不良と判断された電極層9a,9b付近の、電解質膜92または第2支持フィルム96にマーキングを行う。
製造装置1により製造された膜・電極層接合体95は、その後、切断され、電解質膜92の表裏面に形成された電極層9a,9bにガス拡散膜が貼り付けられる。ここで、ガス拡散膜の貼り付け工程の前に、不良と判断された電極層9a,9bは、マーキングを目印として容易に除去することができる。このため、不良である電極層9a,9bを有する膜・電極層接合体95が、最終製品に用いられることを防ぐことができる。その結果、製造装置1により製造された膜・電極層接合体95を効果的に品質管理できる。
特に、この製造装置1では、膜・電極層接合体95が吸着ローラ10から離間した後に、予め電解質膜92に形成されていた第1電極層9aに、損傷や異物の付着等の不良が発生していないかどうかを検査できる。このため、吸着ローラ10への吸着に起因する第1電極層9aの品質低下を、製造装置1内において発見できる。これにより、膜・電極層接合体95を効果的に品質管理でき、膜・電極層接合体95の不良率を低減できる。また、検査部70の検査結果に基づいて、次工程での処理の要否を判断することができる。このため、膜・電極層接合体95の生産効率を向上できる。
また、検査部70による検査結果に基づいて、吸着ローラ10、複数の搬送ローラおよびノズル41のクリーニング等のメンテナンスを行うことができる。また、塗工インク(触媒インク)の交換や、塗工インクの調合レシピの確認を行うことができる。その結果、膜・電極層接合体95の不良率を低減でき、歩留まりを向上させることができる。
また、本実施形態では、複数の搬送ローラのうち、ラミネートローラ63よりも搬送方向下流側の複数の接合体搬出ローラ64は、全て電解質膜92の表面側に配置される。すなわち、第1検査部71により検査された後は、電解質膜92の裏面と接合体搬出ローラ64とは、接触しない。このため、第1検査部71により検査された後に、第1電極層9aが搬送ローラと接触することで、第1電極層9aに不良が生じることを抑制できる。また、ラミネートローラ63よりも搬送方向下流側の接合体搬出ローラ64は、電解質膜92の表面と、第2支持フィルム96を介して接触する。このため、第2電極層9bに不良が生じることを抑制できる。その結果、検査部70による検査の信頼性を高めることができる。
<3.変形例>
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではない。
上記の実施形態では、第2検査部72は、第1担持量検査部74bのみを有していた。しかしながら、第2検査部72は、第1電極層9aの外観を検査する外観検査部をさらに有していてもよい。そして、電解質膜92が吸着ローラ10に吸着支持される前の第1電極層9aの外観と、電解質膜92が吸着ローラ10から離間した後の第1電極層9aの外観とを比較してもよい。このようにすれば、電解質膜92が吸着ローラ10によって吸着支持されたことにより生じた、第1電極層9aの不良の有無を、より精度よく判断することができる。
また、上記の実施形態では、第1検査部71は、第1電極層9aを検査する一つの外観検査部73aおよび第2電極層9bを検査する一つの外観検査部73bを有していた。しかしながら、第1検査部71は、外観検査部73a,bを、それぞれ複数有していてもよい。また、外観検査部73a,bのうち、いずれか一方により、第1電極層9aおよび第2電極層9bの外観を検査できるのであれば、他方を省略してもよい。
また、上記の実施形態の複数の搬送ローラのうち、一部は粘着ローラであってもよい。こうすることで、搬送ローラは、電解質膜92を搬送しつつ、電解質膜92に付着した異物を除去することができる。
また、上記の実施形態では、電解質膜供給ローラとしての積層基材供給ローラ31から、電解質膜92および第1支持フィルム93の2層で構成される積層基材94を供給する場合について説明した。しかしながら、電解質膜供給ローラは、第1支持フィルム93が貼り付けられていない電解質膜92を繰り出すものであってもよい。
また、上記の実施形態では、接合体回収ローラ65が、第2支持フィルム96付きの電解質膜92を巻き取る場合について説明した。しかしながら、接合体回収ローラ65は、第2支持フィルム96が貼り付けられていない電解質膜92を巻き取るものであってもよい。
また、製造装置1の細部の構成については、本願の各図と相違していてもよい。また、上記の実施形態や変形例に登場した各要素を、矛盾が生じない範囲で、適宜に組み合わせてもよい。
1,1a 製造装置
2 メンテナンススペース
3 作業者
9a 第1電極層
9b 第2電極層
10 吸着ローラ
20 多孔質基材搬送部
30 電解質膜供給部
40 材料供給部
63 ラミネートローラ
64 接合体搬出ローラ
65 接合体回収ローラ
70 検査部
71 第1検査部
72 第2検査部
73,73a,73b 外観検査部
74a 合計担持量検査部
74b 第1担持量検査部
79 マーキング部
80 制御部
91 多孔質基材
92 電解質膜
93 第1支持フィルム
94 積層基材
95 膜・電極層接合体
96 第2支持フィルム

Claims (18)

  1. 電解質膜の裏面に第1電極層を有するとともに、前記電解質膜の表面に第2電極層を有する膜・電極層接合体の製造装置であって、
    裏面に第1触媒粒子を含む前記第1電極層が形成された長尺帯状の前記電解質膜を、その長手方向である搬送方向に搬送する複数の搬送ローラと、
    前記複数の搬送ローラにより搬送される前記電解質膜の裏面を、その外周面の一部で吸着保持するとともに、その軸心周りに回転する吸着ローラと、
    前記吸着ローラに吸着保持されつつ移動する前記電解質膜の表面に、第2触媒粒子を含む電極材料を供給し、第2電極層を形成する材料供給部と、
    前記電解質膜が前記吸着ローラから離間した後に、前記第1電極層を検査する、一つ以上の検査部と、
    を備える製造装置。
  2. 請求項1に記載の製造装置であって、
    前記検査部は、前記第1電極層の外観を検査する外観検査部を有する製造装置。
  3. 請求項1または請求項2に記載の製造装置であって、
    前記検査部は、
    前記電解質膜が前記吸着ローラから離間した後に、前記第1電極層に含まれる前記第1触媒粒子の担持量および前記第2電極層に含まれる前記第2触媒粒子の担持量を検査する合計担持量検査部と、
    前記合計担持量検査部により得られた合計担持量から、予め取得した前記第1電極層に含まれる前記第1触媒粒子の第1担持量を差し引くことにより、前記第2触媒粒子の担持量を求める演算部と、
    を有する製造装置。
  4. 請求項3に記載の製造装置であって、
    前記検査部は、前記電解質膜が前記吸着ローラに到達する前に、前記電解質膜の裏面の前記第1電極層に含まれる前記第1触媒粒子の前記第1担持量を検査する、第1担持量検査部をさらに有する製造装置。
  5. 請求項3または請求項4に記載の製造装置であって、
    前記演算部は、前記合計担持量および前記第1担持量から、前記第2触媒粒子の第2担持量を求め、
    前記検査部は、前記第2担持量が異常値であるか否かにより、前記第1電極層を検査する製造装置。
  6. 請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載の製造装置であって、
    長尺帯状の多孔質基材を、前記吸着ローラと前記電解質膜との間に介在させつつ搬送する多孔質基材搬送部を、さらに備える製造装置。
  7. 請求項1から請求項6までのいずれか1項に記載の製造装置であって、
    前記複数の搬送ローラのうち、前記検査部よりも搬送方向下流側の搬送ローラは、前記電解質膜の表面側に配置される製造装置。
  8. 請求項1から請求項7までのいずれか1項に記載の製造装置であって、
    前記検査部の検査結果に基づいて不良と判断された前記第1電極層付近に、マーキングするマーキング部を、さらに有する製造装置。
  9. 請求項1から請求項8までのいずれか1項に記載の製造装置であって、
    前記電解質膜の裏面と前記第1電極層とが、露出した状態で、前記吸着ローラに吸着保持される製造装置。
  10. 電解質膜の裏面に第1電極層を有するとともに、前記電解質膜の表面に第2電極層を有する膜・電極層接合体の製造方法であって、
    a)第1触媒粒子を含む第1電極層が形成された長尺帯状の前記電解質膜の裏面を、吸着ローラの外周面の一部で吸着保持するとともに、前記吸着ローラをその軸心周りに回転させつつ、前記電解質膜を搬送する搬送工程と、
    b)前記吸着ローラに吸着保持されつつ移動する前記電解質膜の表面に、第2触媒粒子を含む電極材料を供給し、前記第2電極層を形成する工程と、
    c)前記電解質膜が前記吸着ローラから離間した後に、前記第1電極層を検査する工程と、
    を含む製造方法。
  11. 請求項10に記載の製造方法であって、
    前記工程c)は、
    d)前記第1電極層の外観を検査する工程を有する製造方法。
  12. 請求項10または請求項11に記載の製造方法であって、
    前記工程c)は、
    e)前記第1電極層に含まれる前記第1触媒粒子の担持量および前記第2電極層に含まれる前記第2触媒粒子の担持量を検査する工程と、
    f)前記工程e)により得られた合計担持量から、予め取得した前記第1電極層に含まれる前記第1触媒粒子の担持量を差し引くことにより、前記第2触媒粒子の第2担持量を求める工程と、
    を有する製造方法。
  13. 請求項12に記載の製造方法であって、
    前記電解質膜が前記吸着ローラに到達する前に、前記電解質膜の裏面の前記第1電極層に含まれる前記第1触媒粒子の第1担持量を検査する工程を、さらに有し、
    前記工程f)では、前記合計担持量から前記第1担持量を差し引くことにより、前記第2触媒粒子の前記第2担持量を求める製造方法。
  14. 請求項12または請求項13に記載の製造方法であって、
    前記工程c)では、前記第2担持量が異常値であるか否かにより、前記第1電極層を検査する製造方法。
  15. 請求項10から請求項14までのいずれか1項に記載の製造方法であって、
    前記工程a)では、長尺帯状の多孔質基材を、前記吸着ローラと前記電解質膜との間に介在させつつ搬送する製造方法。
  16. 請求項10から請求項15までのいずれか1項に記載の製造方法であって、
    前記工程c)の後に、前記電解質膜の表面側に配置される複数の搬送ローラにより、前記電解質膜を搬送する製造方法。
  17. 請求項10から請求項16までのいずれか1項に記載の製造方法であって、
    g)前記工程c)の検査結果に基づいて、不良と判断された前記第1電極層付近に、マーキングする工程を、さらに有する製造方法。
  18. 請求項10から請求項17までのいずれか1項に記載の製造方法であって、
    前記工程a)では、前記電解質膜の裏面と前記第1電極層とが、露出した状態で、前記吸着ローラに吸着保持される製造方法。
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