JP2016167381A - 触媒層形成検査装置とその検査方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】電解質膜を間に挟んで対面する触媒層の位置ズレ量を検査することのできる触媒層形成検査装置とその検査方法を提供する。【解決手段】第1触媒層2、第2触媒層3とその周縁部の電解質膜1を照射する照明部8と、第1触媒層2、第2触媒層3で反射する光とその周縁部の電解質膜1で全反射する光とを撮影する第1撮影部9、第2撮影部10、第3撮影部11と、第1撮影部9、第2撮影部10、第3撮影部11で得られた触媒層周縁部の境界線の位置情報の取得部を有する構成としたことにより、電解質膜を間に挟んで対面する触媒層の位置ズレ情報を検査することができる。【選択図】図1

Description

本発明は、固体高分子型燃料電池の膜触媒層接合体の触媒層形成検査装置とその検査方法に関するものであり、さらに詳しくは電解質膜を間に挟んで対面するカソード触媒層層周縁部の境界線位置と、アノード触媒層周縁部の境界線位置とのズレ量を検査する触媒層形成検査装置とその検査方法に関するものである。
従来の触媒層形成検査装置は、電解質膜を間に挟んで対面するカソード触媒層周縁部のとアノード触媒層周縁部のそれぞれの境界線位置のズレ量を検査するために、電解質膜の面に対して垂直の方向から認識される外観を撮影して、カソード触媒層が塗工された部位と、アノード触媒層が塗工され部位と、カソード触媒層とアノード触媒層がともに塗工された部位と、未塗工の部位のそれぞれの部位の色の濃淡から検査している。
ここで、固体高分子形燃料電池で使用されている電解質膜は、一般的に、無色、有色に関わらず透明であり、電解質膜の両面に形成される触媒層は、カソード触媒層とアノード触媒層ともにカーボン材料を用いるため、一般的に黒色である。
電解質膜を間に挟んでカソード触媒層とアノード触媒層を形成した場合に、電解質膜の面に対して垂直方向の外観から認識される触媒層は、カソード触媒層とアノード触媒層を区別することが困難である。これはカソード触媒層側とアノード触媒層側のどちら側から見ても同様のことが言える。さらに、カソード触媒層とアノード触媒層のそれぞれの周縁部の境界線を、外観から認識することも困難である。
外観から認識される触媒層の周縁部の境界線位置情報は、カソード触媒層もしくはアノード触媒層の少なくともどちらか一方の周縁部の境界線で形成されるカソード触媒層とアノード触媒層のシルエットの境界線位置情報となるので、カソード触媒層とアノード触媒層のそれぞれの周縁部の境界線位置情報と、その位置ズレを外観から認識することが困難であった。
そこで、電解質膜を間に挟んで対面するカソード触媒層とアノード触媒層の位置ズレを検出するために、線を使用する手法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1で提案されたものは、X線装置から構成されており、外観を認識するのではなく、膜触媒層接合体に透過X線を照射し、透過するX線強度が相対的に強い場合は両面とも未塗工部と判定し、X線強度が相対的に弱い場合は両面とも塗工部と判定し、その中間の強度であるときは位置ズレが生じている部分であると判定することにより、位置ズレの部分を検出している。
特開2000−353514号公報
しかしながら、上記の特許文献1で提案されているX線を用いる構成では、連続撮像できるX線装置のモジュールは非常に高価である。また、X線の透過度を小中大に相対的に分類することによって、未塗工部とカソード触媒層塗工部、アノード触媒層塗工部を分類
する構成であるが、触媒層塗工部、特に周縁部において塗工厚みのムラが大きいと、検出閾値の設定が難しくなるので、触媒層周縁部の境界線位置情報の判定が困難になる。
また、カソード触媒層とアノード触媒層が薄くなると、X線透過強度の検出限界に近づき、検出閾値の設定が難しくなる。また、カソード触媒層アノード触媒層のX線透過強度が近似している場合、カソード触媒層とアノード触媒層の塗工部位の区別が困難になる。
このように、従来の媒層形成検査装置は、装置の低価格化、また塗工厚みのムラの影響を小さくし、塗工厚みの影響を小さくし、カソード触媒層とアノード触媒層の位置を区別することに課題を有していた。
本発明は、上記従来の課題を解決するもので、電解質膜を間に挟んで対面する触媒層の周縁部の境界線位置情報を、外観によって検査することができ、低価格で、塗工厚みのムラの影響が小さく、塗工厚みが薄くなっても精度良く検査することができ、カソード触媒層とアノード触媒層の位置を区別することができる触媒層形成検査装置とその検査方法を提供することを目的とする。
上記従来の課題を解決するために、本発明の触媒層形成検査装置は、一方の面のみに第1触媒層が塗布形成された電解質膜の第1触媒層を撮影した第1撮影画像データを取得する第1撮影部と、第1撮影画像データを基に、第1触媒層周縁部の境界線の位置情報を得る第1撮影画像データに基づく第1触媒層周縁部の境界線位置情報取得部と、一方の面に第1触媒層が塗布形成された電解質膜の他方の面に、第2触媒層を、電解質膜を間に挟んで第2触媒層と第1触媒層とが対面するように塗布形成する第2触媒層塗工部と、第2触媒層と、第2触媒層周縁部の電解質膜とを照射する照明部と、第2触媒層で反射した光と第2触媒層周縁部の電解質膜で全反射した光を撮影した第2撮影画像データを取得する第2撮影部と、第2撮影画像データを基に、第2触媒層周縁部の境界線の位置情報を得る第2撮影画像データに基づく第2触媒層周縁部の境界線位置情報取得部と、第1撮影画像データに基づく第1触媒層周縁部の境界線位置情報取得部で得られた第1触媒層周縁部の境界線の位置情報と、第2撮影画像データに基づく第2触媒層周縁部の境界線位置情報取得部で得られた第2触媒層周縁部の境界線の位置情報と、を基に、電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層周縁部の境界線と、第2触媒層周縁部の境界線との位置ズレの大きさを計算する触媒層位置ズレ計算部と、触媒層位置ズレ計算部で計算された位置ズレの大きさが所定値を超えていれば、異常と判定する、電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層周縁部の境界線と第2触媒層周縁部の境界線の状態もしくは異常を報知する、または運転を停止する、触媒層周縁部の境界線位置検査部を有する構成としたものである。
第2撮影部においては、第2撮影部と、第2撮影部によって撮影される第2撮影部の被写体とを結ぶ直線と、第2撮影部の被写体を照射する照明部と、第2撮影部の被写体を結ぶ直線とで成す角度の2分の1である入射角が、臨界角を超えるように、照明部と、第2撮影部と、第2撮影部の被写体と、を配置する。
ここで、臨界角とは照明部から照射された膜への入射光が全反射する最小の角度のことであり、屈折光の屈折角が90度となるときの最も小さな入射角であるので、スネルの法則に基づくと、屈折率n1の媒質から屈折率n2の媒質へ光が入射するとき、臨界角θは次式で示される。
θ=arc・sin(n1/n2)
電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層と第2触媒層の位置ズレを検査する場合、第1撮影部において、第1触媒層を撮影した第1触媒層撮影データから、第1触媒層の周縁部の境界線位置情報を取得し、第2撮影部において、第2触媒層の周縁部の電解質膜を照
射する光は全反射して第2撮影部に認識されるので、全反射した光を撮影することで、第1触媒層を撮影することなく、第2触媒層を撮影した第2触媒層撮影データから、第2触媒層の周縁部の境界線位置情報を取得し、第1触媒層の周縁部の境界線位置情報と、第2触媒層の周縁部の境界線位置情報と、を比較することになり、電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層と第2触媒層の位置ズレ情報を検査することとなる。
本発明の触媒層形成検査装置は、第1触媒層の境界線位置情報を、第1撮影部で、第2触媒層の境界線位置情報を、照明部から照射した光の電解質膜での全反射光を認識するように配置した第2撮影部で、それぞれ取得し、電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層と第2触媒層の位置ズレを検査する。
こうすることによって、第2撮影部においては、可視光を照射する安価な照明部と、可視光を認識する安価な撮影機を用い、触媒層形成検査装置を安価に構成することができ、また、触媒層の位置ズレ検査量が、触媒層内に厚みムラや、触媒層の薄層化に対応でき、第1触媒層と第2触媒層の境界線位置情報の位置を、それぞれ区別をすることができるので、塗工時の塗工位置の調整を行なうことが容易になる。
本発明の実施の形態1に係る触媒層形成検査装置を模式的に示す断面図 本発明の実施の形態1に係る触媒層を電解質膜に対して垂直方向からみた上面図 本発明の実施の形態1に係る触媒層形成検査装置の照明部と第2撮影部を中心として模式的に示す断面図 本発明の実施の形態2に係る触媒層形成検査装置を模式的に示す断面図 本発明の実施の形態3に係る触媒層形成検査装置を模式的に示す断面図 本発明の実施の形態4に係る触媒層形成検査装置を模式的に示す断面図
第1の発明は、一方の面のみに第1触媒層が塗布形成された電解質膜の第1触媒層を撮影した第1撮影画像データを取得する第1撮影部と、第1撮影画像データを基に、第1触媒層周縁部の境界線の位置情報を得る第1撮影画像データに基づく第1触媒層周縁部の境界線位置情報取得部と、一方の面に第1触媒層が塗布形成された電解質膜の他方の面に、第2触媒層を、電解質膜を間に挟んで第2触媒層と第1触媒層とが対面するように塗布形成する第2触媒層塗工部と、第2触媒層と、第2触媒層周縁部の電解質膜とを照射する照明部と、第2触媒層で反射した光と第2触媒層周縁部の電解質膜で全反射した光を撮影した第2撮影画像データを取得する第2撮影部と、第2撮影画像データを基に、第2触媒層周縁部の境界線の位置情報を得る第2撮影画像データに基づく第2触媒層周縁部の境界線位置情報取得部と、第1撮影画像データに基づく第1触媒層周縁部の境界線位置情報取得部で得られた第1触媒層周縁部の境界線の位置情報と、第2撮影画像データに基づく第2触媒層周縁部の境界線位置情報取得部で得られた第2触媒層周縁部の境界線の位置情報とを基に、電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層周縁部の境界線と、第2触媒層周縁部の境界線との位置ズレの大きさを計算する触媒層位置ズレ計算部と、を有し、触媒層位置ズレ計算部で計算された位置ズレの大きさが所定値を超えていれば、異常と判定する、電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層周縁部の境界線と第2触媒層周縁部の境界線の状態もしくは異常を報知する、または運転を停止する、触媒層周縁部の境界線位置検査部を有する、触媒層形成検査装置である。
上記構成において、第1撮影部は第1触媒層の周縁部の境界線位置情報を取得し、照明部が、第2触媒層と、第2触媒層の周縁部の電解質膜に光を照射し、第2触媒層の周縁部
の電解質膜からの全反射光を認識し、電解質膜での屈折光を認識しなくなるので、第2撮影部は電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層の外観を認識することがなく、第2撮影部において、第2触媒層と第2触媒層の周縁部の電解質膜の境界線位置情報を取得する。
こうすることによって、第1触媒層の周縁部の境界線位置情報と、第2触媒層周縁部の境界線位置情報とを比較することができ、電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層と第2触媒層の位置ズレ量を検査することができる。
第2の発明は、特に、第1の発明の触媒層形成検査装置において、電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層と第2触媒層が電解質膜の面に対して垂直方向から見て認識される第1触媒層と第2触媒層の少なくともどちらか一方の周縁部の境界線で形成される第1触媒層と第2触媒層のシルエットを撮影した第3撮影画像データを取得する第3撮影部と、第3撮影画像データを基に、シルエットのシルエット周縁部の境界線の位置情報を得る第3撮影画像データに基づくシルエット周縁部の境界線位置情報取得部と、第1撮影画像データに基づく第1触媒層周縁部の境界線位置情報取得部で得られた第1触媒層周縁部の境界線の位置情報と、第2撮影画像データに基づく第2触媒層周縁部の境界線位置情報取得部で得られた第2触媒層周縁部の境界線の位置情報とを基に、シルエット周縁部の境界線の位置情報を得る第1撮影画像データと第2撮影画像データに基づくシルエット周縁部の境界線位置情報取得部を、さらに有し、触媒層周縁部の境界線位置検査部は、第3撮影画像データに基づくシルエット周縁部の境界線位置情報取得部で得られた第3撮影画像データに基づくシルエット周縁部の境界線位置情報と、第1撮影画像データと第2撮影画像データに基づくシルエット周縁部の境界線位置情報とを基に、シルエット周縁部の境界線位置情報のズレの大きさを計算するシルエット周縁部の境界線位置情報のズレ計算部と、を有し、シルエット周縁部の境界線位置情報のズレ計算部で計算されたシルエット周縁部の境界線位置情報のズレの大きさが所定値を超えていれば、異常と判定する、シルエット周縁部の境界線の状態もしくは異常を報知する、または運転を停止する、触媒層形成検査装置である。
上記構成において、第3撮影部は、電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層と第2触媒層の触媒層シルエットの周縁部の境界線位置情報を取得し、第1の発明で取得した第1触媒層の周縁部の境界線位置情報と、第2触媒層の周縁部の境界線位置情報とを比較することで計算される電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層と第2触媒層の触媒層シルエットの周縁部の境界線位置情報を取得する。
こうすることによって、第3撮影部で得られた電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層と第2触媒層のシルエットの周縁部の境界線位置情報と、計算された触媒層シルエットの位置情報と比較することができ、第3撮影部で撮影された触媒層シルエットの周縁部の境界線位置情報と、計算された触媒層シルエットとの整合性を検査することができる。
第3の発明は、一方の面のみに第1触媒層が塗布形成された電解質膜の第1触媒層を撮影した第1撮影画像データを取得する第1撮影部と、第1撮影画像データを基に、第1触媒層周縁部の境界線の位置情報を得る第1撮影画像データに基づく第1触媒層周縁部の境界線位置情報取得部と、一方の面に第1触媒層が塗布形成された電解質膜の他方の面に、第2触媒層を、電解質膜を間に挟んで第2触媒層と第1触媒層とが対面するように塗布形成する第2触媒層塗工部と、電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層と第2触媒層が電解質膜の面に対して垂直方向から見て認識される第1触媒層と第2触媒層の少なくともどちらか一方の周縁部の境界線で形成される第1触媒層と第2触媒層のシルエットを撮影した第3撮影画像データを取得する第3撮影部と、第3撮影画像データを基に、シルエットのシルエット周縁部の境界線の位置情報を得る第3撮影画像データに基づくシルエット周縁部の境界線位置情報取得部と、第1撮影画像データに基づく第1触媒層周縁部の境界線
位置情報取得部で得られた第1触媒層周縁部の境界線の位置情報と、第3撮影画像データに基づくシルエット周縁部の境界線位置情報取得部で得られた第3撮影画像データに基づくシルエット周縁部の境界線位置情報と、を基に、電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層周縁部の境界線と、シルエット周縁部の境界線との位置ズレの大きさを計算する触媒層位置ズレ計算部と、を有し、触媒層位置ズレ計算部で計算された位置ズレの大きさが所定値を超えていれば、異常と判定する、電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層周縁部の境界線とシルエット周縁部の境界線の状態もしくは異常を報知する、または運転を停止する、触媒層周縁部の境界線位置検査部を有する、触媒層形成検査装置である。
上記構成において、第1撮影部は第1触媒層の周縁部の境界線位置情報を取得し、第3撮影部は電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層と第2触媒層の触媒層シルエットの周縁部の境界線位置情報を取得する。
こうすることによって、第1触媒層周縁部の境界線位置情報と、電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層と第2触媒層の触媒層シルエットの周縁部の境界線位置情報を比較することができ、電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層と第2触媒層の位置ズレ量を検査することができる。
第4の発明は、電解質膜を間に挟んで、一方の面に第1触媒層が、他方の面に第2触媒層が塗布形成された電解質膜の第2触媒層と、第2触媒層の周縁部の電解質膜と、を照射する照明部と、第2触媒層と、第2触媒層で反射した光と第2触媒層周縁部の電解質膜で全反射した光を撮影した第2撮影画像データを取得する第2撮影部と、第2撮影画像データを基に、第2触媒層周縁部の境界線の位置情報を得る第2撮影画像データに基づく第2触媒層周縁部の境界線位置情報取得部と、電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層と第2触媒層が電解質膜の面に対して垂直方向から見て認識される第1触媒層と第2触媒層の少なくともどちらか一方の周縁部の境界線で形成される第1触媒層と第2触媒層のシルエットを撮影した第3撮影画像データを取得する第3撮影部と、第3撮影画像データを基に、シルエットのシルエット周縁部の境界線の位置情報を得る第3撮影画像データに基づくシルエット周縁部の境界線位置情報取得部と、第2撮影画像データに基づく第2触媒層周縁部の境界線位置情報取得部で得られた第2触媒層周縁部の境界線の位置情報と、第3撮影画像データに基づくシルエット周縁部の境界線位置情報取得部で得られた第3撮影画像データに基づくシルエット周縁部の境界線位置情報と、を基に、電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層周縁部の境界線と、シルエット周縁部の境界線との位置ズレの大きさを計算する触媒層位置ズレ計算部と、を有し、触媒層位置ズレ計算部で計算された位置ズレの大きさが所定値を超えていれば、異常と判定する、電解質膜を間に挟んで対面する第2触媒層周縁部の境界線とシルエット周縁部の境界線の状態もしくは異常を報知する、または運転を停止する、触媒層周縁部の境界線位置検査部を有する、触媒層形成検査装置である。
上記構成において、第2撮影部は第2触媒層の周縁部の境界線位置情報を取得し、第3撮影部は電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層と第2触媒層の触媒層シルエットの周縁部の境界線位置情報を取得する。
こうすることによって、第1触媒層周縁部の境界線位置情報と、電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層と第2触媒層の触媒層シルエットの周縁部の境界線位置情報を比較することができ、電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層と第2触媒層の位置ズレ量を検査することができる。
第5の発明は、特に、第1から第4のいずれか1つの発明の触媒層形成検査装置において、電解質膜を間に挟んで第2触媒層塗工部と対面する位置に塗工ローラが配置され、塗
工ローラの外周面に沿って、第1触媒層が塗布形成された電解質膜が搬送される、触媒層形成検査装置である。
上記構成において、電解質膜が塗工ローラに接触し、電解質膜の位置が安定する。こうすることによって、塗工部において電解質膜へ均一な塗工を行なうことができる。
第6の発明は、一方の面のみに第1触媒層が塗布形成された電解質膜の第1触媒層を撮影した第1撮影画像データを取得する第1撮影部と、第1撮影画像データを基に、第1触媒層周縁部の境界線の位置情報を得る第1撮影画像データに基づく第1触媒層周縁部の境界線位置情報取得部と、一方の面に第1触媒層が塗布形成された電解質膜の他方の面に、第2触媒層を、電解質膜を間に挟んで第2触媒層と第1触媒層とが対面するように塗布形成する第2触媒層塗工部と、第2触媒層と、第2触媒層周縁部の電解質膜とを照射する照明部と、第2触媒層で反射した光と第2触媒層周縁部の電解質膜で全反射した光を撮影した第2撮影画像データを取得する第2撮影部と、第2撮影画像データを基に、第2触媒層周縁部の境界線の位置情報を得る第2撮影画像データに基づく第2触媒層周縁部の境界線位置情報取得部と、第1撮影画像データに基づく第1触媒層周縁部の境界線位置情報取得部で得られた第1触媒層周縁部の境界線の位置情報と、第2撮影画像データに基づく第2触媒層周縁部の境界線位置情報取得部で得られた第2触媒層周縁部の境界線の位置情報とを基に、電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層周縁部の境界線と、第2触媒層周縁部の境界線との位置ズレの大きさを計算する触媒層位置ズレ計算部と、を有し、触媒層位置ズレ計算部で計算された位置ズレの大きさが所定値を超えていれば、異常と判定する、電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層周縁部の境界線と第2触媒層周縁部の境界線の状態もしくは異常を報知する、または運転を停止する、触媒層周縁部の境界線位置の検査方法である。
上記構成において、第1撮影部は第1触媒層の周縁部の境界線位置情報を取得し、照明部が、第2触媒層と、第2触媒層の周縁部の電解質膜に光を照射し、第2触媒層の周縁部の電解質膜からの全反射光を認識し、電解質膜での屈折光を認識しなくなるので、第2撮影部は電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層の外観を認識することがなく、第2撮影部において、第2触媒層と第2触媒層の周縁部の電解質膜の境界線位置情報を取得する。
こうすることによって、第1触媒層の周縁部の境界線位置情報と、第2触媒層周縁部の境界線位置情報とを比較することができ、電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層と第2触媒層の位置ズレ量を検査することができる。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、本発明の実施の形態によって本発明が限定されるものではない。
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1に係る触媒層形成検査装置A101を模式的に示す断面図である。
図1に示す触媒層形成検査装置A101は、第1触媒層2が間欠塗工された電解質膜1を搬送し、電解質膜1に対して第1触媒層2および第2触媒層を間欠塗工し、一方の面のみに第1触媒層2が塗布形成された電解質膜1の第1触媒層2を撮影した第1撮影画像データを取得する第1撮影部9と、第1撮影画像データを基に、第1触媒層周縁部の境界線の位置情報を得る第1撮影画像データに基づく第1触媒層周縁部の境界線位置情報取得部(図示せず)と、一方の面に第1触媒層が塗布形成された電解質膜1の他方の面に、第2触媒層3を、電解質膜1を間に挟んで第2触媒層3と第1触媒層2とが対面するように塗布形成する塗工部7と、第2触媒層3と、第2触媒層周縁部の電解質膜1とを波長410
から710nmの可視光が照射する照明部8と、第2触媒層からの反射光15と第2触媒層周縁部の電解質膜からの全反射光17を撮影した第2撮影画像データを取得する波長410から710nmの可視光を認識する第2撮影部10と、第2撮影画像データを基に、第2触媒層周縁部の境界線の位置情報を得る第2撮影画像データに基づく第2触媒層周縁部の境界線位置情報取得部(図示せず)と、第1撮影画像データに基づく第1触媒層周縁部の境界線位置情報取得部で得られた第1触媒層周縁部の境界線の位置情報と、第2撮影画像データに基づく第2触媒層周縁部の境界線位置情報取得部で得られた第2触媒層周縁部の境界線の位置情報とを基に、電解質膜1を間に挟んで対面する第1触媒層周縁部の境界線と、第2触媒層周縁部の境界線との位置ズレの大きさを計算する触媒層位置ズレ計算部(図示せず)と、を有し、触媒層位置ズレ計算部で計算された位置ズレの大きさが所定値を超えていれば、異常と判定する、電解質膜1を間に挟んで対面する第1触媒層周縁部の境界線と第2触媒層周縁部の境界線の状態もしくは異常を報知する、または運転を停止する、触媒層周縁部の境界線位置検査部を有し、図2に示すように、電解質膜1を間に挟んで対面する第1触媒層2と第2触媒層3が電解質膜1の面に対して垂直方向から見て認識される第1触媒層2と第2触媒層3の少なくともどちらか一方の周縁部の境界線で形成される第1触媒層2と第2触媒層3の触媒層シルエット5を撮影した第3撮影画像データを取得する第3撮影部11と、第3撮影画像データを基に、シルエットのシルエット周縁部の境界線の位置情報を得る第3撮影画像データに基づくシルエット周縁部の境界線位置情報取得部と、第1撮影画像データに基づく第1触媒層周縁部の境界線位置情報取得部で得られた第1触媒層周縁部の境界線の位置情報と、第2撮影画像データに基づく第2触媒層周縁部の境界線位置情報取得部で得られた第2触媒層周縁部の境界線の位置情報とを基に、シルエット周縁部の境界線の位置情報を得る第1撮影画像データと第2撮影画像データに基づくシルエット周縁部の境界線位置情報取得部(図示せず)を、さらに有し、触媒層周縁部の境界線位置検査部は、第3撮影画像データに基づくシルエット周縁部の境界線位置情報取得部で得られた第3撮影画像データに基づくシルエット周縁部の境界線位置情報と、第1撮影画像データと第2撮影画像データに基づくシルエット周縁部の境界線位置情報とを基に、シルエット周縁部の境界線位置情報のズレの大きさを計算するシルエット周縁部の境界線位置情報のズレ計算部と、を有し、シルエット周縁部の境界線位置情報のズレ計算部で計算されたシルエット周縁部の境界線位置情報のズレの大きさが所定値を超えていれば、異常と判定する、シルエット周縁部の境界線の状態もしくは異常を報知する、または運転を停止する、触媒層形成検査装置である。
以上のように構成された本実施の形態の触媒層形成検査装置について、以下その動作、作用を説明する。
第1に、第1撮影部9に関する説明を述べる。第1撮影部9は第1触媒層2を認識し、第1触媒層2と、第1触媒層の周縁部の境界線位置情報を取得する。
第2に、第2撮影部10に関する説明を述べる。第2撮影部10においては、第2撮影部10と、第2撮影部10によって撮影される第2撮影部の被写体とを結ぶ直線と、第2撮影部の被写体を照射する照明部8と、第2撮影部の被写体を結ぶ直線と、で成す角度の2分の1である入射角が、臨界角(たとえばフッ素系高分子電解質の場合30度)を超えて、45度となるように、照明部8と、第2撮影部10と、第2撮影部の被写体と、を配置する。
また、第2撮影部10は、照明部8が、第2触媒層3と、第2触媒層の周縁部の電解質膜に光を照射し、第2触媒層3と、第2触媒層の周縁部の電解質膜の外観を認識し、このとき、図3に示すように、第2触媒層の周縁部の電解質膜からの全反射光17を認識し、電解質膜での屈折光18を認識しなくなるので、第2撮影部10は電解質膜1を間に挟んで対面する第1触媒層2の外観を認識することなく、第2触媒層3と、第2触媒層の周縁
部の電解質膜1を認識し、第2触媒層3と、第2触媒層の周縁部の境界線位置情報を取得する。
第3に、第3撮影部11に関する説明を述べる。第3撮影部11は電解質膜1を間に挟んで対面する第1触媒層2と第2触媒層3の触媒層シルエット5を認識し、その周縁部の境界線位置情報を取得する。
こうすることによって、第1撮影部9で取得した第1触媒層周縁部の境界線位置情報と、第2撮影部10で取得した第2触媒層周縁部の境界線位置情報とを比較することができ、電解質膜1を間に挟んで対面する第1触媒層2と第2触媒層3の位置ズレ量を計算することができる。
また、第1撮影部9で取得した第1触媒層の周縁部の境界線位置情報と、第2撮影部10で取得した第2触媒層の周縁部の境界線位置情報とを基に、電解質膜1を間に挟んで対面する第1触媒層と第2触媒層の触媒層シルエットの境界線位置情報を計算し、計算された触媒層シルエットの境界線位置情報と、第3撮影部11で取得した電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層と第2触媒層の触媒層シルエット周縁部の境界線位置情報とを比較することができ、計算された触媒層シルエット周縁部の境界線位置情報と、第3撮影部11で撮影された触媒層シルエット周縁部の境界線位置情報との整合性を検査することができる。
なお、第2撮影部10の撮影対象となる第2触媒層3および電解質膜1は、電解質膜1の搬送が安定している塗工ローラ上であってもよい。また、第2撮影部10と第3撮影部11の順序は逆であってもよい。また、第3撮影部11は、第1触媒層2側からでも、第2触媒層3側からのどちらか一方でよいし、第4撮影部を設けて、両側から撮影してもよい。
(実施の形態2)
本発明の実施の形態2に係る触媒層形成検査装置は、実施の形態1の触媒層形成検査装置に対して、第3撮影部11を取り除いた触媒層形成検査装置である。
図4は、本発明の実施の形態2に係る触媒層形成検査装置B102を模式的に示す断面図である。図4に記載の触媒層形成検査装置B102は、第1触媒層の周縁部の境界線位置情報と、第2触媒層の周縁部の境界線位置情報を取得する。
こうすることによって、電解質膜1を間に挟んで対面する第1触媒層の周縁部の境界線位置情報と、第2触媒層の周縁部の境界線の位置情報とを比較することができ、第1触媒層2と第2触媒層3の位置ズレ情報を計算することができる。
(実施の形態3)
本発明の実施の形態3に係る触媒層形成検査装置は、実施の形態1の触媒層形成検査装置に対して、第2撮影部10を取り除いた触媒層形成検査装置である。
図5は、本発明の実施の形態3に係る触媒層形成検査装置C103を模式的に示す断面図である。図5に記載の触媒層形成検査装置C103は、第1触媒層の周縁部の境界線位置情報と、電解質膜1を間に挟んで対面する第1触媒層2と第2触媒層3の触媒層シルエットの周縁部の境界線位置情報を取得する。
こうすることによって、第1触媒層の周縁部の境界線位置情報と、電解質膜1を間に挟んで対面する第1触媒層2と第2触媒層3の触媒層シルエットの周縁部の境界線位置情報
とを比較することができ、第2触媒層3が第1触媒層2に包含されていない部分の、電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層2と第2触媒層3の位置ズレ情報を計算することができる。
(実施の形態4)
実施の形態4に係る触媒層形成検査装置は、実施の形態1の触媒層形成検査装置に対して、第1撮影部9を取り除いた触媒層形成検査装置である。
図6は、本発明の実施の形態4に係る触媒層形成検査装置D104を模式的に示す断面図である。図6に記載の触媒層形成検査装置D104は、第2触媒層の周縁部の境界線位置情報と、電解質膜1を間に挟んで対面する第1触媒層2と第2触媒層3の触媒層シルエットの周縁部の境界線位置情報を取得する。
こうすることによって、第2触媒層3の周縁部の境界線位置情報と、電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層と第2触媒層の触媒層シルエットの周縁部の境界線位置情報とを比較することができ、第1触媒層2が第2触媒層3に包含されていない部分の、電解質膜を間に挟んで対面する第1触媒層2と第2触媒層3の位置ズレ情報を計算することができる。
なお、第2撮影部10と第3撮影部11の順序は逆であってもよい。
以上のように、本発明に係る触媒層形成検査装置とその検査方法は、電解質膜を間に挟んで対面する触媒層を形成するにあたって、その触媒層の位置ズレ量を検査できる検査装置とその検査方法等に広く適用できる。
1 電解質膜
2 第1触媒層
3 第2触媒層
5 触媒層シルエット
7 塗工部
8 照明部
9 第1撮影部
10 第2撮影部
11 第3撮影部
15 第2触媒層からの反射光
17 電解質膜からの全反射光
18 電解質膜での屈折光
101 触媒層形成検査装置A
102 触媒層形成検査装置B
103 触媒層形成検査装置C
104 触媒層形成検査装置D

Claims (6)

  1. 一方の面のみに第1触媒層が塗布形成された電解質膜の前記第1触媒層を撮影した第1撮影画像データを取得する第1撮影部と、
    前記第1撮影画像データを基に、前記第1触媒層周縁部の境界線の位置情報を得る第1撮影画像データに基づく第1触媒層周縁部の境界線位置情報取得部と、
    前記一方の面に前記第1触媒層が塗布形成された前記電解質膜の他方の面に、第2触媒層を、前記電解質膜を間に挟んで前記第2触媒層と前記第1触媒層とが対面するように塗布形成する第2触媒層塗工部と、
    前記第2触媒層と、前記第2触媒層周縁部の電解質膜とを照射する照明部と、
    前記第2触媒層で反射した光と前記第2触媒層周縁部の電解質膜で全反射した光を撮影した第2撮影画像データを取得する第2撮影部と、
    前記第2撮影画像データを基に、前記第2触媒層周縁部の境界線の位置情報を得る第2撮影画像データに基づく第2触媒層周縁部の境界線位置情報取得部と、
    前記第1撮影画像データに基づく第1触媒層周縁部の境界線位置情報取得部で得られた前記第1触媒層周縁部の境界線の位置情報と、前記第2撮影画像データに基づく前記第2触媒層周縁部の境界線位置情報取得部で得られた前記第2触媒層周縁部の境界線の位置情報とを基に、前記電解質膜を間に挟んで対面する前記第1触媒層周縁部の境界線と、前記第2触媒層周縁部の境界線との位置ズレの大きさを計算する触媒層位置ズレ計算部と、を有し、
    前記触媒層位置ズレ計算部で計算された位置ズレの大きさが所定値を超えていれば、
    異常と判定する、前記電解質膜を間に挟んで対面する前記第1触媒層周縁部の境界線と前記第2触媒層周縁部の境界線の状態もしくは異常を報知する、または運転を停止する、触媒層周縁部の境界線位置検査部を有する、触媒層形成検査装置。
  2. 前記電解質膜を間に挟んで対面する前記第1触媒層と前記第2触媒層が前記電解質膜の面に対して垂直方向から見て認識される前記第1触媒層と前記第2触媒層の少なくともどちらか一方の周縁部の境界線で形成される前記第1触媒層と前記第2触媒層のシルエットを撮影した第3撮影画像データを取得する第3撮影部と、
    前記第3撮影画像データを基に、前記シルエットのシルエット周縁部の境界線の位置情報を得る前記第3撮影画像データに基づくシルエット周縁部の境界線位置情報取得部と、
    前記第1撮影画像データに基づく第1触媒層周縁部の境界線位置情報取得部で得られた前記第1触媒層周縁部の境界線の位置情報と、前記第2撮影画像データに基づく第2触媒層周縁部の境界線位置情報取得部で得られた第2触媒層周縁部の境界線の位置情報とを基に、前記シルエット周縁部の境界線の位置情報を得る第1撮影画像データと第2撮影画像データに基づくシルエット周縁部の境界線位置情報取得部を、さらに有し、
    前記触媒層周縁部の境界線位置検査部は、前記第3撮影画像データに基づくシルエット周縁部の境界線位置情報取得部で得られた前記第3撮影画像データに基づくシルエット周縁部の境界線位置情報と、前記第1撮影画像データと第2撮影画像データに基づくシルエット周縁部の境界線位置情報とを基に、前記シルエット周縁部の境界線位置情報のズレの大きさを計算する前記シルエット周縁部の境界線位置情報のズレ計算部と、を有し、
    前記シルエット周縁部の境界線位置情報のズレ計算部で計算された前記シルエット周縁部の境界線位置情報のズレの大きさが所定値を超えていれば、
    異常と判定する、前記シルエット周縁部の境界線の状態もしくは異常を報知する、または運転を停止する、
    請求項1に記載の触媒層形成検査装置。
  3. 一方の面のみに第1触媒層が塗布形成された電解質膜の前記第1触媒層を撮影した第1撮影画像データを取得する第1撮影部と、
    前記第1撮影画像データを基に、前記第1触媒層周縁部の境界線の位置情報を得る第1撮
    影画像データに基づく第1触媒層周縁部の境界線位置情報取得部と、
    前記一方の面に前記第1触媒層が塗布形成された前記電解質膜の他方の面に、第2触媒層を、前記電解質膜を間に挟んで前記第2触媒層と前記第1触媒層とが対面するように塗布形成する第2触媒層塗工部と、
    前記電解質膜を間に挟んで対面する前記第1触媒層と前記第2触媒層が前記電解質膜の面に対して垂直方向から見て認識される前記第1触媒層と前記第2触媒層の少なくともどちらか一方の周縁部の境界線で形成される前記第1触媒層と前記第2触媒層のシルエットを撮影した第3撮影画像データを取得する第3撮影部と、
    前記第3撮影画像データを基に、前記シルエットのシルエット周縁部の境界線の位置情報を得る前記第3撮影画像データに基づくシルエット周縁部の境界線位置情報取得部と、
    前記第1撮影画像データに基づく第1触媒層周縁部の境界線位置情報取得部で得られた前記第1触媒層周縁部の境界線の位置情報と、前記第3撮影画像データに基づくシルエット周縁部の境界線位置情報取得部で得られた前記第3撮影画像データに基づくシルエット周縁部の境界線位置情報とを基に、前記電解質膜を間に挟んで対面する前記第1触媒層周縁部の境界線と、前記シルエット周縁部の境界線との位置ズレの大きさを計算する触媒層位置ズレ計算部と、を有し、
    前記触媒層位置ズレ計算部で計算された位置ズレの大きさが所定値を超えていれば、
    異常と判定する、前記電解質膜を間に挟んで対面する前記第1触媒層周縁部の境界線と前記シルエット周縁部の境界線の状態もしくは異常を報知する、または運転を停止する、触媒層周縁部の境界線位置検査部を有する、触媒層形成検査装置。
  4. 電解質膜を間に挟んで、一方の面に第1触媒層が、他方の面に第2触媒層が塗布形成された前記電解質膜の前記第2触媒層と、前記第2触媒層の周縁部の電解質膜と、を照射する照明部と、
    前記第2触媒層と、前記第2触媒層で反射した光と前記第2触媒層周縁部の電解質膜で全反射した光を撮影した第2撮影画像データを取得する第2撮影部と、
    前記第2撮影画像データを基に、前記第2触媒層周縁部の境界線の位置情報を得る第2撮影画像データに基づく第2触媒層周縁部の境界線位置情報取得部と、
    前記電解質膜を間に挟んで対面する前記第1触媒層と前記第2触媒層が前記電解質膜の面に対して垂直方向から見て認識される前記第1触媒層と前記第2触媒層の少なくともどちらか一方の周縁部の境界線で形成される前記第1触媒層と前記第2触媒層のシルエットを撮影した第3撮影画像データを取得する第3撮影部と、
    前記第3撮影画像データを基に、前記シルエットのシルエット周縁部の境界線の位置情報を得る前記第3撮影画像データに基づくシルエット周縁部の境界線位置情報取得部と、
    前記第2撮影画像データに基づく第2触媒層周縁部の境界線位置情報取得部で得られた前記第2触媒層周縁部の境界線の位置情報と、前記第3撮影画像データに基づくシルエット周縁部の境界線位置情報取得部で得られた前記第3撮影画像データに基づくシルエット周縁部の境界線位置情報とを基に、前記電解質膜を間に挟んで対面する前記第1触媒層周縁部の境界線と、前記シルエット周縁部の境界線との位置ズレの大きさを計算する触媒層位置ズレ計算部と、を有し、
    前記触媒層位置ズレ計算部で計算された位置ズレの大きさが所定値を超えていれば、
    異常と判定する、前記電解質膜を間に挟んで対面する前記第2触媒層周縁部の境界線と前記シルエット周縁部の境界線の状態もしくは異常を報知する、または運転を停止する、触媒層周縁部の境界線位置検査部を有する、触媒層形成検査装置。
  5. 前記電解質膜を間に挟んで前記第2触媒層塗工部と対面する位置に塗工ローラが配置され、前記塗工ローラの外周面に沿って、前記第1触媒層が塗布形成された電解質膜が搬送される、
    請求項1から4のいずれか1項に記載の触媒層形成検査装置。
  6. 一方の面のみに第1触媒層が塗布形成された電解質膜の前記第1触媒層を撮影した第1撮影画像データを取得する第1撮影部と、
    前記第1撮影画像データを基に、前記第1触媒層周縁部の境界線の位置情報を得る第1撮影画像データに基づく第1触媒層周縁部の境界線位置情報取得部と、
    前記一方の面に前記第1触媒層が塗布形成された前記電解質膜の他方の面に、第2触媒層を、前記電解質膜を間に挟んで前記第2触媒層と前記第1触媒層とが対面するように塗布形成する第2触媒層塗工部と、
    前記第2触媒層と、前記第2触媒層周縁部の電解質膜とを照射する照明部と、
    前記第2触媒層で反射した光と前記第2触媒層周縁部の電解質膜で全反射した光を撮影した第2撮影画像データを取得する第2撮影部と、
    前記第2撮影画像データを基に、前記第2触媒層周縁部の境界線の位置情報を得る第2撮影画像データに基づく第2触媒層周縁部の境界線位置情報取得部と、
    前記第1撮影画像データに基づく第1触媒層周縁部の境界線位置情報取得部で得られた前記第1触媒層周縁部の境界線の位置情報と、前記第2撮影画像データに基づく前記第2触媒層周縁部の境界線位置情報取得部で得られた前記第2触媒層周縁部の境界線の位置情報とを基に、前記電解質膜を間に挟んで対面する前記第1触媒層周縁部の境界線と、前記第2触媒層周縁部の境界線との位置ズレの大きさを計算する触媒層位置ズレ計算部と、を有し、
    前記触媒層位置ズレ計算部で計算された位置ズレの大きさが所定値を超えていれば、
    異常と判定する、前記電解質膜を間に挟んで対面する前記第1触媒層周縁部の境界線と前記第2触媒層周縁部の境界線の状態もしくは異常を報知する、または運転を停止する、触媒層周縁部の境界線位置の検査方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017162745A (ja) * 2016-03-11 2017-09-14 株式会社Screenホールディングス 膜・電極層接合体の製造装置および製造方法
WO2024136444A1 (ko) * 2022-12-20 2024-06-27 주식회사 엘지에너지솔루션 전극 조립체 검사 장치 및 이를 사용하여 생산된 전극 조립체를 포함하는 배터리 셀 및, 배터리 셀을 포함하는 배터리 팩 및 자동차

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010153188A (ja) * 2008-12-25 2010-07-08 Dainippon Printing Co Ltd 膜触媒層接合体、膜電極接合体、及びこれらの製造方法
JP2010212005A (ja) * 2009-03-09 2010-09-24 Toyota Motor Corp 燃料電池電極の製造方法及び製造装置
US20110136039A1 (en) * 2009-12-03 2011-06-09 Hyundai Motor Company Membrane electrode assembly and methods for making same
JP2012216359A (ja) * 2011-03-31 2012-11-08 Eneos Celltech Co Ltd ペースト塗布装置
JP2015032416A (ja) * 2013-08-01 2015-02-16 トヨタ自動車株式会社 膜転写装置および膜の転写方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010153188A (ja) * 2008-12-25 2010-07-08 Dainippon Printing Co Ltd 膜触媒層接合体、膜電極接合体、及びこれらの製造方法
JP2010212005A (ja) * 2009-03-09 2010-09-24 Toyota Motor Corp 燃料電池電極の製造方法及び製造装置
US20110136039A1 (en) * 2009-12-03 2011-06-09 Hyundai Motor Company Membrane electrode assembly and methods for making same
JP2012216359A (ja) * 2011-03-31 2012-11-08 Eneos Celltech Co Ltd ペースト塗布装置
JP2015032416A (ja) * 2013-08-01 2015-02-16 トヨタ自動車株式会社 膜転写装置および膜の転写方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017162745A (ja) * 2016-03-11 2017-09-14 株式会社Screenホールディングス 膜・電極層接合体の製造装置および製造方法
WO2017154266A1 (ja) * 2016-03-11 2017-09-14 株式会社Screenホールディングス 膜・電極層接合体の製造装置および製造方法
WO2024136444A1 (ko) * 2022-12-20 2024-06-27 주식회사 엘지에너지솔루션 전극 조립체 검사 장치 및 이를 사용하여 생산된 전극 조립체를 포함하는 배터리 셀 및, 배터리 셀을 포함하는 배터리 팩 및 자동차

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