JP2017135245A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017135245A JP2017135245A JP2016013553A JP2016013553A JP2017135245A JP 2017135245 A JP2017135245 A JP 2017135245A JP 2016013553 A JP2016013553 A JP 2016013553A JP 2016013553 A JP2016013553 A JP 2016013553A JP 2017135245 A JP2017135245 A JP 2017135245A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- semiconductor region
- electrode portion
- gate
- semiconductor device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 156
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 13
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 12
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 2
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 2
- 238000001004 secondary ion mass spectrometry Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N Indium phosphide Chemical compound [In]#P GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011669 selenium Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/70—Bipolar devices
- H01L29/72—Transistor-type devices, i.e. able to continuously respond to applied control signals
- H01L29/739—Transistor-type devices, i.e. able to continuously respond to applied control signals controlled by field-effect, e.g. bipolar static induction transistors [BSIT]
- H01L29/7393—Insulated gate bipolar mode transistors, i.e. IGBT; IGT; COMFET
- H01L29/7395—Vertical transistors, e.g. vertical IGBT
- H01L29/7396—Vertical transistors, e.g. vertical IGBT with a non planar surface, e.g. with a non planar gate or with a trench or recess or pillar in the surface of the emitter, base or collector region for improving current density or short circuiting the emitter and base regions
- H01L29/7397—Vertical transistors, e.g. vertical IGBT with a non planar surface, e.g. with a non planar gate or with a trench or recess or pillar in the surface of the emitter, base or collector region for improving current density or short circuiting the emitter and base regions and a gate structure lying on a slanted or vertical surface or formed in a groove, e.g. trench gate IGBT
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/0684—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by the shape, relative sizes or dispositions of the semiconductor regions or junctions between the regions
- H01L29/0692—Surface layout
- H01L29/0696—Surface layout of cellular field-effect devices, e.g. multicellular DMOS transistors or IGBTs
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/423—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions not carrying the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/42312—Gate electrodes for field effect devices
- H01L29/42316—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors
- H01L29/4232—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate
- H01L29/42356—Disposition, e.g. buried gate electrode
- H01L29/4236—Disposition, e.g. buried gate electrode within a trench, e.g. trench gate electrode, groove gate electrode
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/423—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions not carrying the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/42312—Gate electrodes for field effect devices
- H01L29/42316—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors
- H01L29/4232—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate
- H01L29/42372—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate characterised by the conducting layer, e.g. the length, the sectional shape or the lay-out
- H01L29/42376—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate characterised by the conducting layer, e.g. the length, the sectional shape or the lay-out characterised by the length or the sectional shape
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/423—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions not carrying the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/42312—Gate electrodes for field effect devices
- H01L29/42316—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors
- H01L29/4232—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate
- H01L29/42372—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate characterised by the conducting layer, e.g. the length, the sectional shape or the lay-out
- H01L29/4238—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate characterised by the conducting layer, e.g. the length, the sectional shape or the lay-out characterised by the surface lay-out
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66234—Bipolar junction transistors [BJT]
- H01L29/66325—Bipolar junction transistors [BJT] controlled by field-effect, e.g. insulated gate bipolar transistors [IGBT]
- H01L29/66333—Vertical insulated gate bipolar transistors
- H01L29/66348—Vertical insulated gate bipolar transistors with a recessed gate
Abstract
Description
前記第2半導体領域は、前記第1半導体領域の上に設けられている。
前記ゲート電極は、前記第2半導体領域の上にゲート絶縁層を介して設けられている。前記ゲート電極は、第1電極部分と、第2電極部分と、第3電極部分と、を有する。前記第1電極部分は、前記第1半導体領域から前記第2半導体領域に向かう第1方向に対して垂直な第2方向に延びている。前記第2電極部分は、前記第1方向および第2方向に対して垂直な第3方向において前記第1電極部分と離間し、前記第2方向に延びている。前記第3電極部分は、前記第1電極部分の前記第2方向における端部と、前記第2電極部分の前記第2方向における端部と、の間に接続されている。
前記第3半導体領域は、前記第2半導体領域の上であって、前記第1電極部分と前記第2電極部分との間に設けられている。
前記第4半導体領域は、前記第3半導体領域の上に選択的に設けられている。
前記第1絶縁層は、前記第4半導体領域の上および前記ゲート電極の上に設けられている。
前記第1導電部は、前記第1電極部分の一部および前記第2電極部分の一部の少なくともいずれかの上に設けられ、前記第1絶縁層中を前記第1方向に延びている。
前記第2導電部は、前記第4半導体領域の一部の上に設けられ、前記第1絶縁層中を前記第1方向に延びている。
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
また、本願明細書と各図において、既に説明したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
各実施形態の説明には、XYZ直交座標系を用いる。p+形コレクタ領域1からn−形半導体領域2に向かう方向をZ方向(第1方向)とする。Z方向に対して垂直であり、相互に直交する2方向をX方向(第2方向)およびY方向(第3方向)とする。
以下の説明において、n+、n−及びp+、pの表記は、各導電形における不純物濃度の相対的な高低を表す。すなわち、「+」が付されている表記は、「+」および「−」のいずれも付されていない表記よりも不純物濃度が相対的に高く、「−」が付されている表記は、いずれも付されていない表記よりも不純物濃度が相対的に低いことを示す。
以下で説明する各実施形態について、各半導体領域のp形とn形を反転させて各実施形態を実施してもよい。
図1〜図5を参照して、第1実施形態に係る半導体装置の一例を説明する。
図1は、第1実施形態に係る半導体装置100の平面図である。
図2は、図1の部分Aを拡大した拡大平面図である。
図3は、図2の一部を拡大した拡大平面図である。
図4(a)は、図3のB−B’断面図であり、図4(b)は、図3のC−C’断面図である。
図5は、図3のD−D’断面図である。
図1〜図5に表すように、半導体装置100は、p+形(第1導電形)コレクタ領域1(第1半導体領域)、n+形(第2導電形)半導体領域7、n−形半導体領域2(第2半導体領域)、p形ベース領域3(第3半導体領域)、n+形エミッタ領域4(第4半導体領域)、p+形コンタクト領域6(第6半導体領域)、ゲート電極10、ゲート絶縁層18、電極20、絶縁層28、絶縁層30(第1絶縁層)、プラグ41(第1導電部)、プラグ42(第2導電部)、プラグ43、コレクタ電極51、エミッタパッド52(第2電極)、およびゲートパッド53(第1電極)を有する。
ゲート電極10は、X方向を長手方向として環状に設けられている。複数の電極20の一部はゲート電極10に囲まれており、複数の電極20の他の一部はY方向においてゲート電極10同士の間に設けられている。
エミッタパッド52と各電極20との間には、図2には不図示のプラグ43が設けられており、エミッタパッド52と電極20とは電気的に接続されている。同様に、ゲートパッド53とゲート電極10との間にも、図2には不図示のプラグ41が設けられており、ゲートパッド53とゲート電極10とは電気的に接続されている。
あるいは、複数のプラグ42がX方向に互いに離間して並べられ、それぞれのプラグ42が、n+形エミッタ領域4およびp+形コンタクト領域6のそれぞれと接続されていてもよい。
同様に、プラグ43についても、1つの電極20に対して、X方向に並べられた複数のプラグ43が接続されていてもよい。
p+形コレクタ領域1は、コレクタ電極51の上に設けられ、コレクタ電極51と電気的に接続されている。
n+形半導体領域7は、p+形コレクタ領域1の上に設けられている。
n−形半導体領域2は、n+形半導体領域7の上に設けられている。
電極20は、n−形半導体領域2の上に絶縁層28を介して設けられている。ゲート電極10と電極20とは、Y方向において離間している。
n+形エミッタ領域4およびp+形コンタクト領域6は、p形ベース領域3の上に選択的に設けられている。
エミッタパッド52およびゲートパッド53は、絶縁層30の上に設けられている。
プラグ41〜43は、絶縁層30中をZ方向に延び、上述した通り、各パッドと各要素とを電気的に接続している。
絶縁層30は、図4および図5に表すように、第1絶縁部分31、第2絶縁部分32、第3絶縁部分33、第4絶縁部分34、第5絶縁部分35、および第6絶縁部分36を有する。
それぞれの第2絶縁部分32は、第1電極部分11または第2電極部分12のY方向における他端の上に設けられている。
各プラグ41は、第1電極部分11の一部の上または第2電極部分12の一部の上に設けられており、Y方向において、第1絶縁部分31と第2絶縁部分32との間に位置している。
第4絶縁部分34は、n+形エミッタ領域4およびp+形コンタクト領域6のY方向における他端の上に設けられている。
プラグ42は、n+形エミッタ領域4の一部の上およびp+形コンタクト領域6の一部の上に設けられており、Y方向において、第3絶縁部分33と第4絶縁部分34との間に位置している。
プラグ43は、電極20の一部の上に設けられており、Y方向において、第5絶縁部分35と第6絶縁部分36との間に位置している。
p+形コレクタ領域1、n−形半導体領域2、p形ベース領域3、n+形エミッタ領域4、p+形コンタクト領域6、およびn+形半導体領域7は、半導体材料として、シリコン、炭化シリコン、窒化ガリウム、窒化ガリウムアルミニウム、窒化ガリウムインジウム、インジウム燐、またはガリウムヒ素を含む。
半導体材料に添加されるn形不純物としては、ヒ素、リン、セレン、硫黄、シリコン、またはアンチモンなどを用いることができる。p形不純物としては、ボロン、炭素、亜鉛、マグネシウムなどを用いることができる。
ゲート電極10および電極20は、ポリシリコンなどの導電材料を含む。
ゲート絶縁層18、絶縁層28、および絶縁層30は、酸化シリコン、窒化シリコンなどの絶縁材料を含む。
プラグ41〜43は、チタンやタングステンなどの金属を含む。
コレクタ電極51、エミッタパッド52、およびゲートパッド53は、アルミニウム、ニッケルなどの金属を含む。
図6および図7は、第1実施形態に係る半導体装置100の製造工程を表す工程断面図である。
なお、図6および図7において、左側は、図3のB−B’線が付された位置の一部における製造工程を表し、右側は、図3のD−D’線が付された位置の一部における製造工程を表している。
IGBTでは、オン状態において半導体装置内を流れる電流が大きい。大電流を通電可能とするためには、半導体装置のサイズを大きくし、ゲート電極の数を増加させる必要がある。このとき、複数のゲート電極のいずれかにおいてゲート絶縁層の破壊などが生じると、半導体装置が正常に動作しなくなる。
従って、半導体装置内に含まれるゲート電極の数が相対的に多いIGBTに対しては、ゲート絶縁層の破壊が生じにくく、ゲート電極の信頼性が高いことが求められる。
また、ゲート電極10が第3電極部分13を有し、環状に設けられる場合、第1電極部分11および第2電極部分12がそれぞれ独立して設けられている場合に比べて、これらの電極部分の端部において、ゲート絶縁層18における転位の発生を抑制することができる。
しかし、本願発明の発明者らが検証した結果、このような構造の場合、第3電極部分13および第4電極部分14においてゲート絶縁層18の破壊が生じる可能性が高いことがわかった。これは、引き上げられた部分において第3電極部分13および第4電極部分14が屈曲しているため、ゲート電圧を印加した際に、これらの屈曲した部分で電界集中が生じるためと考えられる。
この課題に対して、本実施形態に係る半導体装置では、ゲート電極10とゲートパッド53との接続を、プラグ41により行っている。プラグ41を用いることで、第3電極部分13および第4電極部分14をn−形半導体領域2の上面に引き上げることなく、ゲート電極10とゲートパッド53とを接続することが可能となる。このため、第3電極部分13および第4電極部分14においてゲート絶縁層18が破壊される可能性が低減され、ゲート電極10の信頼性を高めることが可能となる。
しかしながら、本願発明の発明者らが検証した結果、上述した構造だけでは、IGBTに求められるゲート電極の信頼性に対して十分ではないことがわかった。すなわち、第3電極部分13および第4電極部分14を有するゲート電極10と、プラグ41と、を採用した場合であっても、ゲート絶縁層18における絶縁破壊が、許容できる頻度を超えて発生することがわかった。
特に、この課題は、ゲート電極10がポリシリコンで構成され、第1電極部分11と第2電極部分12との間の間隔が狭くなるほど、顕著になることが確認された。これは、当該間隔が狭くなるほど、第3電極部分13および第4電極部分14における曲率が大きくなるため、ゲート電圧を印加した際に、第3電極部分13および第4電極部分14においてより電界集中が生じやすくなるためと考えられる。
第3電極部分13および第4電極部分14を有するゲート電極10を備え、第1電極部分11および第2電極部分12にプラグ41を接続した半導体装置について検証を行ったところ、IGBTに求められるゲート電極の信頼性を満足することが確認された。
図8は、第1実施形態に係る半導体装置100の一部を拡大した拡大平面図である。
なお、図8では、一部の要素が省略され、プラグ41〜43が破線で表されている。
または、図8(b)に表すように、第3接続部13は、一部が屈折していてもよい。
ここでは、第3接続部13を例に説明したが、第4接続部14についても同様に、直線状に延びた部分と曲率が大きい部分とを含んでいても良いし、一部が屈折して設けられていてもよい。
特に、第3電極部分13および第4電極部分14は、図3に表すように、緩やかな曲率(大きな曲率半径)をもって湾曲していることが、より望ましい。具体的には、第3電極部分13および第4電極部分14の湾曲部分の曲率半径は、第1電極部分11のY方向における中心と、第2電極部分12のY方向における中心と、の間のY方向における距離D1(図3に図示)の0.25倍以上0.50倍以下であることが望ましい。曲率が緩やかなほど、第3電極部分13および第4電極部分14における電界集中を緩和できるためである。
図9は、第1実施形態の変形例に係る半導体装置110の平面図である。
図10は、図9の部分Aを拡大した拡大平面図である。
なお、図10では、一部の要素が省略され、エミッタパッド52およびゲートパッド53の延在部分53aが破線で表されている。
また、図10に表すように、半導体装置110では、各ゲート電極10および各電極20が、複数のエミッタパッド52の下をX方向に延びている。
また、半導体装置100では、各ゲート電極10が、1つのエミッタパッド52の下をX方向に延びていた。これに対して、本変形例では、各ゲート電極10が、複数のエミッタパッド52の下をX方向に延びている。このため、半導体装置100に比べて、X方向におけるゲート電極10同士の隙間を減らすことができる。従って、本変形例によれば、半導体装置100に比べて、半導体装置の有効面積の増大あるいは半導体装置の小型化が可能となる。
次に、図11〜図13を参照して、第2実施形態に係る半導体装置の一例を説明する。
図11は、第2実施形態に係る半導体装置200の平面図である。
図12は、図11の部分Aを拡大した拡大平面図である。
図13は、図12の一部を拡大した拡大平面図である。
すなわち、ゲートパッド53(第1電極)の少なくとも一部は、X方向において、あるエミッタパッド52(第2電極)と、当該エミッタパッド52と隣り合う他のエミッタパッド52(第3電極)と、の間に位置している。
具体的な一例として、図13に表すように、プラグ41(第1導電部)のX方向における位置は、n+形エミッタ領域4a(第4半導体領域)の上に設けられたプラグ42a(第2導電部)のX方向における位置と、n+形エミッタ領域4b(第5半導体領域)の上に設けられた他のプラグ42b(第3導電部)のX方向における位置と、の間にある。なお、n+形エミッタ領域4bは、n+形エミッタ領域4aとX方向において離間している。
同様に、プラグ41のX方向における位置は、プラグ43aのX方向における位置と、プラグ43bのX方向における位置と、の間にある。プラグ43bは、プラグ43aとX方向において離間している。
なお、図13に表す例では、X方向に延びるプラグ42およびプラグ43が設けられているが、X方向に並べられた複数のプラグ42および複数の43が設けられていてもよい。
すなわち、本実施形態によれば、第1実施形態に比べて、ゲート電極の信頼性をより一層向上させることが可能となる。
図14および図15を参照して、第2実施形態の変形例に係る半導体装置の一例を説明する。
図14は、第2実施形態の変形例に係る半導体装置210の平面図である。
図15は、図14の部分Aを拡大した拡大平面図である。
なお、図15では、一部の要素が省略され、エミッタパッド52およびゲートパッド53の延在部分53aが破線で表されている。
また、各半導体領域における不純物濃度については、例えば、SIMS(二次イオン質量分析法)により測定することが可能である。
p+形コレクタ領域1、n+形半導体領域7、n−形半導体領域2、p形ベース領域3、n+形エミッタ領域4、p+形コンタクト領域6、ゲート電極10、ゲート絶縁層18、電極20、絶縁層28、絶縁層30、コレクタ電極51、エミッタパッド52、ゲートパッド53などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の技術から適宜選択することが可能である。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。
Claims (7)
- 第1導電形の第1半導体領域と、
前記第1半導体領域の上に設けられた第2導電形の第2半導体領域と、
前記第2半導体領域の上にゲート絶縁層を介して設けられたゲート電極であって、
前記第1半導体領域から前記第2半導体領域に向かう第1方向に対して垂直な第2方向に延びる第1電極部分と、
前記第1方向および第2方向に対して垂直な第3方向において前記第1電極部分と離間し、前記第2方向に延びる第2電極部分と、
前記第1電極部分の前記第2方向における端部と、前記第2電極部分の前記第2方向における端部と、の間に接続された第3電極部分と、
を有するゲート電極と、
前記第2半導体領域の上であって、前記第1電極部分と前記第2電極部分との間に設けられた第1導電形の第3半導体領域と、
前記第3半導体領域の上に選択的に設けられた第2導電形の第4半導体領域と、
前記第4半導体領域の上および前記ゲート電極の上に設けられた第1絶縁層と、
前記第1電極部分の一部および前記第2電極部分の一部の少なくともいずれかの上に設けられ、前記第1絶縁層中を前記第1方向に延びる第1導電部と、
前記第4半導体領域の一部の上に設けられ、前記第1絶縁層中を前記第1方向に延びる第2導電部と、
を備えた半導体装置。 - 前記第3電極部分の少なくとも一部は湾曲している請求項1記載の半導体装置。
- 湾曲した前記第3電極部分の前記少なくとも一部の曲率半径は、前記第1電極部分の前記第3方向における中心と、前記第2電極部分の前記第3方向における中心と、の間の前記第3方向における距離の、0.25倍以上0.50倍以下である請求項2記載の半導体装置。
- 前記第1絶縁層は、
前記第1電極部分の前記第3方向における一端の上に設けられた第1絶縁部分と、
前記第1電極部分の前記第3方向における他端の上に設けられた第2絶縁部分と、
を有し、
前記第1導電部は、前記第3方向において、前記第1絶縁部分と前記第2絶縁部分との間に設けられた請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 前記第1絶縁層は、
前記第4半導体領域の前記第3方向における一端の上に設けられた第3絶縁部分と、
前記第4半導体領域の前記第3方向における他端の上に設けられた第4絶縁部分と、
を有し、
前記第2導電部は、前記第3方向において、前記第3絶縁部分と前記第4絶縁部分との間に設けられた請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 前記第3半導体領域の上に設けられ、前記第2方向において前記第4半導体領域と離間した第2導電形の第5半導体領域と、
前記第5半導体領域の一部の上に設けられ、前記第1絶縁層中を前記第1方向に延びる第3導電部と、
をさらに備え、
前記第1導電部の前記第2方向における位置は、前記第2導電部の前記第2方向における位置と、前記第3導電部の前記第2方向における位置と、の間にある請求項1〜5のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 前記第3半導体領域の上に設けられ、前記第2方向において前記第4半導体領域と離間した第2導電形の第5半導体領域と、
前記第5半導体領域の一部の上に設けられ、前記第1絶縁層中を前記第1方向に延びる第3導電部と、
前記第1絶縁層の上に設けられ、前記第1導電部と接続された第1電極と、
前記第1絶縁層の上に設けられ、前記第1電極層と離間し、前記第2導電部と接続され第2電極と、
前記第1絶縁層の上に設けられ、前記第1電極層および前記第2電極層と離間し、前記第3導電部と接続され第3電極と、
をさらに備え、
前記第1電極の少なくとも一部は、前記第2方向において、前記第2電極と前記第3電極との間に位置する請求項1〜6のいずれか1つに記載の半導体装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016013553A JP2017135245A (ja) | 2016-01-27 | 2016-01-27 | 半導体装置 |
US15/240,825 US9741838B2 (en) | 2016-01-27 | 2016-08-18 | Semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016013553A JP2017135245A (ja) | 2016-01-27 | 2016-01-27 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017135245A true JP2017135245A (ja) | 2017-08-03 |
Family
ID=59360678
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016013553A Pending JP2017135245A (ja) | 2016-01-27 | 2016-01-27 | 半導体装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9741838B2 (ja) |
JP (1) | JP2017135245A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017147300A (ja) * | 2016-02-16 | 2017-08-24 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
JP2020021870A (ja) * | 2018-08-02 | 2020-02-06 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2020027858A (ja) * | 2018-08-10 | 2020-02-20 | ローム株式会社 | SiC半導体装置 |
JP2020043307A (ja) * | 2018-09-13 | 2020-03-19 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置 |
JP2020074495A (ja) * | 2020-02-17 | 2020-05-14 | ローム株式会社 | SiC半導体装置 |
JP2021048337A (ja) * | 2019-09-20 | 2021-03-25 | 株式会社東芝 | 半導体装置及び半導体回路 |
US11621319B2 (en) | 2018-08-10 | 2023-04-04 | Rohm Co., Ltd. | SiC semiconductor device |
US11769800B2 (en) | 2020-12-15 | 2023-09-26 | Toshiba Electronic Devices & Storage Corporation | Semiconductor device |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7193349B2 (ja) * | 2019-01-04 | 2022-12-20 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
JP7204491B2 (ja) * | 2019-01-08 | 2023-01-16 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001168329A (ja) * | 1999-12-13 | 2001-06-22 | Fuji Electric Co Ltd | トレンチ型mos半導体装置 |
JP2003197910A (ja) * | 2001-12-26 | 2003-07-11 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2005175425A (ja) * | 2003-11-20 | 2005-06-30 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 絶縁ゲート型半導体装置 |
JP2007273931A (ja) * | 2006-03-07 | 2007-10-18 | Toshiba Corp | 電力用半導体素子、その製造方法及びその駆動方法 |
JP2008300529A (ja) * | 2007-05-30 | 2008-12-11 | Denso Corp | 半導体装置 |
JP2016219772A (ja) * | 2015-05-15 | 2016-12-22 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5468982A (en) * | 1994-06-03 | 1995-11-21 | Siliconix Incorporated | Trenched DMOS transistor with channel block at cell trench corners |
US5998837A (en) * | 1995-06-02 | 1999-12-07 | Siliconix Incorporated | Trench-gated power MOSFET with protective diode having adjustable breakdown voltage |
JP3367857B2 (ja) | 1997-03-14 | 2003-01-20 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
JP3991803B2 (ja) | 2002-07-23 | 2007-10-17 | 日産自動車株式会社 | 半導体装置 |
JP4130356B2 (ja) | 2002-12-20 | 2008-08-06 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
JP5470726B2 (ja) | 2008-03-19 | 2014-04-16 | 富士電機株式会社 | トレンチゲート構造を有するmos型半導体装置の製造方法 |
US9496382B2 (en) * | 2013-11-21 | 2016-11-15 | Chengdu Monolithic Power Systems Co., Ltd. | Field effect transistor, termination structure and associated method for manufacturing |
-
2016
- 2016-01-27 JP JP2016013553A patent/JP2017135245A/ja active Pending
- 2016-08-18 US US15/240,825 patent/US9741838B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001168329A (ja) * | 1999-12-13 | 2001-06-22 | Fuji Electric Co Ltd | トレンチ型mos半導体装置 |
JP2003197910A (ja) * | 2001-12-26 | 2003-07-11 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2005175425A (ja) * | 2003-11-20 | 2005-06-30 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 絶縁ゲート型半導体装置 |
JP2007273931A (ja) * | 2006-03-07 | 2007-10-18 | Toshiba Corp | 電力用半導体素子、その製造方法及びその駆動方法 |
JP2008300529A (ja) * | 2007-05-30 | 2008-12-11 | Denso Corp | 半導体装置 |
JP2016219772A (ja) * | 2015-05-15 | 2016-12-22 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017147300A (ja) * | 2016-02-16 | 2017-08-24 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
JP2020021870A (ja) * | 2018-08-02 | 2020-02-06 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2020027858A (ja) * | 2018-08-10 | 2020-02-20 | ローム株式会社 | SiC半導体装置 |
US11621319B2 (en) | 2018-08-10 | 2023-04-04 | Rohm Co., Ltd. | SiC semiconductor device |
JP2020043307A (ja) * | 2018-09-13 | 2020-03-19 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置 |
JP2021048337A (ja) * | 2019-09-20 | 2021-03-25 | 株式会社東芝 | 半導体装置及び半導体回路 |
JP7242491B2 (ja) | 2019-09-20 | 2023-03-20 | 株式会社東芝 | 半導体装置及び半導体回路 |
US11715776B2 (en) | 2019-09-20 | 2023-08-01 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device and semiconductor circuit |
JP2020074495A (ja) * | 2020-02-17 | 2020-05-14 | ローム株式会社 | SiC半導体装置 |
JP7129437B2 (ja) | 2020-02-17 | 2022-09-01 | ローム株式会社 | SiC半導体装置 |
US11769800B2 (en) | 2020-12-15 | 2023-09-26 | Toshiba Electronic Devices & Storage Corporation | Semiconductor device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20170213902A1 (en) | 2017-07-27 |
US9741838B2 (en) | 2017-08-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6416142B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2017135245A (ja) | 半導体装置 | |
JP6378220B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP6668804B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP6509673B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP7143575B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2017038015A (ja) | 半導体装置 | |
KR20080037725A (ko) | 종단 구조체 | |
JP2018049908A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
CN107819032A (zh) | 半导体器件及其制造方法 | |
JP6526579B2 (ja) | 半導体装置 | |
US20220013666A1 (en) | Semiconductor device | |
JP2018160594A (ja) | 半導体装置 | |
JP2013182905A (ja) | 半導体装置 | |
JP6639365B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2019054193A (ja) | 半導体装置 | |
JP6588774B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2017034156A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP6177300B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP6362925B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置および炭化珪素半導体装置の製造方法 | |
JP6433934B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP6782213B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP6301551B1 (ja) | 半導体装置 | |
JP6509674B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2017054935A (ja) | 半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170904 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20170911 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20170912 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171031 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180525 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180531 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20181130 |