JP2017050535A5

JP2017050535A5 -

Info

Publication number: JP2017050535A5
Application number: JP2016160065A
Authority: JP
Filing date: 2016-08-17
Publication date: 2019-09-26
Anticipated expiration: 2036-08-17

Claims

基板を処理するチャンバであって、
前記チャンバ内の基準部品であって、前記チャンバの作動中に摩耗しない基準部品と、
前記チャンバ内の消耗部品であって、前記チャンバの作動中に摩耗する消耗部品と、
前記基板を前記チャンバ内へ移送する移送アームと、
前記移送アーム上のセンサであって、前記移送アームが前記チャンバ内へ直線移動位置に沿って前記消耗部品の上を移動するときに、前記センサから前記消耗部品の表面までの第１の距離を測定するように構成され、前記移送アームが前記直線移動位置に沿って前記基準部品の上を移動するときに、前記センサから前記基準部品の表面までの第２の距離を測定するように構成されているセンサと、
前記第１の距離および前記第２の距離に基づいて前記消耗部品の摩耗量を決定するように構成されているコントローラと
を備えるチャンバ。
請求項１に記載のチャンバであって、前記コントローラは、前記消耗部品の前記表面の平面と前記基準部品の前記表面の平面との距離差を計算し、前記距離差は、前記第１の距離から前記第２の距離を減じたものに等しい、チャンバ。
請求項２に記載のチャンバであって、前記コントローラは、前記消耗部品が最初に取り付けられた時から開始する、前記距離差の経時変化を追跡する、チャンバ。
請求項３に記載のチャンバであって、前記コントローラは、前記距離差が、前記消耗部品が最初に取り付けられた際に測定された距離差から所定の量だけ変化したときに、前記消耗部品は交換されるべきであると判定する、チャンバ。
請求項１に記載のチャンバであって、前記消耗部品上の前記摩耗量は、前記チャンバを開く必要なしに決定され、前記センサは、非接触遠方測定デバイスである、チャンバ。
請求項１に記載のチャンバであって、前記コントローラは、前記消耗部品の前記表面の平面と前記基準部品の前記表面の平面との距離差を計算し、前記距離差は、前記第１の距離から前記第２の距離を減じたものに等しく、前記コントローラは、前記消耗部品が最初に取り付けられた時から開始する前記距離差の経時変化に基づいて、前記消耗部品の摩耗を補償するためのプロセス・パラメータ変更を決定する、チャンバ。
請求項１に記載のチャンバであって、前記センサは、前記移送アームのエンド・エフェクタに結合されている、チャンバ。
請求項１に記載のチャンバであって、前記センサは、デプス・カメラ、または共焦点クロマチック測定デバイス、または低コヒーレンス・インターフェロメトリ測定デバイス、または静電容量距離センサ、または変色検出器のうちの１つである、チャンバ。
請求項１に記載のチャンバであって、さらに、
前記センサを格納するための真空移送チャンバのステーションまたはロード・ロックを含み、前記移送アームは、前記真空移送チャンバ内の前記ステーションまたは前記ロード・ロックから前記センサを載置する、
チャンバ。
請求項１に記載のチャンバであって、前記消耗部品はエッジ・リングであり、前記基準部品は前記チャンバの作動中、前記基板を保持するチャックである、チャンバ。
請求項１に記載のチャンバであって、前記センサは前記コントローラに無線で接続されており、前記センサは電池を含む、チャンバ。
請求項１に記載のチャンバであって、前記センサは前記移送アームのエンド・エフェクタに搭載可能である、チャンバ。
請求項１に記載のチャンバであって、前記センサは、前記移送アームが基板を載置しているかのように前記移送アームが前記センサを載置するよう、基板に類視する構造体上に搭載されている、チャンバ。
消耗部品の摩耗を決定する方法であって、
半導体製造チャンバ内において移送アーム上に基板を載置し、前記移送アームはセンサを含み、
前記移送アームが前記半導体製造チャンバ内へ直線移動位置に沿って消耗部品の上を移動するときに、前記センサを用いて前記センサから前記消耗部品の表面までの第１の距離を測定し、前記消耗部品は、前記チャンバの作動中に摩耗し、
前記移送アームが前記直線移動位置に沿って基準部品の上を移動するときに、前記センサを用いて前記センサから前記基準部品の表面までの第２の距離を測定し、前記基準部品は前記チャンバの作動中に摩耗せず、
前記第１の距離および前記第２の距離に基づいて前記消耗部品の摩耗量を決定すること
を備える方法。
請求項１４に記載の方法であって、前記摩耗量を決定することは、
前記消耗部品の前記表面の平面と前記基準部品の前記表面の平面との間の距離差を計算し、前記距離差は、前記第１の距離から前記第２の距離を減じたものに等しい、ことを、含む
方法。
請求項１５に記載の方法であって、さらに、
前記消耗部品が最初に取り付けられた時から開始する、前記距離差の経時変化を追跡し、前記消耗部品は、前記距離差が、前記消耗部品が最初に取り付けられた時に測定された前記距離差から所定の量だけ変化したときに、交換される、
方法。
請求項１４に記載の方法であって、前記消耗部品上の前記摩耗量は前記チャンバを開く必要なしに決定され、前記センサは非接触遠方測定デバイスである、方法。
請求項１４に記載の方法であって、前記センサは、デプス・カメラ、または共焦点クロマチック測定デバイス、または低コヒーレンス・インターフェロメトリ測定デバイス、または静電容量距離センサ、または変色検出器のうちの１つである、方法。
基板を処理するチャンバであって、
前記チャンバ内の基準部品と、
前記チャンバ内の消耗部品であって、前記チャンバの作動中に堆積物を蓄積する消耗部品と、
前記基板を前記チャンバ内へ移送する移送アームと、
前記移送アーム上のセンサであって、前記移送アームが前記チャンバ内へ直線移動位置に沿って前記消耗部品の上を移動するときに、前記センサから前記消耗部品の表面までの第１の距離を測定するように構成され、前記移送アームが前記直線移動位置に沿って前記基準部品の上を移動するときに、前記センサから前記基準部品の表面までの第２の距離を測定するように構成されているセンサと、
前記第１の距離および前記第２の距離に基づいて前記消耗部品上の堆積物の量を決定するように構成されているコントローラと
を備えるチャンバ。
請求項１９に記載のチャンバであって、前記コントローラは、前記消耗部品の前記表面の平面と前記基準部品の前記表面の平面との距離差を計算し、前記距離差は、前記第１の距離から前記第２の距離を減じたものに等しく、
前記コントローラが、前記消耗部品が最初に取り付けられた時から開始する、前記距離差の経時変化を追跡し、
前記コントローラは、前記距離差が、前記消耗部品が最初に取り付けられた時に測定された距離差から所定の量だけ変化したときに、前記消耗部品を交換されるべきであると判定する、
チャンバ。