JP2013160516A5 - - Google Patents

Description

本発明の一側面としての測定装置は、被測定物を搭載する搭載部と、前記被測定物に対して移動して前記被測定物の形状を測定するためのプローブと、参照ミラーに光を照射して得られた反射光に基づいて前記プローブの位置を測定する干渉計と、前記プローブを移動して得られた前記被測定物の形状に関する測定値、および、前記被測定物と前記参照ミラーとの間の相対変位量を用いて、前記被測定物の形状を算出する算出部とを有する。

Claims (10)

1. 被測定物を搭載する搭載部と、
   前記被測定物に対して移動して前記被測定物の形状を測定するためのプローブと、
   参照ミラーに光を照射して得られた反射光に基づいて前記プローブの位置を測定する干渉計と、
   前記プローブを移動して得られた前記被測定物の形状に関する測定値、および、前記被測定物と前記参照ミラーとの間の相対変位量を用いて、前記被測定物の形状を算出する算出部と、を有することを特徴とする測定装置。
2. 前記被測定物と前記参照ミラーとの間の相対変位量は、前記被測定物と前記参照ミラーとに対するセンサからの信号に基づいて得られることを特徴とする請求項１に記載の測定装置。
3. 前記センサは、前記被測定物と前記参照ミラーとの間の相対変位量を検出する変位センサであり、
   前記算出部は、前記変位センサにより検出された前記相対変位量を用いて前記測定値を補正し、前記被測定物の形状を算出することを特徴とする請求項２に記載の測定装置。
4. 前記センサは、前記被測定物と前記参照ミラーとの間の相対加速度を検出する加速度センサであり、
   前記算出部は、
   前記相対加速度を二階積分することにより前記被測定物と前記参照ミラーとの間の前記相対変位量を算出し、
   前記相対変位量を用いて前記測定値を補正し、前記被測定物の形状を算出することを特徴とする請求項２に記載の測定装置。
5. 前記算出部は、前記被測定物の並進および傾きとして補正後の測定値に含まれる誤差成分を該補正後の測定値から除去し、該被測定物の形状を算出することを特徴とする請求項４に記載の測定装置。
6. 前記参照ミラーは、前記搭載部から分離して設けられた測定フレームに保持されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の測定装置。
7. 前記算出部は、カットオフ周波数を変更可能なバンドパスフィルタを含み、該バンドパスフィルタにより前記被測定物の最低次の固有振動数を除去してから該被測定物の形状を算出することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の測定装置。
8. 前記算出部は、カットオフ周波数を変更可能なバンドパスフィルタを含み、
   前記バンドパスフィルタのカットオフ周波数は、前記被測定物の剛体モード周波数が除去されず、かつ、該被測定物の最低次の弾性モード周波数が除去されるように設定されており、
   前記算出部は、前記バンドパスフィルタを用いて前記被測定物の形状を算出することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の測定装置。
9. 前記プローブは、前記被測定物に接触しながら該被測定物に沿って移動する接触プローブであることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の測定装置。
10. 前記プローブは、前記被測定物に非接触で該被測定物に対して移動する非接触プローブであることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の測定装置。