JP2014045908A5

JP2014045908A5 -

Info

Publication number: JP2014045908A5
Application number: JP2012190642A
Authority: JP
Filing date: 2012-08-30
Publication date: 2015-10-15
Anticipated expiration: 2032-08-30

Claims

光源からの光に対する被検査物からの戻り光に基づき被検査物の所定の部位の画像を取得する撮像手段と、
前記光源とは異なる波長の測定光源からの光を参照光と測定光とに分割し、前記測定光に対する前記被検査物からの戻り光と前記参照光とを干渉させて、前記被検査物の断層画像を取得する断層画像取得手段と、
前記光源からの光または前記測定光源からの光を前記被検査物に導き、当該被検査物からの戻り光を波長に応じた光路に導く光路分岐手段と、
を有し、
前記参照光を導く参照光路には、前記光路分岐手段を構成する光学素子の前記測定光源の波長に対する位相特性に対応する位相特性を有する光学素子が配置されていることを特徴とする撮像装置。
前記光路分岐手段を構成する光学素子と、前記参照光路に配置されている光学素子とは、それぞれの光学素子に入射する光の入射角が同じになるように配置されていることを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
前記光路分岐手段を構成する光学素子には、前記測定光に対する前記被検査物からの戻り光を反射する光学素子が含まれ、前記参照光路を構成する光学素子には、前記戻り光を反射する光学素子に対応する光学素子として、前記参照光を反射する光学素子が含まれることを特徴とする請求項１または２に記載の撮像装置。
前記光路分岐手段を構成する光学素子には前記測定光に対する前記被検査物からの戻り光を透過する光学素子が含まれ、前記参照光路を構成する光学素子には、前記戻り光を透過する光学素子に対応する光学素子として、前記参照光を透過する光学素子が含まれることを特徴とする請求項１または２に記載の撮像装置。
前記参照光路には、前記光路分岐手段を構成する光学素子の位相特性と同一の位相特性を有する光学素子が配置されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の撮像装置。
前記撮像手段は、
前記測定光源の光の波長とは異なる第１の波長の光に対する前記被検査物からの戻り光に基づき前記被検査物の第１の部位の画像を取得する第１の撮像手段と、
前記測定光源の光の波長および前記第１の波長とは異なる第２の波長の光に対する前記被検査物からの戻り光に基づき前記第１の部位とは異なる前記被検査物の第２の部位の画像を取得する第２の撮像手段と、
を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の撮像装置。
前記撮像手段で取得される画像と、前記断層画像取得手段で取得される前記断層画像とを並べて表示する表示手段を更に備えることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の撮像装置。
測定光源の光を参照光と測定光とに分割する分割手段と、
前記測定光に対する被検査物からの戻り光と前記参照光との干渉光の位相特性を示す情報を用いて、前記干渉光から前記干渉光の位相特性を示す情報が含まれる信号と、前記干渉光の位相特性を示す情報が含まれない信号とを分離する干渉信号補正手段と、
前記干渉光の位相特性を示す情報が含まれない信号を用いて、前記被検査物の断層画像を取得する断層画像取得手段と、
を備えることを特徴とする撮像装置。
前記測定光に対する前記被検査物からの戻り光と前記参照光との干渉光を受光する受光手段を更に備え、
前記干渉信号補正手段は、前記受光手段によって受光された前記干渉光の位相特性を示す情報を用いて、前記干渉光から前記干渉光の位相特性を示す情報が含まれる信号と、前記干渉光の位相特性を示す情報が含まれない信号とを分離することを特徴とする請求項８に記載の撮像装置。
前記受光手段で受光された前記干渉光の干渉信号を取得する干渉信号取得手段と、
前記干渉信号から前記干渉光の位相特性を示す情報を取得する位相特性取得手段と、
を更に備えることを特徴とする請求項９に記載の撮像装置。
前記干渉信号取得手段は、前記干渉光の強度を示す信号から、前記測定光の強度を示す信号および前記参照光の強度を示す信号の差分をとることにより前記干渉信号を取得することを特徴とする請求項１０に記載の撮像装置。
前記干渉信号に対してフーリエ変換を行なうフーリエ変換手段と、
前記フーリエ変換された信号に対してハイパスフィルター処理を行い、正成分の信号を取得するフィルター処理手段と、
前記ハイパスフィルター処理された信号から偏角成分を取得することにより前記干渉信号の位相を測定する位相測定手段と、
前記ハイパスフィルター処理された信号のピークを検出することにより前記干渉信号の周波数を検出する周波数検出手段と、
前記周波数から前記干渉信号の位相を算出する位相算出手段と、
を更に備え、
前記位相特性取得手段は、前記測定された前記干渉信号の位相と、前記算出された前記干渉信号の位相との差分から前記位相特性を示す情報を取得することを特徴とする請求項１０または１１に記載の撮像装置。
前記測定光源とは異なる光源からの光に対する被検査物からの戻り光に基づき被検査物の所定の部位の画像を取得する撮像手段を更に備え、
前記撮像手段は、
前記測定光源の光の波長とは異なる第１の波長の光に対する前記被検査物からの戻り光に基づき前記被検査物の第１の部位の画像を取得する第１の撮像手段と、
前記測定光源の光の波長および前記第１の波長とは異なる第２の波長の光に対する前記被検査物からの戻り光に基づき前記第１の部位とは異なる前記被検査物の第２の部位の画像を取得する第２の撮像手段と、
を有することを特徴とする請求項８乃至１２のいずれか１項に記載の撮像装置。
前記撮像手段で取得される画像と、前記断層画像取得手段で取得される前記断層画像とを並べて表示する表示手段を更に備えることを特徴とする請求項１３に記載の撮像装置。
撮像装置の撮像方法であって、
分割手段が、測定光源の光を参照光と測定光とに分割する分割工程と、
干渉信号補正手段が、前記測定光に対する被検査物からの戻り光と前記参照光との干渉光の位相特性を示す情報を用いて、前記干渉光から前記干渉光の位相特性を示す情報が含まれる信号と、前記干渉光の位相特性を示す情報が含まれない信号とを分離する干渉信号補正工程と、
断層画像取得手段が、前記干渉光の位相特性を示す情報が含まれない信号を用いて、前記被検査物の断層画像を取得する断層画像取得工程と、
を有することを特徴とする撮像方法。
コンピュータを、請求項１乃至１４のいずれか１項に記載の撮像装置の各手段として機能させるためのプログラム。