JP2012093275A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. ギャップを介して対向する反射膜と、入力値に基づいて前記ギャップ寸法を変動させるギャップ可変部とを有する波長可変干渉フィルターと、
   アレイ状に配置される複数の検出素子を有し、前記波長可変干渉フィルターを透過した光を検出する検出部と、
   前記ギャップ可変部に前記入力値を出力して、前記ギャップ寸法を制御する駆動制御部と、
   前記入力値に対する前記複数の検出素子で受光される光の波長が記録された相関データを記憶した記憶部と、
   前記相関データに基づいて、前記入力値に対して、前記測定対象波長の光を受光可能な前記検出素子を特定する素子特定部と、
   前記素子特定部により特定された前記検出素子で検出された前記測定対象波長の光の光量を取得する光量取得部と、
   を備えたことを特徴とする光測定装置。
2. 請求項１に記載の光測定装置において、
   前記相関データは、前記入力値に対して同一波長域の光を受光する少なくとも１つ以上の前記検出素子である同波長検出素子群毎に、それぞれ設定されている
   ことを特徴とする光測定装置。
3. 請求項１に記載の光測定装置において、
   前記相関データは、前記検出素子毎に、それぞれ設定されている
   ことを特徴とする光測定装置。
4. 請求項１から請求項３のいずれかに記載の光測定装置において、
   前記駆動制御部は、前記相関データに基づいて、測定対象波長の光に対する入力値を取得するとともに、取得した入力値を前記ギャップ可変部に出力する
   ことを特徴とする光測定装置。
5. 請求項１から請求項４のいずれかに記載の光測定装置において、
   前記光量取得部により取得された各前記検出素子での測定対象波長の光の光量に基づいて、測定対象波長の光の強度分布を測定する強度分布測定部を備えている
   ことを特徴とする光測定装置。