JP2015500477A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 所定のガスの濃度を測定するためのガスセンサであって、光パルスを放射するように配置される光源と、測定領域と、前記測定領域を通過した光を受けるように配置される検出器と、前記光源と前記検出器との間に配置され、かつガスに吸収される少なくとも1つの波長帯域を通す測定状態および前記波長帯域が前記測定状態よりも減衰される参照状態を有する調整可能フィルタとを備え、前記調整可能フィルタは、前記測定状態および前記参照状態のうちの一方から他方へ各パルス中に少なくとも1回変わるように調整される、ガスセンサ。
2. 前記調整可能フィルタは、微小電子機械システム（MEMS）を備える、請求項1に記載のガスセンサ。
3. 前記調整可能フィルタは、静電位によって動くように調整される複数の格子帯域を有する回折光学素子を備える、請求項2に記載のガスセンサ。
4. 前記MEMSフィルタは、診断目的で内部キャパシタンスの変化を測定するための手段を備える、請求項2または3に記載のガスセンサ。
5. 単一の光源と、単一の検出器とを備える、請求項1から4までのいずれか一項に記載のガスセンサ。
6. 入力がない状態での前記検出器からの出力が経時的に変わる速度を測定するように調整される、請求項1から5までのいずれか一項に記載のガスセンサ。
7. 前記調整可能フィルタは、複数の測定状態と各測定に対して少なくとも1つの参照状態とを含み、前記複数の測定状態ではその各々においてガスにより吸収される少なくとも1つの波長帯域を通し、前記参照状態では前記測定状態に対応する前記波長帯域が前記測定状態よりも減衰される、請求項1から6までのいずれか一項に記載のガスセンサ。
8. 請求項1から7までのいずれか一項に記載のガスセンサを備える、無線バッテリ作動式ガス検出器ユニット。
9. 所定のガスの濃度を測定する方法であって、光パルスを測定領域を通して光源と検出器との間に配置される調整可能フィルタを介して前記検出器へと至らせることと、パルス毎に少なくとも1回、ガスに吸収される少なくとも1つの波長帯域を通す測定状態と前記波長帯域が前記測定状態よりも減衰される参照状態との間で前記フィルタを切換えることを含み、前記方法は、前記測定状態および参照状態の各々において前記検出器が受ける光の差から、前記ガスの濃度を決定することを含む方法。
10. 前記濃度を単一のパルスから決定することを含む、請求項9に記載の方法。
11. 前記濃度を単一の光源および検出器を用いて測定することを含む、請求項9または10に記載の方法。
12. 前記フィルタを前記測定状態および参照状態間で各パルス中に複数回繰り返し切換えることを含む、請求項9から11までのいずれか一項に記載の方法。
13. 前記濃度を、前記検出器により検出される信号の変調振幅を用いて測定することを含む、請求項12に記載の方法。
14. 入力がない状態での前記検出器からの出力が経時的に変わる速度を測定することを含む、請求項9から13までのいずれか一項に記載の方法。
15. 前記調整可能フィルタは、複数の測定状態と各測定に対して少なくとも1つの参照状態とを含み、前記複数の測定状態ではその各々においてガスにより吸収される少なくとも1つの波長帯域を通し、前記参照状態では前記測定状態に対応する前記波長帯域が前記測定状態よりも減衰され、前記方法は、前記測定状態の各々へ各パルス中に少なくとも1回切換えることを含む、請求項9から14までのいずれか一項に記載の方法。