RU2626040C2 - Газовые датчики - Google Patents
Газовые датчики Download PDFInfo
- Publication number
- RU2626040C2 RU2626040C2 RU2014126636A RU2014126636A RU2626040C2 RU 2626040 C2 RU2626040 C2 RU 2626040C2 RU 2014126636 A RU2014126636 A RU 2014126636A RU 2014126636 A RU2014126636 A RU 2014126636A RU 2626040 C2 RU2626040 C2 RU 2626040C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- measurement
- detector
- gas
- state
- pulse
- Prior art date
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 76
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 15
- 230000003044 adaptive effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 12
- 238000005421 electrostatic potential Methods 0.000 claims description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 5
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 54
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 6
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 4
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 4
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 4
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 4
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 3
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 3
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000012886 linear function Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/314—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry with comparison of measurements at specific and non-specific wavelengths
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/59—Transmissivity
- G01N21/61—Non-dispersive gas analysers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
- G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
- G01R27/26—Measuring inductance or capacitance; Measuring quality factor, e.g. by using the resonance method; Measuring loss factor; Measuring dielectric constants ; Measuring impedance or related variables
- G01R27/2605—Measuring capacitance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/314—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry with comparison of measurements at specific and non-specific wavelengths
- G01N2021/317—Special constructive features
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
- G01N2021/3513—Open path with an instrumental source
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/061—Sources
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/069—Supply of sources
- G01N2201/0693—Battery powered circuitry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/069—Supply of sources
- G01N2201/0696—Pulsed
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/12—Circuits of general importance; Signal processing
- G01N2201/127—Calibration; base line adjustment; drift compensation
- G01N2201/12746—Calibration values determination
- G01N2201/12761—Precalibration, e.g. for a given series of reagents
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/12—Circuits of general importance; Signal processing
- G01N2201/127—Calibration; base line adjustment; drift compensation
- G01N2201/12746—Calibration values determination
- G01N2201/12784—Base line obtained from computation, histogram
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/12—Circuits of general importance; Signal processing
- G01N2201/128—Alternating sample and standard or reference part in one path
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относится к средствам измерения концентрации газа. Газовый датчик для измерения концентрации определенного газа содержит источник света, измерительный объем, детектор, предназначенный для приема света, прошедшего через измерительный объем, и адаптируемый фильтр, расположенный между источником света и детектором. Газовый датчик выполнен с возможностью переключения между состоянием измерения, в котором он пропускает по меньшей мере одну полосу длин волн, которая поглощается газом, и опорным состоянием, в котором указанная полоса длин волн претерпевает затухание относительно состояния измерения. Способ измерения концентрации определенного газ включает пропускание импульса света через газовый объем и прием указанного импульса детектором. Импульс света также проходит через адаптируемый фильтр, переключающий датчик между состоянием измерения и опорным состоянием по меньшей мере одни раз в течение каждого импульса. Концентрация газа определяется по разнице сигналов детектора в состоянии измерения и в опорном состоянии. Техническим результатом изобретения является уменьшение времени запуска датчика и повышение точности измерений. 3 н. и 12 з.п. ф-лы, 10 ил.
Description
Настоящее изобретение относится к газовым датчикам, в частности к датчикам для измерения концентрации газа путем измерения поглощения инфракрасного света.
Для того чтобы эксплуатировать газовые датчики, работающие от аккумулятора, в течение длительных периодов времени, обычно более одного года, потребление энергии должно быть низким. Одним из путей уменьшения потребления энергии является поддерживание датчика основную часть времени в режиме ожидания или отключения и включение его с регулярными или нерегулярными интервалами. Типичное количество потребляемой энергии для инфракрасного датчика с непрерывным питанием составляет порядка 0,1-1 Вт. Если завершение одного измерения для не непрерывно работающего датчика, например, занимает одну секунду, а требуемое время отклика составляет 10 секунд, то рабочий цикл становится 10% с соответствующим снижением потребления энергии до 10-100 мВт. В нижнем значении этого диапазона работа от аккумуляторов становится возможной. Требования к времени отклика для разных случаев применения будут отличаться. Есть два режима работы газового датчика, эксплуатируемого при энергосберегающем рабочем цикле, которые могут потребоваться. Первый представляет собой повторно-кратковременное или спорадическое использование. В этом случае газовый датчик будет запускаться с нерегулярными интервалами, по требованию. Измерения могли бы запускаться вручную или вторым датчиком, следящим за изменениями в окружении и оценивающим вероятность того, что газ может присутствовать. В этом режиме время отклика для повторно-кратковременно работающего датчика могло бы быть столь же коротким, как и для непрерывно работающего датчика, и настолько продолжительным, что время пробуждения (запуска) достаточно короткое.
Второй режим представляет собой циклическое (или автономное) использование. Для циклического измерения максимальное время отклика будет ограничено периодом цикла. Пока требуемый период/время отклика дольше времени, необходимого для одного измерения, циклический режим будет требовать меньше энергии. Опять-таки необходимо достаточно короткое время пробуждения (запуска).
Для того чтобы оба эти способа были эффективными, необходимо, чтобы датчик мог бы быть «запущен из холодного состояния» в промежуток времени, намного меньший типичного времени между измерениями и чтобы после этого короткого времени пуска были возможны надежные точные измерения. Целью настоящего изобретения является предоставление датчика и способа, которые сделают это возможным.
Простые недисперсионные инфракрасные (НДИК) газовые датчики измеряют концентрацию, используя один источник света и один детектор. Они обычно не подходят для применений, связанных с безопасностью, или применений, требующих высокой долгосрочной стабильности без повторной калибровки.
В существующих надежных газовых датчиках используют разные способы и конструктивные исполнения для компенсации погрешностей, например два источника света и один детектор, или два детектора и один источник света, или по два каждого (с двойной компенсацией). В современном датчике с двойной компенсацией один источник оснащен фильтром для «активной» полосы длин волн, в которой газ поглощает, а другой источник фильтруется таким образом, что испускает «опорную» полосу длин волн. Эти источники обычно модулируют частотами в диапазоне 1-100 Гц. Опорный детектор контролирует интенсивности источников, а основной детектор измеряет свет, передаваемый из двух источников через измерительный объем, и обнаруживает поглощение света газом. Это устройство компенсирует несколько погрешностей, таких как потеря света в измерительном объеме и изменения интенсивности источников. Однако хорошая компенсация зависит от достаточно (термически) устойчивой системы. Это особенно важно, если частота модуляции источника является низкой, или если два детектора установлены так, что видят разные зоны поверхности источника (температура на поверхности теплового инфракрасного источника весьма неравномерна.) В некоторых случаях для того чтобы погрешность измерений была достаточно низкой, требуется время подогрева в несколько минут.
В первом аспекте настоящего изобретения предлагается газовый датчик для измерения концентрации предопределенного газа, содержащий источник света, предназначенный для излучения импульсов света, измерительный объем, детектор, предназначенный для приема света, прошедшего через измерительный объем, и адаптируемый фильтр, расположенный между источником света и детектором и характеризующийся наличием состояния измерения, в котором он пропускает по меньшей мере одну полосу длин волн, которая поглощается газом, и опорного состояния, в котором указанная полоса длин волн претерпевает затухание относительно состояния измерения, при этом адаптируемый фильтр сконфигурирован с возможностью переключения между состоянием измерения и опорным состоянием по меньшей мере один раз в течение каждого импульса.
Кроме того, настоящее изобретение относится к беспроводному газоопределителю с аккумуляторным питанием, содержащему указанный выше газовый датчик.
Во втором аспекте настоящего изобретения предлагается способ измерения концентрации предопределенного газа, предусматривающий пропускание импульса света через измерительный объем в детектор через адаптируемый фильтр, расположенный между источником света и детектором, переключение указанного фильтра по меньшей мере один раз в каждом импульсе в состояние/из состояния измерения, в котором он пропускает по меньшей мере одну полосу длин волн, которая поглощается газом, и из опорного состояния/в опорное состояние, в котором указанная полоса длин волн претерпевает затухание по сравнению с состоянием измерения; при этом способ предусматривает определение указанной концентрации газа по разнице света, полученного детектором в указанных состоянии измерения и опорном состоянии.
Таким образом, ясно, что в соответствии с настоящим изобретением можно выполнять измерение концентрации газа, полностью основанное на сравнении, используя один импульс света из одного источник света и используя один детектор. Это обеспечивает быстрый запуск из холодного состояния с низким потреблением энергии и надежное точное измерение за короткий период измерения. Таким образом, это открывает возможность получить дистанционный беспроводный датчик с аккумуляторным питанием с длительным сроком службы батареи, но который в предпочтительных вариантах осуществления может обладать надежностью и стабильностью системы с двойной компенсацией.
В соответствии с настоящим изобретением адаптируемый фильтр направляет свет из источника на детектор. При изменении его состояния длины волн света, которые он пропускает, изменяются. Предпочтительно, он содержит микроэлектромеханическую систему (МЭМС). Эти фильтры могут быть изготовлены с возможностью изменения пропускаемых длин волн света. Это изменение может быть осуществлено во временных рамках менее одной миллисекунды, а это означает, что может быть использован короткий импульс, тем не менее дающий как период измерения, так и опорный период, тем самым ограничивая потребление энергии, связанное с измерением. МЭМС могла бы содержать дифракционный оптический элемент, характеризующийся наличием нескольких дифракционных полос, которые могут быть смещены электростатическим потенциалом.
Решение с использованием МЭМС является особенно удобным для сенсорной системы датчика с «холодным пуском» и выполнения полного измерения, используя один импульс света. Это можно осуществить потому, что модуляция длин волн может быть настолько быстрой, что дрейфовый или низкочастотный шум можно отфильтровать, и потому что «активная» и «опорная» полосы длин волн измеряют с использованием точно такого же пути света. Дрейф, неоднородность и другие источники ошибок будут влиять на оба измерения в равной степени.
Настоящее изобретение не ограничивается адаптируемым фильтром, характеризующимся только двумя состояниями; он может характеризоваться тремя или более состояниями. Это могло бы обеспечить несколько состояний измерения/опорных состояний, например, чтобы позволить измерять концентрации разных предопределенных газов или вносить поправку на (компенсировать) присутствие конкретного мешающего газа или иного известного типа возмущения спектра.
Таким образом, согласно нескольким вариантам осуществления адаптируемый фильтр характеризуется наличием нескольких состояний измерения, в каждом из которых он пропускает по меньшей мере одну полосу длин волн, которая поглощается газом, и для каждого измерения по меньшей мере одного опорного состояния, в котором полоса длин волн, соответствующая состоянию измерения, претерпевает затухание относительно указанного состояния измерения. Датчик мог бы быть скомпонован так, чтобы в каждом импульсе использовалось каждое состояние измерения, или в разных импульсах могли использоваться разные состояния измерения, например, разные газы могли бы быть измерены в чередующихся импульсах света.
Адаптируемый фильтр мог бы характеризоваться, например, унитарной конструкцией, которая характеризуется несколькими положениями, или мог бы содержать несколько фильтрующих элементов, каждый из которых характеризуется двумя или более состояниями и предназначен для предоставления требуемых общих состояний. В любом случае МЭМС предпочтительна.
В том значении, в каком он используется в настоящем описании, термин «импульс» применительно к свету предназначен означать временное излучение или увеличение светового выхода. Никакая конкретная форма импульса не подразумевается, и вовсе необязательно, что вне импульсов нет излучения света. Длительность (ширина) импульса может быть определена как период времени, в течение которого свет выше предопределенного порога. Согласно некоторым вариантам осуществления ширина импульса может быть между 5 миллисекундами и 5 секундами, например, между 10 и 1000 миллисекундами.
Как уже отмечалось, частота импульсов может быть нерегулярной, если измерение спорадическое или по требованию. Альтернативно, оно может быть регулярным, например, менее одного раза каждые 10 секунд, или менее одного раза каждые 30 секунд, или менее одного раза в минуту, или менее одного раза в час, или менее одного раза в сутки.
Источником света мог бы быть тепловой источник, такой как лампа накаливания или нагретая мембрана, или твердотельный источник, такой как диод. Важно, чтобы этот источник излучал свет в обеих полосах длин волн - измерительной и опорной.
Адаптируемый фильтр мог бы переключаться между его опорным состоянием и состоянием измерения или vice versa всего лишь раз в течение импульса. Предпочтительно, он регулярно переключается между указанными состоянием измерения и опорным состоянием несколько раз в течение каждого импульса. Согласно некоторым вариантам осуществления он может переключаться более 10 раз за импульс, например, более 25 раз или более 50 раз за импульс. Число переключений может быть отрегулировано для обеспечения требуемого уровня точности.
Согласно нескольким вариантам осуществления датчик измеряет скорость, с которой изменяется во времени выходной сигнал из детектора в течение отсутствия входного сигнала, известный как «темный уровень» детектора. Это обеспечивает более точное измерение концентрации газа, поскольку на эти изменения можно делать поправки.
Далее исключительно в качестве примера описан один предпочтительный вариант осуществления изобретения со ссылками на чертежи, где:
на фиг. 1а и 1b представлены схемы, показывающие известный датчик с двойной компенсацией во время измерений чистого воздуха и значительного количества предопределенного газа, соответственно;
на фиг. 2а и 2b представлены схемы, показывающие предлагаемый датчик во время измерений чистого воздуха и значительного количества предопределенного газа, соответственно;
на фиг. 3 представлен график, показывающий два состояния фильтрующего элемента и их связь со спектром поглощения измеряемого газа;
на фиг. 4 представлена схема, показывающая выходные сигналы, зарегистрированные детектором в разных обстоятельствах;
фиг. 5 представляет собой блок-схему, показывающую компоненты предлагаемой сенсорной системы;
на фиг. 6 представлено изображение части адаптивного МЭМС-фильтра;
на фиг. 7 представлен более подробный разрез фильтра; и
на фиг. 8 представлен ряд графиков, показывающих изменение определенных параметров во время работы.
Рассмотрим в начале фиг. 1 и 2, на которых можно видеть сравнение между известным датчиком с двойной компенсацией, представленным на фиг. 1а и 1b, и одним вариантом осуществления изобретения, представленным на фиг. 2а и 2b. Система с двойной компенсацией, показанная на фиг. 1а, обычно реализована на базе серийно выпускаемых детекторов для применений, связанных с безопасностью. В этой системе с двойной компенсацией два источника света A1, A2 и два детектора B1, B2 обеспечивают, что, например, загрязнение оптики, дрейф источника света, температура оказывают минимальное влияние на измерения. Используют два разных фильтра С1, С2. Один фильтр С1 пропускает полосу длин волн, которую поглощает измеряемый газ. Другой фильтр С2 является опорным фильтром, пропускающим соседнюю полосу длин волн.
Как можно видеть на фиг. 1b, свет из инфракрасного источника A2 проходит через измерительный объем D и затем на лучерасщепитель Е, в результате чего он попадает на оба фильтра С1 и С2. Если интересуемый газ присутствует, он будет поглощать свет определенных длин волн. Свет из другого инфракрасного источника A1 не проходит через измерительный объем D, а падает непосредственно на лучерасщепитель Е и далее на оба фильтра С1 и С2.
Поглощение газом приведет к ослаблению сигнала, обнаруживаемого первым детектором B1, но никак не повлияет на сигнал на опорном детекторе B2. Разница между сигналами на соответствующих детекторах может быть использована для расчета концентрации газа. Эти детекторы обычно эффективны и надежны в случаях применения с особыми требованиями к безопасности. Однако использование двух источников и двух детекторов делает их относительно дорогими для изготовления, и при работе они требуют относительно большого количества энергии. Кроме того, они требуют определенного времени разогрева для достижения установившегося состояния с равномерной температурной модуляцией источника, необходимой для надежных измерений.
Один вариант осуществления настоящего изобретения показан на фиг. 2а и 2b. В этом случае используют лишь один инфракрасный источник 2 и один детектор 4. Свет проходит из источника 2, через зеркало 8 и адаптивный МЭМС-фильтр 6 к детектору 4. Как показано на фиг. 2b, он дважды проходит через измерительный объем 10, хотя этот момент несущественен. При использовании фильтрующий элемент 6 повторно переключают между двумя разными состояниями, и при этом выходящий свет характеризуется одной из двух возможных длин волн, связанных с соответствующими состояниями. Одни из этих длин волн представляют собой полосу поглощения интересуемого газа, другие нет. Таким образом, как раньше, концентрацию газа можно рассчитать по выходному сигналу детектора 4 в соответствии с двумя соответствующими состояниями. Однако в отличие от известного устройства путь света для обеих длин волн - опорных и активных - является одним и тем же, и нет лучерасщепителей. Если источник характеризуется неравномерной интенсивностью, на оптических поверхностях имеет грязь, или изменяется отклик детектора, на оба измерения оказывается одинаковое влияние. Фильтрующий элемент 6 является голографическим, благодаря чему свой вклад как в активные, так и опорные измерения вносят все пути света. Переключение между двумя состояниями является настолько быстрым, что любым источником варьирования/дрейфа можно пренебречь.
На фиг.3 представлены спектры отражения фильтрующего элемента 6 в двух его состояниях. Сплошной линией 12 показан спектр отражения фильтра в состоянии измерения. На этой фигуре видно, что в этом состоянии есть один центральный пик длин волн, совпадающий с пиком спектра поглощения 14 углеводородного газа (показанного наложенным в верхней части фиг. 3). Следовательно, в состоянии измерения фильтр пропускает полосу длин волн, которые поглощаются газом. Следовательно, на свет в этой полосе длин волн будет влиять концентрация газа, поскольку она будет влиять на то, сколько его поглощено.
Однако, когда фильтрующий элемент переключен в свое опорное состояние, характеристики фильтра изменяются, как показано пунктирной линией на фиг. 16, и свет проходит двумя полосами по обе стороны от пика в спектре 14 поглощения, и полоса длин волн, ранее пропускавшаяся в состоянии измерения (с центральным пиком), претерпевает значительное затухание по сравнению с тем состоянием. Поскольку в опорном состоянии полоса пропускания из состояния измерения претерпевает затухание, концентрация газа не будет оказывать значительного влияния на проходящий свет, поскольку проходящий свет не будет значительно поглощаться газом.
Показанный спектр 14 поглощения является чисто иллюстративным и для разных газов может отличаться, например, может характеризоваться наличием более одного пика поглощения.
На фиг. 4 представлена упрощенная иллюстрация интенсивностей полос длин волн (слева) и выходного сигнала фото детектора 4 (справа) для разных ситуаций. Полосы R - это опорные полосы, а полоса А - это активная полоса. Таким образом, при отсутствии углеводородного газа в воздухе активная и опорные полосы одинаковы, и сигнал фотодетектора не модулирован переключением фильтрующего элемента 6.
В случае присутствия углеводородного газа свет в активной полосе из-за поглощения газом ослабевает по сравнению с опорной полосой. Это показано как модуляция сигнала фотодетектора, соответствующая переключению между двумя состояниями. Амплитуда модуляции может быть использована вместе с разницей выходного сигнала детектора при включенном источнике для расчета концентрации газа.
Если источник или оптика загрязнены, то пропускание света в обеих полосах будет ослаблено в равной степени и будет иметь место постоянное ослабление сигнала фото детектора без модуляции.
Если между двумя измерениями температура источника изменится, это даст разные абсолютные обнаруженные уровни, но модуляции опять не будет, и, таким образом, ложного показания удается избежать.
Наконец, при отсутствии сигнала из-за отказа источника или заблокированного луча, влияние на опорные и активную полосы опять-таки будет в равной степени.
Система показана на фиг. 5 в виде блок-схемы. Блок «Оптический датчик» представляет аппаратуру оптического датчика, управляемую микроконтроллером. Свет, излучаемый из источника 2, выходит через окно в измерительную ячейку 10. После возвращения из измерительной ячейки 10 он фильтруется МЭМС-фильтром 6 (модуль «Фильтр») и сфокусируется на фотодетектор 4. Порты с левой стороны подсоединены к микроконтроллеру.
Свет проходит следующие стадии. Первая стадия - генерирование. Источник 2 излучает широкополосное излучение с интенсивностью и спектральным распределением, определяемыми температурой нити накала. Линза (не показана) собирает свет для выхода в измерительную ячейку 10.
Вторая стадия - поглощение. Излучение дважды проходит через измерительный объем 10, возвращаясь в окно и входное отверстие после отражения в наружном зеркале 8. Любые присутствующие углеводороды будут вызывать затухание излучения в полосе длин волн примерно 3,3 мкм, в то время как другие газы, загрязнители и грязная оптика будут вызывать затухание в более широком диапазоне длин волн.
Третья стадия - фильтрование. Управляемый напряжением оптический МЭМС-фильтр попеременно выбирает полосу измерений длин волн 3,3 мкм и двойную опорную полосу с пиками по обе стороны полосы измерений 3,3 мкм.
Четвертая стадия - детектирование. Фотодетектор 4 измеряет отфильтрованный свет синхронно с модуляцией фильтра. Сигнал усиливается и отбирается микроконтроллером.
На фиг. 6 и 7 адаптивный МЭМС-фильтр показан подробнее. Оптическая поверхность фильтрующего элемента 4 представляет собой дифракционный оптический элемент (ДОЭ), который вначале сфокусирует свет в одной полосе длин волн. Для перехода из одного состояния фильтра в другое оптическая поверхность сегментирована на полосы подвижных 303 и неподвижных 301 поверхностей (это подробнее описано со ссылками на фиг. 7). Разница высоты между этими поверхностями определяет степень конструктивной (усиливающей) или деструктивной (ослабляющей) интерференции дифрагированного света. Для деструктивной интерференции при центральной длине волны 3,3 мкм необходима разница 830 нм или λ/4. Смещение и разницу высот достигают электростатической активацией подвижных поверхностей 303, которые присоединены к пружинам 305 и подвешены над подложкой 304. Восстанавливающая сила от прогнутых пружин 305 уравновешивает электростатическую силу, пока не будет достигнуто критическое смещение, и вся рама 305 притягивается к подложке 304. После этого результирующая разница высот определяется глубиной вытравленного углубления в подложке.
На фиг. 7 показан разрез фильтра. Неподвижные и подвижные поверхности, описанные выше, обеспечивают чередующиеся неподвижные бруски 102 и подвижные бруски 103. Наверху каждого бруска имеется рельеф 101 дифракционной решетки. Неподвижные бруски 102 прикреплены к подложке 105 посредством, например, присоединения методом сплавления к слою 106 оксида кремния, а подвижные бруски 103 выполнены с возможностью перемещения в вытравленных углублениях 107 до упоров 108.
Фильтрующий элемент электрически эквивалентен конденсатору с емкостью, управляемой напряжением, которой характеризуется вначале емкостью типично в диапазоне 100-300 пФ, которая увеличивается при прикладывании напряжения. Микроконтроллер генерирует цифровую прямоугольную волну, которая управляет однополюсным двухпозиционным переключателем, выход которого изменяется между 0 В и 24 В. 24 В генерируются повышающим регулятором. Для измерения электрического тока в конденсатор и из него в целях самоконтроля используют резистор считывания. Такое решение является преимущественным, поскольку оно позволяет выполнять определение, когда фильтрующий элемент не работает. Это важно с точки зрения безопасности, поскольку если в описанных вариантах осуществления фильтр не будет функционировать, будет выдан ложный отрицательный сигнал даже при присутствии газа.
На фиг. 8 показана работа оптического датчика. Если смотреть по горизонтальной оси времени, в точке I происходит включение оптического датчика. В течение периода между точкой I и точкой II предварительно нагревают источник света. На следующей стадии до точки III изменяют «темные» уровень и наклон. После этого до точки IV источник нагревают. На окончательной стадии от точки IV до точки V измеряют модуляцию.
График А иллюстрирует сигнал фотодетектора. График, помеченный альфа, - это сигнал при отсутствии газа. График, помеченный бета, - это сигнал, полученный при считывании высокой концентрации газа. График, помеченный гамма, - это экстраполированный темный сигнал, который используют для расчета откорректированных значений S_SRC (увеличение полученного сигнала в результате пропускания света через измерительный объем) и S_MOD (амплитуда модуляции на полученном сигнале, соответствующая поглощению света газом в режиме измерения), которые дополнительно пояснены ниже.
График В иллюстрирует сигнал, генерируемый микроконтроллером для управления работой фильтрующего элемента. Когда сигнал управления фильтром высокий, фильтр находится в опорном состоянии; когда управляющий сигнал снижается, фильтр переключается в состояние измерения.
График С иллюстрирует дискретизацию сигнала. Вначале темный сигнал дискретизируют для расчета уровня и наклона кривой гамма, показанной на графике А. Затем сигнал дискретизируют синхронно с переключением фильтра. В каждом цикле могут быть более двух выборок, но для простоты показана лишь одна пара выборок на цикл. Значения S_SRC и S_MOD рассчитывают по выборочным напряжениям и экстраполированному темному сигналу. При измерении, показанном на этой фигуре, S_SRC и S_MOD являются постоянными, но если мощность источника непостоянна, они могут изменяться. Это изменение будет оказывать малое влияние на измерение, если будут использовать средние значения S_SRC и S_MOD.
Наконец, график D иллюстрирует сигнал из микроконтроллера, управляющий источником света. Вначале, как уже отмечалось, источник предварительно нагревают до температуры, достаточно низкой, чтобы не быть измеренной детектором. Стадия предварительного нагрева сокращает время между точками III и IV (время нарастания), что является преимущественным для точности измерений и потребления энергии. После измерения темного сигнала напряжение источника ступенчато или непрерывно изменяют до достижения правильной температуры источника. В показанном примере при измерении модуляции прикладывают напряжение постоянной величины. Однако в принципе при измерении модуляции напряжение источника может регулироваться.
Чтобы рассчитать концентрацию газа, необходимы следующие переменные: интенсивность (сила) импульса света (S_SRC) и амплитуда модуляции света (S_MOD). Кроме того, естественно, необходимы сведения о системе, такие как длина оптического пути в измерительном объеме, характеристики модулированного фильтра, приблизительный спектр источника и спектральная характеристика фотодетектора. Сведения о системе частично получают расчетом, а частично определяют калибровочными измерениями.
Предпочтительный способ определения концентрации газа по измеренным сигналам - по отношению S_NORM=S_MOD/S_SRC. Знак S_MOD зависит от того, находится ли этот параметр в фазе с сигналом управления фильтром на графике В. При отсутствии газа величина S_MOD (и, следовательно, S_NORM) близка к нулю. Затем рассчитывают калиброванный сигнал S_CAL как S_CAL=GAIN_S(T)*(S_NORM-S_0(T)), где S_0(T) и GAIN_S(T) используются для поправки на температурный дрейф и индивидуальные различия между фильтрами. Коэффициенты определяют по калибровочным измерениям с использованием известной газовой смеси в диапазоне температур. Концентрация газа представляет собой нелинейную функцию S_CAL.
При измерении темный уровень фотодетектора S_DET может дрейфовать в значительном степени, что приведет к ошибке измерения как S_SRC, так и S_MOD. Для внесения поправки на этот дрейф согласно этому варианту осуществления измеряют скорость изменения S_DET, и при расчете S_SRC используют экстраполированное значение.
Хотя в описанном варианте осуществления фильтр характеризуется наличием лишь одного состояния измерения, он мог бы характеризоваться наличием нескольких таких состояний, что позволяло бы измерять концентрации нескольких газов.
Claims (15)
1. Газовый датчик для измерения концентрации предопределенного газа, содержащий источник света, предназначенный для излучения импульсов света, измерительный объем, детектор, предназначенный для приема света, прошедшего через измерительный объем, и адаптируемый фильтр, расположенный между источником света и детектором и характеризующийся наличием состояния измерения, в котором он пропускает по меньшей мере одну полосу длин волн, которая поглощается газом, и опорного состояния, в котором указанная полоса длин волн претерпевает затухание относительно состояния измерения, при этом адаптируемый фильтр сконфигурирован с возможностью переключения между состоянием измерения и опорным состоянием по меньшей мере один раз в течение каждого импульса.
2. Газовый датчик по п. 1, отличающийся тем, что адаптируемый фильтр содержит микроэлектромеханическую систему (МЭМС).
3. Газовый датчик по п. 2, отличающийся тем, что адаптируемый фильтр содержит дифракционный оптический элемент, характеризующийся наличием нескольких дифракционных полос, которые выполнены с возможностью смещения электростатическим потенциалом.
4. Газовый датчик по п. 2 или 3, отличающийся тем, что указанный МЭМС-фильтр содержит средства для измерения емкости в нем в диагностических целях.
6. Газовый датчик по пп. 1-3, отличающийся тем, что предназначен для измерения скорости, с которой изменяется во времени выходной сигнал из детектора в течение отсутствия входного сигнала.
7. Газовый датчик по пп. 1-3, отличающийся тем, что адаптируемый фильтр характеризуется наличием нескольких состояний измерения, в каждом из которых он пропускает по меньшей мере одну полосу длин волн, которая поглощается газом, и для каждого измерения по меньшей мере одним опорным состоянием, в котором полоса длин волн, соответствующая состоянию измерения, претерпевает затухание относительно указанного состояния измерения.
8. Беспроводный газоопределитель с аккумуляторным питанием, содержащий газовый датчик по любому из предыдущих пунктов.
9. Способ измерения концентрации предопределенного газа, включающий пропускание импульса света через измерительный объем в детектор через адаптируемый фильтр, расположенный между источником света и детектором, переключение указанного фильтра по меньшей мере один раз в каждом импульсе в состояние/из состояния измерения, в котором он пропускает по меньшей мере одну полосу длин волн, которая поглощается газом, и из опорного состояния/в опорное состояние, в котором указанная полоса длин волн претерпевает затухание по сравнению с состоянием измерения; при этом способ предусматривает определение указанной концентрации газа по разнице света, полученного детектором в указанных состоянии измерения и опорном состоянии.
10. Способ по п. 9, отличающийся тем, что включает определение указанной концентрации по одному импульсу.
11. Способ по п. 9 или 10, отличающийся тем, что включает изменение указанной концентрации с помощью одного источника света и детектора.
12. Способ по любому из пп. 9, 10, отличающийся тем, что включает повторное переключение указанного фильтра между указанными состоянием измерения и опорным состоянием несколько раз в течение каждого импульса.
13. Способ по п. 12, отличающийся тем, что включает измерение указанной концентрации с использованием амплитуды модуляции сигнала, обнаруженного детектором.
14. Способ по любому из пп. 9, 10, 13, отличающийся тем, что включает измерение скорости, с которой изменяется во времени выходной сигнал из детектора в течение отсутствия входного сигнала.
15. Способ по любому из пп. 9, 10, 13, отличающийся тем, что адаптируемый фильтр характеризуется наличием нескольких состояний измерения, в каждом из которых он пропускает по меньшей мере одну полосу длин волн, которая поглощается газом, и для каждого измерения по меньшей мере одного опорного состояния, в котором полоса длин волн, соответствующая состоянию измерения, претерпевает затухание относительно указанного состояния измерения, причем указанный способ включает переключение в каждое из указанных состояний измерения по меньшей мере один раз в течение каждого импульса.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB1120871.7A GB2497296B (en) | 2011-12-05 | 2011-12-05 | Gas sensors |
GB1120871.7 | 2011-12-05 | ||
PCT/GB2012/053021 WO2013083974A1 (en) | 2011-12-05 | 2012-12-05 | Gas sensors |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2014126636A RU2014126636A (ru) | 2016-01-27 |
RU2626040C2 true RU2626040C2 (ru) | 2017-07-21 |
Family
ID=45541216
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2014126636A RU2626040C2 (ru) | 2011-12-05 | 2012-12-05 | Газовые датчики |
Country Status (12)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US20150123000A1 (ru) |
EP (1) | EP2788739B1 (ru) |
JP (1) | JP6096210B2 (ru) |
CN (1) | CN103975231B (ru) |
AU (1) | AU2012349828B2 (ru) |
BR (1) | BR112014013550B1 (ru) |
CA (1) | CA2858007C (ru) |
GB (1) | GB2497296B (ru) |
MX (1) | MX343927B (ru) |
RU (1) | RU2626040C2 (ru) |
SG (1) | SG11201402912YA (ru) |
WO (1) | WO2013083974A1 (ru) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE202015002315U1 (de) * | 2015-03-27 | 2015-05-06 | Infineon Technologies Ag | Gassensor |
DE102015106373B4 (de) * | 2015-04-24 | 2023-03-02 | Infineon Technologies Ag | Photoakustisches gassensormodul mit lichtemittereinheit und einer detektoreinheit |
WO2016173877A1 (en) * | 2015-04-30 | 2016-11-03 | Radiometer Basel Ag | Noninvasive optical determination of partial pressure of carbon dioxide |
WO2019124084A1 (ja) * | 2017-12-18 | 2019-06-27 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 誘導加熱装置 |
WO2019124129A1 (ja) * | 2017-12-18 | 2019-06-27 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 温度検出装置および誘導加熱装置 |
TWI651467B (zh) * | 2018-03-30 | 2019-02-21 | 研能科技股份有限公司 | 致動傳感模組 |
JP2020027036A (ja) * | 2018-08-13 | 2020-02-20 | エイチピー プリンティング コリア カンパニー リミテッドHP Printing Korea Co., Ltd. | 含水センサ |
US11774353B2 (en) * | 2018-10-30 | 2023-10-03 | The Government Of The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Navy | Methods and apparatuses for biomimetic standoff detection of hazardous chemicals |
GB201820293D0 (en) | 2018-12-13 | 2019-01-30 | Draeger Safety Ag & Co Kgaa | Gas sensor |
US11143588B1 (en) * | 2020-03-31 | 2021-10-12 | Msa Technology, Llc | Open path gas detector with synchronous flash detection |
DE102021111431A1 (de) | 2020-06-29 | 2021-12-30 | Dräger Safety AG & Co. KGaA | Überwachungssystem |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5075550A (en) * | 1990-07-12 | 1991-12-24 | Amoco Corporation | Infrared detector for hydrogen fluoride gas |
RU2029288C1 (ru) * | 1992-06-30 | 1995-02-20 | Сибирский физико-технический институт им.В.Д.Кузнецова при Томском государственном университете | Газоанализатор |
RU2238540C2 (ru) * | 2002-08-20 | 2004-10-20 | Открытое акционерное общество "Томский научно-исследовательский и проектный институт нефти и газа Восточной нефтяной компании" | Оптический газоанализатор |
RU95849U1 (ru) * | 2010-03-30 | 2010-07-10 | Александр Михайлович Баранов | Беспроводный газовый датчик с автономным питанием |
WO2010148910A1 (zh) * | 2009-06-24 | 2010-12-29 | 华为技术有限公司 | 光滤波器及其分光方法 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1604693A (en) * | 1978-02-16 | 1981-12-16 | Standard Telephones Cables Ltd | Optical detection of vapours |
FI96450C (fi) * | 1993-01-13 | 1996-06-25 | Vaisala Oy | Yksikanavainen kaasun pitoisuuden mittausmenetelmä ja -laitteisto |
FI103216B1 (fi) * | 1995-07-07 | 1999-05-14 | Vaisala Oyj | Menetelmä NDIR-mittalaitteen lyhyen Fabry-Perot interferometrin ohjaamiseksi |
US6325978B1 (en) * | 1998-08-04 | 2001-12-04 | Ntc Technology Inc. | Oxygen monitoring and apparatus |
US5886348A (en) * | 1997-02-14 | 1999-03-23 | American Intell-Sensors Corporation | Non-dispersive infrared gas analyzer with interfering gas correction |
US6590710B2 (en) * | 2000-02-18 | 2003-07-08 | Yokogawa Electric Corporation | Fabry-Perot filter, wavelength-selective infrared detector and infrared gas analyzer using the filter and detector |
US6366592B1 (en) * | 2000-10-25 | 2002-04-02 | Axsun Technologies, Inc. | Stepped etalon semiconductor laser wavelength locker |
DE10221708B4 (de) * | 2002-05-16 | 2004-09-30 | Infratec Gmbh Infrarotsensorik Und Messtechnik | Verfahren zur Bestimmung der Konzentration von Gasen und Dämpfen und nichtdispersiver Infrarot-Gasanalysator zur Durchführung des Verfahrens |
US7362422B2 (en) * | 2003-11-10 | 2008-04-22 | Baker Hughes Incorporated | Method and apparatus for a downhole spectrometer based on electronically tunable optical filters |
CN1616950A (zh) * | 2003-11-12 | 2005-05-18 | 欣全实业股份有限公司 | 气体浓度检测装置及方法 |
US20060093523A1 (en) * | 2004-10-29 | 2006-05-04 | Hyperteq, Lp | System, method and apparatus for mud-gas extraction, detection and analysis thereof |
WO2007080398A1 (en) * | 2006-01-10 | 2007-07-19 | Gas Sensing Solutions Limited | Differentiating gas sensor |
US7576856B2 (en) * | 2006-01-11 | 2009-08-18 | Baker Hughes Incorporated | Method and apparatus for estimating a property of a fluid downhole |
JP4356724B2 (ja) * | 2006-09-20 | 2009-11-04 | 株式会社デンソー | 赤外線式ガス検知装置およびそのガス検知方法 |
DE102009011421B3 (de) * | 2009-03-03 | 2010-04-15 | Drägerwerk AG & Co. KGaA | Gaskonzentrationsmessvorrichtung |
CN101923052B (zh) * | 2009-06-17 | 2011-12-07 | 中国科学院微电子研究所 | 基于滤波结构分光的红外光谱式mems气敏传感器 |
CN101915747A (zh) * | 2010-07-22 | 2010-12-15 | 热映光电股份有限公司 | 气体浓度量测装置及其方法 |
GB2497295A (en) * | 2011-12-05 | 2013-06-12 | Gassecure As | Method and system for gas detection |
-
2011
- 2011-12-05 GB GB1120871.7A patent/GB2497296B/en not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-12-05 BR BR112014013550-9A patent/BR112014013550B1/pt active IP Right Grant
- 2012-12-05 CA CA2858007A patent/CA2858007C/en active Active
- 2012-12-05 US US14/362,944 patent/US20150123000A1/en not_active Abandoned
- 2012-12-05 AU AU2012349828A patent/AU2012349828B2/en active Active
- 2012-12-05 RU RU2014126636A patent/RU2626040C2/ru active
- 2012-12-05 JP JP2014545345A patent/JP6096210B2/ja active Active
- 2012-12-05 WO PCT/GB2012/053021 patent/WO2013083974A1/en active Application Filing
- 2012-12-05 SG SG11201402912YA patent/SG11201402912YA/en unknown
- 2012-12-05 EP EP12813076.2A patent/EP2788739B1/en active Active
- 2012-12-05 CN CN201280059698.3A patent/CN103975231B/zh active Active
- 2012-12-05 MX MX2014006467A patent/MX343927B/es active IP Right Grant
-
2020
- 2020-12-11 US US17/119,472 patent/US20210164895A1/en not_active Abandoned
-
2022
- 2022-02-24 US US17/679,650 patent/US20220276159A1/en active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5075550A (en) * | 1990-07-12 | 1991-12-24 | Amoco Corporation | Infrared detector for hydrogen fluoride gas |
RU2029288C1 (ru) * | 1992-06-30 | 1995-02-20 | Сибирский физико-технический институт им.В.Д.Кузнецова при Томском государственном университете | Газоанализатор |
RU2238540C2 (ru) * | 2002-08-20 | 2004-10-20 | Открытое акционерное общество "Томский научно-исследовательский и проектный институт нефти и газа Восточной нефтяной компании" | Оптический газоанализатор |
WO2010148910A1 (zh) * | 2009-06-24 | 2010-12-29 | 华为技术有限公司 | 光滤波器及其分光方法 |
RU95849U1 (ru) * | 2010-03-30 | 2010-07-10 | Александр Михайлович Баранов | Беспроводный газовый датчик с автономным питанием |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2788739A1 (en) | 2014-10-15 |
JP6096210B2 (ja) | 2017-03-15 |
US20210164895A1 (en) | 2021-06-03 |
GB2497296A (en) | 2013-06-12 |
GB201120871D0 (en) | 2012-01-18 |
MX343927B (es) | 2016-11-29 |
BR112014013550A2 (pt) | 2017-06-13 |
JP2015500477A (ja) | 2015-01-05 |
MX2014006467A (es) | 2015-03-11 |
RU2014126636A (ru) | 2016-01-27 |
US20150123000A1 (en) | 2015-05-07 |
CN103975231B (zh) | 2017-07-11 |
BR112014013550B1 (pt) | 2021-05-04 |
GB2497296B (en) | 2017-07-12 |
CN103975231A (zh) | 2014-08-06 |
WO2013083974A1 (en) | 2013-06-13 |
AU2012349828B2 (en) | 2016-03-10 |
EP2788739B1 (en) | 2019-09-18 |
CA2858007C (en) | 2020-08-18 |
CA2858007A1 (en) | 2013-06-13 |
AU2012349828A1 (en) | 2014-07-24 |
SG11201402912YA (en) | 2014-07-30 |
US20220276159A1 (en) | 2022-09-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2626040C2 (ru) | Газовые датчики | |
JP3778996B2 (ja) | Ndir測定装置に使用されるショートエタロン・ファブリー・ペロー干渉計を制御する方法 | |
US10508988B2 (en) | Method and system for gas detection | |
EP1549932B1 (en) | Gas detection method and gas detector device | |
KR100395460B1 (ko) | Ndir 계기 | |
US10036702B2 (en) | Method, device and sensor for determining an absorption behavior of a medium | |
WO2007140423A2 (en) | Wavelength sweep control | |
JP2005315711A (ja) | ガス分析装置 | |
US10690591B2 (en) | Measurement time distribution in referencing schemes | |
JP2005049171A (ja) | 濃度測定装置及び濃度測定システム | |
US11892396B2 (en) | Gas sensor with two switchable filters and method for operating such a gas sensor | |
Chen et al. | VCSEL-based oxygen sensor for combustion optimization in gas/oil furnaces | |
JP7429497B2 (ja) | 炎検出装置 | |
JPH06323989A (ja) | 光学式ガス検出器 | |
Sagberg et al. | Wireless infrared gas sensor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PC41 | Official registration of the transfer of exclusive right |
Effective date: 20201125 |