JPH06323989A - 光学式ガス検出器 - Google Patents
光学式ガス検出器Info
- Publication number
- JPH06323989A JPH06323989A JP13516393A JP13516393A JPH06323989A JP H06323989 A JPH06323989 A JP H06323989A JP 13516393 A JP13516393 A JP 13516393A JP 13516393 A JP13516393 A JP 13516393A JP H06323989 A JPH06323989 A JP H06323989A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical
- gas
- interference filter
- optical fiber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 82
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 40
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 21
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 19
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 7
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 claims description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 8
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 abstract description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 73
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000530 Gallium indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ガス検知セルから戻ってきた光を電気信号に
変える光学干渉フィルタを1枚にして組立も容易になり
被測定ガス以外のガスの影響を受けにくくし、使用環境
温度が変化しても安定した特性が得られるようにする。 【構成】 光源1からの光は、光学干渉フィルタ2、光
ファイバ3、光ファイバ分岐点4、光ファイバ5を通
り、ガス検知セル6a中で一部吸収された光は光ファイ
バ5、光ファイバ分岐点4、光ファイバ7を通り、光電
変換部22に照射され、電気信号に変えられ、ガス濃度
演算部20にてガス濃度に演算する。光学干渉フィルタ
2は、被測定ガスの吸収スペクトルの幅より広い透過特
性を持ち、光学干渉フィルタ8は、被測定ガスの吸収ス
ペクトルの幅より広く、光学干渉フィルタ2のスペクト
ル幅より狭い透過特性を持つ。光送信部22aと光受信
部22bの温度を一定にするような熱源21aと温度制
御部21bと温度検出部21cを設ける。
変える光学干渉フィルタを1枚にして組立も容易になり
被測定ガス以外のガスの影響を受けにくくし、使用環境
温度が変化しても安定した特性が得られるようにする。 【構成】 光源1からの光は、光学干渉フィルタ2、光
ファイバ3、光ファイバ分岐点4、光ファイバ5を通
り、ガス検知セル6a中で一部吸収された光は光ファイ
バ5、光ファイバ分岐点4、光ファイバ7を通り、光電
変換部22に照射され、電気信号に変えられ、ガス濃度
演算部20にてガス濃度に演算する。光学干渉フィルタ
2は、被測定ガスの吸収スペクトルの幅より広い透過特
性を持ち、光学干渉フィルタ8は、被測定ガスの吸収ス
ペクトルの幅より広く、光学干渉フィルタ2のスペクト
ル幅より狭い透過特性を持つ。光送信部22aと光受信
部22bの温度を一定にするような熱源21aと温度制
御部21bと温度検出部21cを設ける。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、光ファイバにより構
成されたガスセンサを用いて被測定物のガス濃度を測定
する光学式ガス検出器に関する。
成されたガスセンサを用いて被測定物のガス濃度を測定
する光学式ガス検出器に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、このような光学式ガス検出器とし
て稲葉、水本;”光ファイバガスセンサ”センサ技術、
1987年7月号(Vol.7.No.8)p.22の
ガスの遠隔差分吸収計測システムなどが知られている。
ガスの遠隔差分吸収計測システムの具体的なブロック図
を図3に示す。監視センターに設置された光送信部50
と光受信部51、および測定を行う遠隔地点に置かれた
ガス検知セル6によって構成される。受信光の吸収強度
から直接ガス濃度を算出することのできる二波長差分吸
収測定法は各種の可燃性、有害性ガスの高精度リモート
センサとして適している。
て稲葉、水本;”光ファイバガスセンサ”センサ技術、
1987年7月号(Vol.7.No.8)p.22の
ガスの遠隔差分吸収計測システムなどが知られている。
ガスの遠隔差分吸収計測システムの具体的なブロック図
を図3に示す。監視センターに設置された光送信部50
と光受信部51、および測定を行う遠隔地点に置かれた
ガス検知セル6によって構成される。受信光の吸収強度
から直接ガス濃度を算出することのできる二波長差分吸
収測定法は各種の可燃性、有害性ガスの高精度リモート
センサとして適している。
【0003】光源1からの光は、光ファイバ3を通り、
ガス検知セル6に照射される。照射された光はガス検知
セル6中で一部吸収され、光ファイバ7を通って、ビー
ムスプリッタ31aで反射光と透過光の2つに分けら
れ、透過光は、チョッパ33、光学干渉フィルタ34、
ビームスプリッタ31bを透過し、Ge検出器40に照
射される。ビームスプリッタ31aで分けられた、反射
光は、ビームスプリッタ32a、チョッパ35、光学干
渉フィルタ36、可変減衰器37を通り、ビームスプリ
ッタ32bで反射し、ビームスプリッタ31bによって
反射しGe検出器40に照射される。Ge検出器40か
らの電気信号はロックイン検出器41によってガス濃度
に変換され、ガス濃度演算部42に記録される。
ガス検知セル6に照射される。照射された光はガス検知
セル6中で一部吸収され、光ファイバ7を通って、ビー
ムスプリッタ31aで反射光と透過光の2つに分けら
れ、透過光は、チョッパ33、光学干渉フィルタ34、
ビームスプリッタ31bを透過し、Ge検出器40に照
射される。ビームスプリッタ31aで分けられた、反射
光は、ビームスプリッタ32a、チョッパ35、光学干
渉フィルタ36、可変減衰器37を通り、ビームスプリ
ッタ32bで反射し、ビームスプリッタ31bによって
反射しGe検出器40に照射される。Ge検出器40か
らの電気信号はロックイン検出器41によってガス濃度
に変換され、ガス濃度演算部42に記録される。
【0004】この測定方法では、濃度検出用として光学
干渉フィルタ34の中心透過波長λ1 を所定のガス吸収
の強い波長域に選び、一方、参照用の光学干渉フィルタ
36の中心透過波長λ2を吸収の弱い波長域に選定す
る。ガス検知セル6中に測定対象ガスが無い状態で2つ
の波長における受信光強度Pr(λ1)、Pr(λ2)が
等しくなるように可変減衰器37を調整しておくと、長
さLのセル内の気体濃度Nは次式のように与えられる。 N=(Pr(λ2)−Pr(λ1))/|σ(λ1)−σ
(λ2)|LPr(λ2) ここで、σ(λ)はガス吸収係数である。この場合に
は、ロックイン検出器41から直接Pr(λ1)−Pr
(λ2)に対応する電気出力が得られるので、上式より
ガス濃度を容易に算出することができる。また、光ファ
イバ3、7中を光が伝送される途中で外乱によって光強
度が変化してもPr(λ1)とPr(λ2)が同じ様に影
響を受けるため、上式のように演算することによって外
乱による影響を受けにくくなる。
干渉フィルタ34の中心透過波長λ1 を所定のガス吸収
の強い波長域に選び、一方、参照用の光学干渉フィルタ
36の中心透過波長λ2を吸収の弱い波長域に選定す
る。ガス検知セル6中に測定対象ガスが無い状態で2つ
の波長における受信光強度Pr(λ1)、Pr(λ2)が
等しくなるように可変減衰器37を調整しておくと、長
さLのセル内の気体濃度Nは次式のように与えられる。 N=(Pr(λ2)−Pr(λ1))/|σ(λ1)−σ
(λ2)|LPr(λ2) ここで、σ(λ)はガス吸収係数である。この場合に
は、ロックイン検出器41から直接Pr(λ1)−Pr
(λ2)に対応する電気出力が得られるので、上式より
ガス濃度を容易に算出することができる。また、光ファ
イバ3、7中を光が伝送される途中で外乱によって光強
度が変化してもPr(λ1)とPr(λ2)が同じ様に影
響を受けるため、上式のように演算することによって外
乱による影響を受けにくくなる。
【0005】メタンガス吸収検出用として光源1に中心
波長1.62μm、出力約0.1mWのInGaAs発
光ダイオード(LED)、光を送信、受信するための光
ファイバ3、7にはGI型多モード光ファイバを用い、
参照用の光学干渉フィルタ36には、中心透過波長λ1
が1.666μm、透過幅が3nmの光学干渉フィルタ
34と、中心透過波長λ2 が1.528μm、半値幅が
5nmの光学干渉フィルタ36を使用した測定例が示さ
れている。
波長1.62μm、出力約0.1mWのInGaAs発
光ダイオード(LED)、光を送信、受信するための光
ファイバ3、7にはGI型多モード光ファイバを用い、
参照用の光学干渉フィルタ36には、中心透過波長λ1
が1.666μm、透過幅が3nmの光学干渉フィルタ
34と、中心透過波長λ2 が1.528μm、半値幅が
5nmの光学干渉フィルタ36を使用した測定例が示さ
れている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】従来の光学式ガス検出
器では光を電気信号に変える光受信部51で光学特性の
異なった2つの光学干渉フィルタ34、36や2つのビ
ームスプリッタ31b、32bを用いるため構造が複雑
になる。また、測定対象以外のガスが存在し、その吸収
率が2つの光学干渉フィルタ(光学干渉フィルタ34と
参照用の光学干渉フィルタ37)の中心波長で大きく異
なった場合、演算しても補正が正確に行えなえず、正確
なガス濃度を算出できなくなってしまう。また、光源
1、光学干渉フィルタ34、36やGe検出器40はそ
の特性に温度依存性があるため環境温度の変化によって
ガス濃度出力を補正する必要があるが、その補正はかな
り面倒なものとなる。そこで、この発明は、光学干渉フ
ィルタを1枚として組立を容易にし、測定対象ガス以外
のガスが存在しても影響を受けにくく、しかも面倒な出
力補正の必要がないようにするものである。
器では光を電気信号に変える光受信部51で光学特性の
異なった2つの光学干渉フィルタ34、36や2つのビ
ームスプリッタ31b、32bを用いるため構造が複雑
になる。また、測定対象以外のガスが存在し、その吸収
率が2つの光学干渉フィルタ(光学干渉フィルタ34と
参照用の光学干渉フィルタ37)の中心波長で大きく異
なった場合、演算しても補正が正確に行えなえず、正確
なガス濃度を算出できなくなってしまう。また、光源
1、光学干渉フィルタ34、36やGe検出器40はそ
の特性に温度依存性があるため環境温度の変化によって
ガス濃度出力を補正する必要があるが、その補正はかな
り面倒なものとなる。そこで、この発明は、光学干渉フ
ィルタを1枚として組立を容易にし、測定対象ガス以外
のガスが存在しても影響を受けにくく、しかも面倒な出
力補正の必要がないようにするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】光ファイバの先端にガス
検知セルと反射板を取り付けた光ファイバガスセンサ
と、この光ファイバガスセンサに光を供給する光送信部
と、この光ファイバガスセンサからの光を電気信号に変
換する光受信部と、変換された電気信号を演算するガス
濃度演算部と、光受信部および光受信部の温度が一定に
なるようにする温度制御系を設ける。光送信部は光源
と、第一の光学干渉フィルタをもつ。光源は測定したい
ガスの吸収スペクトルの幅より広い発光スペクトルを持
ち、第一の光学干渉フィルタは測定したいガスの吸収ス
ペクトルの幅より広く、光源の発光スペクトル幅より狭
い透過特性をもつ。また、光受信部は、光ファイバガス
センサからの光を反射透過させる第二の光学干渉フィル
タと、これを反射した光を電気信号に変換する第一の受
光素子および透過光を電気信号に変換する第二の受光素
子からなり、第二の光学干渉フィルタは測定したいガス
の吸収スペクトルの幅より広く、第一の光学干渉フィル
タのスペクトルの幅より狭い透過特性を持つ。ガス濃度
演算部で上記第一および第二の受光素子からの電気信号
を演算する。また、温度制御系は、熱源と温度検出部と
温度制御部から構成され、熱源は光送信部と光受信部を
加熱あるいは冷却し、温度検出部は光送信部と光受信部
の温度を検出し、温度制御部は上記光送信部と光受信部
の温度が一定になるように制御する。
検知セルと反射板を取り付けた光ファイバガスセンサ
と、この光ファイバガスセンサに光を供給する光送信部
と、この光ファイバガスセンサからの光を電気信号に変
換する光受信部と、変換された電気信号を演算するガス
濃度演算部と、光受信部および光受信部の温度が一定に
なるようにする温度制御系を設ける。光送信部は光源
と、第一の光学干渉フィルタをもつ。光源は測定したい
ガスの吸収スペクトルの幅より広い発光スペクトルを持
ち、第一の光学干渉フィルタは測定したいガスの吸収ス
ペクトルの幅より広く、光源の発光スペクトル幅より狭
い透過特性をもつ。また、光受信部は、光ファイバガス
センサからの光を反射透過させる第二の光学干渉フィル
タと、これを反射した光を電気信号に変換する第一の受
光素子および透過光を電気信号に変換する第二の受光素
子からなり、第二の光学干渉フィルタは測定したいガス
の吸収スペクトルの幅より広く、第一の光学干渉フィル
タのスペクトルの幅より狭い透過特性を持つ。ガス濃度
演算部で上記第一および第二の受光素子からの電気信号
を演算する。また、温度制御系は、熱源と温度検出部と
温度制御部から構成され、熱源は光送信部と光受信部を
加熱あるいは冷却し、温度検出部は光送信部と光受信部
の温度を検出し、温度制御部は上記光送信部と光受信部
の温度が一定になるように制御する。
【0008】
【作用】上記のように構成されたこの発明の光学式ガス
検出器では、光受信部において1つの光学干渉フィルタ
を用い、この光学干渉フィルタから反射する光と透過す
る光を演算することによってガス濃度を演算するため、
測定対象ガス以外のガスが存在してもそれぞれの光の吸
収率がほとんど変わらず測定対象ガス以外のガスの影響
をほとんど受けない。また、温度制御部によって光送信
部と光受信部を一定温度に制御することによって光源、
光学干渉フィルタおよび受光素子の特性が安定化し、環
境温度が変化しても面倒な出力補正が不要になる。
検出器では、光受信部において1つの光学干渉フィルタ
を用い、この光学干渉フィルタから反射する光と透過す
る光を演算することによってガス濃度を演算するため、
測定対象ガス以外のガスが存在してもそれぞれの光の吸
収率がほとんど変わらず測定対象ガス以外のガスの影響
をほとんど受けない。また、温度制御部によって光送信
部と光受信部を一定温度に制御することによって光源、
光学干渉フィルタおよび受光素子の特性が安定化し、環
境温度が変化しても面倒な出力補正が不要になる。
【0009】
【実施例】図1は、この発明の光学式ガス検出器の一例
で、光ファイバガスセンサ6、光送信部22a、光受信
部22b、熱源部21a、温度制御部21b、温度検出
部21cおよびガス濃度演算部20を設ける。光源1か
らの光は、光学干渉フィルタ2、光ファイバ3、光ファ
イバ分岐点4、光ファイバ5を通り、ガス検知セル6a
に照射され、ガス検知セル6a中で一部吸収され残りの
光が反射板6bで反射し、もう一度ガス検知セル6a中
で一部吸収された光は光ファイバ5、光ファイバ分岐点
4、光ファイバ7を通り、光学干渉フィルタ8に照射さ
れ、透過光9aと反射光9bに2つに分けられ、透過し
た光は、受光素子10aによって、反射した光は、受光
素子10bによって電気信号に変えられ、ガス濃度演算
部20にてガス濃度を演算する。光電変換部22は、光
送信部22aと光受信部22bから構成されている。温
度検出部21cは、光電変換部22の温度を測定し、熱
源21aと温度制御部21bは、光電変換部22の温度
を一定にするために設ける。温度検出部21cとして
は、一例として白金測温抵抗体を用いることができる。
なお、熱源21aとして光電変換部22をその温度が一
定になるように加熱したり冷却してもよい。
で、光ファイバガスセンサ6、光送信部22a、光受信
部22b、熱源部21a、温度制御部21b、温度検出
部21cおよびガス濃度演算部20を設ける。光源1か
らの光は、光学干渉フィルタ2、光ファイバ3、光ファ
イバ分岐点4、光ファイバ5を通り、ガス検知セル6a
に照射され、ガス検知セル6a中で一部吸収され残りの
光が反射板6bで反射し、もう一度ガス検知セル6a中
で一部吸収された光は光ファイバ5、光ファイバ分岐点
4、光ファイバ7を通り、光学干渉フィルタ8に照射さ
れ、透過光9aと反射光9bに2つに分けられ、透過し
た光は、受光素子10aによって、反射した光は、受光
素子10bによって電気信号に変えられ、ガス濃度演算
部20にてガス濃度を演算する。光電変換部22は、光
送信部22aと光受信部22bから構成されている。温
度検出部21cは、光電変換部22の温度を測定し、熱
源21aと温度制御部21bは、光電変換部22の温度
を一定にするために設ける。温度検出部21cとして
は、一例として白金測温抵抗体を用いることができる。
なお、熱源21aとして光電変換部22をその温度が一
定になるように加熱したり冷却してもよい。
【0010】光源1は測定したいガスの吸収スペクトル
の幅より広い発光スペクトルの幅をもち、光学干渉フィ
ルタ2は、測定したいガスの吸収スペクトルの幅より広
く、光源1の発光スペクトルの幅より狭いスペクトル幅
を持ち、光学干渉フィルタ8は、測定したいガスの吸収
スペクトルの幅より広く、光学干渉フィルタ2のスペク
トル幅より狭いスペクトル幅を持っている。
の幅より広い発光スペクトルの幅をもち、光学干渉フィ
ルタ2は、測定したいガスの吸収スペクトルの幅より広
く、光源1の発光スペクトルの幅より狭いスペクトル幅
を持ち、光学干渉フィルタ8は、測定したいガスの吸収
スペクトルの幅より広く、光学干渉フィルタ2のスペク
トル幅より狭いスペクトル幅を持っている。
【0011】図2を用いて図1の光学式ガス検出器の光
電変換部22の動作を説明する。光源1からの光は、透
過曲線2aを持つ光学干渉フィルタ2に照射される。光
源1が光スペクトル曲線1aをもつとすると光源1の一
部の光が透過し、光源1からの光はスペクトル1bに変
化し、光ファイバ3、光ファイバ分岐点4、光ファイバ
5を通じ光ファイバガスセンサ6に照射される。照射さ
れた光は透過曲線6cを持つガスによってガス検知セル
6a中で一部が吸収され光ファイバ5、光ファイバ分岐
点4、光ファイバ7を通り光学干渉フィルタ8に照射さ
れる。この照射された光はスペクトル曲線1cを持つ。
電変換部22の動作を説明する。光源1からの光は、透
過曲線2aを持つ光学干渉フィルタ2に照射される。光
源1が光スペクトル曲線1aをもつとすると光源1の一
部の光が透過し、光源1からの光はスペクトル1bに変
化し、光ファイバ3、光ファイバ分岐点4、光ファイバ
5を通じ光ファイバガスセンサ6に照射される。照射さ
れた光は透過曲線6cを持つガスによってガス検知セル
6a中で一部が吸収され光ファイバ5、光ファイバ分岐
点4、光ファイバ7を通り光学干渉フィルタ8に照射さ
れる。この照射された光はスペクトル曲線1cを持つ。
【0012】光学干渉フィルタ8は透過曲線8aをもつ
とすると、光学干渉フィルタ8に照射された光は透過光
9aと反射光9bの2つに分離され、光学干渉フィルタ
8に照射された光のスペクトル1cは光スペクトル曲線
9cと光スペクトル曲線9dのごとく分光され、受光素
子10a、10bによって電気信号に変換され、ガス濃
度演算部20によってガス濃度に演算され、被測定物の
ガス濃度が測定される。演算方法の一例として受光素子
10a、10bによって電気信号に変換された値をそれ
ぞれS1、S2とするとS1/S2を計算することによって
ガス濃度を演算することが出来る。また、S1/(S1+
S2)を演算しても良い。このように演算することによ
って、光ファイバ中を光が伝送される途中で外乱によっ
て光強度が変化してもS1とS2の値が同じ様に影響を受
けるため、外乱による影響を受けにくくなる。そのう
え、透過光の波長が反射光の波長の真ん中にあり、透過
光と反射光の波長が近いため、被測定ガス以外のガスが
存在してもその影響を受けにくい。
とすると、光学干渉フィルタ8に照射された光は透過光
9aと反射光9bの2つに分離され、光学干渉フィルタ
8に照射された光のスペクトル1cは光スペクトル曲線
9cと光スペクトル曲線9dのごとく分光され、受光素
子10a、10bによって電気信号に変換され、ガス濃
度演算部20によってガス濃度に演算され、被測定物の
ガス濃度が測定される。演算方法の一例として受光素子
10a、10bによって電気信号に変換された値をそれ
ぞれS1、S2とするとS1/S2を計算することによって
ガス濃度を演算することが出来る。また、S1/(S1+
S2)を演算しても良い。このように演算することによ
って、光ファイバ中を光が伝送される途中で外乱によっ
て光強度が変化してもS1とS2の値が同じ様に影響を受
けるため、外乱による影響を受けにくくなる。そのう
え、透過光の波長が反射光の波長の真ん中にあり、透過
光と反射光の波長が近いため、被測定ガス以外のガスが
存在してもその影響を受けにくい。
【0013】
【発明の効果】本発明による光学式ガス検出器では、従
来用いられていた方法に比べ、ガス検知セルから戻って
きた光を電気信号に変える1枚の光学干渉フィルタです
み、組立も容易になり、測定対象ガス以外の影響を受け
にくくなる。また、光源、光学干渉フィルタ、受光素子
を一定温度に制御することによって、使用環境温度が変
化しても安定した特性を得ることができる。
来用いられていた方法に比べ、ガス検知セルから戻って
きた光を電気信号に変える1枚の光学干渉フィルタです
み、組立も容易になり、測定対象ガス以外の影響を受け
にくくなる。また、光源、光学干渉フィルタ、受光素子
を一定温度に制御することによって、使用環境温度が変
化しても安定した特性を得ることができる。
【図1】この発明の光学式ガス検出器の一例を示す図で
ある。
ある。
【図2】図1の光学式ガス検出器の光電変換部の動作を
説明する図である。
説明する図である。
【図3】従来の光学式ガス検出器の一例を示す図であ
る。
る。
1 光源 2 光学干渉フィルタ 3 光ファイバ 4 光ファイバ分岐点 5 光ファイバ 6 光ファイバガスセンサ 6a ガス検知セル 6b 反射板 7 光ファイバ 8 光学干渉フィルタ 9a 透過光 9b 反射光 10a 受光素子 10b 受光素子 20 温度演算部 21a 熱源 21b 温度制御部 21c 温度検出部 22 光電変換部 22a 光送信部 22b 光受信部
Claims (1)
- 【請求項1】光ファイバの先端にガス検知セルと反射板
を取り付けた光ファイバガスセンサと、上記光ファイバ
ガスセンサに光を供給する光送信部と、上記光ファイバ
ガスセンサからの光を電気信号に変換する光受信部と、
温度制御系と、ガス濃度演算部とを備え上記光送信部は
光源と、第一の光学干渉フィルタにより構成し、 上記光源は測定したいガスの吸収スペクトルの幅より広
い発光スペクトルを持ち、 上記第一の光学干渉フィルタは測定したいガスの吸収ス
ペクトルの幅より広く、上記光源の発光スペクトル幅よ
り狭い透過特性をもち、 上記光受信部は、上記光ファイバガスセンサからの光を
反射透過させる第二の光学干渉フィルタと、これを反射
した光を電気信号に変換する第一の受光素子および透過
光を電気信号に変換する第二の受光素子により構成し、 上記第二の光学干渉フィルタは測定したいガスの吸収ス
ペクトルの幅より広く、上記第一の光学干渉フィルタの
スペクトルの幅より狭い透過特性を持ち、 上記ガス濃度演算部で上記第一および第二の受光素子か
らの電気信号を演算し、 上記温度制御系は、熱源と温
度検出部と温度制御部から構成され、 上記熱源は上記光送信部と光受信部を加熱あるいは冷却
し、上記温度検出部は上記光送信部と光受信部の温度を
検出し、上記温度制御部は上記光送信部と光受信部の温
度が一定になるように制御する光学式ガス検出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13516393A JPH06323989A (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 光学式ガス検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13516393A JPH06323989A (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 光学式ガス検出器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06323989A true JPH06323989A (ja) | 1994-11-25 |
Family
ID=15145302
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13516393A Pending JPH06323989A (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 光学式ガス検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06323989A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004133596A (ja) * | 2002-10-09 | 2004-04-30 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | プラント監視システム |
CN105223138A (zh) * | 2014-06-05 | 2016-01-06 | 联合大学 | 气体感测单元、气体检测系统及气体检测方法 |
RU2598694C2 (ru) * | 2014-12-17 | 2016-09-27 | Общество с ограниченной ответственностью "ПетроЛайт" (ООО "ПетроЛайт") | Устройство и способ измерения концентрации газообразных веществ |
CN111504925A (zh) * | 2020-04-29 | 2020-08-07 | 安徽岩芯光电技术有限公司 | 气体检测装置及方法 |
-
1993
- 1993-05-14 JP JP13516393A patent/JPH06323989A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004133596A (ja) * | 2002-10-09 | 2004-04-30 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | プラント監視システム |
CN105223138A (zh) * | 2014-06-05 | 2016-01-06 | 联合大学 | 气体感测单元、气体检测系统及气体检测方法 |
RU2598694C2 (ru) * | 2014-12-17 | 2016-09-27 | Общество с ограниченной ответственностью "ПетроЛайт" (ООО "ПетроЛайт") | Устройство и способ измерения концентрации газообразных веществ |
CN111504925A (zh) * | 2020-04-29 | 2020-08-07 | 安徽岩芯光电技术有限公司 | 气体检测装置及方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8456634B2 (en) | Optical interrogation sensors for combustion control | |
US6538728B1 (en) | Gas sensor with open optical measurement path | |
US6313464B1 (en) | Infrared, multiple gas analyzer and methods for gas analysis | |
US7813046B2 (en) | Wavelength monitored and stabilized source | |
CN103499545B (zh) | 采用气体参考腔反馈补偿的半导体激光器气体检测系统 | |
US20080088821A1 (en) | Fuel cell and product of combustion humidity sensor | |
EP2342544A2 (en) | Wavelength-modulation spectroscopy method | |
KR950033445A (ko) | 광학섬유를 사용하는 온도측정방법과 기구 | |
JPH0933345A (ja) | Ndir測定装置に使用されるショートエタロン・ファブリー・ペロー干渉計を制御する方法 | |
CN106017533A (zh) | 一种快速调谐实时校准光纤光栅解调装置及工作方法 | |
KR100922577B1 (ko) | 휴대형 광바이오 센서 측정 시스템 | |
JPH04151546A (ja) | ガス検出装置 | |
Wang et al. | Detection of gas concentration by correlation spectroscopy using a multi-wavelength fiber laser | |
GB2163251A (en) | Infrared gas detector | |
JPH03221843A (ja) | 光による分析計 | |
US5111135A (en) | Method for optically measuring electric field and optical voltage/electric-field sensor | |
JPH06323989A (ja) | 光学式ガス検出器 | |
CN116930121A (zh) | 基于vcsel和乙炔吸收峰的光纤光栅解调方法与装置 | |
RU2608394C1 (ru) | Устройство для измерения параметров физических полей | |
CN111157127A (zh) | 一种实时测量激光波长的系统 | |
CN114235018B (zh) | 一种温度自适应的fbg解调方法及系统 | |
JPH09304274A (ja) | 光式ガス濃度検出方法及びその装置 | |
JPH06229916A (ja) | 光学式ガス検出器 | |
RU161644U1 (ru) | Устройство для измерения параметров физических полей | |
JPH0915048A (ja) | 分光光度計 |