JP4356724B2 - 赤外線式ガス検知装置およびそのガス検知方法 - Google Patents
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Description
また、上記2つの赤外線波長において測定された赤外線光量の比を診断することで、赤外線光源の劣化によって放射される赤外線光量が低下した場合であっても、当該赤外線光量の低下に影響されずに、可変式波長選択フィルタの波長選択動作に関する異常の有無を診断することができる。
20 赤外線光源
30 可変式波長選択フィルタ
31 基板
33 第1ミラー
34 第2ミラー
G ギャップ
35 第1電極
36 第2電極
40 赤外線受光素子
50 ハウジング
60 制御回路(基板)
Claims (9)
- 赤外線光源、可変式波長選択フィルタ、および赤外線受光素子を同一ハウジング内に備え、前記赤外線光源から前記赤外線受光素子に到る赤外線の光路内に被測定ガスが導入され、前記光路内に配置された前記可変式波長選択フィルタにより被測定ガスに固有の赤外線吸収波長が選択され、前記選択された赤外線吸収波長における赤外線光量を赤外線受光素子により測定して被測定ガスの濃度を検知する赤外線式ガス検知装置であって、
前記可変式波長選択フィルタにより、大気ガスの赤外線非吸収波長帯域にある所定の2つの赤外線波長を選択し、前記選択された赤外線波長における赤外線光量を前記赤外線受光素子により測定して、前記2つの赤外線波長において測定された赤外線光量の比の1からのずれにより、可変式波長選択フィルタの波長選択動作に関する異常の有無を診断する、異常診断手段を備えてなることを特徴とする赤外線式ガス検知装置。 - 前記2つの赤外線波長が、前記赤外線非吸収波長帯域における両端の赤外線波長であることを特徴とする請求項1に記載の赤外線式ガス検知装置。
- 前記赤外線非吸収波長帯域が、
1.55μm以上、1.75μm以下の帯域、2.05μm以上、2.33μm以下の帯域、3.5μm以上、4.16μm以下の帯域、および9.4μm以上、12.4μm以下の帯域のいずれかであることを特徴とする請求項1または2に記載の赤外線式ガス検知装置。 - 前記可変式波長選択フィルタが、
基板に設けられた第1ミラーと、前記第1ミラーとの間にギャップを形成し、外力が加えられることにより第1ミラーに対して変位可能に対向配置される第2ミラーと、前記第1ミラーに設けられる第1電極と、前記第2ミラーに設けられ前記第1電極に対向配置される第2電極とを有してなり、
前記第1電極と第2電極との間に電位差を与えることにより前記第2ミラーを変位させ、前記赤外線光源からの赤外線を波長選択的に透過させる、
ファブリペロー干渉を用いた可変式波長選択フィルタであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の赤外線式ガス検知装置。 - 前記赤外線式ガス検知装置が、車載用の赤外線式ガス検知装置であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の赤外線式ガス検知装置。
- 赤外線光源、可変式波長選択フィルタ、および赤外線受光素子を同一ハウジング内に備え、前記赤外線光源から前記赤外線受光素子に到る赤外線の光路内に、被測定ガスが導入され、前記光路内に配置された前記可変式波長選択フィルタにより、前記被測定ガスに固有の赤外線吸収波長が選択され、前記選択された赤外線吸収波長における赤外線光量を前記赤外線受光素子により測定して、被測定ガスの濃度を検知する赤外線式ガス検知装置のガス検知方法であって、
前記被測定ガスの濃度を検知する前に、
前記可変式波長選択フィルタにより、大気ガスの赤外線非吸収波長帯域にある所定の2つの赤外線波長を選択し、前記選択された赤外線波長における赤外線光量を前記赤外線受光素子により測定して、前記2つの赤外線波長において測定された赤外線光量の比の1からのずれにより、前記可変式波長選択フィルタの波長選択動作に関する異常の有無を診断することを特徴とする赤外線式ガス検知装置のガス検知方法。 - 前記2つの赤外線波長が、前記赤外線非吸収波長帯域における両端の赤外線波長であることを特徴とする請求項6に記載の赤外線式ガス検知装置のガス検知方法。
- 前記赤外線式ガス検知装置が、車載用の赤外線式ガス検知装置であり、
前記赤外線非吸収波長帯域が、2.05μm以上、2.33μm以下の帯域と、9.4μm以上、12.4μm以下の帯域であり、
当該2つの赤外線非吸収波長帯域において、前記異常の有無を診断することを特徴とする請求項6または7に記載の赤外線式ガス検知装置のガス検知方法。 - 前記診断を、前記赤外線式ガス検知装置の電源ON毎に実施することを特徴とする請求項6乃至8のいずれか一項に記載の赤外線式ガス検知装置のガス検知方法。
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