JPWO2017061094A1 - センサ - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 89
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 48
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 10
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 17
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 14
- 238000004092 self-diagnosis Methods 0.000 description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 12
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 9
- 239000001273 butane Substances 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- IJDNQMDRQITEOD-UHFFFAOYSA-N n-butane Chemical compound CCCC IJDNQMDRQITEOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N n-pentane Natural products CCCCC OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 7
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 6
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 6
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 5
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 240000002853 Nelumbo nucifera Species 0.000 description 4
- 235000006508 Nelumbo nucifera Nutrition 0.000 description 4
- 235000006510 Nelumbo pentapetala Nutrition 0.000 description 4
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 2
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- -1 hexane Chemical class 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
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- G01J3/108—Arrangements of light sources specially adapted for spectrometry or colorimetry for measurement in the infrared range
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0237—Adjustable, e.g. focussing
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0286—Constructional arrangements for compensating for fluctuations caused by temperature, humidity or pressure, or using cooling or temperature stabilization of parts of the device; Controlling the atmosphere inside a spectrometer, e.g. vacuum
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/30—Measuring the intensity of spectral lines directly on the spectrum itself
- G01J3/36—Investigating two or more bands of a spectrum by separate detectors
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/42—Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N21/03—Cuvette constructions
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/314—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry with comparison of measurements at specific and non-specific wavelengths
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- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
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- G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
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- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
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Abstract
センサは、流体が流入するように構成された内部空間を有する構造体と、内部空間を通過する光を発する発光素子と、内部空間を通過した光を受ける第1と第2の受光素子と、第1の受光素子と発光素子との間に設けられて光が通過する第1の光学フィルタと、第2の受光素子と発光素子との間に設けられて光が通過する第2の光学フィルタと、制御部とを備える。第1と第2の受光素子は、受けた光の強度に応じて第1と第2の出力をそれぞれ発する。制御部は、発光素子が発する光を変化させ、光を変化させる前での第1の出力と第2の出力との比を、光を変化させた後での第1の出力と第2の出力との比と比較するように構成されている。
Description
本発明は、赤外線などの光の吸収特性を利用して流体中の検出対象の濃度を検出するセンサに関する。
特許文献1は、発光素子が発した光を受光素子で受光し、そのときの光の透過率で流体の濃度を検出する従来のセンサを開示している。
特許文献2は、ガスが導入される筒と、筒内に光を照射する光源と、筒内に配置された第一検出素子と、筒内に配置された第二検出素子と、環境温度を測定する温度測定素子とを備えた従来のセンサを開示している。第一検出素子は、特定ガスに吸収されない波長の光の光量に応じた値を出力する。第二検出素子は、特定ガスに吸収される波長の光の光量に応じた値を出力する。このセンサでは、第一検出素子の出力を事前に取得した第一検出素子の基準出力に合わせ、第二検出素子も同様の補正を行うことで温度変化および経年劣化の影響を打ち消す。
特許文献3は、赤外線光源部と赤外線受光部を備え、流体を通過した赤外線の光量を測定し、ガス流通部にヒータパターンを設けられた、流体の濃度を検出する従来のセンサを開示している。
センサは、流体が流入するように構成された内部空間を有する構造体と、内部空間を通過する光を発する発光素子と、内部空間を通過した光を受ける第1と第2の受光素子と、第1の受光素子と発光素子との間に設けられて光が通過する第1の光学フィルタと、第2の受光素子と発光素子との間に設けられて光が通過する第2の光学フィルタと、制御部とを備える。第1と第2の受光素子は、受けた光の強度に応じて第1と第2の出力をそれぞれ発する。制御部は、発光素子が発する光を変化させ、光を変化させる前での第1の出力と第2の出力との比を、光を変化させた後での第1の出力と第2の出力との比と比較するように構成されている。
他のセンサは、上記構造体と、上記発光素子と、上記第1と第2の受光素子と、上記第1と第2の光学フィルタと、制御部とを備える。この制御部は、センサの起動時に発光素子が発する光を変化させるように構成されている。
このセンサは、流体の濃度によらず受光素子の故障を精度良く検出できる。
以下に、実施の形態に係るセンサについて図面を用いて説明をする。なお、各図面において、同様の構成については、同一の符号を付し、説明を省略する。また、各実施の形態における各構成要素は矛盾のない範囲で任意に組み合わせても良い。
(実施の形態1)
図1は実施の形態1のセンサ1の側断面図である。図2はセンサ1のブロック図である。センサ1は、構造体3と、光LAを発光する発光素子4と、光LAを受光する受光素子5と、光学フィルタ7と、発光素子4が発光する光LAを制御する制御部8とを有している。構造体3は、検出対象である流体101が流入するように構成された内部空間2を有する。構造体3は窓6を有する。実施の形態1では流体101はブタンである。窓6は光LAを透過する透光材料よりなる。
図1は実施の形態1のセンサ1の側断面図である。図2はセンサ1のブロック図である。センサ1は、構造体3と、光LAを発光する発光素子4と、光LAを受光する受光素子5と、光学フィルタ7と、発光素子4が発光する光LAを制御する制御部8とを有している。構造体3は、検出対象である流体101が流入するように構成された内部空間2を有する。構造体3は窓6を有する。実施の形態1では流体101はブタンである。窓6は光LAを透過する透光材料よりなる。
図1において互いに直角のX軸とY軸とを定義する。構造体3は、耐熱性、耐薬品性に優れた樹脂で形成されて直方体形状を有する。構造体は、X軸の正の方向と負の方向にそれぞれ位置する側壁3a、3bを有し、Y軸の正の方向に開口する開口部9を有する。構造体3のX軸の方向の断面積が開口部9の近傍で局部的に小さくなっている。構造体3のX軸の負の方向の側壁3bには窓6が設けられ、X軸の正の方向の側壁3aには光学フィルタ7が設けられている。構造体3のX軸の負の方向の外側には部材10が設けられている。構造体3のX軸の正の方向の外側には部材11が設けられている。部材10には発光素子4が設けられている。部材11には受光素子5が設けられている。発光素子4から発した光LAは窓6から構造体3の内部空間2に入射し、内部空間2を通過する。内部空間2を通過した光LAは光学フィルタ7を通過して受光素子5に入射する。受光素子5は受光素子5aと受光素子5bとで構成されている。光学フィルタ7は光学フィルタ7aと光学フィルタ7bとで構成されている。光学フィルタ7aを通過した光LA1は受光素子5aに入射し、光学フィルタ7bを透過した光LA2は受光素子5bに入射する。光学フィルタ7aと光学フィルタ7bは、透過させる光の波長が異なる。このため、光LAに対する受光素子5aと受光素子5bの出力が異なる。なお、構造体3の開口部9は直方体形状に限定されず、また、構造体3の断面積が開口部9の近傍で小さくなっていなくても良い。構造体3は、例えば、断面積が一様な円筒形状等の他の形状を有していてもよい。また、構造体3の材料も樹脂に限らず、使用環境に合わせて適宜選択することが可能である。
なお、センサ1では、発光素子4と受光素子5との間に内部空間2が位置するように発光素子4と受光素子5が設けられているが、これに限られない。センサ1はX軸の正の方向で内部空間2内に設けられた鏡をさらに備えてもよい。この場合には、内部空間2に対してX軸の負の方向に発光素子4と受光素子5が設けられる。この構成では、発光素子4からX軸の正の方向に発された光LAが鏡でX軸の負の方向に反射され、受光素子5に入射する。この構成によりセンサ1を小型化できる。
構造体3の開口部9は流体101を導入する部材に接続され、その部材から流体101を導入する。発光素子4から発光された光LAは内部空間2を透過し、受光素子5に入射する。光LAが流体101を通過するときに流体101に吸収される。流体101に光LAが吸収されることで受光素子5が受ける光の強度が減少する。受けた光の強度に応じて受光素子5から出力された出力信号が制御部8で信号処理されることにより、内部空間2内における流体101の濃度を検出することができる。ここで、構造体3に窓6と光学フィルタ7が設けられていることにより、発光素子4と受光素子5は直接流体101に接触することがないため、流体101中のパーティクルに汚染されることを防ぐことができる。また可燃性流体である流体101(ブタン)と熱を発生する発光素子4との接触を防ぐことが出来る。
実施の形態1では発光素子4が発する光LAの波長は1.4μm〜5.7μmである。この範囲の波長の光LAはブタンに吸収されるので、センサ1でブタンの濃度を検出することができる。センサ1はブタンを検出対象の流体101としているため、光LAの波長を1.4μm〜5.7μmとしているが、検出対象によって、光LAの波長を適宜変更しても良い。発光素子4はパルス駆動される。制御部8は、発光素子4に所定の周波数f4を有するパルス波形を有する電圧V4を印加することで発光素子4は光LAを発する。実施の形態1では電圧V4の値は5Vであり、周波数f4は10Hzである。電圧V4の値と周波数f4は使用条件に応じて適宜変更することが出来る。電圧V4の値と周波数f4は制御部8によって制御されている。
受光素子5a、5bは焦電素子や熱電対によって形成されており、光LAを受け、受けた光の強度に応じた信号を出力する。制御部8はこれらの信号の振幅を測定することで受光素子5a、5bが受けた光の強度を算出している。受光素子5に焦電素子や熱電対を用いているが、受光素子5a、5bを形成する材料は光LAの波長にあわせて適宜選択することができる。
また、光学フィルタ7aは検出対象の流体101が吸収する波長の光のみを透過させ、光学フィルタ7bは発光素子4が発する光LAのうち、流体101が吸収する波長の光を透過させない。実施の形態1では、光学フィルタ7bは発光素子4が発する光LAのうち、流体101が吸収せずに透過する波長の光のみを透過する。実施の形態1では、光学フィルタ7aは波長λaの光のみを透過し、光学フィルタ7bは波長λbの光のみを透過する。実施の形態1では、光学フィルタ7aが透過する波長λaは3.4μmであり、光学フィルタ7bが透過する波長λbは4.0μmである。このように構成することにより、制御部8は受光素子5aと受光素子5bの出力信号を比較することができ、より正確に検出対象の流体101の濃度を検出することができる。
図3はセンサ1を起動したときの発光素子4に印加される電圧V4を示す。図4は5Vの値の電圧V4が印加された発光素子4の発する光LAの放射スペクトルSP5と、2.5Vの値の電圧V4が印加された発光素子4の発する光LAの放射スペクトルSP2.5とを示す。図4は5Vの値の電圧V4が印加された発光素子4が発する光LAの分光放射輝度の最高値を1として、放射スペクトルSP5、SP2.5を規格化して示す。
受光素子5が正常なときは、受光素子5aの出力W1と受光素子5bの出力W2は発光素子4の例えば放射スペクトルSP5に示される値の内、受光素子5a、5bに到達した光LA1、LA2の強度に相当する値の信号をそれぞれ出力する。しかしながら、受光素子5が壊れた場合、出力W1、または、出力W2は正常な値ではなくなるため流体101の濃度を正確に検出することが出来なくなる。センサ1の起動時の受光素子5の出力とセンサ1を起動していないときの受光素子5の出力とを比較することで受光素子5の故障診断を行うことも出来るが、構造体3内の流体101の濃度によって受光素子5aの出力が変化するため正確に受光素子5の故障を診断することは難しい。
例えば、特許文献1、特許文献2、特許文献3に示す従来のセンサでは、受光素子の故障を正確に判別することができず、流体の濃度の検出精度が低下してしまう。
実施の形態のセンサ1は出力W1と出力W2の比R1(=W1/W2)(実施の形態1では出力W1の出力W2に対する比R1)を検出することで従来のセンサより正確に故障を診断することができる。図3と図4を参照してセンサ1の動作を以下に説明する。
センサ1は時刻t0で起動する。センサ1の起動の直後に自己診断期間T1で自己診断測定を行った後、時刻t2で通常測定を開始し、通常測定期間T2に通常測定を行う。自己診断期間T1での自己診断測定では、制御部8は発光素子4に印加する電圧V4を変化させることで受光素子5の故障を診断する。制御部8は、受光素子5が故障していると診断した場合には故障していることをセンサ1の使用者に警告する。センサ1の通常側定時の発光素子4の電圧V4の値は5Vであり、自己診断測定時には発光素子4の電圧V4の値を2.5Vと5Vとに変化させる。
センサ1での、制御部8は、センサ1が起動する時刻t0に発光素子4の電圧V4の値を2.5Vとして所定期間T11だけ駆動して受光素子5a、5bの出力W1、W2を測定した後に、時刻t1で電圧V4の値を5Vに変化させて所定期間T12に受光素子5a、5bの出力W1、W2を測定する。図4に示すように、光LAの波長λa(=3.4μm)での分光放射輝度W3と波長λb(=4.0μm)での分光放射輝度W4の比R2(=W3/W4)(実施の形態1では分光放射輝度W3の分光放射輝度W4に対する比R2)は、電圧V4の値が5Vのときに約1.81であり電圧V4の値が2.5Vのときに約1.70である。制御部8は、分光放射輝度W3と分光放射輝度W4の比R2(=W3/W4)を予め格納してもよい。この場合センサ1の起動後に制御部8は発光素子4の電圧V4の値を2.5Vから5Vに変化させ、電圧V4のそれぞれの値で受光素子5aの出力W1と受光素子5bの出力W2とを検出して比R1(=W1/W2)を検出する。電圧V4の2.5Vと5Vの夫々の値で比R1(=W1/W2)と比R2(=W3/W4)とを比較する。受光素子5、すなわち受光素子5a、5bのうちの少なくとも1つが壊れている場合、電圧V4の各値で比R1(=W1/W2)は比R2(=W3/W4)とは大きく異なる。このため、制御部8は、電圧V4の変化前と変化後の比R1(=W1/W2)を検出して比R2(=W3/W4)と比較することで受光素子5が壊れていないか診断することが出来る。
また、受光素子5が壊れている場合、出力W1と出力W2の放射スペクトルからのズレは電圧V4によって変動する。例えば、受光素子5aが壊れている場合、電圧V4の値が5Vのときの出力W1が0.1×W3となり、電圧V4の値が2.5Vのときの出力W1が0.2×W3になる。電圧V4の値が5Vでは出力W1が分光放射輝度W3の10%程度の値となり、光源電圧が2.5Vでは出力W1が分光放射輝度W3の20%程度の値となっている。光源電圧が2.5Vのときと5Vのときでは、出力W1に約10%の差が発生する。つまり、電圧V4の値を変化させると出力W1と分光放射輝度W3の比が変化する。このため、発光素子4の電圧V4の値が2.5Vから5Vに変わると比R1(=W1/W2)と比R2(=W3/W4)との比も変動する。このため、制御部8は、電圧V4が変化したときに比R1と比R2の比が変化した場合、受光素子5が壊れていると診断できる。すなわち、発光素子4の電圧V4の値が2.5Vのときの比R1(=W1/W2)の値と電圧V4の値が5Vのときの比R1(=W1/W2)の値とを比較し、比R1が大きく変化していた場合、受光素子5が壊れていると診断できる。このように、制御部8は、電圧V4の値が5Vのときと2.5Vのときとの比R1(=W1/W2)の値の変化を検出することで流体101の濃度の影響を受けず、正確に受光素子5の故障を診断することが出来る。この様に、電圧V4の変化前と変化後の比R1(=W1/W2)の値を比較することで、制御部8は分光放射輝度W3、W4を記録しておかなくても受光素子5が故障している、すなわち受光素子5a、5bのうちの少なくとも1つが故障していることを診断することができる。
また、制御部8は、比R1(=W1/W2)と比R2(=W3/W4)とを比較し、比R1が比R2よりも大きいか小さいかを検出することにより、受光素子5aが壊れているのか、受光素子5bが壊れているのかを診断することが出来る。受光素子5aが壊れた場合、出力W1が小さくなるので、比R1(=W1/W2)が比R2(=W3/W4)よりも小さくなる。実施の形態1におけるセンサ1では、制御部8は、比R1が比R2よりも比R2の10%以上小さい場合は受光素子5aが壊れていると診断し、使用者に警告する。受光素子5bが壊れた場合、出力W2が小さくなるので、比R1(=W1/W2)が比R2(=W3/W4)よりも大きくなる。実施の形態1におけるセンサ1では、制御部8は、比R1が比R2よりも比R2の10%以上大きい場合は受光素子5bが壊れていると診断し、使用者にその旨を警告する。
このように、センサ1の起動時に故障診断を行って受光素子5が壊れている場合に使用者に警告をすることで、使用者が故障したままセンサ1を使用することを防止することができる。また、センサ1の使用中に発光素子4の光源電圧を変更する故障診断を行えば、センサ1の使用中の故障診断も可能である。
また、受光素子5の劣化の確認時には電圧V4の値を通常使用する値の5Vよりも低い2.5Vに下げているため、発光素子4、受光素子5が故障診断時に壊れることを防ぐことが出来る。
なお、実施の形態1では、光学フィルタ7aが3.4μmの光のみを透過し、光学フィルタ7bが4.0μmの光のみを透過しているが、通過する光の波長は検出対象の流体101に合わせて適宜変更することが出来る。
なお、電圧V4の値を5Vと2.5Vにしているが、電圧V4の値はセンサ1の適用条件によって適宜変更することができる。また、実施の形態1では、センサ1の起動時に最初に電圧V4の値を2.5Vにして光LAを発した後に値を5Vに変更しているが、この順番で電圧V4の値を変化させなくても良い。図5はセンサ1の電圧V4の他の値を示す。図5に示すように、最初に5Vの値の電圧V4で光LAを発した後に電圧V4の値を2.5Vに変化させ、その後、電圧V4の値を5Vに変化させても良い。このようにしても故障診断を行うことができる。
なお、比R1(=W1/W2)に対して比R2(W3/W4)が比R2の10%以上ずれている場合、受光素子5a、または、受光素子5bが故障したとして警告を発するようにしているが、これに限らない。警告を発する基準はセンサ1の使用条件に応じて適宜変更することができる。また、制御部8は受光素子5aまたは受光素子5bが故障したと判定した場合に、出力W1または、出力W2を補正しても良い。
なお、実施の形態1では検出対象である流体101はブタンであるが、他の炭化水素の可燃性ガスであってもよい。実施の形態1のセンサ1は、CO2やH2Oなどの光を吸収するガス(流体101)の濃度を検出することができる。
(実施の形態2)
図6は実施の形態2のセンサ21のブロック図である。図6において、図1と図2に示す実施の形態1のセンサ1と同じ部分には同じ参照番号を付す。センサ21は実施の形態1のセンサ1の制御部8の代わりに、発光素子4と受光素子5に接続された制御部22を備える。
図6は実施の形態2のセンサ21のブロック図である。図6において、図1と図2に示す実施の形態1のセンサ1と同じ部分には同じ参照番号を付す。センサ21は実施の形態1のセンサ1の制御部8の代わりに、発光素子4と受光素子5に接続された制御部22を備える。
図7Aは制御部22が発光素子4に印加する電圧V4を示す。実施の形態2のセンサ1の制御部22は自己診断期間T1に受光素子5の故障を確認するために電圧V4の周波数f4を変化させる。センサ21が起動した時刻t0から時刻t2までの自己診断期間T1に制御部22は受光素子5の故障を診断し、通常測定期間T2に流体101の濃度を検出する。自己診断期間T1のうちの時刻t0から時刻t1までの期間T11では制御部22は10Hzの周波数f4の電圧V4を発光素子4に印加して、自己診断期間T1のうちの時刻t1から時刻t2までの期間T12では制御部22は20Hzの周波数f4の電圧V4を発光素子4に印加して、発光素子4は光LAを発する。
図7Bに電圧V4の周波数f4を変化させたときの発光素子4の分光放射輝度を示し、10Hzの周波数f4を有する電圧V4が印加された発光素子4の発する光LAの放射スペクトルSP10と、20Hzの周波数f4を有する電圧V4が印加された発光素子4の発する光LAの放射スペクトルSP20とを示す。図7Bは分光放射輝度を周波数f4が10Hzの電圧V4が印加されたときの最も大きい値を1として規格化して示している。
図7Bに示しているように、周波数f4が10Hzのときの波長λa(=3.4μm)の分光放射輝度W3と波長λb(=4.0μm)の分光放射輝度W4の比R2(=W3/W4)は約1.81であり、周波数f4が20Hzのときの分光放射輝度W3と分光放射輝度W4の比R2(=W3/W4)は約1.78である。
センサ21が起動した時に制御部22は電圧V4の周波数f4を変化させ、比R1(=W1/W2)と比R2(=W3/W4)とを比較し、受光素子5の故障を診断する。また、電圧V4の周波数f4を変化させたときの比R1と比R2とのズレを検出して受光素子5の故障を診断する。これにより、センサ21は実施の形態1のセンサ1と同様に正確に受光素子5の故障を診断することが出来る。
なお、実施の形態2のセンサ21でも実施の形態1のセンサ1と同様に、制御部22は期間T11に周波数f4を10Hzに設定して時刻t1に周波数f4を10Hzから20Hzへ変化させて、期間T12(自己診断期間T1)が終わる時刻t2に周波数f4を20Hzから10Hzへ変化させてもよく、もしくは制御部22は期間T11に周波数f4を20Hzに設定して時刻t1に周波数f4を20Hzから10Hzに変化させても良い。どちらの順番で電圧V4の周波数f4を変化させても受光素子5の故障を診断することができる。
(実施の形態3)
図8は、実施の形態3のセンサ31の側断面図である。図8において、図1から図7Bに示す実施の形態1、2のセンサ1、21と同じ部分には同じ参照番号を付す。
図8は、実施の形態3のセンサ31の側断面図である。図8において、図1から図7Bに示す実施の形態1、2のセンサ1、21と同じ部分には同じ参照番号を付す。
図8に示すセンサ31の構造体3は、センサ1、21の構造体3の窓6の代わりに窓32を有する。窓32は、センサ1、21の窓6と同様に、発光素子4から発した光LAを透過して構造体3の内部空間2に光LAを入射させる。実施の形態1、2のセンサ1、21と同様に、制御部8(22)はセンサ31の起動時に発光素子4の出力の光LAを変化させて受光素子5(5a、5b)の故障を診断する。窓32は内部空間2に面する面32aと、面32aの反対側の面32bとを有する。面32bは発光素子4に対向する。発光素子4が発した光LAは窓32の面32a、32bを通過して内部空間2に入射する。すなわち、面32a、32bには光LAが通過する。光学フィルタ7aは内部空間2に面する面7aaと、面7aaの反対側の面7abとを有する。面7abは受光素子5aに対向する。内部空間2を通過した光LAは光学フィルタ7aの面7aa、7abを通過して光LA1として受光素子5aに入射する。すなわち、面7aa、7abには光LA(LA1)が通過する。光学フィルタ7bは内部空間2に面する面7baと、面7baの反対側の面7bbとを有する。面7bbは受光素子5bに対向する。内部空間2を通過した光LAは光学フィルタ7bの面7ba、7bbを通過して光LA2として受光素子5bに入射する。すなわち、面7ba、7bbには光LA(LA2)が通過する。
図9Aは窓32の拡大断面図であり、特に面32aの近傍を示す。窓32の面32aは微細凹凸132aを有する。
微細凹凸132aの効果を以下に説明する。検出対象である流体101がブタン等の沸点が低いガスである場合、使用環境によっては結露し、窓32の面32aに液滴が付着してしまう。窓32の面32aに液滴が付着した場合、気体状態と液体状態では単位体積あたりに含まれる分子数が大きく異なるため、窓32に付着した液滴で光LAが大きく吸収される。これにより受光素子5が受ける光の強度が大きく変化することになり、センサ31の検出精度が低下してしまう。
センサ31では、窓32の内部空間2に接する面32aは図9Aに示すように微細凹凸132aを有するので、微細凹凸132aによりロータス効果が生じ、窓32の面32aに付着した液滴を除去することができる。これにより、窓32の面32aに付着した液滴に光LAが大きく吸収されることを低減することができるため、検出対象の流体101の濃度の検出精度を向上させることが可能である。
微細凹凸132aの高さL132aは光LAの波長の1/4以下である。微細凹凸132aの高さが光LAの波長の1/4以下であるため、光LAが微細凹凸132aを透過するときの微細凹凸34による光LAの吸収を低減することができ、センサ31の感度を低下させずに、液滴を除去する効果を得ることができている。
また、窓32の面32aの微細凹凸132a上には反射防止膜12aが設けられている。反射防止膜12aによって、構造体3を構成する部材、空気、及び内部空間2中の流体101との屈折率の違いによる表面反射により、受光素子5に到達する光の量が減少することを防ぐことができる。これにより、センサ31の感度の低下を防止することができる。
図9Bは窓32の拡大断面図であり、特に面32bの近傍を示す。窓32の面32bは微細凹凸132bを有する。微細凹凸132bの高さL132bは微細凹凸132aの高さL132aと同じである。これにより、構造体3と部材10との間の空間に結露が生じて液滴が付着した場合でも、窓32の面32bはロータス効果により液滴を除去することができるため、センサ31の感度をさらに向上させることができる。窓32は微細凹凸132a、132bのうちの一方を有していなくてもよい。
また、窓32の面32bの微細凹凸132b上には反射防止膜12bが設けられている。反射防止膜12bによって、構造体3を構成する部材と空気との屈折率の違いによる表面反射により、受光素子5に到達する光の量が減少することを防ぐことができる。これにより、センサ31の感度の低下を防止することができる。センサ31は反射防止膜12a、12bのうちの少なくとも一方を有していなくてもよい。
図9Cは光学フィルタ7a(7b)の拡大断面図であり、特に面7aa(7ba)の近傍を示す。光学フィルタ7a(7b)の面7aa(7ba)は微細凹凸107aa(107ba)を有する。
センサ31では、光学フィルタ7a(7b)の内部空間2に接する面7aa(7ba)は図9Cに示すように微細凹凸107aa(107ba)を有するので、微細凹凸107aa(107ba)によりロータス効果が生じ、光学フィルタ7a(7b)の面7aa(7ba)に付着した液滴を除去することができる。これにより、光学フィルタ7a(7b)の面7aa(7ba)に付着した液滴に光LAが大きく吸収されることを低減することができるため、検出対象の流体101の濃度の検出精度を向上させることが可能である。
微細凹凸107aa(107ba)の高さL107aa(L107ba)は光LAの波長の1/4以下である。微細凹凸107aaの高さが光LAの波長の1/4以下であるため、光LAが微細凹凸34を透過するときの微細凹凸107aaによる光LAの吸収を低減することができ、センサ31の感度を低下させずに、液滴を除去する効果を得ることができている。
また、光学フィルタ7a(7b)の面7aa(7ba)の微細凹凸107aa(107ba)上には反射防止膜112aa(112ba)が設けられている。反射防止膜112aa(112ba)によって、構造体3を構成する部材、空気、及び内部空間2中の流体101との屈折率の違いによる表面反射により、受光素子5に到達する光の量が減少することを防ぐことができる。これにより、センサ31の感度の低下を防止することができる。
図9Dは光学フィルタ7a(7b)の拡大断面図であり、特に面7ab(7bb)の近傍を示す。光学フィルタ7a(7b)の面7ab(7bb)は微細凹凸107ab(107bb)を有する。微細凹凸107ab(107bb)の高さL107ab(L107bb)は微細凹凸107aa(107ba)の高さL107aa(L107ba)と同じである。これにより、構造体3と部材11との間の空間に結露が生じて液滴が付着した場合でも、光学フィルタ7a(7b)の面7ab(7bb)はロータス効果により液滴を除去することができるため、センサ31の感度をさらに向上させることができる。光学フィルタ7a(7b)は微細凹凸107aa(107ba)、107ab(107bb)のうちの一方を有していなくてもよい。
また、光学フィルタ7a(7b)の面7ab(7bb)の微細凹凸107ab(107bb)上には反射防止膜112ab(112bb)が設けられている。反射防止膜112ab(112bb)によって、構造体3を構成する部材と空気との屈折率の違いによる表面反射により、受光素子5に到達する光の量が減少することを防ぐことができる。これにより、センサ31の感度の低下を防止することができる。センサ31は反射防止膜112aa(112ba)、112ab(112bb)のうちの少なくとも一方を有していなくてもよい。
なお、実施の形態3において、検出対象である流体101はブタンであるが、これに限らず、ヘキサン等の他の炭化水素や、その他、沸点の低いガス等、結露を起こしやすい環境でセンサ31を使用することができる。
(実施の形態4)
図10は、実施の形態4のセンサ41の側断面図である。図10において、図1から図7Bに示す実施の形態1、2のセンサ1、21と同じ部分には同じ参照番号を付す。
図10は、実施の形態4のセンサ41の側断面図である。図10において、図1から図7Bに示す実施の形態1、2のセンサ1、21と同じ部分には同じ参照番号を付す。
図10に示すセンサ41は、図1から図7Bに示す実施の形態1、2のセンサ1、21の光学フィルタ7(7a、7b)の代わりに光学フィルタ43(43a、43b)を備える。光学フィルタ43aは検出対象である流体101が吸収する波長λaの光のみを透過させ、光学フィルタ43bは発光素子4が発する光LAのうち、流体101が吸収する波長の光を透過しない。センサ31の構造体3は、センサ1、21の構造体3の窓6の代わりに窓42を有する。窓42は、センサ1、21の窓6と同様に、発光素子4から発した光LAを透過して構造体3の内部空間2に光LAを入射させる。
図11Aは窓42正面図である。窓42の外周の近傍には窓42を振動させる振動部44aである圧電膜44が設けられている。圧電膜44は、窓42の中心を空けて配置されている。実施の形態4のセンサ41では、窓42は円形状を有し、圧電膜44は窓42の中心を空けた円環形状を有する。この構造により、圧電膜44が光を通しにくい材料より形成されていても、光LAを内部空間2に入射させることができる。圧電膜44の周囲には電極45が設けられている。制御部は圧電膜44に所定の周波数の電圧を印加し、圧電効果により圧電膜44を振動させる。図11Bは窓42の断面図であり、窓42の振動を示す。圧電膜44は、窓42の内部空間2に接する面42aの反対側の面42b上に設けられている。制御部が電極45に上記電圧を印加することにより、図11Bに示すように、窓42が面42bと直交する方向D42に振動する。このように圧電膜44が振動することによって、窓42に液滴が付着していた場合、液滴を除去することができ、センサ41の感度の低下を低減することができる。
図12は、実施の形態4の他のセンサ41aの側断面図である。図12において、図10から図11Bに示すセンサ41と同じ部分には同じ参照番号を付す。センサ41aでは、窓42に設けられた振動部44aとして圧電膜44と電極45と同様の圧電膜144a、144bと電極145a、145bが光学フィルタ43a、43bの内部空間2に接する面43aa、43baの反対側の面43ab、43bb上にそれぞれ設けられている。圧電膜144a、144bは圧電膜44と同様に、光学フィルタ43a、43bの中心を空けて設けられており、実施の形態4では中心を囲む環形状である円環形状を有する。圧電膜144a、144bと電極145a、145bは圧電膜44と電極45と同様の効果を有する。センサ41aでは窓42に圧電膜44と電極45が設けられていなくてもよい。
実施の形態4では、圧電膜44、144a、144bは窓42と光学フィルタ43a、43bの中心を空けて囲む環形状である円環形状を有する。圧電膜44、144a、144bは窓42及び光学フィルタ43a、43bの中心を光LAが透過可能な形状を有している。例えば、窓42の中心を囲む環形状を有する1つの圧電膜44の代わりに、窓42の外周の近傍に長方形状をそれぞれ有する複数の圧電膜が設けられていてもよい。また、光学フィルタ43aの中心を囲む環形状を有する1つの圧電膜144aの代わりに、光学フィルタ43aの外周の近傍に長方形状をそれぞれ有する複数の圧電膜が設けられていてもよい。また、光学フィルタ43bの中心を囲む環形状を有する1つの圧電膜144bの代わりに、光学フィルタ43bの外周の近傍に長方形状をそれぞれ有する複数の圧電膜が設けられていてもよい。
(実施の形態5)
図13は、実施の形態5のセンサ51の側断面図である。図13において、図1から図7Bに示す実施の形態1、2のセンサ1、21と同じ部分には同じ参照番号を付す。
図13は、実施の形態5のセンサ51の側断面図である。図13において、図1から図7Bに示す実施の形態1、2のセンサ1、21と同じ部分には同じ参照番号を付す。
図13に示すように、センサ51は、図1から図7Bに示す実施の形態1、2のセンサ1、21の光学フィルタ7(7a、7b)の代わりに光学フィルタ53(53a、53b)を備え、構造体3の外部に設けられたモータ54をさらに備える。光学フィルタ53aは検出対象である流体101が吸収する波長λaの光のみを透過させ、光学フィルタ53bは発光素子4が発光する光LAのうち、流体101が吸収する波長の光を透過しない。
モータ54は構造体3を特定の周波数で振動させる振動部として機能する。振動により、窓52や光学フィルタ53a、53bに付着した液滴を同時に除去することができ、センサ51の感度低下を防止することができる。また、センサ31は、振動部としてモータ54を構造体3に取り付けていることにより、窓52、光学フィルタ53a、53bのいずれにも振動部を設ける必要がないため、簡易な構成で検出対象が結露しやすい環境でも検出感度が低下しにくいセンサ51を提供することが可能である。
1,21,31,41,51 センサ
2 内部空間
3 構造体
4 発光素子
5 受光素子
5a 受光素子(第1の受光素子)
5b 受光素子(第2の受光素子)
6,32,42,52 窓
7,43,53 光学フィルタ
7a,43a,53a 光学フィルタ(第1の光学フィルタ)
7b,43b,53b 光学フィルタ(第2の光学フィルタ)
8,22 制御部
9 開口部
44,144 圧電膜
45,145 電極
54 モータ
107aa,107ba,107ab,107bb,132a,132b 微細凹凸
2 内部空間
3 構造体
4 発光素子
5 受光素子
5a 受光素子(第1の受光素子)
5b 受光素子(第2の受光素子)
6,32,42,52 窓
7,43,53 光学フィルタ
7a,43a,53a 光学フィルタ(第1の光学フィルタ)
7b,43b,53b 光学フィルタ(第2の光学フィルタ)
8,22 制御部
9 開口部
44,144 圧電膜
45,145 電極
54 モータ
107aa,107ba,107ab,107bb,132a,132b 微細凹凸
図1において互いに直角のX軸とY軸とを定義する。構造体3は、耐熱性、耐薬品性に優れた樹脂で形成されて直方体形状を有する。構造体は、X軸の正の方向と負の方向にそれぞれ位置する側壁3a、3bを有し、Y軸の正の方向に開口する開口部9を有する。構造体3のX軸の方向の断面積が開口部9の近傍で局部的に小さくなっている。構造体3のX軸の負の方向の側壁3bには窓6が設けられ、X軸の正の方向の側壁3aには光学フィルタ7が設けられている。構造体3のX軸の負の方向の外側には部材10が設けられている。構造体3のX軸の正の方向の外側には部材11が設けられている。部材10には発光素子4が設けられている。部材11には受光素子5が設けられている。発光素子4から発した光LAは窓6から構造体3の内部空間2に入射し、内部空間2を通過する。内部空間2を通過した光LAは光学フィルタ7を通過して受光素子5に入射する。受光素子5は受光素子5aと受光素子5bとで構成されている。光学フィルタ7は光学フィルタ7aと光学フィルタ7bとで構成されている。光学フィルタ7aを通過した光LA1は受光素子5aに入射し、光学フィルタ7bを透過した光LA2は受光素子5bに入射する。光学フィルタ7aと光学フィルタ7bは、透過させる光の波長が異なる。このため、光LAに対する受光素子5aと受光素子5bの出力が異なる。なお、構造体3は直方体形状に限定されず、また、構造体3の断面積が開口部9の近傍で小さくなっていなくても良い。構造体3は、例えば、断面積が一様な円筒形状等の他の形状を有していてもよい。また、構造体3の材料も樹脂に限らず、使用環境に合わせて適宜選択することが可能である。
図7Aは制御部22が発光素子4に印加する電圧V4を示す。実施の形態2のセンサ21の制御部22は自己診断期間T1に受光素子5の故障を確認するために電圧V4の周波数f4を変化させる。センサ21が起動した時刻t0から時刻t2までの自己診断期間T1に制御部22は受光素子5の故障を診断し、通常測定期間T2に流体101の濃度を検出する。自己診断期間T1のうちの時刻t0から時刻t1までの期間T11では制御部22は10Hzの周波数f4の電圧V4を発光素子4に印加して、自己診断期間T1のうちの時刻t1から時刻t2までの期間T12では制御部22は20Hzの周波数f4の電圧V4を発光素子4に印加して、発光素子4は光LAを発する。
微細凹凸132aの高さL132aは光LAの波長の1/4以下である。微細凹凸132aの高さが光LAの波長の1/4以下であるため、光LAが微細凹凸132aを透過するときの微細凹凸132aによる光LAの吸収を低減することができ、センサ31の感度を低下させずに、液滴を除去する効果を得ることができている。
微細凹凸107aa(107ba)の高さL107aa(L107ba)は光LAの波長の1/4以下である。微細凹凸107aaの高さが光LAの波長の1/4以下であるため、光LAが微細凹凸107aaを透過するときの微細凹凸107aaによる光LAの吸収を低減することができ、センサ31の感度を低下させずに、液滴を除去する効果を得ることができている。
図11Aは窓42の正面図である。窓42の外周の近傍には窓42を振動させる振動部44aである圧電膜44が設けられている。圧電膜44は、窓42の中心を空けて配置されている。実施の形態4のセンサ41では、窓42は円形状を有し、圧電膜44は窓42の中心を空けた円環形状を有する。この構造により、圧電膜44が光を通しにくい材料より形成されていても、光LAを内部空間2に入射させることができる。圧電膜44の周囲には電極45が設けられている。制御部は圧電膜44に所定の周波数の電圧を印加し、圧電効果により圧電膜44を振動させる。図11Bは窓42の断面図であり、窓42の振動を示す。圧電膜44は、窓42の内部空間2に接する面42aの反対側の面42b上に設けられている。制御部が電極45に上記電圧を印加することにより、図11Bに示すように、窓42が面42bと直交する方向D42に振動する。このように圧電膜44が振動することによって、窓42に液滴が付着していた場合、液滴を除去することができ、センサ41の感度の低下を低減することができる。
Claims (22)
- 流体が流入するように構成された内部空間を有する構造体と、
前記内部空間を通過する光を発する発光素子と、
前記内部空間を通過した前記光を受けて、前記受けた光の強度に応じて第1の出力を発する第1の受光素子と、
前記内部空間を通過した前記光を受けて、前記受けた光の強度に応じて第2の出力を発する第2の受光素子と、
前記第1の受光素子と前記発光素子との間に設けられて前記光が通過する第1の光学フィルタと、
前記第2の受光素子と前記発光素子との間に設けられて前記光が通過する第2の光学フィルタと、
前記発光素子と前記第1の受光素子と前記第2の受光素子とに接続された制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記発光素子が発する前記光を変化させ、
前記光を変化させる前での前記第1の出力と前記第2の出力との第1の比を、前記光を変化させた後での前記第1の出力と前記第2の出力との第2の比と比較する、
ように構成されている、センサ。 - 前記制御部は、前記第1の比が前記第2の比と異なるときに警告を発するように構成されている、請求項1に記載のセンサ。
- 流体が流入するように構成された内部空間を有する構造体と、
前記内部空間を通過する光を発する発光素子と、
前記内部空間を通過した前記光を受けて、前記受けた光の強度に応じて第1の出力を発する第1の受光素子と、
前記内部空間を通過した前記光を受けて、前記受けた光の強度に応じて第2の出力を発する第2の受光素子と、
前記第1の受光素子と前記発光素子との間に設けられて前記光が通過する第1の光学フィルタと、
前記第2の受光素子と前記発光素子との間に設けられて前記光が通過する第2の光学フィルタと、
前記発光素子と前記第1の受光素子と前記第2の受光素子とに接続された制御部と、
を備えたセンサであって、
前記制御部は、前記センサの起動時に前記発光素子が発する前記光を変化させるように構成されている、センサ。 - 前記第1の光学フィルタは前記流体が吸収する波長の光のみを透過し、
前記第2の光学フィルタは前記流体が吸収する前記波長の光を透過しない、請求項1から3のいずれか1項に記載のセンサ。 - 前記第2の光学フィルタは前記流体が吸収しない波長の光のみを透過する、請求項4に記載のセンサ。
- 前記制御部は、前記発光素子に印加する電圧を変えることで前記発光素子が発する前記光を変化させるように構成されている、請求項1から3のいずれか1項に記載のセンサ。
- 前記制御部は、前記発光素子に印加する前記電圧を高くすることで前記発光素子が発する前記光を変化させるように構成されている、請求項6に記載のセンサ。
- 前記制御部は、前記発光素子に印加する前記電圧を低くすることで前記発光素子が発する前記光を変化させるように構成されている、請求項6に記載のセンサ。
- 前記制御部は、前記発光素子に印加する電圧の周波数を変えることで前記発光素子が発する前記光を変化させるように構成されている、請求項1から3のいずれか1項に記載のセンサ。
- 前記制御部は、前記周波数を高くすることで前記発光素子が発する前記光を変化させるように構成されている、請求項9に記載のセンサ。
- 前記制御部は、前記周波数を低くすることで前記発光素子が発する前記光を変化させるように構成されている、請求項9に記載のセンサ。
- 前記第1の光学フィルタは、前記光が通過してかつ第1の微細凹凸を有する第1の面を有し、
前記第2の光学フィルタは、前記光が通過してかつ第2の微細凹凸を有する第2の面を有する、請求項1から11のいずれか1項に記載のセンサ。 - 前記第1の微細凹凸と前記第2の微細凹凸の高さは前記光の波長の1/4以下である、請求項12に記載のセンサ。
- 前記第1の光学フィルタの前記面の前記第1の微細凹凸上に設けられた第1の反射防止膜と、
前記第2の光学フィルタの前記面の前記第2の微細凹凸上に設けられた第2の反射防止膜と、
をさらに備えた、請求項12または13に記載のセンサ。 - 前記構造体は、前記発光素子が発する前記光が入射する窓をさらに備え、
前記窓は、前記光が通過してかつ微細凹凸を有する面を有する、請求項1から14のいずれか1項に記載のセンサ。 - 前記微細凹凸の高さは前記光の波長の1/4以下である、請求項15に記載のセンサ。
- 前記窓の前記面の前記微細凹凸上に設けられた反射防止膜をさらに備えた、請求項15または16に記載のセンサ。
- 前記内部空間に生じた液滴を除去する振動部をさらに備えた、請求項1から3のいずれか1項に記載のセンサ。
- 前記構造体は前記光が通過する窓をさらに有し、
前記振動部は、前記窓と前記第1の光学フィルタと前記第2の光学フィルタの少なくとも1つに設けられた圧電膜である、請求項18に記載のセンサ。 - 前記圧電膜は、前記窓と前記第1の光学フィルタと前記第2の光学フィルタとの少なくとも前記1つの中心を空けて配置されている、請求項19に記載のセンサ。
- 前記振動部は前記構造体の外側に設けられたモータである、請求項18に記載のセンサ。
- 前記制御部は、前記第1の出力と前記第2の出力とに基づいて前記流体の濃度を検出する、請求項1から21のいずれか1項に記載のセンサ。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015199294 | 2015-10-07 | ||
JP2015199294 | 2015-10-07 | ||
JP2015219122 | 2015-11-09 | ||
JP2015219122 | 2015-11-09 | ||
PCT/JP2016/004412 WO2017061094A1 (ja) | 2015-10-07 | 2016-09-30 | センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2017061094A1 true JPWO2017061094A1 (ja) | 2018-08-02 |
Family
ID=58487380
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017544181A Pending JPWO2017061094A1 (ja) | 2015-10-07 | 2016-09-30 | センサ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20180202925A1 (ja) |
JP (1) | JPWO2017061094A1 (ja) |
WO (1) | WO2017061094A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7118684B2 (ja) * | 2018-03-27 | 2022-08-16 | 日本光電工業株式会社 | 呼吸気情報検出センサ、呼吸気情報検出装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07128231A (ja) * | 1993-11-08 | 1995-05-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 赤外線式ガスセンサー |
JPH1123464A (ja) * | 1997-07-04 | 1999-01-29 | Nippon Ceramic Co Ltd | 赤外線吸収方式ガスセンサ |
JP2005208009A (ja) * | 2004-01-26 | 2005-08-04 | Denso Corp | 赤外線検知式ガスセンサ |
JP2007024545A (ja) * | 2005-07-12 | 2007-02-01 | Denso Corp | 光検知式ガスセンサ装置 |
JP4859216B2 (ja) * | 2006-07-28 | 2012-01-25 | キヤノン株式会社 | 撮像装置及び加振装置 |
JP4356724B2 (ja) * | 2006-09-20 | 2009-11-04 | 株式会社デンソー | 赤外線式ガス検知装置およびそのガス検知方法 |
US7652767B2 (en) * | 2006-10-19 | 2010-01-26 | Sporian Microsystems, Inc. | Optical sensor with chemically reactive surface |
SE532551C2 (sv) * | 2008-06-30 | 2010-02-16 | Senseair Ab | Ett för spektralanalys anpassat arrangemang |
WO2010048512A1 (en) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | University Of Notre Dame Du Lac | Methods and apparatus to obtain suspended particle information |
JP2012177690A (ja) * | 2011-02-02 | 2012-09-13 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 赤外線ガスセンサ |
-
2016
- 2016-09-30 WO PCT/JP2016/004412 patent/WO2017061094A1/ja active Application Filing
- 2016-09-30 US US15/748,847 patent/US20180202925A1/en not_active Abandoned
- 2016-09-30 JP JP2017544181A patent/JPWO2017061094A1/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20180202925A1 (en) | 2018-07-19 |
WO2017061094A1 (ja) | 2017-04-13 |
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