JP2005208009A - 赤外線検知式ガスセンサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 抵抗体60を有し、当該抵抗体60を発熱させることにより赤外線を放射する光源部31と、検出素子70として熱電対を有する受光部32とを同一の基板40に集積化し、1つのセンサチップ30とした。そして、ケース10の上部内面に設けられた凹面鏡12bの対向する所定の位置にセンサチップ30を配置し、ガスセンサ100とした。従って、光源部31と受光部32が別チップである場合よりも、ケース10内における配置スペースを縮小できるので、ガスセンサ100の体格を小型化することができる。また、光源部31と受光部32の位置関係が決定されているので、凹面鏡12bに対する光源部31と受光部32の位置精度が向上される。従って、センサ感度のばらつきを低減できる。
【選択図】 図1
Description
図1は、本実施形態における赤外線検知式ガスセンサ(以下ガスセンサと示す)の概略構成を示す図である。
11・・・台座
12・・・容器
12b・・・凹面鏡(反射部材)
20・・・キャップ
21a・・・赤外線透過フィルタ
22a・・・バンドパスフィルタ
23・・・隔壁
30・・・センサチップ
31・・・光源部
32・・・受光部
40・・・基板
45(45a,45b)・・・多結晶シリコン膜
45a・・・光源部用多結晶シリコン膜
45b・・・受光部用多結晶シリコン膜
47(47a,47b)・・・配線部
50(50a,50b)・・・メンブレン
60(45a)・・・抵抗体
70(45b,47b)・・・検出素子(熱電対)
80・・・赤外線吸収膜
100・・・赤外線検知式ガスセンサ(ガスセンサ)
Claims (8)
- 抵抗体を有し、当該抵抗体を発熱させることにより赤外線を放射する赤外線光源と、
赤外線を受光したときに生じる温度変化に基づいて電気信号を発生する検出素子を有する赤外線センサと、
前記赤外線光源に対して対向配置され、前記赤外線光源から放射された赤外線を反射し、前記赤外線センサに入射させる反射部材と、を同一のケース内に備える赤外線検知式ガスセンサにおいて、
前記抵抗体及び前記検出素子が、同一の基板に設けられていることを特徴とする赤外線検知式ガスセンサ。 - 前記反射部材は、凹面鏡であることを特徴とする請求項1に記載の赤外線検知式ガスセンサ。
- 前記基板は、薄肉部としてのメンブレンを複数有し
前記抵抗体及び前記検出素子は、それぞれ異なる前記メンブレンに形成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の赤外線検知式ガスセンサ。 - 前記検出素子は、温接点が前記メンブレン上に形成され、冷接点が前記メンブレンの形成領域を除く前記基板上に形成されてなる熱電対であることを特徴とする請求項3に記載の赤外線検知式ガスセンサ。
- 前記抵抗体と前記検出素子の少なくとも一部が、同一材料からなることを特徴とする請求項1〜4いずれか1項に記載の赤外線検知式ガスセンサ。
- 前記抵抗体と前記検出素子の少なくとも一部が、ともに同一平面上に形成されていることを特徴とする請求項1〜5いずれか1項に記載の赤外線検知式ガスセンサ。
- 前記基板は、半導体基板であり、
前記抵抗体及び前記検出素子は、絶縁膜を介して前記半導体基板上に形成されていることを特徴とする請求項1〜6いずれか1項に記載の赤外線検知式ガスセンサ。 - 前記抵抗体及び前記検出素子を備える前記基板が、回路チップ上に実装されて前記ケース内に配置されていることを特徴とする請求項1〜7いずれか1項に記載の赤外線検知式ガスセンサ。
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