JPH05340814A - 画像スペクトル分布測定装置 - Google Patents

画像スペクトル分布測定装置

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JPH05340814A
JPH05340814A JP14722292A JP14722292A JPH05340814A JP H05340814 A JPH05340814 A JP H05340814A JP 14722292 A JP14722292 A JP 14722292A JP 14722292 A JP14722292 A JP 14722292A JP H05340814 A JPH05340814 A JP H05340814A
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JP
Japan
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liquid crystal
image
filters
distribution measuring
variable wavelength
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Pending
Application number
JP14722292A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsuhiko Hirabayashi
克彦 平林
Takashi Kurokawa
隆志 黒川
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 波長の分解が高く、さらに紫外、可視、赤外
の広範囲な波長を掃引することが可能な画像スペクトル
分布測定装置を得る。 【構成】 画像を取り込み、この画像を電気信号に変換
する光学装置に用いる画像スペクトル分布測定装置にお
いて、無反射コート膜を付けたガラス基板、透明電極、
誘電体ミラーで液晶を挟んだ構造を有する液晶可変波長
フィルタ6−1,6−2と、液晶可変波長フィルタ6−
1,6−2に電圧を印加する制御機能付き電源8−1,
8−2とを備えている。また、前記液晶可変波長フィル
タ6−1,6−2は、重ね合う複数の液晶可変波長フィ
ルタのフリースペクトラルレンジが異なり、その差がそ
のフィルタのバンド幅の2倍以上であり、大きい方のフ
リースペクトラルレンジの半分以下である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、画像を取り込み、この
画像を電気信号に変換する光学装置に用いる画像スペク
トル分布測定装置に関し、特に、高分解能で紫外、可
視、赤外の広い波長の範囲に渡って、画像のスペクトル
分布を測定することが可能な画像スペクトル分布測定装
置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、ビデオカメラの発達は、目ざまし
く、高画質のビデオカメラが安価に市販されるようにな
ってきた。カラービデオカメラにおいては、半導体の撮
像素子(CCD)の各画素に赤、青、緑のフィルタを設
け、入力画像のこれらの3原色の光強度をCCDカメラ
で受けることにより、カラーの画像を撮像することが可
能である。しかし、医療などにおいては、さらに、高い
波長の分解能で画像を取り込む必要が生じる。例えば、
患部の画像のスペクトル分布を高分解能で測定すること
により、より正確な診断を下すことが可能となる。
【0003】また、天文観測の分野では、天体のスペク
トル分布を測定することにより、星の速度及び天体に分
布する元素の分布を測定することが可能となる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述のような
要求を実現するためには、CCDカメラの前にフィルタ
を置き、そのフィルタを波長ごとに取り替えて、画像を
撮影すればよいが、波長フィルタの数が多くなると、非
常に労力が多くなるという問題があった。
【0005】さらに、動画像の場合には実時間での撮影
は不可能となる。このため可変波長フィルタをCCDカ
メラの前に置くことが考えられるが、従来、この種のフ
ィルタとして液晶の複屈折効果を利用した液晶フィルタ
(ライオットフィルタ)、あるいはピエゾ素子で光学ギ
ャップをコントロールできるファブリーペローエタロン
が用いられてきた。しかし、液晶複屈折フィルタは波長
の選択性が悪く(波長分解能が悪く)、正確なスペクト
ル分布を測定することは不可能であった。
【0006】また、ピエゾコントロールファブリーペロ
ーエタロンは、駆動に高電圧を必要とし、基板の平行度
を厳密に保ってギャップを制御するために、複雑な制御
が必要であるという問題があった。
【0007】本発明は、前記問題点を解決するためにな
されたものであり、本発明の目的は、CCDカメラの前
に液晶をファブリペローエタロン内に充填した1枚ある
いは2枚の液晶可変波長フィルタを置くことにより、波
長の分解能が高く、さらに、紫外、可視、赤外の広範囲
な波長を掃引することが可能な画像スペクトル分布測定
装置を提供することにある。
【0008】本発明の前記ならびにその他の目的及び新
規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明ら
かにする。
【0009】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は、画像を取り込み、この画像を電気信号に
変換する光学装置に用いる画像スペクトル分布測定装置
において、無反射コート膜を付けたガラス基板、透明電
極、誘電体ミラーで液晶を挟んだ構造を有する液晶可変
波長フィルタと、液晶可変波長フィルタに電圧を印加す
る制御機能付き電源とを備えたことを特徴とする。
【0010】前記画像スペクトル分布測定装置におい
て、重ね合う複数の液晶可変波長フィルタのフリースペ
クトラルレンジが異なり、その差がそのフィルタのバン
ド幅の2倍以上であり、大きい方のフリースペクトラル
レンジの半分以下であることを特徴とする。
【0011】前記画像スペクトル分布測定装置を組み込
んだことを特徴とする光学顕微鏡、天体望遠鏡等の光学
装置である。
【0012】
【作用】前述の手段によれば、液晶をガラス基板、透明
電極、誘電体ミラーで挟んだ構造を持つ液晶可変波長フ
ィルタを用いることにより、可変波長フィルタの分解能
を向上させ、低電圧駆動とし、メカニカルな制御を避け
るので、印加電圧は数Vで済み、平行度の調整も必要で
はなく、非常に簡単に測定することができる。
【0013】また、複数のフリースペクトラルレンジの
異なる液晶可変波長の液晶可変波長フィルタを複数枚重
ねることにより、前記液晶可変波長フィルタの波長掃引
範囲を広くすることができる。
【0014】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例を詳
細に説明する。
【0015】なお、実施例を説明する全図において、同
一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの
説明は省略する。
【0016】(実施例1)図1は、本発明の実施例1の
画像スペクトル分布測定装置の構造を示す模式図であ
り、1は入力の対象となる入力対象物体、2は入力対象
物体の画像を切り込み平行光にする画像取込みレンズ、
3は平行光をCCD撮像素子上に結像する結像レンズ、
4-1は可視から赤外に感度を持つCCD、4-2はCC
D4-1からの電気信号を画像に変換する画像変換装
置、5はディスプレイである。
【0017】6-1,6-2は液晶可変波長フィルタ、7
は液晶可変波長フィルタに印加する電圧を制御する印加
電圧制御回路、8-1,8-2は液晶可変波長フィルタ用
電源、9は液晶可変波長フィルタの温度を一定に保つペ
ルチェ素子、放熱板を有する温度制御機構である。
【0018】10は液晶可変波長フィルタ6-1,6-2
に入射する光の内、液晶分子に平行な偏光のみを通過さ
せる偏光子である。
【0019】図2は、前記液晶可変波長フィルタ6-
1,6-2の詳細構造を示す断面図であり、21は無反
射コート、22はガラス基板、23は透明電極、24は
誘電体ミラー、25は液晶配向膜、26は液晶である。
【0020】透明電極23に0から15V程度の電圧を
印加すると、液晶分子がガラス基板22に対して傾き、
液晶の屈折率が変化し、その結果として、ファブリーペ
ロー干渉計の光学長が変化し、透過波長が変化する。透
過ピークのバンド幅、透過率、フィネスはミラーの反射
率、ギャップに依存する。可変幅は、液晶の材料によっ
て異なるが、50ナノメートル(nm)から150nmであ
る。したがって、1枚の素子では紫外、可視、近赤外が
数ミクロンメートル(μm)に渡って透過スペクトルを
連続に可変することは不可能である。このため可変幅の
拡大のため、2枚のフィルタを重ねる。互いに重ねた2
つの液晶可変波長フィルタのFSP(ピーク間隔)の関
係及び可変幅の拡大の原理について述べる。
【0021】液晶可変波長フィルタの共振周波数は
(1)式で与えられる。
【0022】
【数1】νm=m/2nL (1) ここで、mは整数、nは液晶の屈折率、Lはキャビティ
長である。ピーク間隔(フリースペクトラルレンジ、F
SR)は(2)式で与えられる。
【0023】
【数2】FSR=1/2nL (2) 2つの液晶可変波長フィルタのFSR1とFSR2が等し
い場合には、液晶可変フィルタにかける電圧を調整し、
第1フィルタの1本の透過スペクトルに第2フィルタの
スペクトルを一致させると、図3(a)に示すように、
他のフィルタの透過スペクトルも一致してしまい多数の
透過スペクトルが現れることになる。
【0024】2つの液晶可変波長フィルタのFSR1
FSR2が異なる場合には、第1フィルタの1本の透過
スペクトルに第2フィルタのスペクトルを一致させる
と、図3(b)に示すように、他の透過スペクトルは一
致せず、1本の透過スペクトルが現れることになる。
【0025】FSR1とFSR2の差がスペクトルのバン
ド幅(FWHM)程度であると、両隣の透過スペクトル
が少し重なり、透過する。このためFSR1とFSR2
差はバンド幅の2倍以上である必要がある。
【0026】また、FSR1とFSR2の差が大きくなっ
てFSR1/FSR2が整数になると、図3(c)に示す
ように1本置きにスペクトルが重なってしまい、多数の
透過スペクトルが生じることになる。このため2つの液
晶可変波長フィルタのフリースペクトラムレンジが異な
り、その差がそのフィルタのバンド幅の2倍以上であ
り、大きい方のフリースペクトラムレンジの半分以下で
あることが必要になる。
【0027】可変幅拡大のためには図3(b)に示すよ
うに、最初1と1’のピークを重ねた状態で短波長へシ
フトさせる。次に電圧を下げて2と2’を重ねてFSR
分短波長側へシフトさせる。さらに、3,4,5に順番
にシフトさせることにより、数ミクロンメートル(μ
m)に渡って透過ピークをシフトさせることが可能にな
る。
【0028】図1において、第1フィルタのキャビティ
ギャップは6μm、第2フィルタのキャビティギャップ
は5μmであり、それぞれのFSRは20THz,16
THzである。ミラーの反射率は0.4μm〜5μmに渡
って98〜99%であり、フィネスは約150、それぞ
れのバンド幅は200GHz,160GHzである。こ
のため前記の2つの液晶可変波長フィルタのフリースペ
クトラムレンジが異なり、その差がそのフィルタのバン
ド幅の2倍以上であり、大きい方のフリースペクトラム
レンジの半分以下であるという条件を満足している。可
変幅はFSR以上になるように液晶を選択した。
【0029】この重ね合わせられた2枚のフィルタの電
圧を制御し、透過スペクトルを0.4μmから5μmまで
掃引した。分解能1〜1.2nmで透過スペクトルを0.
4μmから5μmまで連続に掃引できた。この時2本の透
過スペクトルが現れることはなかった。このフィルタを
図1に示す画像スペクトル測定装置に装着し、人体の発
する赤外線のスペクトル分布を測定できた。0.4μmか
ら5μmまで波長を掃引するのに約1秒を要したが、実
時間での測定が可能であった。
【0030】本実施例1では、通常の赤外線カメラに液
晶可変波長フィルタを組み込んだ構造について説明した
が、顕微鏡に組み込んでも良い。
【0031】(実施例2)図4は、本発明の実施例2の
画像スペクトル分布測定装置を組み込んだ顕微鏡(光学
装置)の構造を説明するための模式図であり、4-0は
測定する物体、4-1はCCD、4-2はCCD4-1か
らの電気信号を画像に変換する画像変換装置、4-3は
光学顕微鏡、4-4は偏光ビームスプリッタである。こ
の偏光ビームスプリッタ4-4は、直接目に入るものと
画像スペクトル分布測定装置へ入るものに入射光を分け
るためのものである。
【0032】4-5は、図1に示した本発明の画像スペ
クトル分布測定装置であり、4-6は人間の目、4-7は
照明光源である。
【0033】このような構造にすることにより、物体を
拡大してそのスペクトル分布を高分解能で可視から赤外
まで測定することが可能となる。
【0034】(実施例3)図5は、本発明の実施例3の画
像スペクトル分布測定装置を適用した天体望遠鏡(光学
装置)の構造を説明するための模式図であり、5-1は
星座、5-2は天体望遠鏡、4-4は偏光ビームスプリッ
タ、5-3は人間の目、5-4はミラーである。ここで
は、1枚の液晶可変波長フィルタを用いたが、実施例1
のようにFSRが異なる液晶可変波長フィルタを2枚重
ねてもよい。
【0035】本実施例3の天体望遠鏡に用いた液晶可変
波長フィルタのバンド幅は、0.3nmであり、可変幅は
50nmであった。本装置によりオリオン座プライトーバ
の水素原子の再結合線(Paβ:波長1.283μm、
Br:波長2.166μm)の輝線にフィルタの透過波長
を合わせて、水素原子の分布を測定できた。
【0036】従来はピエゾコントロールによって、この
輝線にファブリーペローエタロンの透過波長を合わせる
ため、1000V程度の高電圧を印加し、さらに、基板
の平行度を調整するのに非常に複雑な制御を必要とした
が、液晶可変波長フィルタを用いることにより、印加電
圧は数Vで済み、平行度の調整も必要ではなく、非常に
簡単に測定が可能となった。
【0037】以上説明したように、可変波長フィルタと
して液晶可変波長フィルタ1枚、あるいは2枚とCCD
のような撮像素子とを組み合わせることにより、高分解
能で広い可変幅を持つ画像分布測定装置を作製すること
が可能となり、平行度の調節も必要なく、さらに、15
V程度の低電圧で駆動できるという利点がある。
【0038】以上、本発明を実施例に基づき具体的に説
明したが、本発明は、前記実施例に限定されるものでは
なく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更し得
ることはいうまでもない。
【0039】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれ
ば、以下の効果を得ることができる。
【0040】液晶をガラス基板、透明電極、誘電体ミラ
ーで挟んだ構造を持つ液晶可変波長フィルタを用いるこ
とにより、可変波長フィルタの分解能を向上させ、低電
圧駆動とし、メカニカルな制御を避けるので、印加電圧
は数Vで済み、平行度の調整も必要ではなく、非常に簡
単に測定することができる。
【0041】また、複数のフリースペクトラルレンジの
異なる液晶可変波長の液晶可変波長フィルタを複数枚重
ねることにより、前記液晶可変波長フィルタの液晶掃引
範囲を広くすることができる。
【0042】(1)印加電圧は数Vで済み、平行度の調
整も必要ではなく、非常に簡単に測定することができ
る。
【0043】(2)物体を拡大してそのスペクトル分布
を高分解能で可視から赤外まで測定することができる。
【0044】(3)可変波長フィルタとして液晶可変波
長フィルタ1枚あるいは複数枚とCCDのような撮像素
子とを組み合わせることにより、高分解能で広い可変幅
を持つ画像分布測定装置を作製することが可能となり、
平行度の調節も必要なく、さらに、15V程度の低電圧
で駆動できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例1の画像スペクトル分布測定
装置の構造を示す模式図、
【図2】 図1に示す液晶可変波長フィルタの詳細構造
を示す断面図、
【図3】 図2に示す液晶可変波長フィルタの作用を説
明するための図、
【図4】 本発明の実施例2の画像スペクトル分布測定
装置を組み込んだ顕微鏡の構造を説明するための模式
図、
【図5】 本発明の実施例3の画像スペクトル分布測定
装置を適用した天体望遠鏡の構造を説明するための模式
図。
【符号の説明】
1…入力対象物体、2…画像取込レンズ、3…結像レン
ズ、4-1…CCD、4-2…画像変換装置、5…ディス
プレイ、6-1,6-2…液晶可変波長フィルタ、7…印
加電圧制御回路、8-1,8-2…液晶可変波長フィルタ
用電源、9…温度制御機構、10…偏光子、21…無反
射コート、22…ガラス基板、23…透明電極、24…
誘電体ミラー、25…液晶配向膜、26…液晶、4-0
…測定する物体、4-3…光学顕微鏡、4-4…偏光ビー
ムスプリッタ、4-5…画像スペクトル分布測定装置、
4-6…人間の目、4-7…照明光源、5-1…星座、5-
2…天体望遠鏡、5-3…人間の目、5-4…ミラー。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 画像を取り込み、この画像を電気信号に
    変換する光学装置に用いる画像スペクトル分布測定装置
    において、無反射コート膜を付けたガラス基板、透明電
    極、誘電体ミラーで液晶を挟んだ構造を有する液晶可変
    波長フィルタと、該液晶可変波長フィルタに電圧を印加
    する制御機能付き電源とを備えたことを特徴とする画像
    スペクトル分布測定装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の画像スペクトル分布測
    定装置において、重ね合う複数の液晶可変波長フィルタ
    のフリースペクトラルレンジが異なり、その差がそのフ
    ィルタのバンド幅の2倍以上であり、大きい方のフリー
    スペクトラルレンジの半分以下であることを特徴とする
    画像スペクトル分布測定装置。
  3. 【請求項3】 請求項1又は2に記載の画像スペクトル
    分布測定装置を組み込んだことを特徴とする光学装置。
JP14722292A 1992-06-08 1992-06-08 画像スペクトル分布測定装置 Pending JPH05340814A (ja)

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JP14722292A JPH05340814A (ja) 1992-06-08 1992-06-08 画像スペクトル分布測定装置

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08285688A (ja) * 1995-04-13 1996-11-01 Masanori Okuyama スペクトル画像分析装置
JP2006177954A (ja) * 2004-12-20 2006-07-06 Xerox Corp 機械的に調整可能な全幅のアレイ型分光光度計
JP2012093275A (ja) * 2010-10-28 2012-05-17 Seiko Epson Corp 光測定装置
JP2014059250A (ja) * 2012-09-19 2014-04-03 Seiko Epson Corp 分光装置、波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
CN109004501A (zh) * 2018-07-20 2018-12-14 中国科学院合肥物质科学研究院 一种高稳定可调谐单纵模环形腔光纤激光器

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