JP2017106876A5 - - Google Patents

Description

上記目的を達成するために、本発明の一側面としての計測装置は、被検面の形状を計測する計測装置であって、前記被検面上で走査されるプローブと、前記プローブの走査方向に並んだ複数の基準部材と、前記複数の基準部材のうち前記プローブの前記走査方向の位置に応じて選択された基準部材からの距離を検出するようにそれぞれ構成され、前記走査方向における前記プローブの異なる位置に設けられた複数の検出部と、前記プローブを走査しながら、前記複数の検出部による検出結果のうち少なくとも１つに基づいて前記プローブの位置情報を求めることにより、前記被検面の形状情報を得る処理部と、を含み、前記処理部は、前記走査方向における前記プローブの走査範囲が区分けされた複数の範囲のうち前記プローブが配置された範囲に応じて、前記複数の検出部による検出結果のうち前記位置情報を求める際に用いる検出結果を変更し、前記複数の検出部の各々について選択された基準部材の組み合わせは、前記複数の範囲において互いに異なる、ことを特徴とする。

Claims (13)

1. 被検面の形状を計測する計測装置であって、
   前記被検面上で走査されるプローブと、
   前記プローブの走査方向に並んだ複数の基準部材と、
   前記複数の基準部材のうち前記プローブの前記走査方向の位置に応じて選択された基準部材からの距離を検出するようにそれぞれ構成され、前記走査方向における前記プローブの異なる位置に設けられた複数の検出部と、
   前記プローブを走査しながら、前記複数の検出部による検出結果のうち少なくとも１つに基づいて前記プローブの位置情報を求めることにより、前記被検面の形状情報を得る処理部と、
   を含み、
   前記処理部は、前記走査方向における前記プローブの走査範囲が区分けされた複数の範囲のうち前記プローブが配置された範囲に応じて、前記複数の検出部による検出結果のうち前記位置情報を求める際に用いる検出結果を変更し、
   前記複数の検出部の各々について選択された基準部材の組み合わせは、前記複数の範囲において互いに異なる、ことを特徴とする計測装置。
2. 前記処理部は、前記複数の範囲の各々と検出結果を使用する検出部との関係を示す情報に基づいて、前記複数の検出部による検出結果のうち前記位置情報を求める際に用いる検出結果を変更する、ことを特徴とする請求項１に記載の計測装置。
3. 前記処理部は、前記複数の基準部材の各々と前記プローブとの相対的な傾きを示す第１情報に基づいて前記位置情報を補正し、補正した前記位置情報に基づいて前記形状情報を求める、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の計測装置。
4. 前記複数の検出部は、前記複数の基準部材のうち同じ基準部材が選択可能となるように配置された複数の第１検出部を含み、
   前記処理部は、前記複数の基準部材のうち同じ基準部材が選択されている状態の前記複数の第１検出部による検出結果に基づいて前記第１情報を求める、ことを特徴とする請求項３に記載の計測装置。
5. 前記処理部は、前記複数の基準部材間の相対的な傾きを示す第２情報に基づいて前記位置情報を補正し、補正した前記位置情報に基づいて前記形状情報を求める、ことを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載の計測装置。
6. 前記複数の検出部は、前記複数の基準部材のうち互いに異なる基準部材が選択可能となるように配置された複数の第２検出部を含み、
   前記処理部は、前記複数の基準部材のうち互いに異なる基準部材が選択されている状態の前記複数の第２検出部による検出結果に基づいて前記第２情報を求める、ことを特徴とする請求項５に記載の計測装置。
7. 前記複数の基準部材は、第１基準部材および第２基準部材を含み、
   前記処理部は、前記第１基準部材を基準として前記被検面上の所定部分の形状を計測した結果と、前記走査方向に前記被検面を移動させた後に前記第２基準部材を基準として前記所定部分の形状を計測した結果とに基づいて前記第２情報を求める、ことを特徴とする請求項５に記載の計測装置。
8. 前記プローブの姿勢を検出する姿勢検出部を更に含み、
   前記処理部は、前記姿勢検出部による検出結果に基づいて、前記プローブが目標姿勢で維持されるように前記プローブの姿勢を制御する、ことを特徴とする請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載の計測装置。
9. 前記複数の範囲は、前記複数の検出部の各々について同じ基準部材が選択される範囲と、前記複数の検出部のうち少なくとも２つの検出部について互いに異なる基準部材が選択される範囲とを含む、ことを特徴とする請求項１乃至８のうちいずれか１項に記載の計測装置。
10. 前記複数の範囲は、前記複数の検出部のうち１つの検出部についていずれの基準部材も選択されない範囲を更に含む、ことを特徴とする請求項９に記載の計測装置。
11. 前記複数の検出部は、前記複数の検出部のうち少なくとも１つの検出部について前記複数の基準部材のいずれかが選択可能となるように、前記走査方向に離隔して配置されている、ことを特徴とする請求項１乃至１０のうちいずれか１項に記載の計測装置。
12. 前記複数の基準部材は、前記走査方向に離隔して配置され、
    前記複数の検出部の間の隙間は、前記複数の基準部材の間の隙間より広い、ことを特徴とする請求項１１に記載の計測装置。
13. 被検面上で走査されるプローブと、前記プローブの走査方向に並んだ複数の基準部材と、前記複数の基準部材のうち前記プローブの前記走査方向の位置に応じて選択された基準部材からの距離を検出するようにそれぞれ構成され、前記走査方向における前記プローブの異なる位置に設けられた複数の検出部とを用いて、前記被検面の形状を計測する計測方法であって、
    前記プローブを走査しながら、前記複数の検出部による検出結果のうち少なくとも１つに基づいて前記プローブの位置情報を求めることにより、前記被検面の形状情報を得る工程を含み、
    前記工程では、前記走査方向における前記プローブの走査範囲が区分けされた複数の範囲のうち前記プローブが配置された範囲に応じて、前記複数の検出部による検出結果のうち前記位置情報を求める際に用いる検出結果を変更し、
    前記複数の検出部の各々について選択された基準部材の組み合わせは、前記複数の範囲において互いに異なる、ことを特徴とする計測方法。