JP2016222939A - 原子層成長装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】成膜容器開口部に取り付けるインジェクタと、開口部に挿入して取り付けるインジェクタ防着材を備え、インジェクタに、インジェクタ原料ガス供給路、インジェクタ原料ガス供給口、インジェクタ反応ガス供給路、インジェクタ反応ガス供給口、インジェクタ不活性ガス供給路、インジェクタ不活性ガス供給口が、区画されて備えられ、
インジェクタ防着材に、防着材原料ガス供給路、防着材原料ガス供給口、防着材反応ガス供給路、防着材反応ガス供給口、防着材不活性ガス供給路、防着材不活性ガス供給口が、区画されて備えられ、インジェクタ防着材の外周側と開口部の内周側との隙間に、不活性ガスが流れるように防着材不活性ガス供給路が設けられている。
【選択図】図2
Description
原子層成長法により薄膜の形成を繰り返し行うと、成膜容器の内表面にも薄膜が付着する。成膜容器内表面に付着した薄膜の厚さが厚くなると、堆積した薄膜が剥離し、その一部分がパーティクルとなり、基板上に形成される薄膜の質が劣化する原因となる。そのため、成膜容器の内表面に付着した薄膜を定期的に除去することが好ましい。
また、CVD成膜やスパッタ成膜で防着板を使用する装置(特許文献1参照)や、チャンバの内壁に堆積した堆積物を非晶質膜で覆うことにより、チャンバの内壁に堆積した堆積物からのガスの発生を抑制する気相成長装置が知られている(特許文献2参照)。
さらには、ガスを供給するインジェクタと成膜装置との隙間に生じる空間に窒素ガスをパージすることで、インジェクタを取り付けるインジェクタ挿入口への着膜を回避する装置が提案されている(特許文献3参照)
成膜容器と、
前記成膜容器の開口部に取り付け可能なインジェクタと、
前記インジェクタより前記成膜容器内側に位置するように前記開口部に挿入して取り付け可能なインジェクタ防着材と、を備え、
前記インジェクタに、
薄膜の原料である原料ガスを供給するインジェクタ原料ガス供給路と前記インジェクタ原料ガス供給路に設けられて前記原料ガスが流れ出るインジェクタ原料ガス供給口と、
前記原料ガスと反応して前記薄膜を形成する反応ガスを供給するインジェクタ反応ガス供給路と、前記インジェクタ反応ガス供給路に設けられて前記反応ガスが流れ出るインジェクタ反応ガス供給口と、
不活性ガスが流れるインジェクタ不活性ガス供給路と、前記インジェクタ不活性ガス供給路に設けられて前記不活性ガスが流れ出るインジェクタ不活性ガス供給口と、がそれぞれ区画されて備えられ、
前記インジェクタ防着材に、
前記インジェクタ原料ガス供給口に連なって前記原料ガスを供給する防着材原料ガス供給路と、防着材原料ガス供給路に設けられて前記成膜容器内に前記原料ガスが流れ出る防着材原料ガス供給口と、
前記インジェクタ反応ガス供給口に連なって前記反応ガスを供給する防着材反応ガス供給路と、前記防着材反応ガス供給路に設けられて前記成膜容器内に前記反応ガスが流れ出る防着材反応ガス供給口と、
前記インジェクタ不活性ガス供給口に連なって前記不活性ガスを送る防着材不活性ガス供給路と、前記防着材不活性ガス供給路に設けられて前記成膜容器内に前記不活性ガスが流れ出る防着材不活性ガス供給口と、がそれぞれ区画されて備えられ、
前記インジェクタ防着材の外周側と、前記開口部の内周側との隙間に、前記不活性ガスが流れるように、前記防着材不活性ガス供給路が設けられていることを特徴とする。
前記反応ガスをパージするパージガス供給路が、インジェクタ反応ガス供給路と防着材反応ガス供給路とを兼用していることを特徴とする。
図1は、本実施形態の原子層成長装置の一例を示す概略構成図である。
本実施形態の原子層成長装置10は、原料ガスと反応ガスとを交互に供給し、基板13上に原子層単位で薄膜を形成する。その際、反応活性を高めるため、基板13を加熱させることができる。特に、本実施形態では原料ガスとしてTMA(Tri−Methyl Aluminum)を用い、その際、反応活性を高めるため、プラズマを発生させることもできる。本実施形態では、プラズマの発生に平行平板電極を用いるが、この方式に限定されない。
上部電極12は、ステージ14上に設置した基板13の上方に位置するように設けられ、高周波電源15と接続されている。高周波電源15が所定の周波数の高周波電流を供給することにより、上部電極12とステージ14との間でプラズマが生成される。
なお、原料ガス供給路22は、原料ガスをパージする供給路を兼用し、反応ガス供給路23は、反応ガスをパージする供給路を兼用している。
反応ガス供給路23は、インジェクタ20の他方側の外周面に開口し、図2に示すように、軸心手前で向きを変えて軸方向に沿って成膜容器11側に直状に伸びる角穴形状を有している。原料ガス供給路22および原料ガス供給口22Aと反応ガス供給路23および反応ガス供給口23Aとは、互いの間に位置する壁部によって区画されている。
不活性ガス供給路24は上記のように、インジェクタ20に1箇所以上を有することが好ましい。例えば、インジェクタ幅と高さアスペクト比が10:1の直方体形状では、少なくとも、インジェクタ20上面とインジェクタ20下面の2箇所に原料ガス供給路を設け、インジェクタ防着材30側で、後述するようにシャワーヘッド構造とすることが好ましい。シャワー構造により、成膜容器11内に、より均一にガスを供給することが可能となる。
不活性ガス供給路24は、本発明のインジェクタ不活性ガス供給路に相当し、不活性ガス供給口24Aは、本発明のインジェクタ不活性ガス供給口に相当する。
インジェクタ防着材30は、開口部11Aに挿入された際に、外周側で開口部11Aの内周面と隙間を有する筒形状を有しており、その先端を前記インジェクタ20の先端に付き合わせるように配置される。
インジェクタ防着材30は、前記原料ガス供給口22Aに連通する原料ガス供給路32を有しており、原料ガス供給路32の成膜容器側端部に、原料ガス供給口32Aが形成されている。
また、インジェクタ防着材30は、前記反応ガス供給口23Aに連通する反応ガス供給路33を有しており、反応ガス供給路33の成膜容器側端部に、反応ガス供給口33Aが形成されている。原料ガス供給路32および原料ガス供給口32Aと、反応ガス供給路33および反応ガス供給口33Aとは、互いの間に位置する壁部によって区画されている。
反応ガス供給路33は、本発明の防着材反応ガス供給路に相当し、反応ガス供給口33Aは、本発明の防着材反応ガス供給口に相当する。
なお、この実施形態では、原料ガス供給路32と反応ガス供給路33との間の壁部の位置が、インジェクタ防着材30の成膜容器側先端よりもインジェクタ側に位置しており、したがって、原料ガス供給口32Aと反応ガス供給口33Aは、インジェクタ側に位置している。その理由は、可能な限り、基板より遠い位置でガスを流れ方向に対して垂直方向へ広げ、均一にガスを基板13へ供給するためである。
しかし、防着材の原料ガス供給路32と反応ガス供給路33との間の壁部は必要である。壁部の成膜位置に近い部分では膜が堆積されるからであり、壁部が存在しない場合は、原料ガス供給口22A、反応ガス供給口23Aのインジェクタに膜が付き、インジェクタ20のメンテナンスが必要となる。壁部水平長さは0〜50mm、さらには30mmを有することが望ましい。
なお、インジェクタ防着材30で、成膜容器11側でのみ環状の流路を設ける場合、それよりもインジェクタ側では、不活性ガス供給路24と同様に1箇所以上設けるのが望ましい。
例えば、フランジ30Aの内面を、敢えて粗面とし(例えばRa(算術平均粗さ)=3〜6μmと)として、フランジ30A内面を成膜容器11内壁に当接させて取り付けるようにしてもよい。
この粗面形状によってガスが流れる不活性ガス供給路34が確保される。隙間は、少なくとも0.001mm以上を有することが望ましい。
この点で、隙間の下限は、0.001mmを例示することができる。
原料ガス供給路32および原料ガス供給口32A、反応ガス供給路33および反応ガス供給口33Aは、不活性ガス供給路34および不活性ガス供給口34Aとは、互いの間に位置する壁部によって区画されている。
インジェクタ20とインジェクタ防着材30とは、不活性ガス供給口24Aを介した不活性ガス供給路24と不活性ガス供給路34との連通部分、原料ガス供給口22Aを介した原料ガス供給口22と原料ガス供給路32との連通部分、反応ガス供給口23Aを介した反応ガス供給路23と反応ガス供給路33との連通部分で、互いの先端が付き合わされている。
インジェクタ20は、開口部11Aよりも大きい筒形状を有し、開口部11Aの外側でその先端が、成膜容器11の外壁と環状に接し、その間に封止材としてOリング35Aが配置されており、図示しない固定具で成膜装置11に取り付けられている。
また、Oリング35Bの配置位置の内径側であって、原料ガス供給路22、32と反応ガス供給路23、33の間の突き合わせ面に位置するように、原料ガス供給路22、32を囲む位置にOリング35Cが配置されている。インジェクタ防着材30では、Oリング35Cの配置位置に合わせてOリング35Cの断面形状の一部を収容するOリング溝37が環状に形成されている。
各Oリングは、各供給路および各供給口の区画を確実にする。
インジェクタ防着材30に、Oリング溝36、37を設けたのは、メンテナンス時にインジェクタ防着材30を成膜容器11内側から引き出す際、Oリング35B、35Cを同時に引き出し、交換するためである。インジェクタ20にOリング溝を設けた場合は、メンテナンス時にインジェクタ20を成膜容器11から切り離す必要があり、メンテナンス性が低下する。
また、反応ガス供給路23から供給される反応ガスは、反応ガス供給口23A、反応ガス供給路33、反応ガス供給口33Aを通って、成膜容器11の内部に供給される。反応ガスをパージするパージガスも同様である。
また、不活性ガス供給路24から供給される不活性ガスは、不活性ガス供給口24A、不活性ガス供給路34、不活性ガス供給口34Aを通って、成膜容器11の内部に供給される。
成膜容器11内に供給された原料ガス、反応ガス、パージガス、不活性ガスは排気部40から排出される。
Oリング35Bにより、インジェクタ防着材30を導入する開口部11Aとインジェクタ防着材30を確実に区画することが可能となり、不活性ガス供給口24Aおよび不活性ガス供給口34Aへ、原料ガス及び反応ガスが漏れる量を抑制することが可能となる。
また、Oリング35Cにより、インジェクタ防着材30を導入する開口部11Aとインジェクタ防着材30を確実に区画することが可能となり、原料ガス供給路22から反応ガス供給路23,33への原料ガスの進入及び、反応ガス供給路23から原料ガス供給路22、32への反応ガスの進入を抑制することができる。
成膜容器11内側からの原料ガス及び反応ガスの拡散進入は、不活性ガス供給口24A、34Aに不活性ガス供給路24、34から不活性ガスを供給することで抑制することが可能となる。不活性ガスは例えば窒素、アルゴンである。
図4は、本実施形態の原子層堆積方法の一例を示すフローチャートである。図5(a)〜(d)は、基板Sの上に薄膜が形成される工程を示す図である。
本実施形態では、ステップs1のみでなく、後述するステップs2〜4も含めて、不活性ガス供給路24等を通して常に不活性ガスを供給する。そのため、ステップs1において、原料ガス供給路22等を通して成膜容器11の内部に原料ガスを供給する際に、成膜容器11とインジェクタ20との隙間および成膜容器11とインジェクタ防着材30との隙間に原料ガスが入り込むのを抑制することができる。
また、ステップs1において、反応ガス供給路23よりパージガスを流しても良い。原料ガスが拡散により反応ガス供給口33Aへ回り込み、反応ガス供給口23Aへの着膜を抑制することが可能となる。
パージガスは、例えば、0.1秒間、成膜容器11の内部に供給する。排気部40が成膜容器11の内部の原料ガス110やパージガス112を排気する。排気部40は、例えば、2秒間、成膜容器11の内部の原料ガス110やパージガス112を排気する。図5(b)に示されるように、ステップs2によって、成膜容器11の内部にパージガス112が供給され、基板Sの上に吸着していない原料ガス110が成膜容器11からパージされる。
また、ステップs3において、原料ガス供給路22よりパージガスを流しても良い。反応ガスが拡散により原料ガス供給口32Aへ回り込み、原料ガス供給口22Aへの着膜を抑制することが可能となる。
ヒータ14Aの付近に位置する成膜容器11の内壁は、ヒータ14Aにより500℃程度の高温に加熱することが可能となる。そのため、ヒータ14Aの付近に位置する成膜容器11の内壁に付着した薄膜は、ガスエッチングにより除去することが可能となる。
20μmの成膜を実施した後、不活性ガス供給口24A、34A部分にあたるインジェクタ防着材30及びインジェクタ20の全ての部分の膜厚を目視にて観察したところ、目視で観察されるAlON薄膜の干渉膜は観測されず、その堆積量は50nm以下であることが確認された。ガス供給口のメンテナンスはインジェクタ防着材30及びビス38のみであり、インジェクタ20及び開口部11Aはメンテナンスフリーとすることが可能となった。
11 成膜容器
13 基板
14 ステージ
14A ヒータ
15 高周波電源
20 インジェクタ
22 原料ガス供給路
22A 原料ガス供給口
23 反応ガス供給路
23A 反応ガス供給口
24 不活性ガス供給路
24A 不活性ガス供給口
30 インジェクタ防着材
32 原料ガス供給路
32A 原料ガス供給口
33 反応ガス供給路
33A 反応ガス供給口
34 不活性ガス供給路
34A 不活性ガス供給口
35A Oリング
35B Oリング
35C Oリング
36 Oリング溝
37 Oリング溝
40 排気部
S 基板
102 吸着層
104 薄膜層
110 原料ガス
112 パージガス
114 反応ガス
Claims (15)
- 成膜容器と、
前記成膜容器の開口部に取り付け可能なインジェクタと、
前記インジェクタより前記成膜容器内側に位置するように前記開口部に挿入して取り付け可能なインジェクタ防着材と、を備え、
前記インジェクタに、
薄膜の原料である原料ガスを供給するインジェクタ原料ガス供給路と、前記インジェクタ原料ガス供給路に設けられて前記原料ガスが流れ出るインジェクタ原料ガス供給口と、
前記原料ガスと反応して前記薄膜を形成する反応ガスを供給するインジェクタ反応ガス供給路と、前記インジェクタ反応ガス供給路に設けられて前記反応ガスが流れ出るインジェクタ反応ガス供給口と、
不活性ガスが流れるインジェクタ不活性ガス供給路と、前記インジェクタ不活性ガス供給路に設けられて前記不活性ガスが流れ出るインジェクタ不活性ガス供給口と、がそれぞれ区画されて備えられ、
前記インジェクタ防着材に、
前記インジェクタ原料ガス供給口に連なって前記原料ガスを供給する防着材原料ガス供給路と、防着材原料ガス供給路に設けられて前記成膜容器内に前記原料ガスが流れ出る防着材原料ガス供給口と、
前記インジェクタ反応ガス供給口に連なって前記反応ガスを供給する防着材反応ガス供給路と、前記防着材反応ガス供給路に設けられて前記成膜容器内に前記反応ガスが流れ出る防着材反応ガス供給口と、
前記インジェクタ不活性ガス供給口に連なって前記不活性ガスを送る防着材不活性ガス供給路と、前記防着材不活性ガス供給路に設けられて前記成膜容器内に前記不活性ガスが流れ出る防着材不活性ガス供給口と、がそれぞれ区画されて備えられ、
前記インジェクタ防着材の外周側と、前記開口部の内周側との隙間に、前記不活性ガスが流れるように、前記防着材不活性ガス供給路が設けられていることを特徴とする原子層成長装置。 - 前記インジェクタと前記インジェクタ防着材とは、前記インジェクタ原料ガス供給口を介して前記インジェクタ原料ガス供給路と前記防着材原料ガス供給路とを連通させる部材同士の間と、前記インジェクタ反応ガス供給口を介して前記インジェクタ反応ガス供給路と前記防着材反応ガス供給路とを連通させる部材同士の間とに、少なくとも前記原料ガスと前記反応ガスを区画する位置に、封止材が配置されていることを特徴とする請求項1記載の原子層成長装置。
- 前記インジェクタ先端と前記インジェクタ防着材先端とが突き合わせて配置されており、前記インジェクタ防着材を前記成膜容器に取り付けた状態で前記封止材を押圧していることを特徴とする請求項2記載の原子層成長装置。
- 前記封止材がOリングであることを特徴とする請求項2または3に記載の原子層成長装置。
- 前記インジェクタ防着材に、前記Oリングの断面形状の一部が収納されるOリング溝が形成されていることを特徴とする請求項4記載の原子層成長装置。
- 前記成膜容器と前記インジェクタとの接触面に封止材が配置されていることを特徴とする請求項2または4に記載の原子層成長装置。
- 前記防着材不活性ガス供給路は、インジェクタ防着材外壁と、前記開口部内壁内側との空間によって形成されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の原子層成長装置。
- 前記インジェクタ防着材は、前記成膜容器側で前記開口部を超える大きさのフランジを有し、前記フランジは、前記開口部に隣接する成膜容器内壁との間で隙間を有しており、該隙間に前記防着材不活性ガス供給口が設けられていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の原子層成長装置。
- 前記隙間の大きさが、10mm以下であることを特徴とする請求項8に記載の原子層成長装置。
- 前記フランジが、前記隙間の調整が可能な取り付け部材により前記成膜容器に取り付けられていることを特徴とする請求項8または9に記載の原子層成長装置。
- 前記開口部が筒穴形状に形成され、前記インジェクタの少なくとも前記成膜容器側の前記インジェクタ原料ガス供給路および前記インジェクタ反応ガス供給路ならびに前記インジェクタ防着材の前記防着材原料ガス供給路および前記防着材反応ガス供給路が、前記開口部の軸方向に沿って形成されていることを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の原子層成長装置。
- 前記原料ガスおよび前記反応ガスをパージするパージガス供給路を有することを特徴とする請求項1〜11のいずれか1項に記載の原子層成長装置。
- 前記原料ガスをパージするパージガス供給路が、インジェクタ原料ガス供給路と防着材原料ガス供給路とを兼用し、
前記反応ガスをパージするパージガス供給路が、インジェクタ反応ガス供給路と防着材反応ガス供給路とを兼用していることを特徴とする請求項12記載の原子層成長装置。 - 前記防着材不活性ガス供給路は、少なくとも前記成膜容器側端部において環状の流路に形成され、前記インジェクタ不活性ガス供給路は、前記成膜容器側に向けた直状の流路を複数有して前記環状の流路に連通していることを特徴とする請求項1〜13のいずれか1項に記載の原子層成長装置。
- 前記防着材原料ガス供給口および前記防着材反応ガス供給口が、前記防着材の成膜容器内側端面よりインジェクタ側に位置していることを特徴とする請求項1〜14のいずれか1項に記載の原子層成長装置。
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