JP2016183391A - 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム - Google Patents
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Abstract
Description
基板を載置する基板載置部と、
前記基板載置部の少なくとも一部と対向すると共に、中央にガス供給経路を有するチャンバ蓋と、
前記ガス供給経路と連通するガス供給構造と、
前記ガス供給構造に接続され、プラズマ生成部を有する反応ガス供給部と、
前記ガス供給構造内及び前記ガス供給経路内に設けられ、
前記反応ガス供給部に連通するチューブと、
前記ガス供給構造に接続され、前記チューブの外周側であって、前記ガス供給構造内側にガスを供給するガス供給部と、
を有する技術が提供される。
以下、本発明の第1実施形態を説明する。
本実施形態に係る基板処理装置100の構成を図1に示す。基板処理装置100は、図1に示されているように、枚葉式の基板処理装置として構成されている。
図1に示すように、基板処理装置100は処理容器202を備えている。処理容器202は、例えば横断面が円形であり扁平な密閉容器として構成されている。また、処理容器202は、例えばアルミニウム(Al)やステンレス(SUS)などの金属材料により構成されている。処理容器202内には、基板としてのシリコンウエハ等のウエハ200を処理する反応ゾーン201(反応室)と、ウエハ200を反応ゾーン201に搬送する際にウエハ200が通過する搬送空間203とが形成されている。処理容器202は、上部容器202aと下部容器202bで構成される。
チョーク251は、反応ゾーン201と処理容器202間のガスの流れを調節する。
凸部231aに設けられたガス分散チャネル231bには、上部241が接続されている。上部241は筒形状に構成される。上部241のフランジと凸部231aの上面は、図示しないねじ等で固定されている。上部241の側壁には、少なくとも二つのガス供給管が接続されている。
供給管245aから供給されたガスはバッファ空間241cに供給される。この際、供給管245aは、内壁241eに対する接線方向にガスを供給するようにしている。バッファ空間241cに供給されたガスは、矢印の方向にガスが流れ、連通孔241fを介して内側空間241gに供給される。このような構造とすることでチューブ261の外側である空間241gに、矢印方向の渦を形成することが可能となる。バッファ空間241c、内壁241e、連通孔241fにより構成される渦流形成部と称する。
ガス供給管244aは、上部241の孔241bを介してチューブ261に接続される。チューブ261の下端261aは反応ゾーン201に向かって延伸される。チューブ261は例えば石英で構成される。
第一ガス供給管243aには、上流方向から順に、第一ガス供給源243b、流量制御器(流量制御部)であるマスフローコントローラ(MFC)243c、及び開閉弁であるバルブ243dが設けられている。
第二ガス供給管244aには、下流にリモートプラズマユニット244eが設けられている。上流には、上流方向から順に、第二ガス供給源244b、流量制御器(流量制御部)であるマスフローコントローラ(MFC)244c、及び開閉弁であるバルブ244dが設けられている。
第三ガス供給管245aには、上流方向から順に、第三ガス供給源245b、流量制御器(流量制御部)であるマスフローコントローラ(MFC)245c、及び開閉弁であるバルブ245dが設けられている。
処理容器202の雰囲気を排気する排気系は反応ゾーン201の側壁に設けられた排気孔221に接続される排気管222を有する。排気管222には、反応ゾーン201内を所定の圧力に制御する圧力制御器であるAPC(AutoPressure Controller)223が設けられる。APC223は開度調整可能な弁体(図示せず)を有し、後述するコントローラ280からの指示に応じて排気管222のコンダクタンスを調整する。排気管222においてAPC223の下流側にはバルブ224が設けられる。バルブ224の下流側にはポンプ225が接続されている。排気管222、APC223、バルブ224をまとめて排気系と呼ぶ。なお、ポンプ225を含めて排気系と呼んでも良い。
基板処理装置100は、基板処理装置100の各部の動作を制御するコントローラ280を有している。コントローラ280は、演算部281及び記憶部282を少なくとも有する。コントローラ280は、上記した各構成に接続され、上位コントローラや使用者の指示に応じて記憶部282からプログラムやレシピを呼び出し、その内容に応じて各構成の動作を制御する。
次に、基板処理装置100を使用して、ウエハ200上に薄膜を形成する工程について説明する。なお、以下の説明において、基板処理装置100を構成する各部の動作はコントローラ280により制御される。
処理装置100ではサセプタ212をウエハ200の搬送位置まで下降させることにより、サセプタ212の貫通孔214にリフトピン207を貫通させる。その結果、リフトピン207が、サセプタ212表面よりも所定の高さ分だけ突出した状態となる。続いて、ゲートバルブ205を開いて搬送空間203を移載室(図示せず)と連通させる。そして、この移載室からウエハ移載機(図示せず)を用いてウエハ200を搬送空間203に搬入し、リフトピン207上にウエハ200を移載する。これにより、ウエハ200は、サセプタ212の表面から突出したリフトピン207上に水平姿勢で支持される。
次に、薄膜形成工程S104を行う。以下、図4を参照し、成膜工程S104について詳説する。なお、成膜工程S104は、異なる処理ガスを交互に供給する工程を繰り返すサイクリック処理である。
ウエハ200を加熱して所望とする温度に達すると、バルブ243dを開くと共に、TiCl4ガスの流量が所定の流量となるように、マスフローコントローラ243cを調整する。なお、TiCl4ガスの供給流量は、例えば100sccm以上5000sccm以下である。
このとき、バルブ224が開とされ、APC223によって反応ゾーン201の圧力が所定の圧力となるように制御される。
更には、第三ガス供給系のバルブ245dを開き、第三ガス供給管245aからN2ガスを供給する。また、第一不活性ガス供給系からN2ガスを流してもよい。また、この工程に先立ち、第三ガス供給管245aからN2ガスの供給を開始していてもよい。
次いで、第三ガス供給管245aからN2ガスを供給し、反応ゾーン201のパージを行う。このときも、バルブ224は開とされてAPC223によって反応ゾーン201の圧力が所定の圧力となるように制御される。これにより、第一の処理ガス供給工程S202でウエハ200に結合できなかったTiCl4ガスは、排気管222を介して反応ゾーン201から除去される。
パージ工程S204の後、バルブ244dを開けて反応ゾーン201にプラズマ状態の窒素含有ガスの供給を開始する。本実施例では、窒素含有ガスとして、アンモニア(NH3)を用いる。
このようにしてウエハ面内に均一に膜を形成することが可能となる。
次いで、S204と同様のパージ工程を実行する。各部の動作はS204で説明した通りであるので、ここでの説明は省略する。
コントローラ280は、上記1サイクルを所定回数(n cycle)実施したか否かを判定する。
基板搬出工程S106では、サセプタ212を下降させ、サセプタ212の表面から突出させたリフトピン207上にウエハ200を支持させる。これにより、ウエハ200は処理位置から搬送位置となる。その後、ゲートバルブ205を開き、ウエハ移載機を用いてウエハ200を処理容器202の外へ搬出する。このとき、バルブ245dを閉じ、第三ガス供給系から処理容器202内に不活性ガスを供給することを停止する。
ウエハ200を搬出後、薄膜形成工程が所定の回数に到達したか否かを判定する。所定の回数に到達したと判断されたら、処理を終了する。
続いて、図9を用いて第2実施形態を説明する。図9はチューブ先端261aを拡大したものである。
図9は、チューブ261の外周側先端、内周側先端をR形状としている。このような構造とすることによって、ガスの流れを阻害することが無いので、意図せぬ膜の形成を抑制することが可能となる。
続いて図10を用いて実施形態3を説明する。
本実施形態では、チューブ261の先端を処理ゾーン201に向かって広がるよう構成する。このような構成とすると、第二元素含有ガスが先端にそって流れるので、チューブ261の外周を流れる渦流に合流容易としている。
続いて本実施形態を、図11を用いて説明する。
図11は実施形態1のガスフロー(図5)の変形例である。第二処理ガス供給工程S206における不活性ガスの供給量が異なる。
具体的には、不活性ガスの供給量を第一処理ガス供給工程S202よりも少なくしている。
このようにすることで、プラズマに曝され活性化した第一処理ガスと、不活性ガスとの衝突確率を低くすることができ、結果プラズマの失活をより抑制することができる。
以下に、本発明の好ましい態様について付記する。
本発明の一態様によれば、
基板を載置する基板載置部と、
前記基板載置部の少なくとも一部と対向すると共に、中央にガス供給経路を有するチャンバ蓋と、
前記ガス供給経路と連通するガス供給構造と、
前記ガス供給構造に接続され、プラズマ生成部を有する反応ガス供給部と、
前記ガス供給構造内及び前記ガス供給経路内に設けられ、
前記反応ガス供給部に連通するチューブと、
前記ガス供給構造に接続され、前記チューブの外周側であって、前記ガス供給構造内側にガスを供給するガス供給部と、
を有する基板処理装置が提供される。
好ましくは、
前記ガス供給経路を構成する前記チャンバ蓋の内壁は、前記ガス供給構造の下面と接続する接続部から基板載置部に向かうほど広がるように構成されており、
前記チューブの先端は、前記内壁内に配置される付記1に記載の基板処理装置が提供される。
好ましくは、
前記ガス供給構造は筒形状であり、
前記反応ガス供給部は、前記筒形状の一端に接続され、
前記ガス供給部の供給管は筒形状の側面に接続される付記1または付記2に記載の基板処理装置が提供される
好ましくは、
前記筒形状には、内部に渦流を形成する渦流形成部が設けられ、前記ガス供給管は前記渦流形成部に接続される付記3記載の基板処理装置が提供される
好ましくは、
前記ガス供給構造には原料ガスを供給する原料ガス供給部が接続される付記1から付記4のうち、いずれか一つに記載の基板処理装置が提供される
好ましくは、
前記ガス供給部の供給管は、不活性ガスを供給するように構成されており、該供給管が接続される接続孔の位置は、前記原料ガス供給部の供給管が接続される接続孔の位置よりも高い位置である付記1から付記5のうち、いずれか一つに記載の基板処理装置が提供される
好ましくは、
前記原料ガスを前記ガス供給経路に供給する際は、前記原料ガス供給部のバルブを開、前記不活性ガス供給部のバルブを開、前記反応ガス供給部のバルブを閉とし、
前記反応ガスを前記ガス供給経路に供給する際は、前記原料ガス供給部のバルブを閉、前記不活性ガス供給部のバルブを開、前記反応ガス供給部のバルブを開とするよう制御する付記6に記載の基板処理装置が提供される。
好ましくは、
前記原料ガスの供給と前記反応ガスの供給は交互に行われるよう制御する付記7に記載の基板処理装置が提供される
別の形態によれば、
基板を基板載置部に載置する工程と、
前記基板載置部の少なくとも一部と対向するチャンバ蓋構造の中央に設けられたガス供給経路に挿入された反応ガス供給チューブを介して反応ガス供給部からプラズマ状の反応ガスを供給すると共に、前記チューブの外周側であって、前記ガス供給構造に接続されたガス供給部から不活性ガスを供給し、基板を処理する工程と、
を有する半導体装置の製造方法が提供される。
更に別の形態によれば、
基板を基板載置部に載置する手順と、
前記基板載置部の少なくとも一部と対向するチャンバ蓋構造の中央に設けられたガス供給経路に挿入された反応ガス供給チューブを介して反応ガス供給部からプラズマ状の反応ガスを供給すると共に、前記チューブの外周側であって、前記ガス供給構造に接続されたガス供給部から不活性ガスを供給し、基板を処理する手順と、
をコンピュータに実行させるプログラムが提供される。
更に別の形態によれば、
基板を基板載置部に載置する工程と、
前記基板載置部の少なくとも一部と対向するチャンバ蓋構造の中央に設けられたガス供給経路に挿入された反応ガス供給チューブを介して反応ガス供給部からプラズマ状の反応ガスを供給すると共に、前記ガス供給経路から前記供給チューブを中心とした渦状の不活性ガスを供給し、基板を処理する工程と、
を実行させるプログラムが格納されたコンピュータ読み取り可能な記憶媒体が提供される。
200・・・ウエハ(基板)
201・・・反応ゾーン
202・・・反応容器
203・・・搬送空間
212・・・サセプタ
231・・・チャンバリッドアッセンブリ(チャンバ蓋部)
261・・・チューブ
Claims (10)
- 基板を載置する基板載置部と、
前記基板載置部の少なくとも一部と対向すると共に、中央にガス供給経路を有するチャンバ蓋と、
前記ガス供給経路と連通するガス供給構造と、
前記ガス供給構造に接続され、プラズマ生成部を有する反応ガス供給部と、
前記ガス供給構造内及び前記ガス供給経路内に設けられ、
前記反応ガス供給部に連通するチューブと、
前記ガス供給構造に接続され、前記チューブの外周側であって、前記ガス供給構造内側にガスを供給するガス供給部と、
を有する基板処理装置。 - 前記ガス供給経路を構成する前記チャンバ蓋の側壁は、前記ガス供給構造の下面と接続する接続部から基板載置部に向かうほど広がるように構成されており、
前記チューブの先端は、前記側壁内に配置される請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記ガス供給構造は筒形状であり、
前記反応ガス供給部は、前記筒形状の一端に接続され、
前記ガス供給部の供給管は筒形状の側面に接続される請求項1または請求項2に記載の基板処理装置。 - 前記筒形状には、内部に渦流を形成する渦流形成部が設けられ、前記ガス供給管は前記渦流形成部に接続される請求項3記載の基板処理装置。
- 前記ガス供給構造には原料ガスを供給する原料ガス供給部が接続される請求項1から請求項4のうち、いずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記ガス供給部の供給管は、不活性ガスを供給するように構成されており、該供給管が接続される接続孔の位置は、前記原料ガス供給部の供給管が接続される接続孔の位置よりも高い位置である請求項1から請求項5のうち、いずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記原料ガスを前記ガス供給経路に供給する際は、前記原料ガス供給部のバルブを開、前記不活性ガス供給部のバルブを開、前記反応ガス供給部のバルブを閉とし、
前記反応ガスを前記ガス供給経路に供給する際は、前記原料ガス供給部のバルブを閉、前記不活性ガス供給部のバルブを開、前記反応ガス供給部のバルブを開とするよう制御する請求項6に記載の基板処理装置。 - 前記原料ガスの供給と前記反応ガスの供給は交互に行われるよう制御する請求項7に記載の基板処理装置。
- 基板を基板載置部に載置する工程と、
前記基板載置部の少なくとも一部と対向するチャンバ蓋構造の中央に設けられたガス供給経路に挿入された反応ガス供給チューブを介して反応ガス供給部からプラズマ状の反応ガスを供給すると共に、前記チューブの外周側であって、前記ガス供給構造に接続されたガス供給部から不活性ガスを供給し、基板を処理する工程と、
を有する半導体装置の製造方法。 - 基板を基板載置部に載置する手順と、
前記基板載置部の少なくとも一部と対向するチャンバ蓋構造の中央に設けられたガス供給経路に挿入された反応ガス供給チューブを介して反応ガス供給部からプラズマ状の反応ガスを供給すると共に、前記チューブの外周側であって、前記ガス供給構造に接続されたガス供給部から不活性ガスを供給し、基板を処理する手順と、
をコンピュータに実行させるプログラム。
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