JP5944429B2 - 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラム及び記録媒体 - Google Patents
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Description
基板を処理する処理空間と、
前記基板を載置する基板載置台と、
前記基板載置台を昇降させ前記基板を搬送位置と前記処理空間内の基板処理位置との間で昇降させる昇降機構と、
前記処理空間内にガスを供給するガス供給系と、
前記処理空間の側方周囲を囲むように設けられた空間を持ち、前記処理空間内に供給されたガスが流入する排気バッファ室と、
前記排気バッファ室内に流入したガスを排気するガス排気系と、
前記基板の外周側に配置されるコンダクタンス調整プレートと、を備え、
前記コンダクタンス調整プレートは、
前記基板が前記基板処理位置にあるときは内周側が前記基板載置台によって支持され、前記基板が前記搬送位置にあるときは外周側が前記基板載置台以外の部位によって支持されるように形成されており、
前記処理空間から前記排気バッファ室へのガス流路に面する内周側端縁にR状部分またはテーパ傾斜状部分を有する
基板処理装置が提供される。
基板が載置された基板載置台を上昇させ、前記基板を処理空間の基板処理位置まで上昇させると共に、前記基板の外周側に配置された、内周側端縁にR状部分またはテーパ傾斜状部分を有するコンダクタンス調整プレートの内周側を前記基板載置台で支持する基板載置台上昇工程と、
前記基板の処理空間内にガスを供給するガス供給工程と、
前記処理空間内に供給されたガスを、前記コンダクタンス調整プレートが配置されたガス流路を介し、前記処理空間の側方周囲を囲むように設けられた空間を持つ排気バッファ室に流入させた後に、前記排気バッファ室内から排気するガス排気工程と、
を有する半導体装置の製造方法が提供される。
基板が載置された基板載置台を上昇させ、前記基板を処理空間の基板処理位置まで上昇させると共に、前記基板の外周側に配置された、内周側端縁にR状部分またはテーパ傾斜状部分を有するコンダクタンス調整プレートの内周側を前記基板載置台で支持する基板載置台上昇手順と、
前記基板の処理空間内にガスを供給するガス供給手順と、
前記処理空間内に供給されたガスを、前記コンダクタンス調整プレートが配置されたガス流路を介し、前記処理空間の側方周囲を囲むように設けられた空間を持つ排気バッファ室に流入させた後に、前記排気バッファ室内から排気するガス排気手順と、
をコンピュータに実行させるプログラムが提供される。
基板が載置された基板載置台を上昇させ、前記基板を処理空間の基板処理位置まで上昇させると共に、前記基板の外周側に配置された、内周側端縁にR状部分またはテーパ傾斜状部分を有するコンダクタンス調整プレートの内周側を前記基板載置台で支持する基板載置台上昇手順と、
前記基板の処理空間内にガスを供給するガス供給手順と、
前記処理空間内に供給されたガスを、前記コンダクタンス調整プレートが配置されたガス流路を介し、前記処理空間の側方周囲を囲むように設けられた空間を持つ排気バッファ室に流入させた後に、前記排気バッファ室内から排気するガス排気手順と、
をコンピュータに実行させるプログラムが格納されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体が提供される。
以下に、本発明の一実施形態について、図面を参照しながら説明する。
本実施形態に係る基板処理装置は、処理対象となる基板に対して一枚ずつ処理を行う枚葉式の基板処理装置として構成されている。
処理対象となる基板としては、例えば、半導体装置(半導体デバイス)が作り込まれる半導体ウエハ基板(以下、単に「ウエハ」という。)が挙げられる。
このような基板に対して行う処理としては、エッチング、アッシング、成膜処理等が挙げられるが、本実施形態では特に成膜処理を行うものとする。
図1に示すように、基板処理装置100は処理容器202を備えている。処理容器202は、例えば横断面が円形であり扁平な密閉容器として構成されている。また、処理容器202は、例えばアルミニウム(Al)やステンレス(SUS)などの金属材料により構成されている。処理容器202内には、ウエハ200を処理する処理空間201と、ウエハ200を処理空間201に搬送する際にウエハ200が通過する搬送空間203とが形成されている。処理容器202は、上部容器202aと下部容器202bで構成される。上部容器202aと下部容器202bの間には仕切り板204が設けられる。
処理空間201の下部には、ウエハ200を支持する基板支持部210が設けられている。基板支持部210は、ウエハ200を載置する基板載置面211と、基板載置面211を表面に持つ基板載置台212と、基板載置台212に内包された加熱源としてのヒータ213と、を主に有する。基板載置台212には、リフトピン207が貫通する貫通孔214が、リフトピン207と対応する位置にそれぞれ設けられている。
具体的には、基板載置台212をウエハ搬送位置まで下降させた時には、リフトピン207の上端部が基板載置面211の上面から突出して、リフトピン207がウエハ200を下方から支持するようになっている。また、基板載置台212をウエハ処理位置まで上昇させたときには、リフトピン207は基板載置面211の上面から埋没して、基板載置面211がウエハ200を下方から支持するようになっている。なお、リフトピン207は、ウエハ200と直接触れるため、例えば、石英やアルミナなどの材質で形成することが望ましい。
処理空間201の上部(ガス供給方向上流側)には、ガス分散機構としてのシャワーヘッド230が設けられている。シャワーヘッド230の蓋231にはガス導入孔241が設けられ、当該ガス導入孔241には後述するガス供給系が接続される。ガス導入孔241から導入されるガスは、シャワーヘッド230のバッファ空間232に供給される。
シャワーヘッド230の蓋231には、整合器251、高周波電源252が接続されている。そして、高周波電源252、整合器251でインピーダンスを調整することで、シャワーヘッド230、処理空間201にプラズマが生成されるようになっている。
シャワーヘッド230の蓋231に設けられたガス導入孔241には、共通ガス供給管242が接続されている。共通ガス供給管242は、ガス導入孔241への接続によって、シャワーヘッド230内のバッファ空間232に連通することになる。また、共通ガス供給管242には、第一ガス供給管243aと、第二ガス供給管244aと、第三ガス供給管245aと、が接続されている。第二ガス供給管244aは、リモートプラズマユニット(RPU)244eを介して共通ガス供給管242に接続される。
第一ガス供給管243aには、上流方向から順に、原料ガス供給源243b、流量制御器(流量制御部)であるマスフローコントローラ(MFC)243c、及び開閉弁であるバルブ243dが設けられている。そして、第一ガス供給管243aからは、原料ガスが、MFC243c、バルブ243d、共通ガス供給管242を介して、シャワーヘッド230内に供給される。
第二ガス供給管244aには、上流方向から順に、反応ガス供給源244b、流量制御器(流量制御部)であるマスフローコントローラ(MFC)244c、及び開閉弁であるバルブ244dが設けられている。第二ガス供給管244aのバルブ244dよりも下流側にはRPU244eが設けられている。そして、第二ガス供給管244aからは、反応ガスが、MFC244c、バルブ244d、RPU244e、共通ガス供給管242を介して、シャワーヘッド230内に供給される。反応ガスは、リモートプラズマユニット244eによりプラズマ状態とされ、ウエハ200上に照射される。
第三ガス供給管245aには、上流方向から順に、パージガス供給源245b、流量制御器(流量制御部)であるマスフローコントローラ(MFC)245c、及び開閉弁であるバルブ245dが設けられている。そして、第三ガス供給管245aからは、基板処理工程では、パージガスとしての不活性ガスが、MFC245c、バルブ245d、共通ガス供給管242を介して、シャワーヘッド230内に供給される。また、クリーニング工程では、必要に応じて、クリーニングガスのキャリアガス又は希釈ガスとしての不活性ガスが、MFC245c、バルブ245d、共通ガス供給管242を介して、シャワーヘッド230内に供給される。
第三ガス供給管245aのバルブ245dよりも下流側には、クリーニングガス供給管248aの下流端が接続されている。クリーニングガス供給管248aには、上流方向から順に、クリーニングガス供給源248b、流量制御器(流量制御部)であるマスフローコントローラ(MFC)248c、及び開閉弁であるバルブ248dが設けられている。そして、第三ガス供給管245aからは、クリーニング工程では、クリーニングガスが、MFC248c、バルブ248d、共通ガス供給管242を介して、シャワーヘッド230内に供給される。
処理容器202の雰囲気を排気する排気系は、処理容器202に接続された複数の排気管を有する。具体的には、搬送空間203に接続される排気管(第一排気管)261と、バッファ空間232に接続される排気管(第二排気管)262と、後述する排気バッファ室208に接続される排気管(第三排気管)263と、を有する。また、各排気管261,262,263の下流側には、排気管(第四排気管)264が接続される。
第一排気管261は、搬送空間203の側面あるいは底面に接続される。第一排気管261には、高真空あるいは超高真空を実現する真空ポンプとして、ターボ分子ポンプ(TMP:Turbo Molecular Pump)265が設けられる。第一排気管261において、TMP265の下流側には、バルブ266が設けられる。また、第一排気管261において、TMP265の上流側には、バルブ267が設けられる。また、第一排気管261において、バルブ267の上流側には、バイパス管261aが接続される。バイパス管261aには、バルブ261bが設けられる。バイパス管261aの下流側は、第四排気管264に接続される。
第二排気管262は、バッファ空間232の上面又は側面に接続される。つまり、第二排気管262は、シャワーヘッド230に接続され、これによりシャワーヘッド230内のバッファ空間232に連通することになる。また、第二排気管262には、バルブ268が設けられる。
第三排気管263は、排気バッファ室208の上面又は側方に接続される。第三排気管263には、排気バッファ室208に連通する処理空間201内を所定の圧力に制御する圧力制御器であるAPC(Auto Pressure Controller)269が設けられる。APC269は、開度調整可能な弁体(図示せず)を有し、後述するコントローラ280からの指示に応じて第三排気管263のコンダクタンスを調整する。第三排気管263において、APC269の上流側には、バルブ271が設けられる。
第三排気管263が接続される排気バッファ室208は、処理空間201内のガスを側方周囲に向かって排出する際のバッファ空間として機能するものである。そのために、排気バッファ室208は、処理空間201の側方周囲を囲むように設けられた空間を持つ。この空間は、上部容器202aによって空間の天井面及び両側壁面が形成され、仕切り板204によって空間の床面が形成され、更に内周側が処理空間201と連通するように形成されている。つまり、排気バッファ室208は、処理空間201の外周側に平面視リング状(円環状)に形成された空間を有している。
処理空間201と排気バッファ室208との間のガス流路には、そのガス流路のコンダクタンスを調整するためのコンダクタンス調整プレート209が配置されている。ここでいう「コンダクタンス」は、ガスの流れやすさを表すもので、具体的にはガス流路をガスが流れるときに生じる抵抗の逆数に相当する。
基板処理装置100は、基板処理装置100の各部の動作を制御するコントローラ280を有している。コントローラ280は、演算部281及び記憶部282を少なくとも有する。コントローラ280は、上記した各構成に接続され、上位コントローラや使用者の指示に応じて記憶部282からプログラムやレシピを呼び出し、その内容に応じて各構成の動作を制御する。具体的には、コントローラ280は、ゲートバルブ205、昇降機構218、ヒータ213、高周波電源252、整合器251、MFC243c〜248c、バルブ243d〜248d、APC269、TMP265、DP272、バルブ266,267,268,271,261b等の動作を制御する。
次に、半導体装置の製造方法の一工程として、基板処理装置100を使用して、ウエハ200上に薄膜を形成する工程について説明する。なお、以下の説明において、基板処理装置100を構成する各部の動作はコントローラ280により制御される。
基板処理装置100では、先ず、基板載置台212をウエハ200の搬送位置まで下降させることにより、基板載置台212の貫通孔214にリフトピン207を貫通させる。その結果、リフトピン207が、基板載置台212表面よりも所定の高さ分だけ突出した状態となる。続いて、ゲートバルブ205を開いて搬送空間203を移載室(図示せず)と連通させる。そして、この移載室からウエハ移載機(図示せず)を用いてウエハ200を搬送空間203に搬入し、リフトピン207上にウエハ200を移載する。これにより、ウエハ200は、基板載置台212の表面から突出したリフトピン207上に水平姿勢で支持される。
基板搬入・載置工程(S101)の後は、次に、成膜工程(S102)を行う。以下、図3を参照し、成膜工程(S102)について詳細に説明する。なお、成膜工程(S102)は、異なる処理ガスを交互に供給する工程を繰り返すサイクリック処理である。
成膜工程(S102)では、先ず、原料ガス供給工程(S201)を行う。原料ガス供給工程(S201)に際しては、原料(TiCl4)を気化させて原料ガス(すなわちTiCl4ガス)を生成(予備気化)させておく。原料ガスの予備気化は、上述した基板搬入・載置工程(S101)と並行して行ってもよい。原料ガスを安定して生成させるには、所定の時間を要するからである。
原料ガスの供給を停止した後は、第三ガス供給管245aから不活性ガス(N2ガス)を供給し、シャワーヘッド230及び処理空間201のパージを行う。このときも、バルブ271は開状態とされてAPC269によって処理空間201の圧力が所定の圧力となるように制御される。一方、バルブ271以外のガス排気系のバルブは全て閉状態とされる。これにより、原料ガス供給工程(S201)でウエハ200に吸着できなかった原料ガスは、DP272により、排気管263及び排気バッファ室208を介して処理空間201から除去される。
シャワーヘッド230及び処理空間201のパージが完了したら、続いて、反応ガス供給工程(S203)を行う。反応ガス供給工程(S203)では、バルブ244dを開けて、リモートプラズマユニット244e、シャワーヘッド230を介して、処理空間201内への反応ガス(NH3ガス)の供給を開始する。このとき、反応ガスの流量が所定流量となるように、マスフローコントローラ244cを調整する。反応ガスの供給流量は、例えば1000〜10000sccmである。
反応ガスの供給を停止した後は、パージ工程(S204)を行って、シャワーヘッド230及び処理空間201に残留している反応ガスや反応副生成物を除去する。このパージ工程(S204)は、既に説明したパージ工程(S202)と同様に行えばよいため、ここでの説明は省略する。
以上の原料ガス供給工程(S201)、パージ工程(S202)、反応ガス供給工程(S203)、パージ工程(S204)を1サイクルとして、コントローラ280は、このサイクルを所定回数(nサイクル)実施したか否かを判定する(S205)。このサイクルを所定回数実施すると、ウエハ200上には、所望膜厚の窒化チタン(TiN)膜が形成される。
以上の各工程(S201〜S205)からなる成膜工程(S102)の後は、図2に示すように、次に、基板搬出工程(S103)を行う。
ウエハ200の搬出後、コントローラ280は、基板搬入・載置工程(S101)、成膜工程(S102)及び基板搬出工程(S103)の一連の各工程の実施回数が所定の回数に到達したか否かを判定する(S104)。所定の回数に到達したと判断されたら、クリーニング工程(S105)に移行する。所定の回数に到達していないと判断されたら、次に待機しているウエハ200の処理を開始するため、基板搬入・載置工程(S102)に移行する。
クリーニング工程(S105)では、クリーニングガス供給系のバルブ248dを開け、シャワーヘッド230を介して、クリーニングガスを処理空間201へ供給する。このとき、高周波電源252で電力を印加すると共に整合器251によりインピーダンスを整合させ、シャワーヘッド230及び処理空間201内のクリーニングガスをプラズマ励起する。プラズマ励起されたクリーニングガスは、シャワーヘッド230及び処理空間201内の壁に付着した副生成物を除去する。
次に、上述した一連の基板処理工程のうちの成膜工程(S102)で行うコンダクタンス調整について説明する。
基板処理装置100の処理容器202内において、例えば基板搬入・載置工程(S101)の際には、基板載置台212がウエハ200の搬送位置まで下降している。このとき、平面視リング状(円環状)の板状部材からなるコンダクタンス調整プレート209は、図4(a)に示すように、その外周側部分209aが排気バッファ室208の構成部材、より詳しくは排気バッファ室208の床面を構成する仕切り板204によって支持される。
ところで、処理空間201と排気バッファ室208との間のガス流路のコンダクタンスを調整する場合においては、そのガス流路を流れるガスに部分的な乱流が生じてしまうと、そのためにコンダクタンス調整を所望通りに行えないことが考えられる。このことから、コンダクタンス調整プレート209については、そのプレート形状を以下に述べるように形成する。
コンダクタンス調整プレート209は、排気バッファ室208との位置関係が以下に述べるようになっている。
既述したように、ガス流路209cのコンダクタンス調整は、基板載置台212がコンダクタンス調整プレート209をウエハ200の処理位置まで持ち上げることによって行う。このときの基板載置台212の上昇位置は、固定的なものであってもよいが、任意に可変させ得るものであってもよい。基板載置台212の上昇位置の可変は、コントローラ280による昇降機構218の動作制御によって行えばよい。
本実施形態によれば、以下に示す1つ又は複数の効果を奏する。
以上、本発明の実施形態を具体的に説明したが、本発明は上述の各実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
以下に、本発明の好ましい態様について付記する。
本発明の一態様によれば、
基板を処理する処理空間と、
前記基板を載置する基板載置台と、
前記基板載置台を昇降させ前記基板を搬送位置と前記処理空間内の基板処理位置との間で昇降させる昇降機構と、
前記処理空間内にガスを供給するガス供給系と、
前記処理空間の側方周囲を囲むように設けられた空間を持ち、前記処理空間内に供給されたガスが流入する排気バッファ室と、
前記排気バッファ室内に流入したガスを排気するガス排気系と、
前記基板の外周側に配置されるコンダクタンス調整プレートと、を備え、
前記コンダクタンス調整プレートは、
前記基板が前記基板処理位置にあるときは内周側が前記基板載置台によって支持され、前記基板が前記搬送位置にあるときは外周側が前記基板載置台以外の部位によって支持されるように形成されており、
前記処理空間から前記排気バッファ室へのガス流路に面する内周側端縁にR状部分またはテーパ傾斜状部分を有する
基板処理装置が提供される。
好ましくは、
前記基板が前記基板処理位置にあるときの前記コンダクタンス調整プレートの上面高さが、前記基板の上面高さと同じか、または前記基板の上面高さよりも高い
付記1記載の基板処理装置が提供される。
好ましくは、
前記コンダクタンス調整プレートは、外周側端縁が、前記排気バッファ室の内周側端縁と揃う位置まで延び、または前記排気バッファ室の内周側端縁よりも内周側に位置するように形成されている
付記1又は2に記載の基板処理装置が提供される。
好ましくは、
前記コンダクタンス調整プレートは、外周側端縁が前記排気バッファ室内まで延びるように形成されている
付記1又は2に記載の基板処理装置が提供される。
好ましくは、
前記コンダクタンス調整プレートは、
外周側端縁が、前記排気バッファ室の内周側端縁と揃う位置まで延び、または前記排気バッファ室の内周側端縁よりも内周側に位置するように形成されている第一部分と、
前記外周側端縁が前記排気バッファ室内まで延びるように形成されている第二部分と、
を有する付記1又は2に記載の基板処理装置が提供される。
好ましくは、
前記第二部分は、前記ガス排気系の接続箇所の近傍に配置される
付記5記載の基板処理装置が提供される。
好ましくは、
前記コンダクタンス調整プレートは、前記基板よりも質量が大きく形成されている
付記1から6のいずれかに記載の基板処理装置が提供される。
好ましくは、
前記コンダクタンス調整プレートは、石英またはセラミックによって形成されている
付記7記載の基板処理装置が提供される。
好ましくは、
前記昇降機構を制御するコントローラを備え、
前記コントローラは、前記昇降機構を制御し、前記コンダクタンス調整プレートが前記基板載置台によって支持されているときの前記基板載置台の上昇位置を可変させるように構成される
付記1から8のいずれかに記載の基板処理装置が提供される。
好ましくは、
前記コントローラによる前記基板載置台の上昇位置をレシピ設定画面から設定可能にする操作パネル部
を備える付記9記載の基板処理装置が提供される。
好ましくは、
前記コントローラは、前記基板に対する処理中に前記基板載置台の上昇位置を可変させるように前記昇降機構を制御する
付記9又は10記載の基板処理装置が提供される。
好ましくは、
前記コントローラは、前記前記処理空間内に前記ガスを供給しているときの前記基板載置台の上昇位置と前記ガスを供給していないときの前記基板載置台の上昇位置とを相違させるように前記昇降機構を制御する
付記11記載の基板処理装置が提供される。
本発明の他の一態様によれば、
基板が載置された基板載置台を上昇させ、前記基板を処理空間の基板処理位置まで上昇させると共に、前記基板の外周側に配置された、内周側端縁にR状部分またはテーパ傾斜状部分を有するコンダクタンス調整プレートの内周側を前記基板載置台で支持する基板載置台上昇工程と、
前記基板の処理空間内にガスを供給するガス供給工程と、
前記処理空間内に供給されたガスを、前記コンダクタンス調整プレートが配置されたガス流路を介し、前記処理空間の側方周囲を囲むように設けられた空間を持つ排気バッファ室に流入させた後に、前記排気バッファ室内から排気するガス排気工程と、
を有する半導体装置の製造方法が提供される。
好ましくは、
前記基板載置台上昇工程における前記基板載置台の上昇位置がレシピ設定画面から設定可能とされる
付記13記載の半導体装置の製造方法が提供される。
好ましくは、
前記ガス供給工程中に前記基板載置台の上昇位置を可変させる
付記13又は14記載の半導体装置の製造方法が提供される。
好ましくは、
前記ガス供給工程と前記ガス排気工程とで前記基板載置台の上昇位置を相違させる
付記13から15のいずれかに記載の半導体装置の製造方法が提供される。
本発明の他の一態様によれば、
基板が載置された基板載置台を上昇させ、前記基板を処理空間の基板処理位置まで上昇させると共に、前記基板の外周側に配置された、内周側端縁にR状部分またはテーパ傾斜状部分を有するコンダクタンス調整プレートの内周側を前記基板載置台で支持する基板載置台上昇手順と、
前記基板の処理空間内にガスを供給するガス供給手順と、
前記処理空間内に供給されたガスを、前記コンダクタンス調整プレートが配置されたガス流路を介し、前記処理空間の側方周囲を囲むように設けられた空間を持つ排気バッファ室に流入させた後に、前記排気バッファ室内から排気するガス排気手順と、
をコンピュータに実行させるプログラムが提供される。
本発明の他の一態様によれば、
基板が載置された基板載置台を上昇させ、前記基板を処理空間の基板処理位置まで上昇させると共に、前記基板の外周側に配置された、内周側端縁にR状部分またはテーパ傾斜状部分を有するコンダクタンス調整プレートの内周側を前記基板載置台で支持する基板載置台上昇手順と、
前記基板の処理空間内にガスを供給するガス供給手順と、
前記処理空間内に供給されたガスを、前記コンダクタンス調整プレートが配置されたガス流路を介し、前記処理空間の側方周囲を囲むように設けられた空間を持つ排気バッファ室に流入させた後に、前記排気バッファ室内から排気するガス排気手順と、
をコンピュータに実行させるプログラムが格納されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体が提供される。
200・・・ウエハ(基板)
201・・・処理空間
208・・・排気バッファ室
209・・・コンダクタンス調整プレート
209c・・・ガス流路
209d・・・R状部分
209e・・・テーパ傾斜状部分
211・・・基板載置面
212・・・基板載置台
218・・・昇降機構
230・・・シャワーヘッド
242・・・共通ガス供給管
262・・・第二排気管
Claims (9)
- 基板を処理する処理空間と、
前記基板を載置する基板載置台と、
前記基板載置台を搬送空間の搬送位置と前記処理空間内の基板処理位置との間で昇降させる昇降機構と、
前記搬送空間と前記処理空間とを仕切る仕切板と、
前記処理空間内にガスを供給するガス供給系と、
前記処理空間の側方周囲を囲むように設けられた空間を持ち、前記処理空間内に供給されたガスが流入する排気バッファ室と、
前記排気バッファ室内に流入したガスを排気するガス排気系と、
前記基板の外周側に、前記処理空間と前記排気バッファ室との間にガス流路を形成するように配置されるコンダクタンス調整プレートと、を備え、
前記コンダクタンス調整プレートは、前記基板が前記基板処理位置にあるときは内周側が前記基板載置台によって支持され、前記基板が前記搬送位置にあるときは外周側が前記仕切板によって支持されるように形成されており、外周側端縁が前記排気バッファ室内まで延びるように構成され、
前記仕切板の内周端は、前記コンダクタンス調整プレートの下方側の位置であって、前記排気バッファ室の内周側端縁を超えて前記コンダクタンス調整プレート上に形成される前記ガス流路まで達する位置に相当する位置まで延びるように構成され、
前記基板載置台は、当該基板載置台の外周端に、前記仕切板の下面側に突き出す突出部を有する
基板処理装置。 - 前記コンダクタンス調整プレートの外周側端縁と前記仕切板の内周端との距離が、前記コンダクタンス調整プレートの下面と前記仕切板の上面との距離よりも長く形成される
請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記処理空間内に設けられ前記ガス供給系に接続するシャワーヘッドと、
前記シャワーヘッド内を排気するシャワーヘッド排気系と、
を有する請求項1又は2に記載の基板処理装置。 - 前記昇降機構を制御するコントローラと、
前記処理空間内に処理ガスを供給する処理ガス供給系と、
前記処理空間内にパージガスを供給するパージガス供給系と、を備え、
前記コントローラは、前記処理空間内に前記パージガスを供給する場合または前記処理空間内を排気する場合に、前記コンダクタンス調整プレートの上面の位置を、前記処理空間内に前記処理ガスを供給する場合に比べて下降させるように、前記昇降機構を制御する
請求項1乃至3のいずれかに記載の基板処理装置。 - 前記コントローラは、前記処理ガスの供給と前記パージガスの供給とを交互に行わせるとともに、前記コンダクタンス調整プレートの上面の位置を前記処理ガスの供給時と前記パージガスの供給時で異ならせるように、前記処理ガス供給系と前記パージガス供給系と前記昇降機構とを制御する
請求項4に記載の基板処理装置。 - 搬送空間の搬送位置で基板が載置された基板載置台を上昇させ、前記基板を処理空間の基板処理位置まで上昇させると共に、前記基板の外周側に配置され、前記基板が前記搬送位置にあるときは外周側が前記搬送空間と前記処理空間とを仕切る仕切板によって支持されるコンダクタンス調整プレートについて、前記基板載置台の上昇により前記基板が前記基板処理位置にあるときは前記コンダクタンス調整プレートの内周側を前記基板載置台で支持する基板載置台上昇工程と、
前記基板の処理空間内にガスを供給するガス供給工程と、
前記処理空間内に供給されたガスを、前記コンダクタンス調整プレートが配置されたガス流路を介し、前記処理空間の側方周囲を囲むように設けられた空間を持つ排気バッファ室に流入させた後に、前記排気バッファ室内から排気すると共に、前記ガス流路に配置された前記コンダクタンス調整プレートを外周側端縁が前記排気バッファ室内まで延びるように構成し、前記仕切板の内周端が前記コンダクタンス調整プレートの下方側の位置であって前記排気バッファ室の内周側端縁を超えて前記コンダクタンス調整プレート上に形成される前記ガス流路まで達する位置に相当する位置まで延びるように構成し、さらに前記基板載置台の外周端に前記仕切板の下面側に突き出す突出部を有するように当該基板載置台を構成しておくガス排気工程と、
を有する半導体装置の製造方法。 - 前記ガス供給工程と前記ガス排気工程とで前記基板載置台の上昇位置を相違させる
請求項6に記載の半導体装置の製造方法。 - 搬送空間の搬送位置で基板が載置された基板載置台を上昇させ、前記基板を処理空間の基板処理位置まで上昇させると共に、前記基板の外周側に配置され、前記基板が前記搬送位置にあるときは外周側が前記搬送空間と前記処理空間とを仕切る仕切板によって支持されるコンダクタンス調整プレートについて、前記基板載置台の上昇により前記基板が前記基板処理位置にあるときは前記コンダクタンス調整プレートの内周側を前記基板載置台で支持する基板載置台上昇手順と、
前記基板の処理空間内にガスを供給するガス供給手順と、
前記処理空間内に供給されたガスを、前記コンダクタンス調整プレートが配置されたガス流路を介し、前記処理空間の側方周囲を囲むように設けられた空間を持つ排気バッファ室に流入させた後に、前記排気バッファ室内から排気すると共に、前記ガス流路に配置された前記コンダクタンス調整プレートを外周側端縁が前記排気バッファ室内まで延びるように構成し、前記仕切板の内周端が前記コンダクタンス調整プレートの下方側の位置であって前記排気バッファ室の内周側端縁を超えて前記コンダクタンス調整プレート上に形成される前記ガス流路まで達する位置に相当する位置まで延びるように構成し、さらに前記基板載置台の外周端に前記仕切板の下面側に突き出す突出部を有するように当該基板載置台を構成しておくガス排気手順と、
をコンピュータによって基板処理装置に実行させるプログラム。 - 搬送空間の搬送位置で基板が載置された基板載置台を上昇させ、前記基板を処理空間の基板処理位置まで上昇させると共に、前記基板の外周側に配置され、前記基板が前記搬送位置にあるときは外周側が前記搬送空間と前記処理空間とを仕切る仕切板によって支持されるコンダクタンス調整プレートについて、前記基板載置台の上昇により前記基板が前記基板処理位置にあるときは前記コンダクタンス調整プレートの内周側を前記基板載置台で支持する基板載置台上昇手順と、
前記基板の処理空間内にガスを供給するガス供給手順と、
前記処理空間内に供給されたガスを、前記コンダクタンス調整プレートが配置されたガス流路を介し、前記処理空間の側方周囲を囲むように設けられた空間を持つ排気バッファ室に流入させた後に、前記排気バッファ室内から排気すると共に、前記ガス流路に配置された前記コンダクタンス調整プレートを外周側端縁が前記排気バッファ室内まで延びるように構成し、前記仕切板の内周端が前記コンダクタンス調整プレートの下方側の位置であって前記排気バッファ室の内周側端縁を超えて前記コンダクタンス調整プレート上に形成される前記ガス流路まで達する位置に相当する位置まで延びるように構成し、さらに前記基板載置台の外周端に前記仕切板の下面側に突き出す突出部を有するように当該基板載置台を構成しておくガス排気手順と、
をコンピュータによって基板処理装置に実行させるプログラムが格納されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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