JP2016153777A - ガスセンサ - Google Patents
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Abstract
Description
また、ヒータ基板によって固体電解質基板を加熱するときには、被測定ガス室の温度は、ヒータ基板に近い部分ほど高い温度になる。この被測定ガス室における温度分布は、特定ガス成分の濃度の検出精度に影響を与える。そこで、この温度分布による影響を緩和するための工夫がなされている。
該固体電解質基板の第1表面(201)に対向して配置されたセラミックス製の対向板(3)と、
該対向板と上記固体電解質基板との間に挟持され、該対向板と該固体電解質基板との間に、被測定ガス(G)を流入させるための被測定ガス室(101)を形成するセラミックス製の第1スペーサ(51)と、
通電によって発熱する発熱層(41)が内部に設けられ、上記固体電解質基板の第2表面(202)に対向して配置されたセラミックス製のヒータ基板(4)と、
該ヒータ基板と上記固体電解質基板との間に挟持され、該ヒータ基板と該固体電解質基板との間に、基準ガス(A)を流入させるための基準ガス室(102)を形成するセラミックス製の第2スペーサ(52)と、を備え、
上記対向板における、上記被測定ガス室と接する領域を含む内側部分(31)の焼結密度は、上記第1スペーサと接する領域を含む外側部分(32)の焼結密度よりも0.8〜5.0%低い、ガスセンサ(1)にある。
具体的には、対向板に内側部分と外側部分とを設け、内側部分の焼結密度を、外側部分の焼結密度よりも0.8〜5.0%低くしている。ここで、内側部分は、対向板における、被測定ガス室と接する領域(部分)の全体とすることができ、対向板における、被測定ガス室と接する領域の一部とすることもできる。また、内側部分は、対向板における、被測定ガス室と接する領域の全体、及び対向板における、第1スペーサと接する領域(第1スペーサと重なる部分)の一部とすることもできる。
焼結時においては、内側部分に加える圧力を外側部分に加える圧力よりも小さくすることによって、セラミックス粒子同士が密接する度合いを緩めて、内側部分の焼結密度を外側部分の焼結密度よりも低くすることができる。
また、内側部分の焼結密度が低くなることにより、内側部分による保温性が向上する。これにより、被測定ガス室における温度分布が小さくなり、ガスセンサによる特定ガス濃度の検出精度を向上させることができる。
本形態のガスセンサ1は、図1〜図3に示すように、酸素イオン伝導性を有する固体電解質基板2、セラミックス製の対向板3、セラミックス製の第1スペーサ51、セラミックス製のヒータ基板4及びセラミックス製の第2スペーサ52を備えている。
対向板3は、固体電解質基板2の第1表面201に対向して配置されている。第1スペーサ51は、対向板3と固体電解質基板2との間に挟持されており、対向板3と固体電解質基板2との間に、被測定ガスGを流入させるための被測定ガス室101を形成するものである。ヒータ基板4は、通電によって発熱する発熱層41を内部に有しており、固体電解質基板2の第2表面202に対向して配置されている。第2スペーサ52は、ヒータ基板4と固体電解質基板2との間に挟持されており、ヒータ基板4と固体電解質基板2との間に、基準ガスAを流入させるための基準ガス室102を形成するものである。図1、図2、図4に示すように、対向板3における、被測定ガス室101と接する領域(被測定ガス室101に隣接する部分)に位置する内側部分31の焼結密度は、第1スペーサ51と接する領域(第1スペーサ51と重なる部分)に位置する外側部分32の焼結密度よりも0.8〜5.0%低い。
固体電解質基板2、対向板3、第1スペーサ51、ヒータ基板4及び第2スペーサ52は、ガスセンサ1のセンサ素子10を構成する。
センサ素子10は、碍子を介してハウジングに保持され、ハウジングには、センサ素子10を覆うカバーが取り付けられている。そして、センサ素子10、碍子、ハウジング及びカバーを用いて構成されるガスセンサ1は、内燃機関の排気管に配置される。ガスセンサ1は、排気管を通過する排ガスを被測定ガスGとして、排ガス中の特定ガス成分としてのNOx(窒素酸化物)の濃度を検出するために用いられる。
ポンプ電極21及びモニタ電極22は、酸素に対する活性を示す材料から構成され、センサ電極23は酸素及びNOxに対する活性を示す材料から構成されている。
ポンプ電極21と基準電極24と、これらの間に挟まれた固体電解質基板2とによってポンプセルが形成されている。また、モニタ電極22と基準電極24と、これらの間に挟まれた固体電解質基板2とによってモニタセルが形成されている。また、センサ電極23と基準電極24と、これらの間に挟まれた固体電解質基板2とによってセンサセルが形成されている。
被測定ガスGは、被測定ガス室101内において、ガス導入口511が設けられた先端側から基端側へと流れる。ポンプ電極21は、ガス導入口511に近い位置に配置されており、モニタ電極22及びセンサ電極23は、ポンプ電極21よりも、被測定ガス室101における被測定ガスGの流れの下流側に、横方向Bに並んで配置されている。
固体電解質基板2は、イットリア安定化ジルコニアによって構成されており、対向板3、第1スペーサ51、第2スペーサ52及びヒータ基板4は、絶縁性を示すアルミナ(酸化アルミニウム)によって構成されている。対向板3等を構成する絶縁性の材料は、アルミナの他に、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、コージェライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライト等とすることもできる。
なお、被測定ガス室101を形成する空間と、基準ガス室102を形成する空間とには、積層体10の焼結時に蒸発して完全除去されるシート73を配置しておく。
本形態の対向板3においては、被測定ガス室101の横方向Bの幅と、内側部分31の横方向Bの幅とは同じである。
ここで、センサ素子10においては、先端側及び基端側が位置する方向を長手方向Lとし、固体電解質基板2、対向板3、第1スペーサ51、ヒータ基板4、第2スペーサ52が重なる方向を積層方向Tとし、横方向Bは、長手方向L及び積層方向Tに直交する方向とする。
図6に示すように、内側部分31は、対向板3における被測定ガス室101と接する領域の一部とし、外側部分32は、対向板3における被測定ガス室101と接する領域の残部と、対向板3における第1スペーサ51と接する領域とすることができる。この場合、被測定ガス室101の横方向Bの幅をWとしたとき、内側部分31の横方向Bの幅W1は、0.8W以上1.0W未満の範囲内にある。
また、図7に示すように、内側部分31は、被測定ガス室101と接する領域の全体、及び対向板3における、第1スペーサ51と接する領域の一部とし、外側部分32は、対向板3における、第1スペーサ51と接する領域の残部とすることができる。この場合、被測定ガス室101の横方向Bの幅をWとしたとき、内側部分31の横方向Bの幅W1は、1.0W超過1.5W以下の範囲内にある。
具体的には、対向板3に内側部分31と外側部分32とを設け、内側部分31の焼結密度を、外側部分32の焼結密度よりも0.8〜5.0%低くしている。内側部分31の焼結密度が外側部分32の焼結密度よりも低いことにより、外側部分32から内側部分31に圧縮応力が加わる状態でセンサ素子10を作製することができる。
これにより、センサ素子10の焼結を行う際に熱ストレスが発生した場合においても、対向板3における、被測定ガス室101と接する領域の端部(内側部分31と外側部分32との境界位置)に、圧縮応力が発生する状態を常に維持することができる。そして、セラミックス材料の圧縮応力に対する強度は、その引張応力に対する強度よりも際立って高い。そのため、対向板3における、被測定ガス室101と接する領域の端部に、割れが生じにくくすることができる。
本確認試験においては、対向板3における内側部分31の焼結密度と、対向板3における外側部分32の焼結密度との差(焼結密度差という。)(%)、及び被測定ガス室101の横方向Bの幅Wに対する内側部分31の横方向Bの幅W1を変化させたときの、対向板3の強度及びガスセンサ1のNOx感度について確認する試験を行った。
本確認試験においては、焼結密度差が0.8%〜5.0%の範囲内にあって内側部分31の横方向Bの幅W1が0.8W〜1.5Wの範囲内にある試験品1〜9について試験を行った。また、比較のために、焼結密度差又は内側部分31の横方向Bの幅W1が上記各範囲を外れた比較品1〜5についても試験を行った。
また、結晶密度差が0.8%、4.0%又は5.0%であり、内側部分31の横方向Bの幅W1が0.8W、1.0W、1.4W、1.5Wである試験品1,4〜9については、強度が「良」となり、NOx感度が「優」となった。この結果より、焼結密度差が、0.8%〜5.0%の範囲内にあり、内側部分31の横方向Bの幅W1が0.8W〜1.5Wの範囲内にあることにより、強度及びNOx感度がともに優れることがわかった。
10 センサ素子
101 被測定ガス室
102 基準ガス室
2 固体電解質基板
201 第1表面
202 第2表面
3 対向板
31 内側部分
32 外側部分
4 ヒータ基板
41 発熱層
51 第1スペーサ
52 第2スペーサ
G 被測定ガス
A 基準ガス
Claims (3)
- 酸素イオン伝導性を有する固体電解質基板(2)と、
該固体電解質基板の第1表面(201)に対向して配置されたセラミックス製の対向板(3)と、
該対向板と上記固体電解質基板との間に挟持され、該対向板と該固体電解質基板との間に、被測定ガス(G)を流入させるための被測定ガス室(101)を形成するセラミックス製の第1スペーサ(51)と、
通電によって発熱する発熱層(41)が内部に設けられ、上記固体電解質基板の第2表面(202)に対向して配置されたセラミックス製のヒータ基板(4)と、
該ヒータ基板と上記固体電解質基板との間に挟持され、該ヒータ基板と該固体電解質基板との間に、基準ガス(A)を流入させるための基準ガス室(102)を形成するセラミックス製の第2スペーサ(52)と、を備え、
上記対向板における、上記被測定ガス室と接する領域を含む内側部分(31)の焼結密度は、上記第1スペーサと接する領域を含む外側部分(32)の焼結密度よりも0.8〜5.0%低い、ガスセンサ(1)。 - 上記外側部分の焼結密度は、95〜100%である、請求項1に記載のガスセンサ。
- 上記被測定ガス室の幅をWとしたとき、上記内側部分の幅(W1)は、0.8〜1.5Wの範囲内にある、請求項1又は2に記載のガスセンサ。
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