JP6525487B2 - ガスセンサ - Google Patents
ガスセンサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6525487B2 JP6525487B2 JP2018094254A JP2018094254A JP6525487B2 JP 6525487 B2 JP6525487 B2 JP 6525487B2 JP 2018094254 A JP2018094254 A JP 2018094254A JP 2018094254 A JP2018094254 A JP 2018094254A JP 6525487 B2 JP6525487 B2 JP 6525487B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- gas
- sensor
- pump
- monitor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
- Combined Controls Of Internal Combustion Engines (AREA)
Description
例えば、特許文献1のガスセンサ素子においては、固体電解質体に一対の電極を設けて、酸素ポンプセル、酸素モニタセル及びセンサセルを形成し、内部空間に導入されたガス中の特定ガス成分の濃度を検出している。また、特許文献1のガスセンサ素子においては、内部空間内の酸素濃度の影響を受けずに特定ガス成分の濃度を検出するために、内部空間にガスを導入するガス導入口から、酸素モニタセルの電極とセンサセルの電極との、ガス流れの上流側端部位置までの距離が同等となるようにしている。
酸素イオン伝導性を有する板状の固体電解質体(2)と、
該固体電解質体(2)の第1主面(201)の側に形成されて上記ガス(G)が導入されるガス室(101)と、
上記固体電解質体(2)の第2主面(202)の側に形成されて基準ガス(A)が導入される基準ガス室(102)と、
上記固体電解質体(2)の上記第1主面(201)に設けられたポンプ電極(21)と、
上記固体電解質体(2)の上記第1主面(201)に設けられ、上記ポンプ電極(21)が設けられた位置よりも上記ガス(G)の流れ方向(F)の下流側に位置するモニタ電極(22)と、
上記固体電解質体(2)の上記第1主面(201)に設けられ、上記モニタ電極(22)が設けられた位置に対して、上記流れ方向(F)に垂直な方向に並ぶセンサ電極(23)と、
上記固体電解質体(2)の上記第1主面(201)に設けられるとともに、上記流れ方向(F)において、上記ポンプ電極(21)と上記モニタ電極(22)及び上記センサ電極(23)との間に位置する第2ポンプ電極(25)と、
上記固体電解質体(2)の上記第2主面(202)に設けられた基準電極(24)と、
上記ガス室(101)又は上記基準ガス室(102)を介して上記固体電解質体(2)に対向して配置され、該固体電解質体(2)を加熱するヒータ(6)と、を備え、
上記ポンプ電極(21)と上記基準電極(24)と上記固体電解質体(2)の一部とによって、上記ポンプ電極(21)と上記基準電極(24)との間に電圧が印加されることにより、上記ガス室(101)における上記ガス(G)中の酸素濃度を調整するポンプセル(41)が形成されており、
上記モニタ電極(22)と上記基準電極(24)と上記固体電解質体(2)の一部とによって、上記モニタ電極(22)と上記基準電極(24)との間に流れる酸素イオン電流に基づいて上記ガス室(101)における酸素濃度を検出するモニタセル(42)が形成されており、
上記センサ電極(23)と上記基準電極(24)と上記固体電解質体(2)の一部とによって、上記センサ電極(23)と上記基準電極(24)との間に流れる酸素イオン電流に基づいて上記ガス室(101)における上記特定ガス成分の濃度を検出するためのセンサセル(43)が形成されており、
上記第2ポンプ電極(25)と上記基準電極(24)と上記固体電解質体(2)の一部とによって、上記第2ポンプ電極(25)と上記基準電極(24)との間に電圧が印加されることにより、上記ガス室(101)における上記ガス(G)中の酸素濃度をさらに調整する第2ポンプセル(45)が形成されており、
上記センサセル(43)によって検出される酸素イオン電流から、上記モニタセル(42)によって検出される酸素イオン電流が差し引かれることにより、上記特定ガス成分の濃度が検出されるよう構成されている、ガスセンサにある。
それ故、上記一態様のガスセンサによれば、特定ガス成分濃度の検出精度を向上させることができる。
上記ガスセンサにおいては、上記幅方向に直交する厚み方向において、上記ポンプ電極の表面から上記発熱部の表面までの距離、上記モニタ電極の表面から上記発熱部の表面までの距離、及び上記センサ電極の表面から上記発熱部の表面までの距離は、略同一であることが好ましい。
この場合には、ヒータの発熱部から、ポンプ電極、モニタ電極及びセンサ電極が受ける電子伝導の影響を極力同等にすることができる。そのため、ポンプ電極、モニタ電極及びセンサ電極の温度を、容易に最適な温度に制御することができ、ガスセンサによる特定ガス成分濃度の検出精度を向上させることができる。
なお、平板状のヒータ及び加熱部に対して平板状の固体電解質体を積層することにより、上記各距離を容易に同じにすることができる。
また、上記流れ方向において、上記ポンプ電極の下流側端面から上記モニタ電極の上流側端面までの距離と、上記ポンプ電極の下流側端面から上記センサ電極の上流側端面までの距離とは、同じである。この場合には、ポンプ電極の配置位置を通過した後のガスが、モニタセルの電極とセンサセルの電極とに、極力同等に接触するようにすることができる。
この場合には、ガスセンサの幅方向における温度分布を極力減らし、発熱部による電子伝導がモニタ電極とセンサ電極とに与える影響の差を減らすことができる。
以下に、ガスセンサにかかる実施例につき、図面を参照して説明する。
本例のガスセンサ1は、酸素を含むガスGにおける、特定ガス成分の濃度を測定するものである。ガスセンサ1は、図1、図2に示すごとく、固体電解質体2、拡散抵抗体3、ガス室101、基準ガス室102、ポンプセル41、モニタセル42、センサセル43及びヒータ6を備えている。
固体電解質体2は、酸素イオン伝導性を有しており、平板形状に形成されている。拡散抵抗体3は、ガスGの流速を低下させて所定の流量で通過させる多孔質体から形成されている。ガス室101は、固体電解質体2の一方の表面である第1主面201の側に形成されており、拡散抵抗体3を通過するガスGが導入される空間として形成されている。基準ガス室102は、固体電解質体2の他方の表面である第2主面202の側に形成されており、基準ガスAが導入される空間として形成されている。固体電解質体2の第2主面202には、基準ガスAとしての大気に曝される基準電極24が設けられている。
モニタセル42は、固体電解質体2の第1主面201であって、ガスGの流れ方向Fにおけるポンプ電極21の配置位置よりも下流側の位置に、ガスGに曝されるモニタ電極22を有している。モニタセル42は、モニタ電極22と基準電極24との間に流れる酸素イオン電流に基づいて、ガス室101におけるガスG中の酸素濃度を検出するよう構成されている。
ヒータ6は、固体電解質体2を加熱するものであり、基準ガス室102を介して固体電解質体(2)に対向して配置されている。
図2、図3に示すごとく、ガス室101は、固体電解質体2、固体電解質体2に積層された絶縁体51,52及び拡散抵抗体3によって囲まれて形成されている。ポンプ電極21、モニタ電極22及びセンサ電極23が固体電解質体2に設けられた位置において、ガスGの流れ方向Fに直交する幅方向Wにおける、ガス室101の空間幅W0は一定になっている。
本例のガスセンサ1は、カバー内に配置された状態で、自動車の排気管内において使用される。また、ガスGは排気管を通過する排ガスであり、ガスセンサ1は、排ガス中の特定ガス成分としてのNOx(窒素酸化物)の濃度を検出するために用いられる。
固体電解質体2は、酸素イオン伝導性を有するジルコニアの基板である。ポンプ電極21、モニタ電極22及びセンサ電極23は、固体電解質体2における、ガスGに曝される側の第1主面201に一定の厚みで設けられている。基準電極24は、固体電解質体2における、基準ガスAに曝される側の第2主面202に一定の厚みで設けられている。本例の基準電極24は、固体電解質体2においてポンプ電極21、モニタ電極22及びセンサ電極23が位置する領域の全体の裏側の位置に設けられている。基準電極24は、ポンプ電極21、モニタ電極22及びセンサ電極23の全体に対して1つ設ける以外にも、ポンプ電極21、モニタ電極22及びセンサ電極23のそれぞれの裏側の位置に分散させて、3つ設けることもできる。
また、ヒータ6は、固体電解質体2を加熱するとともに、固体電解質体2に設けられたポンプ電極21、モニタ電極22及びセンサ電極23を加熱する。ヒータ6は、平板状に形成されており、第3の絶縁体53に積層されている。ヒータ6は、第3の絶縁体53の表面に積層された第4の絶縁体61と、第4の絶縁体61に設けられ、通電が行われる通電体62とを有している。第4の絶縁体61は、2枚の絶縁プレート611によって通電体62を挟み込んでいる。
図4に示すごとく、通電体62は、外部の通電手段が接続される一対の電極部621と、該一対の電極部621同士を繋ぎ、一対の電極部621に印加される電圧によって通電されて発熱する発熱部622とを有している。
発熱部622の抵抗値は、通電体62の全体の抵抗値における50%以上の割合を占める。発熱部622は、ポンプ電極21、モニタ電極22及びセンサ電極23が設けられた固体電解質体2の平面領域の全体が、第4の絶縁体61の表面に厚み方向Tに投影された位置に設けられている。
こうして、ヒータ6の発熱部622によって、ポンプ電極21、モニタ電極22及びセンサ電極23の温度を、それぞれ容易に最適な温度に制御することができる。
ポンプ電極21の下流側端面は、幅方向Wに平行になっており、モニタ電極22及びセンサ電極23の上流側端面も、幅方向Wに平行になっている。そして、ガスセンサ1の流れ方向Fにおいて、ポンプ電極21の下流側端面からモニタ電極22の上流側端面までの距離B1と、ポンプ電極21の下流側端面からセンサ電極23の上流側端面までの距離B2とは、ほぼ同等になっている。なお、ポンプ電極21の下流側端面からモニタ電極22の上流側端面までの距離B1と、ポンプ電極21の下流側端面からセンサ電極23の上流側端面までの距離B2とは、若干異なっていてもよく、より具体的には±10%までは異なっていてもよい。
それ故、本例のガスセンサ1によれば、特定ガス成分濃度の検出精度を向上させることができる。
ずれ量ΔX1は、モニタ電極22及びセンサ電極23の幅方向Wの幅が、ポンプ電極21の幅方向Wの幅の1/4未満まで小さくなれば、ΔY1≦1/2W1の関係が満たされる範囲で1/4W1以下まで許容される。このことより、ずれ量ΔX1は、ΔX1≦1/4W1の関係を有していることが好ましく、ΔX1≦1/8W1の関係を有していることがさらに好ましいといえる。
本例のガスセンサ1においては、モニタ電極22とセンサ電極23との隙間Sの中心位置のずれ量ΔX2を、ヒータ6における発熱部622との関係で規定している。
具体的には、図7に示すごとく、ガスセンサ1の幅方向Wにおいて、発熱部622の中心位置O3に対する、モニタ電極22とセンサ電極23との隙間Sの中心位置O4のずれ量ΔX2は、発熱部622の幅方向Wの全体幅をW2としたとき、ΔX2≦1/4W2の関係を有している。
また、ポンプ電極21の幅方向Wの幅W1と発熱部622の幅方向Wの全体幅W2とは、W1≦W2の関係を有している。これにより、ガスセンサ1の幅方向Wにおける温度分布を極力減らし、発熱部622による電子伝導がモニタ電極22とセンサ電極23とに与える影響の差を減らすことができる。
それ故、本例のガスセンサ1によっても、特定ガス成分濃度の検出精度を向上させることができる。
本例のガスセンサ1のその他の構成及び図中の符号は上記実施例1と同様であり、本例のその他の作用効果は、上記実施例1と同様である。
ずれ量ΔX2は、モニタ電極22及びセンサ電極23の幅方向Wの幅が、発熱部622の幅方向Wの幅の1/4未満まで小さくなれば、ΔY2≦1/2W2の関係が満たされる範囲で1/4W2以下まで許容される。このことより、ずれ量ΔX2は、ΔX2≦1/4W2の関係を有していることが好ましく、ΔX2≦1/8W2の関係を有していることがさらに好ましいといえる。
なお、発熱部622は、ガスセンサ1の幅方向Wにおいて略対称に形成されていればよい。発熱部622の中心位置O3は、幅方向Wの対称線に相当する。発熱部622は、例えば、図10に示すようなパターンで形成することができる。この場合においても、作用効果は上記実施例2と同様である。
本例は、図11に示すごとく、ガス室101が、ポンプ電極21が配置された第1ガス室103と、モニタ電極22及びセンサ電極23が配置された第2ガス室104と、第1ガス室103と第2ガス室104との間に位置する狭小空間105とによって形成された場合について示す。
狭小空間105の幅方向Wにおける空間幅W3は、第1ガス室103の幅方向Wにおける空間幅W0’、及び第2ガス室104の幅方向Wにおける空間幅W0’’に比べて狭くなっている。第1ガス室103の空間幅W0’と第2ガス室104の空間幅W0’’とはほぼ同じである。
それ故、本例のガスセンサ1によっても、特定ガス成分濃度の検出精度を向上させることができる。
本例のガスセンサ1のその他の構成及び図中の符号は上記実施例1、2と同様であり、本例のその他の作用効果は、上記実施例1、2と同様である。
このことより、ずれ量ΔX3は、ΔX3≦1/4W3の関係を有していることが好ましく、ΔX3≦1/8W3の関係を有していることがさらに好ましいといえる。
本例は、図13、図14に示すごとく、ガスセンサ1が上記実施例1の構成に加えて、第2ポンプセル45を有している場合について示す。
第2ポンプセル45は、固体電解質体2のガス室101側の第1主面201に、ガスGに曝される第2ポンプ電極25を有している。第2ポンプ電極25は、固体電解質体2の第1主面201において、ポンプ電極21とモニタ電極22及びセンサ電極23との間に配置されている。なお、ポンプセル41におけるポンプ電極21が第1ポンプ電極となる。
本例のガスセンサ1においては、ガス室101におけるガスG中の酸素濃度は、始めにポンプセル41によって調整され、その後、第2ポンプセル45によってさらに精密に調整される。そのため、モニタ電極22及びセンサ電極23に到達するガスG中の酸素濃度を、より精密に制御することができ、ガスセンサ1の検出誤差をより小さくすることができる。
言い換えれば、モニタ電極22の側面221の位置は、第2ポンプ電極25の側面251の位置と同じ又は第2ポンプ電極25の側面251の位置よりも内側に位置しており、センサ電極23の側面231の位置は、第2ポンプ電極25の側面251の位置と同じ又は第2ポンプ電極25の側面251の位置よりも内側に位置している。
本例のガスセンサ1のその他の構成及び図中の符号は上記実施例1、2と同様であり、本例のその他の作用効果は、上記実施例1、2と同様である。
本例は、図15、図16に示すごとく、ガスセンサ1が上記実施例1の構成に加えて、ポンプ制御セル46を有している場合について示す。
ポンプ制御セル46は、固体電解質体2のガス室101側の第1主面201に、ガスGに曝されるポンプ制御電極26を有している。ポンプ制御電極26は、固体電解質体2の第1主面201において、ポンプ電極21とモニタ電極22及びセンサ電極23との間に配置されている。
本例のガスセンサ1のその他の構成及び図中の符号は上記実施例1、2と同様であり、本例のその他の作用効果は、上記実施例1、2と同様である。
101 ガス室
102 基準ガス室
2 固体電解質体
21 ポンプ電極
22 モニタ電極
23 センサ電極
24 基準電極
26 ポンプ制御電極
3 拡散抵抗体
41 ポンプセル
42 モニタセル
43 センサセル
46 ポンプ制御セル
6 ヒータ
61 絶縁体
62 通電体
622 発熱部
G ガス
A 基準ガス
S 隙間
Claims (6)
- 酸素を含むガス(G)における、特定ガス成分の濃度を測定するガスセンサ(1)であって、
酸素イオン伝導性を有する板状の固体電解質体(2)と、
該固体電解質体(2)の第1主面(201)の側に形成されて上記ガス(G)が導入されるガス室(101)と、
上記固体電解質体(2)の第2主面(202)の側に形成されて基準ガス(A)が導入される基準ガス室(102)と、
上記固体電解質体(2)の上記第1主面(201)に設けられたポンプ電極(21)と、
上記固体電解質体(2)の上記第1主面(201)に設けられ、上記ポンプ電極(21)が設けられた位置よりも上記ガス(G)の流れ方向(F)の下流側に位置するモニタ電極(22)と、
上記固体電解質体(2)の上記第1主面(201)に設けられ、上記モニタ電極(22)が設けられた位置に対して、上記流れ方向(F)に垂直な方向に並ぶセンサ電極(23)と、
上記固体電解質体(2)の上記第1主面(201)に設けられるとともに、上記流れ方向(F)において、上記ポンプ電極(21)と上記モニタ電極(22)及び上記センサ電極(23)との間に位置する第2ポンプ電極(25)と、
上記固体電解質体(2)の上記第2主面(202)に設けられた基準電極(24)と、
上記ガス室(101)又は上記基準ガス室(102)を介して上記固体電解質体(2)に対向して配置され、該固体電解質体(2)を加熱するヒータ(6)と、を備え、
上記ポンプ電極(21)と上記基準電極(24)と上記固体電解質体(2)の一部とによって、上記ポンプ電極(21)と上記基準電極(24)との間に電圧が印加されることにより、上記ガス室(101)における上記ガス(G)中の酸素濃度を調整するポンプセル(41)が形成されており、
上記モニタ電極(22)と上記基準電極(24)と上記固体電解質体(2)の一部とによって、上記モニタ電極(22)と上記基準電極(24)との間に流れる酸素イオン電流に基づいて上記ガス室(101)における酸素濃度を検出するモニタセル(42)が形成されており、
上記センサ電極(23)と上記基準電極(24)と上記固体電解質体(2)の一部とによって、上記センサ電極(23)と上記基準電極(24)との間に流れる酸素イオン電流に基づいて上記ガス室(101)における上記特定ガス成分の濃度を検出するためのセンサセル(43)が形成されており、
上記第2ポンプ電極(25)と上記基準電極(24)と上記固体電解質体(2)の一部とによって、上記第2ポンプ電極(25)と上記基準電極(24)との間に電圧が印加されることにより、上記ガス室(101)における上記ガス(G)中の酸素濃度をさらに調整する第2ポンプセル(45)が形成されており、
上記センサセル(43)によって検出される酸素イオン電流から、上記モニタセル(42)によって検出される酸素イオン電流が差し引かれることにより、上記特定ガス成分の濃度が検出されるよう構成されている、ガスセンサ。 - 上記基準電極(24)は、上記固体電解質体(2)において、上記ポンプ電極(21)、上記第2ポンプ電極(25)、上記モニタ電極(22)及び上記センサ電極(23)が位置する上記第1主面(201)の領域全体の裏側に位置する上記第2主面(202)に設けられており、
上記ポンプセル(41)、上記第2ポンプセル(45)、上記モニタセル(42)及び上記センサセル(43)における上記基準電極(24)は、一体的に形成されている、請求項1に記載のガスセンサ(1)。 - 上記ポンプ電極(21)、上記第2ポンプ電極(25)、上記モニタ電極(22)及び上記センサ電極(23)が上記固体電解質体(2)に設けられた位置において、上記流れ方向(F)に直交する幅方向(W)における、上記ガス室(101)の空間幅(W0)が一定である、請求項1又は2に記載のガスセンサ(1)。
- 上記モニタ電極(22)の面積と上記センサ電極(23)の面積とは、同じである、請求項1〜3のいずれか1項に記載のガスセンサ(1)。
- 上記第2ポンプ電極(25)の幅方向(W)の中心位置(O1)に対する、上記モニタ電極(22)と上記センサ電極(23)との隙間(S)の幅方向(W)の中心位置(O2)のずれ量(ΔX1)は、上記第2ポンプ電極(25)の幅をW1としたとき、ΔX1≦1/4W1の関係を有している、請求項1〜4のいずれか一項に記載のガスセンサ(1)。
- 上記第2ポンプ電極(25)の幅方向(W)の中心位置(O1)に対する、上記モニタ電極(22)の側面(221)の位置及び上記センサ電極(23)の側面(231)の位置(ΔY1)は、上記第2ポンプ電極(25)の幅をW1としたとき、ΔY1≦1/2W1の関係を有している、請求項1〜5のいずれか一項に記載のガスセンサ(1)。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013259417 | 2013-12-16 | ||
JP2013259417 | 2013-12-16 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017126703A Division JP6342553B2 (ja) | 2013-12-16 | 2017-06-28 | ガスセンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018124294A JP2018124294A (ja) | 2018-08-09 |
JP6525487B2 true JP6525487B2 (ja) | 2019-06-05 |
Family
ID=57549584
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016158378A Active JP6169763B2 (ja) | 2013-12-16 | 2016-08-12 | ガスセンサ |
JP2017126703A Active JP6342553B2 (ja) | 2013-12-16 | 2017-06-28 | ガスセンサ |
JP2018094254A Active JP6525487B2 (ja) | 2013-12-16 | 2018-05-16 | ガスセンサ |
Family Applications Before (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016158378A Active JP6169763B2 (ja) | 2013-12-16 | 2016-08-12 | ガスセンサ |
JP2017126703A Active JP6342553B2 (ja) | 2013-12-16 | 2017-06-28 | ガスセンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (3) | JP6169763B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7149166B2 (ja) * | 2018-11-15 | 2022-10-06 | 株式会社Soken | ガスセンサ |
JP2021032812A (ja) * | 2019-08-28 | 2021-03-01 | 日本碍子株式会社 | センサ素子 |
JP7294178B2 (ja) * | 2020-02-17 | 2023-06-20 | 株式会社デンソー | ガスセンサ素子 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3090479B2 (ja) * | 1996-09-17 | 2000-09-18 | 株式会社 リケン | ガスセンサ |
JP3544437B2 (ja) * | 1996-09-19 | 2004-07-21 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ |
JPH10325824A (ja) * | 1997-05-23 | 1998-12-08 | Denso Corp | 炭化水素センサ |
JP3314782B2 (ja) * | 1997-06-20 | 2002-08-12 | 株式会社デンソー | 複合ガスセンサ |
JP3973851B2 (ja) * | 2000-03-17 | 2007-09-12 | 株式会社デンソー | ガスセンサ素子 |
JP3973900B2 (ja) * | 2001-02-08 | 2007-09-12 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | ガスセンサ素子 |
JP2003149199A (ja) * | 2001-11-16 | 2003-05-21 | Nissan Motor Co Ltd | ガスセンサ |
JP2004198351A (ja) * | 2002-12-20 | 2004-07-15 | Denso Corp | ガス濃度検出装置 |
JP2009092431A (ja) * | 2007-10-04 | 2009-04-30 | Denso Corp | NOxセンサ |
JP4983741B2 (ja) * | 2008-07-21 | 2012-07-25 | 株式会社デンソー | NOxセンサ素子及びその制御方法 |
JP2010048647A (ja) * | 2008-08-21 | 2010-03-04 | Denso Corp | NOxセンサ素子 |
JP4817083B2 (ja) * | 2009-03-27 | 2011-11-16 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ |
JP2011058834A (ja) * | 2009-09-07 | 2011-03-24 | Denso Corp | ガスセンサ素子 |
JP2011099712A (ja) * | 2009-11-04 | 2011-05-19 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ |
JP5425833B2 (ja) * | 2011-03-31 | 2014-02-26 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ |
JP5027942B2 (ja) * | 2011-09-26 | 2012-09-19 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサの製造方法 |
WO2015025924A1 (ja) * | 2013-08-21 | 2015-02-26 | 株式会社デンソー | ガスセンサ |
-
2016
- 2016-08-12 JP JP2016158378A patent/JP6169763B2/ja active Active
-
2017
- 2017-06-28 JP JP2017126703A patent/JP6342553B2/ja active Active
-
2018
- 2018-05-16 JP JP2018094254A patent/JP6525487B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6342553B2 (ja) | 2018-06-13 |
JP2018124294A (ja) | 2018-08-09 |
JP2016212119A (ja) | 2016-12-15 |
JP6169763B2 (ja) | 2017-07-26 |
JP2017167166A (ja) | 2017-09-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6101669B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP6525487B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP6321968B2 (ja) | ガスセンサ素子 | |
JP5155712B2 (ja) | ガスセンサ、NOxセンサ、およびガスセンサの作製方法 | |
JP6543583B2 (ja) | ガスセンサ素子及びその製造方法 | |
JP2018128463A (ja) | ガスセンサ | |
JP2009222561A (ja) | ガスセンサ素子 | |
JP6805033B2 (ja) | センサ素子、その製法及びガスセンサ | |
JP6485364B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP4355306B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP6734062B2 (ja) | セラミックスヒータ,センサ素子及びガスセンサ | |
US20170052144A1 (en) | Ceramic heater, sensor element, and gas sensor | |
JP2013140175A (ja) | ガスセンサ | |
JP2017203696A (ja) | ガスセンサ | |
JP6418120B2 (ja) | ガスセンサ | |
WO2016129661A1 (ja) | ガスセンサ | |
JP6323181B2 (ja) | ガスセンサ素子 | |
WO2017104499A1 (ja) | ガスセンサ | |
JP6603072B2 (ja) | センサ素子及びガスセンサ | |
JP2004093307A (ja) | ガスセンサ素子 | |
WO2016129578A1 (ja) | ガスセンサ | |
WO2017126190A1 (ja) | ガスセンサ | |
JP2008134258A (ja) | ガスセンサ素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180516 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190326 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190409 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190506 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6525487 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |