JP2016115932A - 半導体装置及びその駆動方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本実施の形態では、本発明の一態様である半導体装置の構成例について、図1乃至図9、図39及び図40を用いて説明を行う。
図1(A)は、多値データの書き込みが可能なメモリセル10aの構成例を示す回路図である。また、図1(B)は多値データの書き込みが可能なメモリセル10bの構成例を示す回路図である。
図3(A)は、多値データの書き込みと読み出しが可能なメモリセル100aの構成例を示す回路図である。また、図3(B)は、多値データの書き込みと読み出しが可能なメモリセル100bの構成例を示す回路図である。
次に、メモリセル100aの書き込み動作の一例について、図4を用いて説明を行う。なお、以下の説明は、メモリセル100bについても、適用することが可能である。
次に、メモリセル100aの読み出し動作の一例について、図5を用いて説明を行う。なお、以下の説明は、メモリセル100bについても、適用することが可能である。
メモリセル100a、100bは、配線RBL及び配線BL1を1つの配線に共通化してもよい。その場合の回路図を図6(A)、(B)に示す。図6(A)、(B)に示すメモリセル101a、101bは、配線BL1が配線RBLも兼ねている。上記構成にすることで、例えば、メモリセル101a、101bに書き込まれたデータを配線BL1で読み出し、外部に設けた補正回路でデータを補正し、配線BL1を介して、補正したデータをノードFN1に書き込むことが可能になる。
メモリセル100a、100bは、トランジスタM0、M1をpチャネル型トランジスタにしてもよい。その場合の回路図を図7(A)、(B)に示す。図7(A)、(B)に示すメモリセル102a、102bは、トランジスタM0、M1がpチャネル型トランジスタとして動作する。
メモリセル100a、100bは、トランジスタOS1乃至OSNに、第2のゲートを設けても良い。その場合の回路図を図8(A)、(B)に示す。図8(A)、(B)に示すメモリセル103a、103bは、トランジスタOS1乃至OSNに第2のゲートが設けられ、これら第2のゲートには、電位VBGが与えられている。トランジスタOS1乃至OSNは、第2のゲートを設けることで、トランジスタの閾値を制御し、ノーマリ・オフを実現することが可能になる。なお、トランジスタOS1乃至OSNにおいて、第2のゲートは、半導体層を間に介して、第1のゲートと重なるように設ければよい。
メモリセル100a、100bは、トランジスタOS1乃至OSNに、第2のゲートを設けて、第1のゲートに接続しても良い。その場合の回路図を図9(A)、(B)に示す。図9(A)、(B)に示すメモリセル104a、104bは、トランジスタOS1乃至OSNに第2のゲートが設けられ、これら第2のゲートは、第1のゲートに接続されている。第1のゲートと第2のゲートを接続することで、トランジスタOS1乃至OSNは、オン電流を向上させることが可能になる。なお、トランジスタOS1乃至OSNにおいて、第2のゲートは、半導体層を間に介して、第1のゲートと重なるように設ければよい。
メモリセル100aは、ノードFN2に容量素子C2を設けても良い。その場合の回路図を図39(A)に示す。図39(A)に示すメモリセル105aにおいて、容量素子C2の第1の端子は、ノードFN2に電気的に接続され、容量素子C2の第2の端子は、配線SEL2に電気的に接続されている。配線SEL、SEL2の電位を制御することで、メモリセル105aのデータ読み出しが可能になる。
メモリセル100aは、トランジスタM1を省略し、ノードFN2に容量素子C2を設けても良い。その場合の回路図を図40(A)に示す。図40(A)に示すメモリセル106aにおいて、容量素子C2の第1の端子は、ノードFN2に電気的に接続され、容量素子C2の第2の端子は、配線SELに電気的に接続されている。配線SELの電位を制御することで、メモリセル106aのデータ読み出しが可能になる。
本実施の形態では、本発明の一態様である半導体装置の構成例について、図10乃至図18および図41を用いて説明を行う。
図10(A)は、多値データの書き込みが可能なメモリセル20aの構成例を示す回路図である。また、図10(B)は、多値データの書き込みが可能なメモリセル20bの構成例を示す回路図である。
図12(A)は、多値データの書き込みと読み出しが可能なメモリセル200aの構成例を示す回路図である。また、図12(B)は、多値データの書き込みと読み出しが可能なメモリセル200bの構成例を示す回路図である。
次に、メモリセル200aの書き込み動作の一例について、図13を用いて説明を行う。なお、以下の説明は、メモリセル200bについても、適用することが可能である。
次に、メモリセル200aの読み出し動作の一例について、図14を用いて説明を行う。なお、以下の説明は、メモリセル200bについても、適用することが可能である。
メモリセル200a、200bは、配線RBL及び配線BL1を1つの配線に共通化してもよい。その場合の回路図を図15(A)、(B)に示す。図15(A)、(B)に示すメモリセル201a、201bは、配線BL1が配線RBLも兼ねている。上記構成にすることで、例えば、メモリセル201a、201bに書き込まれたデータを配線BL1で読み出し、外部に設けた補正回路でデータを補正し、配線BL1を介して、補正したデータをノードFN1に書き込むことが可能になる。
メモリセル200a、200bは、トランジスタM0をnチャネル型トランジスタにしてもよい。その場合の回路図を図16(A)、(B)に示す。図16(A)、(B)に示すメモリセル202a、202bは、トランジスタM0がnチャネル型トランジスタとして動作する。
メモリセル200a、200bは、トランジスタOS1乃至OSNに、第2のゲートを設けても良い。その場合の回路図を図17(A)、(B)に示す。図17(A)、(B)に示すメモリセル203a、203bは、トランジスタOS1乃至OSNに第2のゲートが設けられ、これら第2のゲートには、電位VBGが与えられている。トランジスタOS1乃至OSNは、第2のゲートを設けることで、トランジスタの閾値を制御し、ノーマリ・オフを実現することが可能になる。なお、トランジスタOS1乃至OSNにおいて、第2のゲートは、半導体層を間に介して、第1のゲートと重なるように設ければよい。
メモリセル200a、200bは、トランジスタOS1乃至OSNに、第2のゲートを設けて、第1のゲートに接続しても良い。その場合の回路図を図18(A)、(B)に示す。図18(A)、(B)に示すメモリセル204a、204bは、トランジスタOS1乃至OSNに第2のゲートが設けられ、これら第2のゲートは、第1のゲートに接続されている。第1のゲートと第2のゲートを接続することで、トランジスタOS1乃至OSNは、オン電流を向上させることが可能になる。なお、トランジスタOS1乃至OSNにおいて、第2のゲートは、半導体層を間に介して、第1のゲートと重なるように設ければよい。
メモリセル200aは、ノードFN2に容量素子C3を設けても良い。その場合の回路図を図41(A)に示す。図41(A)に示すメモリセル205aにおいて、容量素子C3の第1の端子は、ノードFN2に電気的に接続され、容量素子C3の第2の端子は、配線SEL2に電気的に接続されている。配線SEL、SEL2の電位を制御することで、メモリセル205aのデータ読み出しが可能になる。
本実施の形態では、実施の形態1で説明したメモリセルを用いることが可能な、半導体装置の一例について図19乃至図22を用いて説明する。
図19は、メモリセル510を有する、半導体装置の構成例を示すブロック図である。
図20は、図19で説明した行選択ドライバ502の構成例を示すブロック図である。
図21は、図19で説明した列選択ドライバ503の構成例を示すブロック図である。
図22は、図19で説明したA/Dコンバータ504の構成例を示すブロック図である。
本実施の形態では、実施の形態1で示したスイッチS1乃至SN、又は、トランジスタOS1乃至OSNに適用可能な、OSトランジスタの構成例について説明を行う。
図23(A)乃至図23(D)は、トランジスタ600の上面図および断面図である。図23(A)は上面図であり、図23(A)に示す一点鎖線Y1−Y2方向の断面が図23(B)に相当し、図23(A)に示す一点鎖線X1−X2方向の断面が図23(C)に相当し、図23(A)に示す一点鎖線X3−X4方向の断面が図23(D)に相当する。なお、図23(A)乃至図23(D)では、図の明瞭化のために一部の要素を拡大、縮小、または省略して図示している。また、一点鎖線Y1−Y2方向をチャネル長方向、一点鎖線X1−X2方向をチャネル幅方向と呼称する場合がある。
以下では、図23で示したトランジスタ600の作製方法について、図25及び図26で説明を行う。なお、図25及び図26の左側には、トランジスタのチャネル長方向の断面図(図23(A)における、一点鎖線Y1−Y2方向の断面図)を示し、図25及び図26の右側には、トランジスタのチャネル幅方向の断面図(図23(A)における、一点鎖線X1−X2方向の断面図)を示している。
図23で示したトランジスタ600は、導電膜674を省略してもよい。
図23で示したトランジスタ600は、導電膜673と導電膜674を接続しても良い。一例を図28に示す。
図23で示したトランジスタ600は、導電膜673をエッチングで形成する際に、半導体663及び絶縁膜653を、同時にエッチングしてもよい。一例を図29に示す。
図23で示したトランジスタ600は、導電膜671及び導電膜672が、半導体661の側面及び半導体662の側面と接していてもよい。一例を図30に示す。
図23で示したトランジスタ600は、導電膜671が、導電膜671a及び導電膜671bの積層構造としてもよい。また、導電膜672が、導電膜672a及び導電膜672bの積層構造としてもよい。一例として、図31に示す。
図32(A)及び図32(B)は、トランジスタ680の上面図および断面図である。図32(A)は上面図であり、図32(A)に示す一点鎖線A−B方向の断面が図32(B)に相当する。なお、図32(A)及び図32(B)では、図の明瞭化のために一部の要素を拡大、縮小、または省略して図示している。また、一点鎖線A−B方向をチャネル長方向と呼称する場合がある。
図33に示す断面図は、メモリセル100aが1つのチップに形成された例を示している。
図34に示す断面図は、メモリセル200aが1つのチップに形成された例を示している。
本実施の形態では、実施の形態1又は2に示したメモリセルを用いることが可能なCPUについて説明する。
本発明の一態様に係る半導体装置は、表示機器、パーソナルコンピュータ、記録媒体を備えた画像再生装置(代表的にはDVD:Digital Versatile Disc等の記録媒体を再生し、その画像を表示しうるディスプレイを有する装置)に用いることができる。その他に、本発明の一態様に係る半導体装置を用いることができる電子機器として、携帯電話、携帯型を含むゲーム機、携帯データ端末、電子書籍端末、ビデオカメラ、デジタルスチルカメラ等のカメラ、ゴーグル型ディスプレイ(ヘッドマウントディスプレイ)、ナビゲーションシステム、音響再生装置(カーオーディオ、デジタルオーディオプレイヤー等)、複写機、ファクシミリ、プリンタ、プリンタ複合機、現金自動預け入れ払い機(ATM)、自動販売機などが挙げられる。これら電子機器の具体例を図36に示す。
本実施の形態では、本発明の一態様の半導体装置を備えることができるRFタグの使用例について図37を用いながら説明する。RFタグの用途は広範にわたるが、例えば、紙幣、硬貨、有価証券類、無記名債券類、証書類(運転免許証や住民票等、図37(A)参照)、記録媒体(DVDやビデオテープ等、図37(B)参照)、包装用容器類(包装紙やボトル等、図37(C)参照)、乗り物類(自転車等、図37(D)参照)、身の回り品(鞄や眼鏡等)、食品類、植物類、動物類、人体、衣類、生活用品類、薬品や薬剤を含む医療品、または電子機器(液晶表示装置、EL表示装置、テレビジョン装置、または携帯電話)等の物品、若しくは各物品に取り付ける荷札(図37(E)、図37(F)参照)等に設けて使用することができる。
本実施の形態では、実施の形態3で示したOSトランジスタに適用可能な酸化物半導体膜の構造について説明する。
10b メモリセル
20a メモリセル
20b メモリセル
100a メモリセル
100b メモリセル
101a メモリセル
101b メモリセル
102a メモリセル
102b メモリセル
103a メモリセル
103b メモリセル
104a メモリセル
104b メモリセル
105a メモリセル
105b メモリセル
106a メモリセル
106b メモリセル
200a メモリセル
200b メモリセル
201a メモリセル
201b メモリセル
202a メモリセル
202b メモリセル
203a メモリセル
203b メモリセル
204a メモリセル
204b メモリセル
205a メモリセル
205b メモリセル
500 半導体装置
501 メモリセルアレイ
502 行選択ドライバ
503 列選択ドライバ
504 A/Dコンバータ
505 列選択ドライバ
510 メモリセル
517 デコーダ
518 制御回路
521 デコーダ
522 ラッチ回路
523 D/Aコンバータ
524 スイッチ回路
526 トランジスタ
531 コンパレータ
532 エンコーダ
533 ラッチ回路
534 バッファ
600 トランジスタ
600a トランジスタ
600b トランジスタ
600c トランジスタ
600d トランジスタ
600e トランジスタ
640 基板
651 絶縁膜
651a 絶縁膜
651b 絶縁膜
652 絶縁膜
653 絶縁膜
654 絶縁膜
655 絶縁膜
656 絶縁膜
660 半導体
661 半導体
661i 半導体
662 半導体
662i 半導体
663 半導体
671 導電膜
671a 導電膜
671b 導電膜
672 導電膜
672a 導電膜
672b 導電膜
673 導電膜
674 導電膜
675 開口部
678 ハードマスク
680 トランジスタ
681 絶縁膜
682 半導体
683 導電膜
684 導電膜
685 絶縁膜
686 絶縁膜
687 絶縁膜
688 導電膜
689 導電膜
701 層
702 層
703 層
704 層
705 層
706 層
707 層
708 層
709 層
710 基板
712 素子分離層
721 電極
722 絶縁膜
723 電極
724 電極
725 絶縁膜
726 電極
731 プラグ
732 プラグ
733 プラグ
734 プラグ
735 プラグ
736 プラグ
741 層
742 層
743 層
744 層
745 層
746 層
747 層
748 層
751 プラグ
752 プラグ
753 プラグ
754 プラグ
755 プラグ
756 プラグ
771 ウェル
772 チャネル形成領域
773 低濃度不純物領域
774 高濃度不純物領域
775 導電性領域
776 ゲート絶縁膜
777 ゲート電極
778 サイドウォール絶縁膜
779 サイドウォール絶縁膜
791 絶縁膜
792 絶縁膜
793 絶縁膜
794 絶縁膜
795 絶縁膜
796 絶縁膜
901 筐体
902 筐体
903 表示部
904 表示部
905 マイクロフォン
906 スピーカ
907 操作キー
908 スタイラス
911 筐体
912 マイク
913 外部接続ポート
914 操作ボタン
916 表示部
917 スピーカ
921 筐体
922 表示部
923 キーボード
924 ポインティングデバイス
931 筐体
932 冷蔵室用扉
933 冷凍室用扉
941 筐体
942 筐体
943 表示部
944 操作キー
945 レンズ
946 接続部
951 車体
952 車輪
953 ダッシュボード
954 ライト
1189 ROMインターフェース
1190 基板
1191 ALU
1192 ALUコントローラ
1193 インストラクションデコーダ
1194 インタラプトコントローラ
1195 タイミングコントローラ
1196 レジスタ
1197 レジスタコントローラ
1198 バスインターフェース
1199 ROM
4000 RFタグ
Claims (13)
- トランジスタと、
第1及び第2のスイッチと、
容量素子と、を有し、
前記容量素子の第1の端子は、前記トランジスタのゲートに電気的に接続され、
第1の電位は、前記第1のスイッチを介して、前記トランジスタのゲートに与えられ、
第2の電位は、前記第2のスイッチを介して、前記容量素子の第2の端子に与えられ、
前記容量素子の容量値が、前記トランジスタのゲート容量値と等しいことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1において、
前記第1及び第2のスイッチはチャネル形成領域に酸化物半導体を含むトランジスタであることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1又は請求項2において、
前記第1のスイッチは前記トランジスタの上に設けられ、
前記第2のスイッチは、前記第1のスイッチの上に設けられることを特徴とする半導体装置。 - トランジスタと、
第1乃至第Nのスイッチと(Nは3以上の自然数)、
第1乃至第N−1の容量素子と、を有し、
前記第1の容量素子の第1の端子は、前記トランジスタのゲートに電気的に接続され、
前記第Jの容量素子の第1の端子は、前記第J−1の容量素子の第2の端子に電気的に接続され(Jは2以上、N−1以下の自然数)、
第1の電位は、前記第1のスイッチを介して、前記トランジスタのゲートに与えられ、
第Kの電位は、前記第Kのスイッチを介して、前記第K−1の容量素子の第2の端子に与えられ(Kは2以上、N以下の自然数)、
前記第1の容量素子の容量値が、前記トランジスタのゲート容量値と等しく、
前記第Jの容量素子の容量値が、前記第J−1の容量素子の容量値と等しい、ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項4において、
前記第1乃至第Nのスイッチはチャネル形成領域に酸化物半導体を含むトランジスタであることを特徴とする半導体装置。 - 請求項4または請求項5において、
前記第1のスイッチは前記トランジスタの上に設けられ、
前記第Kのスイッチは、前記第K−1のスイッチの上に設けられることを特徴とする半導体装置。 - トランジスタと、
第1及び第2のスイッチと、
第1及び第2の容量素子と、を有し、
前記第1の容量素子の第1の端子は、前記トランジスタのゲートに電気的に接続され、
前記第2の容量素子の第1の端子は、前記トランジスタのゲートに電気的に接続され、
第1の電位は、前記第1のスイッチを介して、前記トランジスタのゲートに与えられ、
第2の電位は、前記第2のスイッチを介して、前記第1の容量素子の第2の端子に与えられ、
第3の電位は、前記第2の容量素子の第2の端子に与えられ、
前記第1の容量素子の容量値が、前記トランジスタのゲート容量値と前記第2の容量素子の容量値との和に等しい、ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項7において、
前記第1及び第2のスイッチはチャネル形成領域に酸化物半導体を含むトランジスタであることを特徴とする半導体装置。 - 請求項7または請求項8において、
前記第1のスイッチは前記トランジスタの上に設けられ、
前記第2のスイッチは、前記第1のスイッチの上に設けられることを特徴とする半導体装置。 - トランジスタと、
第1乃至第Nのスイッチと(Nは3以上の自然数)、
第1乃至第Nの容量素子と、を有し、
前記第1の容量素子の第1の端子は、前記トランジスタのゲートに電気的に接続され、
前記第Nの容量素子の第1の端子は、前記トランジスタのゲートに電気的に接続され、
前記第Jの容量素子の第1の端子は、前記第J−1の容量素子の第2の端子に電気的に接続され(Jは2以上、N−1以下の自然数)、
第1の電位は、前記第1のスイッチを介して、前記トランジスタのゲートに与えられ、
第Kの電位は、前記第Kのスイッチを介して、前記第K−1の容量素子の第2の端子に与えられ(Kは2以上、N以下の自然数)、
第N+1の電位は、前記第Nの容量素子の第2の端子に与えられ、
前記第1の容量素子の容量値が、前記トランジスタのゲート容量値と前記第Nの容量素子の容量値との和に等しく、
前記第Jの容量素子の容量値が、前記第J−1の容量素子の容量値と等しい、ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項10において、
前記第1乃至第Nのスイッチはチャネル形成領域に酸化物半導体を含むトランジスタであることを特徴とする半導体装置。 - 請求項10または請求項11において、
前記第1のスイッチは前記トランジスタの上に設けられ、
前記第Kのスイッチは、前記第K−1のスイッチの上に設けられることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項12のいずれか一項に記載の半導体装置と、
マイクロフォン、スピーカ、表示部、および操作キーのうちの少なくとも1つと、を有する電子機器。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018182280A (ja) * | 2017-04-19 | 2018-11-15 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミックス部材 |
US10600875B2 (en) | 2016-07-01 | 2020-03-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing semiconductor device |
WO2020254914A1 (ja) * | 2019-06-21 | 2020-12-24 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 酸化物半導体を用いる記憶回路 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102166898B1 (ko) * | 2014-01-10 | 2020-10-19 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 표시판 및 그 제조 방법 |
JP6833315B2 (ja) | 2014-12-10 | 2021-02-24 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置、及び電子機器 |
US9812587B2 (en) * | 2015-01-26 | 2017-11-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
TWI720097B (zh) | 2016-07-11 | 2021-03-01 | 日商半導體能源硏究所股份有限公司 | 濺射靶材及濺射靶材的製造方法 |
JP6963463B2 (ja) | 2016-11-10 | 2021-11-10 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置、電子部品、及び電子機器 |
WO2019175698A1 (ja) | 2018-03-12 | 2019-09-19 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 金属酸化物、及び金属酸化物を有するトランジスタ |
JP7221668B2 (ja) * | 2018-12-04 | 2023-02-14 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007250044A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Sony Corp | 半導体メモリデバイスおよびその動作方法 |
JP2012256398A (ja) * | 2010-08-06 | 2012-12-27 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置および半導体装置の駆動方法 |
JP2012256400A (ja) * | 2010-08-06 | 2012-12-27 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置 |
JP2014209402A (ja) * | 2013-03-22 | 2014-11-06 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
Family Cites Families (165)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3171836D1 (en) | 1980-12-08 | 1985-09-19 | Toshiba Kk | Semiconductor memory device |
US4870302A (en) | 1984-03-12 | 1989-09-26 | Xilinx, Inc. | Configurable electrical circuit having configurable logic elements and configurable interconnects |
JPS60198861A (ja) | 1984-03-23 | 1985-10-08 | Fujitsu Ltd | 薄膜トランジスタ |
US4609986A (en) | 1984-06-14 | 1986-09-02 | Altera Corporation | Programmable logic array device using EPROM technology |
US4642487A (en) | 1984-09-26 | 1987-02-10 | Xilinx, Inc. | Special interconnect for configurable logic array |
JPH0612799B2 (ja) | 1986-03-03 | 1994-02-16 | 三菱電機株式会社 | 積層型半導体装置およびその製造方法 |
JPH0244256B2 (ja) | 1987-01-28 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn2o5deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH0244258B2 (ja) | 1987-02-24 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn3o6deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPS63210023A (ja) | 1987-02-24 | 1988-08-31 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | InGaZn↓4O↓7で示される六方晶系の層状構造を有する化合物およびその製造法 |
JPH0244260B2 (ja) | 1987-02-24 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn5o8deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH0244262B2 (ja) | 1987-02-27 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn6o9deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH0244263B2 (ja) | 1987-04-22 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn7o10deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH05251705A (ja) | 1992-03-04 | 1993-09-28 | Fuji Xerox Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
JP3479375B2 (ja) | 1995-03-27 | 2003-12-15 | 科学技術振興事業団 | 亜酸化銅等の金属酸化物半導体による薄膜トランジスタとpn接合を形成した金属酸化物半導体装置およびそれらの製造方法 |
DE69635107D1 (de) | 1995-08-03 | 2005-09-29 | Koninkl Philips Electronics Nv | Halbleiteranordnung mit einem transparenten schaltungselement |
JP3625598B2 (ja) | 1995-12-30 | 2005-03-02 | 三星電子株式会社 | 液晶表示装置の製造方法 |
JP4103968B2 (ja) | 1996-09-18 | 2008-06-18 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 絶縁ゲイト型半導体装置 |
JP4170454B2 (ja) | 1998-07-24 | 2008-10-22 | Hoya株式会社 | 透明導電性酸化物薄膜を有する物品及びその製造方法 |
JP2000150861A (ja) | 1998-11-16 | 2000-05-30 | Tdk Corp | 酸化物薄膜 |
JP3276930B2 (ja) | 1998-11-17 | 2002-04-22 | 科学技術振興事業団 | トランジスタ及び半導体装置 |
JP2001093988A (ja) | 1999-07-22 | 2001-04-06 | Sony Corp | 半導体記憶装置 |
TW460731B (en) | 1999-09-03 | 2001-10-21 | Ind Tech Res Inst | Electrode structure and production method of wide viewing angle LCD |
JP4089858B2 (ja) | 2000-09-01 | 2008-05-28 | 国立大学法人東北大学 | 半導体デバイス |
JP3749101B2 (ja) | 2000-09-14 | 2006-02-22 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置 |
KR20020038482A (ko) | 2000-11-15 | 2002-05-23 | 모리시타 요이찌 | 박막 트랜지스터 어레이, 그 제조방법 및 그것을 이용한표시패널 |
JP3997731B2 (ja) | 2001-03-19 | 2007-10-24 | 富士ゼロックス株式会社 | 基材上に結晶性半導体薄膜を形成する方法 |
JP2002289859A (ja) | 2001-03-23 | 2002-10-04 | Minolta Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
WO2002101928A1 (fr) | 2001-06-06 | 2002-12-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Selecteur non volatil et dispositif de circuit integre |
JP4090716B2 (ja) | 2001-09-10 | 2008-05-28 | 雅司 川崎 | 薄膜トランジスタおよびマトリクス表示装置 |
JP3925839B2 (ja) | 2001-09-10 | 2007-06-06 | シャープ株式会社 | 半導体記憶装置およびその試験方法 |
WO2003040441A1 (en) | 2001-11-05 | 2003-05-15 | Japan Science And Technology Agency | Natural superlattice homologous single crystal thin film, method for preparation thereof, and device using said single crystal thin film |
JP4164562B2 (ja) | 2002-09-11 | 2008-10-15 | 独立行政法人科学技術振興機構 | ホモロガス薄膜を活性層として用いる透明薄膜電界効果型トランジスタ |
JP4083486B2 (ja) | 2002-02-21 | 2008-04-30 | 独立行政法人科学技術振興機構 | LnCuO(S,Se,Te)単結晶薄膜の製造方法 |
CN1445821A (zh) | 2002-03-15 | 2003-10-01 | 三洋电机株式会社 | ZnO膜和ZnO半导体层的形成方法、半导体元件及其制造方法 |
JP3933591B2 (ja) | 2002-03-26 | 2007-06-20 | 淳二 城戸 | 有機エレクトロルミネッセント素子 |
US7339187B2 (en) | 2002-05-21 | 2008-03-04 | State Of Oregon Acting By And Through The Oregon State Board Of Higher Education On Behalf Of Oregon State University | Transistor structures |
US6787835B2 (en) | 2002-06-11 | 2004-09-07 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor memories |
JP2004022625A (ja) | 2002-06-13 | 2004-01-22 | Murata Mfg Co Ltd | 半導体デバイス及び該半導体デバイスの製造方法 |
US7105868B2 (en) | 2002-06-24 | 2006-09-12 | Cermet, Inc. | High-electron mobility transistor with zinc oxide |
US7067843B2 (en) | 2002-10-11 | 2006-06-27 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Transparent oxide semiconductor thin film transistors |
US6888373B2 (en) | 2003-02-11 | 2005-05-03 | Altera Corporation | Fracturable incomplete look up table for area efficient logic elements |
JP4166105B2 (ja) | 2003-03-06 | 2008-10-15 | シャープ株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2004273732A (ja) | 2003-03-07 | 2004-09-30 | Sharp Corp | アクティブマトリクス基板およびその製造方法 |
JP4108633B2 (ja) | 2003-06-20 | 2008-06-25 | シャープ株式会社 | 薄膜トランジスタおよびその製造方法ならびに電子デバイス |
US7262463B2 (en) | 2003-07-25 | 2007-08-28 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Transistor including a deposited channel region having a doped portion |
US7297977B2 (en) | 2004-03-12 | 2007-11-20 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Semiconductor device |
US7145174B2 (en) | 2004-03-12 | 2006-12-05 | Hewlett-Packard Development Company, Lp. | Semiconductor device |
CN102867855B (zh) | 2004-03-12 | 2015-07-15 | 独立行政法人科学技术振兴机构 | 薄膜晶体管及其制造方法 |
US7282782B2 (en) | 2004-03-12 | 2007-10-16 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Combined binary oxide semiconductor device |
WO2005098955A1 (en) | 2004-04-09 | 2005-10-20 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Limiter and semiconductor device using the same |
US7211825B2 (en) | 2004-06-14 | 2007-05-01 | Yi-Chi Shih | Indium oxide-based thin film transistors and circuits |
JP2006100760A (ja) | 2004-09-02 | 2006-04-13 | Casio Comput Co Ltd | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
US7285501B2 (en) | 2004-09-17 | 2007-10-23 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method of forming a solution processed device |
US7298084B2 (en) | 2004-11-02 | 2007-11-20 | 3M Innovative Properties Company | Methods and displays utilizing integrated zinc oxide row and column drivers in conjunction with organic light emitting diodes |
US7453065B2 (en) | 2004-11-10 | 2008-11-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Sensor and image pickup device |
CA2585071A1 (en) | 2004-11-10 | 2006-05-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Field effect transistor employing an amorphous oxide |
US7829444B2 (en) | 2004-11-10 | 2010-11-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Field effect transistor manufacturing method |
AU2005302963B2 (en) | 2004-11-10 | 2009-07-02 | Cannon Kabushiki Kaisha | Light-emitting device |
RU2369940C2 (ru) | 2004-11-10 | 2009-10-10 | Кэнон Кабусики Кайся | Аморфный оксид и полевой транзистор с его использованием |
US7863611B2 (en) | 2004-11-10 | 2011-01-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Integrated circuits utilizing amorphous oxides |
US7791072B2 (en) | 2004-11-10 | 2010-09-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Display |
US7579224B2 (en) | 2005-01-21 | 2009-08-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing a thin film semiconductor device |
TWI481024B (zh) | 2005-01-28 | 2015-04-11 | Semiconductor Energy Lab | 半導體裝置,電子裝置,和半導體裝置的製造方法 |
TWI562380B (en) | 2005-01-28 | 2016-12-11 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Semiconductor device, electronic device, and method of manufacturing semiconductor device |
US7858451B2 (en) | 2005-02-03 | 2010-12-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electronic device, semiconductor device and manufacturing method thereof |
US7948171B2 (en) | 2005-02-18 | 2011-05-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting device |
US20060197092A1 (en) | 2005-03-03 | 2006-09-07 | Randy Hoffman | System and method for forming conductive material on a substrate |
US8681077B2 (en) | 2005-03-18 | 2014-03-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, and display device, driving method and electronic apparatus thereof |
US7544967B2 (en) | 2005-03-28 | 2009-06-09 | Massachusetts Institute Of Technology | Low voltage flexible organic/transparent transistor for selective gas sensing, photodetecting and CMOS device applications |
US7645478B2 (en) | 2005-03-31 | 2010-01-12 | 3M Innovative Properties Company | Methods of making displays |
AU2006233503A1 (en) | 2005-04-14 | 2006-10-19 | Tallinn University Of Technology | Method of preparing zinc oxide nanorods on a substrate by chemical spray pyrolysis |
US8300031B2 (en) | 2005-04-20 | 2012-10-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device comprising transistor having gate and drain connected through a current-voltage conversion element |
JP2006344849A (ja) | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Casio Comput Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
US7691666B2 (en) | 2005-06-16 | 2010-04-06 | Eastman Kodak Company | Methods of making thin film transistors comprising zinc-oxide-based semiconductor materials and transistors made thereby |
US7402506B2 (en) | 2005-06-16 | 2008-07-22 | Eastman Kodak Company | Methods of making thin film transistors comprising zinc-oxide-based semiconductor materials and transistors made thereby |
US7507618B2 (en) | 2005-06-27 | 2009-03-24 | 3M Innovative Properties Company | Method for making electronic devices using metal oxide nanoparticles |
KR100711890B1 (ko) | 2005-07-28 | 2007-04-25 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 발광표시장치 및 그의 제조방법 |
JP2007053321A (ja) | 2005-08-19 | 2007-03-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体記憶装置 |
JP2007059128A (ja) | 2005-08-23 | 2007-03-08 | Canon Inc | 有機el表示装置およびその製造方法 |
JP2007073705A (ja) | 2005-09-06 | 2007-03-22 | Canon Inc | 酸化物半導体チャネル薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JP5116225B2 (ja) | 2005-09-06 | 2013-01-09 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体デバイスの製造方法 |
JP4850457B2 (ja) | 2005-09-06 | 2012-01-11 | キヤノン株式会社 | 薄膜トランジスタ及び薄膜ダイオード |
JP4280736B2 (ja) | 2005-09-06 | 2009-06-17 | キヤノン株式会社 | 半導体素子 |
EP1995787A3 (en) | 2005-09-29 | 2012-01-18 | Semiconductor Energy Laboratory Co, Ltd. | Semiconductor device having oxide semiconductor layer and manufacturing method therof |
JP5037808B2 (ja) | 2005-10-20 | 2012-10-03 | キヤノン株式会社 | アモルファス酸化物を用いた電界効果型トランジスタ、及び該トランジスタを用いた表示装置 |
CN101577293B (zh) | 2005-11-15 | 2012-09-19 | 株式会社半导体能源研究所 | 半导体器件及其制造方法 |
TWI292281B (en) | 2005-12-29 | 2008-01-01 | Ind Tech Res Inst | Pixel structure of active organic light emitting diode and method of fabricating the same |
US7867636B2 (en) | 2006-01-11 | 2011-01-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transparent conductive film and method for manufacturing the same |
JP4977478B2 (ja) | 2006-01-21 | 2012-07-18 | 三星電子株式会社 | ZnOフィルム及びこれを用いたTFTの製造方法 |
US7576394B2 (en) | 2006-02-02 | 2009-08-18 | Kochi Industrial Promotion Center | Thin film transistor including low resistance conductive thin films and manufacturing method thereof |
US7977169B2 (en) | 2006-02-15 | 2011-07-12 | Kochi Industrial Promotion Center | Semiconductor device including active layer made of zinc oxide with controlled orientations and manufacturing method thereof |
KR20070101595A (ko) | 2006-04-11 | 2007-10-17 | 삼성전자주식회사 | ZnO TFT |
US20070252928A1 (en) | 2006-04-28 | 2007-11-01 | Toppan Printing Co., Ltd. | Structure, transmission type liquid crystal display, reflection type display and manufacturing method thereof |
JP5028033B2 (ja) | 2006-06-13 | 2012-09-19 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体膜のドライエッチング方法 |
JP4999400B2 (ja) | 2006-08-09 | 2012-08-15 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体膜のドライエッチング方法 |
JP4609797B2 (ja) | 2006-08-09 | 2011-01-12 | Nec液晶テクノロジー株式会社 | 薄膜デバイス及びその製造方法 |
JP4332545B2 (ja) | 2006-09-15 | 2009-09-16 | キヤノン株式会社 | 電界効果型トランジスタ及びその製造方法 |
JP4274219B2 (ja) | 2006-09-27 | 2009-06-03 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、有機エレクトロルミネッセンス装置、有機薄膜半導体装置 |
JP5164357B2 (ja) | 2006-09-27 | 2013-03-21 | キヤノン株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
US7622371B2 (en) | 2006-10-10 | 2009-11-24 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fused nanocrystal thin film semiconductor and method |
US7772021B2 (en) | 2006-11-29 | 2010-08-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Flat panel displays comprising a thin-film transistor having a semiconductive oxide in its channel and methods of fabricating the same for use in flat panel displays |
JP2008140684A (ja) | 2006-12-04 | 2008-06-19 | Toppan Printing Co Ltd | カラーelディスプレイおよびその製造方法 |
KR101303578B1 (ko) | 2007-01-05 | 2013-09-09 | 삼성전자주식회사 | 박막 식각 방법 |
US8207063B2 (en) | 2007-01-26 | 2012-06-26 | Eastman Kodak Company | Process for atomic layer deposition |
KR100851215B1 (ko) | 2007-03-14 | 2008-08-07 | 삼성에스디아이 주식회사 | 박막 트랜지스터 및 이를 이용한 유기 전계 발광표시장치 |
US7795613B2 (en) | 2007-04-17 | 2010-09-14 | Toppan Printing Co., Ltd. | Structure with transistor |
KR101325053B1 (ko) | 2007-04-18 | 2013-11-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 기판 및 이의 제조 방법 |
KR20080094300A (ko) | 2007-04-19 | 2008-10-23 | 삼성전자주식회사 | 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법과 박막 트랜지스터를포함하는 평판 디스플레이 |
KR101334181B1 (ko) | 2007-04-20 | 2013-11-28 | 삼성전자주식회사 | 선택적으로 결정화된 채널층을 갖는 박막 트랜지스터 및 그제조 방법 |
CN101663762B (zh) | 2007-04-25 | 2011-09-21 | 佳能株式会社 | 氧氮化物半导体 |
KR101345376B1 (ko) | 2007-05-29 | 2013-12-24 | 삼성전자주식회사 | ZnO 계 박막 트랜지스터 및 그 제조방법 |
TW200921226A (en) | 2007-11-06 | 2009-05-16 | Wintek Corp | Panel structure and manufacture method thereof |
US8202365B2 (en) | 2007-12-17 | 2012-06-19 | Fujifilm Corporation | Process for producing oriented inorganic crystalline film, and semiconductor device using the oriented inorganic crystalline film |
JP4623179B2 (ja) | 2008-09-18 | 2011-02-02 | ソニー株式会社 | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JP5451280B2 (ja) | 2008-10-09 | 2014-03-26 | キヤノン株式会社 | ウルツ鉱型結晶成長用基板およびその製造方法ならびに半導体装置 |
JP5781720B2 (ja) | 2008-12-15 | 2015-09-24 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
KR101996773B1 (ko) | 2009-10-21 | 2019-07-04 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 |
KR20220153647A (ko) | 2009-10-29 | 2022-11-18 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 |
KR101930682B1 (ko) | 2009-10-29 | 2018-12-18 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 |
KR101761432B1 (ko) | 2009-11-06 | 2017-07-25 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 |
WO2011058913A1 (en) | 2009-11-13 | 2011-05-19 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
KR102451852B1 (ko) | 2009-11-20 | 2022-10-11 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 |
CN104332177B (zh) | 2009-11-20 | 2018-05-08 | 株式会社半导体能源研究所 | 非易失性锁存电路和逻辑电路,以及使用其的半导体器件 |
KR101662359B1 (ko) | 2009-11-24 | 2016-10-04 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 메모리 셀을 포함하는 반도체 장치 |
KR101911382B1 (ko) | 2009-11-27 | 2018-10-24 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 |
KR101720072B1 (ko) | 2009-12-11 | 2017-03-27 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 불휘발성 래치 회로와 논리 회로, 및 이를 사용한 반도체 장치 |
KR101729933B1 (ko) | 2009-12-18 | 2017-04-25 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 불휘발성 래치 회로와 논리 회로, 및 이를 사용한 반도체 장치 |
KR101813460B1 (ko) | 2009-12-18 | 2017-12-29 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 |
EP3550604A1 (en) | 2009-12-25 | 2019-10-09 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
CN102804360B (zh) | 2009-12-25 | 2014-12-17 | 株式会社半导体能源研究所 | 半导体装置 |
WO2011080998A1 (en) | 2009-12-28 | 2011-07-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
EP2519969A4 (en) | 2009-12-28 | 2016-07-06 | Semiconductor Energy Lab | SEMICONDUCTOR COMPONENT |
CN102656691B (zh) | 2009-12-28 | 2015-07-29 | 株式会社半导体能源研究所 | 存储器装置和半导体装置 |
US8780629B2 (en) | 2010-01-15 | 2014-07-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and driving method thereof |
WO2011086847A1 (en) | 2010-01-15 | 2011-07-21 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
WO2011086846A1 (en) | 2010-01-15 | 2011-07-21 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
WO2011086812A1 (en) | 2010-01-15 | 2011-07-21 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
KR101791279B1 (ko) | 2010-01-15 | 2017-10-27 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 |
US8415731B2 (en) | 2010-01-20 | 2013-04-09 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor storage device with integrated capacitor and having transistor overlapping sections |
KR101787734B1 (ko) | 2010-01-20 | 2017-10-18 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 기억 장치 |
KR102395345B1 (ko) | 2010-01-20 | 2022-05-10 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 전자 기기 |
EP2526622B1 (en) | 2010-01-20 | 2015-09-23 | Semiconductor Energy Laboratory Co. Ltd. | Semiconductor device |
CN102714209B (zh) | 2010-01-22 | 2015-09-16 | 株式会社半导体能源研究所 | 半导体存储器件及其驱动方法 |
KR101800850B1 (ko) | 2010-01-29 | 2017-11-23 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 기억 장치 |
CN106847816A (zh) | 2010-02-05 | 2017-06-13 | 株式会社半导体能源研究所 | 半导体装置 |
KR101862823B1 (ko) | 2010-02-05 | 2018-05-30 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 및 반도체 장치의 구동 방법 |
US8792284B2 (en) | 2010-08-06 | 2014-07-29 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Oxide semiconductor memory device |
US8520426B2 (en) | 2010-09-08 | 2013-08-27 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for driving semiconductor device |
US8854865B2 (en) | 2010-11-24 | 2014-10-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor memory device |
US8686415B2 (en) | 2010-12-17 | 2014-04-01 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
US9048142B2 (en) | 2010-12-28 | 2015-06-02 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
US8848464B2 (en) | 2011-04-29 | 2014-09-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method of driving semiconductor device |
WO2012157532A1 (en) | 2011-05-16 | 2012-11-22 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Programmable logic device |
US9673823B2 (en) | 2011-05-18 | 2017-06-06 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method of driving semiconductor device |
US8581625B2 (en) | 2011-05-19 | 2013-11-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Programmable logic device |
US9762246B2 (en) | 2011-05-20 | 2017-09-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device with a storage circuit having an oxide semiconductor |
JP5892852B2 (ja) | 2011-05-20 | 2016-03-23 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | プログラマブルロジックデバイス |
JP5820336B2 (ja) | 2011-05-20 | 2015-11-24 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
US8669781B2 (en) | 2011-05-31 | 2014-03-11 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
TWI595502B (zh) | 2012-05-18 | 2017-08-11 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 記憶體裝置和用於驅動記憶體裝置的方法 |
US9437273B2 (en) | 2012-12-26 | 2016-09-06 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
US9286953B2 (en) | 2013-02-28 | 2016-03-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and electronic device |
KR20150128820A (ko) | 2013-03-14 | 2015-11-18 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치의 구동 방법 및 반도체 장치 |
KR20150128823A (ko) | 2013-03-14 | 2015-11-18 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치의 구동 방법 및 반도체 장치 |
TWI633650B (zh) | 2013-06-21 | 2018-08-21 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置 |
-
2015
- 2015-12-07 JP JP2015238477A patent/JP6689062B2/ja active Active
- 2015-12-08 US US14/962,809 patent/US9496285B2/en active Active
-
2020
- 2020-04-07 JP JP2020068981A patent/JP2020123734A/ja not_active Withdrawn
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007250044A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Sony Corp | 半導体メモリデバイスおよびその動作方法 |
JP2012256398A (ja) * | 2010-08-06 | 2012-12-27 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置および半導体装置の駆動方法 |
JP2012256400A (ja) * | 2010-08-06 | 2012-12-27 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置 |
JP2014209402A (ja) * | 2013-03-22 | 2014-11-06 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10600875B2 (en) | 2016-07-01 | 2020-03-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing semiconductor device |
US10964787B2 (en) | 2016-07-01 | 2021-03-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing semiconductor device |
JP2018182280A (ja) * | 2017-04-19 | 2018-11-15 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミックス部材 |
WO2020254914A1 (ja) * | 2019-06-21 | 2020-12-24 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 酸化物半導体を用いる記憶回路 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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JP2020123734A (ja) | 2020-08-13 |
US9496285B2 (en) | 2016-11-15 |
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