JP2016111175A - プローブ装置及びプローブ方法 - Google Patents
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Abstract
Description
被検査基板を保持するとともに、水平方向及び垂直方向に移動可能なステージと、
前記被検査基板の表面に形成されているデバイスの電極に接触させるプローブ針を撮像する第1の撮像装置と、
前記第1の撮像装置によって撮像を行うための光学系を有する第1の撮像光学部と、
前記被検査基板が前記ステージに保持された状態で前記電極を撮像する第2の撮像装置と、
前記第2の撮像装置による撮像を行うための光学系を有する第2の撮像光学部と、
前記第1の撮像装置と前記第2の撮像装置との位置合わせに用いる光学的なターゲットマークを、前記第1の撮像装置及び前記第2の撮像装置の各結像部に同時に投影する光学系を有する投影光学部と、
を備えている。
前記投影光学部は、前記第1の撮像装置の結像部に対して光学的に共役な位置に、前記ターゲットの像である前記ターゲットマークを結像させる結像位置を形成するものであってもよい。
前記ターゲットへ光を照射する投影用光源と、
前記ターゲットを通過した前記投影用光源からの光を分割させる分割手段と、
前記第1の撮像装置の前記結像部に前記ターゲットマークが形成されるように、前記分割手段によって分割された光線を集束させる集束手段と、
を備えていてもよい。
前記第1の撮像装置及び前記第2の撮像装置の各結像部に同時に前記ターゲットマークを投影させ、それらの画像データから、前記第1の撮像装置及び前記第2の撮像装置の位置合わせを行うステップと、
前記第2の撮像装置によって前記被検査基板の複数箇所の前記電極を撮像し、そのときの前記電極の位置座標を記憶するステップと、
前記第1の撮像装置によって前記プローブ針を撮像し、そのときの前記プローブ針の位置座標を記憶するステップと、
前記各工程で得られた位置座標に基づき、前記プローブ針を前記電極に接触させて、前記被検査基板の表面に形成されたデバイスの電気的特性を検査するステップと、
を含むことを特徴とする。
本体1は、内部が空洞の筐体であり、ウエハWを載置するステージ7を収容する。本体1の天井部1aには、開口部1bが形成されている。開口部1bは、ステージ7に載置されたウエハWの上方に位置しており、この開口部1bに、円板状のプローブカード9を保持する略円板状のプローブカードホルダ(図示せず)が係合する。このプローブカードホルダによって、プローブカード9は、ステージ7に載置されたウエハWと対向して配置される。
ローダー部3は、搬送容器であるフープ(図示省略)に収容されているウエハWを取り出して本体1のステージ7へ搬送する。また、ローダー部3は、デバイスの電気的特性の検査が終了したウエハWをステージ7から受け取り、フープへ収容する。
テストヘッド5は、直方体形状をなし、本体1に設けられたヒンジ機構11によって上方向へ回動可能に構成されている。テストヘッド5は、上方から本体1を覆った状態で、図示しないコンタクトリングを介してプローブカード9と電気的に接続される。テストヘッド5は、プローブカード9から伝送されるデバイスの電気的特性を示す電気信号を測定データとして記憶するとともに、測定データに基づいてデバイスの電気的な欠陥の有無を判定する機能を有している。
図2に示すように、ステージ7は、基台20上に配置されており、図中に示すX方向に沿って移動するX方向移動ユニット21と、図中に示すY方向に沿って移動するY方向移動ユニット23と、図中に示すZ方向に沿って移動するZ方向移動ユニット25とを有している。
プローブカード9は、ステージ7と対向する面に多数のプローブ針9a(図10及び図11を参照)を備えている。プローブ装置100では、ステージ7を水平方向(X方向,Y方向,θ方向)及び垂直方向(Z方向)に移動させることによって、プローブカード9及びウエハWの相対位置を調整し、デバイスの電極とプローブ針9aとを当接させる。テストヘッド5は、プローブカード9の各プローブ針9aを介してデバイスに検査電流を流す。プローブカード9は、デバイスの電気的特性を示す電気信号をテストヘッド5に伝送する。テストヘッド5は、伝送された電気信号を測定データとして記憶し、検査対象のデバイスの電気的な欠陥の有無を判定する。なお、プローブ針9aは、デバイスの電極に接続する機能を有するものであれば、どの様な形状であってもよい。
また、本体1の内部には、ステージ7とプローブカードホルダ交換ユニット31の間に、下部撮像ユニット35と、針先研磨ユニット37とが配置されている。ここで、下部撮像ユニット35は、プローブカード9に形成されたプローブ針9aを撮像する。下部撮像ユニット35及び針先研磨ユニット37は、ステージ7に固定されており、ステージ7とともにX方向、Y方向及びZ方向に移動する。下部撮像ユニット35の詳細な構成については後述する。
また、本体1の内部において、ステージ7の上方には、アライメントユニット41が配置されている。アライメントユニット41は、図示しない駆動部によって、図2中、Y方向に移動可能に構成されている。アライメントユニット41は、ステージ7や下部撮像ユニット35と対向する水平面に沿う下面を有している。
アライメントユニット41には、上部撮像ユニット43が設けられている。上部撮像ユニット43は、ステージ7上に載置されたウエハWに形成されたデバイスの電極を撮像する。上部撮像ユニット43の詳細な構成については後述する。
次に、図3を参照しながら、下部撮像ユニット35及び上部撮像ユニット43の詳細な構成について説明する。図3は、下部撮像ユニット35と上部撮像ユニット43を上下に対向させた状態で、それらの構成を光学的な特徴を中心に示したものである。
下部撮像ユニット35は、第1の撮像装置としての下部カメラ61と、下部カメラ61によってプローブカード9のプローブ針9aを撮像するための下部撮像光学部63と、光学的なターゲットマークを生成するためのターゲット65と、ターゲットマークを下部カメラ61の結像部61a及び上部カメラ91の結像部91aに同時に投影するための投影光学部67とを有している。ここで、下部カメラ61及び上部カメラ91の「結像部」とは、下部カメラ61及び上部カメラ91における、例えばCCD素子、CMOS素子などの撮像素子を意味する。
下部カメラ61は、プローブカード9に形成されたプローブ針9aを撮像し、その画像データを生成する。また、下部カメラ61は、ターゲットマークの画像データを生成する。
下部撮像光学部63は、例えばLEDランプなどの撮影用光源71と、撮影用光源71からの照射光又はその反射光を集束させるレンズ73A,73B,73Cと、撮影用光源71からの照射光又はその反射光を分割するビームスプリッタ75を備えている。ビームスプリッタ75は、例えばハーフミラーでもよい。
ターゲット65は、例えばアクリル、ガラス、アルミニウム、鉄などの材質の50〜1000μm程度の厚みの薄板であり、光学的なターゲットマークに対応する模様が形成されている。本実施の形態において、ターゲットマークに対応する模様は、ターゲット65を構成する薄板に設けられた貫通開口によって形成されている。なお、貫通開口の代わりに、例えば透明なアクリル板、ガラス板などの片側の面に、蒸着、塗工などの方法でターゲットマークに対応する模様を形成したものを使用してもよい。ターゲットマークに対応する模様の形状は任意であり、円形、四角形、十字形、同心円、放射パターンなどの幾何学模様を例示できる。
投影光学部67は、ターゲット65から、その像である光学的なターゲットマークを生成するとともに、ターゲットマークを下部カメラ61及び上部カメラ91の各結像部61a,91aに同時に投影するための光学系である。図3では、ターゲットマークを下部カメラ61の結像部61aに投影するときの光束を太線で模式的に示し、下部カメラ61及び上部カメラ91で撮像をするときの光束と、ターゲットマークを上部カメラ91の結像部91aに投影するときの光束を細線で模式的に示している。投影光学部67は、例えばLEDランプなどの投影用光源81と、投影用光源81からの光を反射し集束させる凹面反射鏡83と、投影用光源81からの光を分割する分割手段としてのビームスプリッタ85とを備えている。ビームスプリッタ85は、例えばハーフミラーでもよい。また、凹面反射鏡83は、下部カメラ61の結像部61aに向けて光を集束させる集束手段としての機能と、光を反射する反射手段としての機能とを有している。そのため、凹面反射鏡83を用いることによって、投影光学部67の構成を簡素化し、省スペース化、小型化を図ることができる。なお、凹面反射鏡83は、例えば平面反射鏡とレンズとの組み合わせで代替することもできる。
上部撮像ユニット43は、第2の撮像装置としての上部カメラ91と、上部カメラ91によってウエハW上のデバイスを撮像するための上部撮像光学部93と、を有している。
上部カメラ91は、ウエハW表面に形成されたデバイスの電極を撮像し、その画像データを生成する。また、上部カメラ91は、ターゲットマークの画像データを生成する。
上部撮像光学部93は、例えばLEDランプなどの撮影用光源101と、撮影用光源101からの照射光又はその反射光を集束させるレンズ103A,103B,103Cと、撮影用光源101からの照射光又はその反射光を分割するビームスプリッタ105を備えている。ビームスプリッタ105は、例えばハーフミラーでもよい。
下部撮像光学部63と上部撮像光学部93との間には、ターゲットマークの結像位置Pが形成されている。本実施の形態のプローブ装置100では、投影光学部67によって、ターゲット65と、ターゲットマークの結像位置Pと、下部カメラ61の結像部61aとを、互いに光学的共役の関係になるように配置している。
次に、プローブ装置100における投影光学部の変形例について説明する。図4〜図6は、それぞれ投影光学部の変形例を示している。投影光学部は、ターゲットマークを下部カメラ61及び上部カメラ91の各結像部61a,91aに同時に投影できるものであればよいため、種々のバリエーションが存在する。ここでは、代表的に3つの変形例について説明する。なお、図4〜図6において、上部撮像ユニット43、並びに下部カメラ61及び下部撮像光学部63の構成は図3と同じであるため、同一の符号を付して説明を省略する。図4〜6では、ターゲットマークを下部カメラ61の結像部61aに投影するときの光束を太線で模式的に示し、下部カメラ61及び上部カメラ91で撮像をするときの光束と、ターゲットマークを上部カメラ91の結像部91aに投影するときの光束を細線で模式的に示している。
図4は、第1の変形例を示すものである。第1の変形例の投影光学部67Aは、例えばLEDランプなどの投影用光源81と、投影用光源81からの光を集束させる凹面反射鏡83と、投影用光源81からの光を分割するビームスプリッタ85とを備えている。
図5は、第2の変形例を示すものである。第2の変形例の投影光学部67Bは、例えばLEDランプなどの投影用光源81と、投影用光源81からの光を反射する一対の平面反射鏡111,113と、投影用光源81からの光を集束させるレンズ115と、投影用光源81からの光を分割するビームスプリッタ85と、結像位置Pと下部カメラ61と間で光軸を直角に曲げるためのビームスプリッタ117を備えている。
図6は、第3の変形例を示すものである。第3の変形例の投影光学部67Cは、例えばLEDランプなどの投影用光源81と、投影用光源81からの光を反射する一対の平面反射鏡111,113と、投影用光源81からの光を集束させるレンズ115と、投影用光源81からの光を分割するビームスプリッタ85と、投影用光源81と結像位置Pとの間で光軸を直角に曲げるためのビームスプリッタ119を備えている。
プローブ装置100は、さらに制御部50を備えている。制御部50は、プローブ装置100の各構成部の動作を制御する。制御部50は、典型的にはコンピュータである。図7は、制御部50のハードウェア構成の一例を示している。制御部50は、主制御部201と、キーボード、マウス等の入力装置202と、プリンタ等の出力装置203と、表示装置204と、記憶装置205と、外部インターフェース206と、これらを互いに接続するバス207とを備えている。主制御部201は、CPU(中央処理装置)211、RAM(ランダムアクセスメモリ)212およびROM(リードオンリメモリ)213を有している。記憶装置205は、情報を記憶できるものであれば、その形態は問わないが、例えばハードディスク装置または光ディスク装置である。また、記憶装置205は、コンピュータ読み取り可能な記録媒体215に対して情報を記録し、また記録媒体215より情報を読み取るようになっている。記録媒体215は、情報を記憶できるものであれば、その形態は問わないが、例えばハードディスク、光ディスク、フラッシュメモリなどである。記録媒体215は、本実施の形態のプローブ装置100において行われるプローブ方法のレシピを記録した記録媒体であってもよい。
次に、図8〜図11を参照しながら、プローブ装置100を使用してウエハW上に形成されたデバイスの電気的特性の検査を行うプローブ方法の手順の一例について説明する。図8〜図11は、本実施の形態のプローブ方法の工程を説明する説明図である。図8〜図11では、ステージ7、下部撮像ユニット35、上部撮像ユニット43、プローブ9(プローブ針9a)及びウエハW(不図示のデバイス)の位置関係を模式的に示している。図8〜図11中、符号301は、下部カメラ61の結像部61aと結像位置P又は物体(プローブ針9a)との間の光束を模式的に示しており、符号303は、上部カメラ91の結像部91aと結像位置P又は物体(デバイスの電極)との間の光束を模式的に示している。
工程Aでは、下部カメラ61及び上部カメラ91の各結像部61a,91aに同時にターゲットマークを投影させ、それらの画像データから、下部カメラ61及び上部カメラ91の位置合わせを行う。図8に示すように、下部撮像ユニット35と上部撮像ユニット43が上下に対向する位置まで相対移動させる。次に、下部撮像ユニット35の投影光学部67の投影用光源81を点灯し、ターゲット65で生成されたターゲットマークを結像位置Pに投影する。その結果、ターゲットマークが、下部カメラ61及び上部カメラ91の各結像部61a,91aに同時に投影される。そして、下部カメラ61及び上部カメラ91により、それぞれ得られたターゲットマークの画像データに基づき、上部カメラ91の結像部91aと、結像位置Pとが互いに光学的に共役の位置関係となるように位置合わせを行う。具体的には、下部カメラ61及び上部カメラ91の各結像部61a,91aに同時に投影されたターゲットマークの中心と、下部カメラ61及び上部カメラ91の光軸とが一致し、かつ、上部カメラ91の焦点が結像位置Pに合致するように位置を求める。
工程Bでは、上部カメラ91によってウエハW上のデバイスの複数箇所の電極を撮像し、そのときの電極の位置座標を記憶する。投影用光源81を消灯した状態で、図9に示すように、ステージ7を上部撮像ユニット43の下方に相対移動させ、撮影用光源101を点灯して、上部カメラ91の焦点を予め定められたウエハW上の複数(例えば5つ)の撮像ポイントに合わせて、撮像する。ここで、撮像ポイントは、ウエハW上に形成されたデバイスの所定の電極に設定する。得られた画像データから、そのときの各撮像ポイントの位置座標を求める。ここでは、便宜上、各撮像ポイントの位置座標を総称して(X1、Y1、Z1)として表す。位置座標(X1、Y1、Z1)は、制御部50のメモリであるRAM212、記憶装置205又は記録媒体215に格納する。
工程Cでは、下部カメラ61によってプローブカード9のプローブ針9aを撮像し、そのときのプローブ針9aの位置座標を記憶する。投影用光源81を消灯した状態で、図10に示すように、下部撮像ユニット35の下部カメラ61をプローブ針9aの下方まで相対移動させる。そして、撮影用光源71を点灯し、下部カメラ61の焦点が予め決められた所定のプローブ針9aに一致するように、ステージ7に固定された下部撮像ユニット35をX、Y、Z方向に移動させ、撮像する。得られた画像データから、そのときのプローブ針9aの位置座標(X2、Y2、Z2)を求める。この位置座標(X2、Y2、Z2)は、制御部50のメモリであるRAM212、記憶装置205又は記録媒体215に格納する。
工程Dでは、上記工程A、工程B、工程Cの各工程で得られた位置座標に基づき、図11に示すように、プローブ針9aとウエハWの表面に形成された所定のデバイスの電極との位置が合うようにステージ7をX、Y、Z方向に移動させる。その後、プローブ針9aを電極に接触させて、デバイスの電気的特性を検査する。
Claims (6)
- 被検査基板を保持するとともに、水平方向及び垂直方向に移動可能なステージと、
前記被検査基板の表面に形成されているデバイスの電極に接触させるプローブ針を撮像する第1の撮像装置と、
前記第1の撮像装置によって撮像を行うための光学系を有する第1の撮像光学部と、
前記被検査基板が前記ステージに保持された状態で前記電極を撮像する第2の撮像装置と、
前記第2の撮像装置による撮像を行うための光学系を有する第2の撮像光学部と、
前記第1の撮像装置と前記第2の撮像装置との位置合わせに用いる光学的なターゲットマークを、前記第1の撮像装置及び前記第2の撮像装置の各結像部に同時に投影する光学系を有する投影光学部と、
を備えたプローブ装置。 - さらに、前記ターゲットマークを生成するターゲットを備え、
前記投影光学部は、前記第1の撮像装置の結像部に対して光学的に共役な位置に、前記ターゲットの像である前記ターゲットマークを結像させる結像位置を形成するものである請求項1に記載のプローブ装置。 - 前記ターゲットと、前記結像位置と、前記第2の撮像装置の結像部とを、互いに光学的に共役となる位置に配置して、前記ターゲットマークを、前記第1の撮像装置及び前記第2の撮像装置の各結像部に同時に投影する請求項2に記載のプローブ装置。
- 前記投影光学部は、
前記ターゲットへ光を照射する投影用光源と、
前記ターゲットを通過した前記投影用光源からの光を分割させる分割手段と、
前記第1の撮像装置の前記結像部に前記ターゲットマークが形成されるように、前記分割手段によって分割された光線を集束させる集束手段と、
を備えている請求項2又は3に記載のプローブ装置。 - 前記集束手段が凹面反射鏡である請求項4に記載のプローブ装置。
- 請求項1から5のいずれか1項に記載のプローブ装置を用いるプローブ方法であって、
前記第1の撮像装置及び前記第2の撮像装置の各結像部に同時に前記ターゲットマークを投影させ、それらの画像データから、前記第1の撮像装置及び前記第2の撮像装置の位置合わせを行うステップと、
前記第2の撮像装置によって前記被検査基板の複数箇所の前記電極を撮像し、そのときの前記電極の位置座標を記憶するステップと、
前記第1の撮像装置によって前記プローブ針を撮像し、そのときの前記プローブ針の位置座標を記憶するステップと、
前記各工程で得られた位置座標に基づき、前記プローブ針を前記電極に接触させて、前記被検査基板の表面に形成されたデバイスの電気的特性を検査するステップと、
を含むことを特徴とするプローブ方法。
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