JP7220554B2 - プローブ装置、及び、プローブ装置の調整方法 - Google Patents
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Description
例示的実施形態において、プローブ装置が提供される。プローブ装置は、ウエハを検査する装置である。プローブ装置は、上カメラ、下カメラ、ターゲット部材、制御回路を備える。上カメラは、ウエハアライメントユニットに設けられる。下カメラは、ウエハアライメントユニットの下方に配置されウエハが載置されるステージに設けられる。ターゲット部材は、ウエハアライメントユニット及びステージの何れかに設けられる。ターゲット部材は、ターゲットマークが設けられた端面を備える。上カメラ及び下カメラの何れかは、ターゲットマークの撮像が可能である。制御回路は、上カメラ及び下カメラの各々の動作を制御する。制御回路は、ターゲット部材の撮像が可能な上カメラ及び下カメラの何れかを用いてターゲットマークの撮像画像を取得する。制御回路は、取得した撮像画像に基づいてプローブ装置が有する複数の物理パラメータのうち撮像画像に表されるパラメータについて、特定の物理パラメータと撮像画像に表された値との対応を算出する。このようにターゲットマークの撮像画像を用いることによって、プローブ装置が有しており撮像画像に表される物理的パラメータに係る調整が、プローブ装置の装置間機差によらずに容易に行われ得る。
Claims (6)
- ウエハを検査するプローブ装置であって、
ウエハアライメントユニットに設けられた上カメラと、
前記ウエハアライメントユニットの下方に配置されウエハが載置されるステージに設けられた下カメラと、
前記ウエハアライメントユニット及び前記ステージの何れかに設けられたターゲット部材と、
前記上カメラ及び前記下カメラの各々の動作を制御する制御回路と、
前記ステージを移動させることが可能な移動機構と、
を備え、
前記ターゲット部材は、ターゲットマークが設けられた端面を備え、
前記上カメラ及び前記下カメラの何れかは、前記ターゲットマークの撮像が可能であり、
前記制御回路は、
前記ターゲット部材の撮像が可能な前記上カメラ及び前記下カメラの何れかを用いて前記ターゲットマークの撮像画像を取得し、取得した撮像画像に基づいて当該プローブ装置が有する複数の物理パラメータのうち撮像画像に表されるパラメータについて、特定の物理パラメータと撮像画像に表された値との対応を算出するものであって、
前記移動機構を用いて予め設定された二つの位置に前記ステージを順次移動させ、前記二つの位置のそれぞれにおいて前記ターゲットマークの撮像画像を取得し、該二つの位置の間の距離の実寸と取得した二つの撮像画像の各々の該ターゲットマークの像の間の長さに対応する画素数との対応を算出する、
プローブ装置。 - 照明部を更に備え、
前記照明部は、前記ターゲットマークを照明可能であり、
前記制御回路は、前記照明部の出力の設定値と撮像画像に表された明るさとの対応を算出する、
請求項1に記載のプローブ装置。 - 前記制御回路は、互いに撮像倍率が異なる第1撮像モード及び第2撮像モードを備え、前記移動機構を用いて前記第1撮像モードに対応する第1ステージ位置と前記第2撮像モードに対応する第2ステージ位置とに該ステージを順次移動させ、該第1ステージ位置及び該第2ステージ位置の各々において前記ターゲットマークの撮像画像を取得し、該第1ステージ位置及び該第2ステージ位置の各々と、取得した二つの撮像画像の各々の該ターゲットマークの像の位置との対応を算出する、
請求項1又は2に記載のプローブ装置。 - 前記制御回路は、前記移動機構を用いて前記ステージ上のウエハに対するスキャンの開始予定位置に該ステージを移動して前記ターゲットマークの撮像画像を取得し、撮像画像内において予め設定された基準領域と、取得した撮像画像の該ターゲットマークの像の位置との差を算出し、
前記基準領域は、前記ステージが前記スキャンの適正な開始位置に在る場合に取得される撮像画像において前記ターゲットマークの像が配置される領域である、
請求項1~3の何れか一項に記載のプローブ装置。 - エアーブロー装置を更に備え、
前記ターゲット部材は、前記ステージに設けられ、
前記エアーブロー装置は、前記ターゲットマークに向けて空気を噴射する、
請求項1~4の何れか一項に記載のプローブ装置。 - ウエハを検査するプローブ装置の調整方法であって、該プローブ装置は、下カメラ、ターゲット部材、移動機構を備え、該下カメラはウエハアライメントユニットの下方に配置されウエハが載置されるステージに設けられ、該ターゲット部材はターゲットマークが設けられた端面を備え該ウエハアライメントユニット及び該ステージの何れかに設けられ、該移動機構は該ステージを移動させることが可能であり、該方法は、
前記移動機構を用いて予め設定された二つの位置に前記ステージを順次移動させ、
前記ターゲット部材の撮像が可能な前記下カメラを用いて前記二つの位置のそれぞれにおいて前記ターゲットマークの撮像画像を取得し、
前記二つの位置の間の距離の実寸と取得した二つの撮像画像の各々の前記ターゲットマークの像の間の長さに対応する画素数との対応を算出して撮像画像のピクセルサイズを調整する、
プローブ装置の調整方法。
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