KR101731029B1 - 고속 이미지 측정장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 고속 이미지 측정장치는 에어리어 카메라와, 제1 스테이지 기구, 및 제2 스테이지 기구를 포함한다. 에어리어 카메라는 촬상 부위가 피측정 기판의 피촬상 부위를 향한 상태로 위치 고정된다. 제1 스테이지 기구는 피측정 기판을 지지하며, 최고 속도와 최저 속도가 일정 구간씩 주기적으로 반복되는 형태의 제1 속도 프로파일로 피측정 기판을 제1 방향으로 연속되게 선형 이동시킨다. 제2 스테이지 기구는 피측정 기판이 제1 스테이지 기구에 의해 이동할 때, 제1 속도 프로파일의 최저 속도와 크기가 동일하고 방향이 반대인 속도로 일정하게 유지되는 형태의 제2 속도 프로파일로 제1 스테이지 기구를 제1 방향으로 선형 이동시킨다.

Description

고속 이미지 측정장치{Apparatus for measuring high speed image}
본 발명은 피측정 기판에 대한 이미지를 측정해서 불량 유무를 검사할 수 있게 하는 장치에 관한 것이다.
인쇄회로기판(PCB)과 같은 기판의 표면에는 부품 실장을 위한 회로패턴이 형성된다. 회로패턴에 불량이 있는 기판에 부품을 실장하게 되면, 2차 불량이 발생되므로, 기판의 회로패턴에 대한 검사를 수행할 필요가 있다.
예를 들어, 피측정 기판의 회로패턴을 검사하기 위한 방법으로는, 에어리어 카메라(Area camera)를 이용하여 피측정 기판의 회로패턴을 촬상한 후, 획득된 이미지 정보로부터 회로패턴의 선폭, 패턴 간격 등을 측정해서 회로패턴의 불량 유무를 판단할 수 있다.
한편, 피측정 기판의 피촬상 부위가 에어리어 카메라의 촬상 부위보다 큰 면적을 갖는 경우, 에어리어 카메라의 촬상 부위를 피측정 기판의 피촬상 부위로부터 상방에 배치한 상태에서, 피측정 기판의 피촬상 부위를 에어리어 카메라의 촬상 부위에 대해 X-Y 평면 상에서 이동시켜가며 촬상할 수 있다. 이때, 피측정 기판을 스테이지 상에 지지한 후, 피측정 기판의 피촬상 부위가 피촬상 영역별로 에어리어 카메라의 촬상 부위에 순차적으로 대응되어 촬상되도록 스테이지를 X축 및/또는 Y축 방향을 따라 1 스텝씩 이동시킬 수 있다.
전술한 바와 같이, 스테이지를 1 스텝씩 이동시킬 때, 스테이지는 출발과 정지를 반복하게 되는데, 이 과정에서 구동 부하와 잔류 진동으로 인해 측정 지연이 발생될 수 있다. 따라서, 각 스텝에서 피측정 기판의 피촬상 영역을 촬상하는 시간을 단축시키기 위해 에어리어 카메라의 노출 시간을 짧게 해야 하는데, 이로 인해 높은 조도의 조명이 요구된다.
본 발명의 과제는 피측정 기판을 고속으로 측정할 수 있고, 낮은 조도의 조명으로도 고감도 이미지를 획득할 수 있는 고속 이미지 측정장치를 제공함에 있다.
상기의 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 고속 이미지 측정장치는 에어리어 카메라와, 제1 스테이지 기구, 및 제2 스테이지 기구를 포함한다. 에어리어 카메라는 촬상 부위가 피측정 기판의 피촬상 부위를 향한 상태로 위치 고정된다. 제1 스테이지 기구는 피측정 기판을 지지하며, 최고 속도와 최저 속도가 일정 구간씩 주기적으로 반복되는 형태의 제1 속도 프로파일로 피측정 기판을 제1 방향으로 연속되게 선형 이동시킨다. 제2 스테이지 기구는 피측정 기판이 제1 스테이지 기구에 의해 이동할 때, 제1 속도 프로파일의 최저 속도와 크기가 동일하고 방향이 반대인 속도로 일정하게 유지되는 형태의 제2 속도 프로파일로 제1 스테이지 기구를 제1 방향으로 선형 이동시킨다.
본 발명에 따르면, 피측정 기판의 피측정 영역을 고속으로 측정할 수 있고, 모션 지터(motion jitter)를 최소화할 수 있다. 본 발명에 따르면, 에어리어 카메라의 노출 시간이 길게 확보될 수 있으므로, 낮은 조도의 조명으로도 고감도 이미지를 획득할 수 있다. 또한, 본 발명에 따르면, 피측정 기판의 피촬상 부위 전체를 측정하는데 소요되는 시간을 최소화할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 고속 이미지 측정장치에 대한 사시도이다.
도 2는 도 1에 있어서, 피측정 기판의 피측정 영역들을 나타낸 도면이다.
도 3은 제1,2 속도 프로파일 및 제1,2 속도 프로파일을 합한 최종 속도 프로파일을 나타낸 그래프이다.
도 4는 도 3에 있어서, 시간에 따른 거리를 나타낸 그래프이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 고속 이미지 측정장치에 대한 사시도이다.
도 6은 제3,4 속도 프로파일 및 제3,4 속도 프로파일을 합한 최종 속도 프로파일을 나타낸 그래프이다.
도 7는 도 6에 있어서, 시간에 따른 거리를 나타낸 그래프이다.
본 발명에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 여기서, 동일한 구성에 대해서는 동일부호를 사용하며, 반복되는 설명, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 본 발명의 실시형태는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 고속 이미지 측정장치에 대한 사시도이다. 도 2는 도 1에 있어서, 피측정 기판의 피측정 영역들을 나타낸 도면이다. 도 3은 제1,2 속도 프로파일 및 제1,2 속도 프로파일을 합한 최종 속도 프로파일을 나타낸 그래프이다. 도 4는 도 3에 있어서, 시간에 따른 거리를 나타낸 그래프이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 고속 이미지 측정장치(100)는 에어리어 카메라(110)와, 제1 스테이지 기구(120), 및 제2 스테이지 기구(130)를 포함한다.
에어리어 카메라(110)는 촬상 부위(111)가 피측정 기판(10)의 피촬상 부위를 향한 상태로 위치 고정된다. 피측정 기판(10)의 피촬상 부위가 수평면에 나란히 배치되는 경우, 에어리어 카메라(110)는 피측정 기판(10)의 상부에서 촬상 부위(111)가 하방을 향한 상태로 위치 고정될 수 있다.
에어리어 카메라(110)는 이미지센서를 포함할 수 있다. 이미지센서는 피사체에 대한 광학적 상을 받아서 전기적 신호로 변환한다. 이미지센서는 CCD(charge-coupled device) 이미지센서 또는 CMOS(complementary metal-oxide semiconductor) 이미지센서 등일 수 있다.
제1 스테이지 기구(120)는 피측정 기판(10)을 지지한다. 제1 스테이지 기구(120)는 제1 속도 프로파일(VP_1)로 피측정 기판(10)을 제1 방향으로 연속되게 선형 이동시킨다. 피측정 기판(10)이 X-Y 평면 상에서 이동하게 된 경우, 제1 방향은 X축 방향 또는 Y축 방향에 해당할 수 있다. 이하에서는, 제1 방향은 X축 방향인 것으로 예시하기로 한다.
제1 속도 프로파일(VP_1)은 최고 속도(V1)과 최저 속도(V2)가 일정 구간(VP_1a, VP_1b)씩 주기적으로 반복되는 형태로 이루어진다. 최저 속도 구간(VP_1b)의 시간은 피측정 기판(10)의 피측정 영역(11)에서 에어리어 카메라(110)에 의한 측정 시간과 동일하게 설정될 수 있다.
최고 속도 구간(VP_1a)의 시간은 최고 속도(V1)의 크기와 함께 피측정 기판(10)의 피측정 영역(11)들 간의 제1 방향 피치(P1)와 관계된다. 이에 대해서는 후술하기로 한다. 제1 속도 프로파일(VP_1)은 사다리꼴 펄스 형태로 이루어질 수 있다. 이 경우, 피측정 기판(10)의 선형 이동시 가감속이 부드럽게 이루어질 수 있다.
제2 스테이지 기구(130)는 피측정 기판(10)이 제1 스테이지 기구(120)에 의해 이동할 때, 제2 속도 프로파일(VP_2)로 제1 스테이지 기구(120)를 제1 방향으로 선형 이동시킨다. 제2 속도 프로파일(VP_2)은 제1 속도 프로파일(VP_1)의 최저 속도(V2)와 크기가 동일하고 방향이 반대인 속도(-V2)로 일정하게 유지되는 형태로 이루어진다.
이와 같이, 피측정 기판(10)이 제1 스테이지 기구(120)에 의해 제1 속도 프로파일(VP_1)로 제1 방향을 따라 선형 이동할 때, 제1 스테이지 기구(120)가 제2 속도 프로파일(VP_2)로 제2 스테이지 기구(130)에 의해 제1 방향을 따라 선형 이동하게 되면, 피측정 기판(10)은 제1 속도 프로파일(VP_1)과 제2 속도 프로파일(VP_2)을 합한 최종 속도 프로파일(VP_F1)로 제1 방향을 따라 에어리어 카메라(110)에 대해 선형 이동하게 된다.
최종 속도 프로파일(VP_F1)은 제1 속도 프로파일(VP_1)의 최고 속도 구간(VP_1a)과 대응되는 제1 속도 구간(VP_F1a)에서 V1과 -V2가 합해진 속도(V3)가 되며, 제1 속도 프로파일(VP_1)의 최저 속도 구간(VP_1b)과 대응되는 제2 속도 구간(VP_F1b)에서 V2와 -V2가 합해져 영(zero)이 된다. 피측정 기판(10)은 제1 속도 구간(VP_F1a)마다 에어리어 카메라(110)에 대해 제1 방향으로 V3의 속도로 선형 이동하며, 제2 속도 구간(VP_F1b)마다 에어리어 카메라(110)에 대해 정지해 있는 상태가 된다.
최고 속도 구간(VP_1a)의 시간, 즉 제1 속도 구간(VP_F1a)의 시간에 제1 속도 구간(VP_F1a)의 속도 크기를 곱하면, 피측정 기판(10)의 이동 거리가 산출된다. 따라서, 피측정 기판(10)의 피측정 영역(11)들 간의 제1 방향 피치(P1)에 맞게 제1 속도 구간(VP_F1a)의 시간과 속도가 설정되면, 피측정 기판(10)의 피측정 영역(11)들이 에어리어 카메라(110)의 촬상 부위(111)에 순차적으로 대응될 수 있다.
피측정 기판(10)이 제2 속도 구간(VP_F1b)마다 정지해 있을 때, 에어리어 카메라(110)는 피측정 기판(10)의 피측정 영역(11)들을 각각 촬상하게 된다. 이때, 제1 스테이지 기구(120)는 제1 속도 프로파일(VP_1)로 피측정 기판(10)을 연속되게 선형 이동시키도록 구동되므로, 출발과 정지를 반복하면서 피측정 기판(10)을 선형 이동시키도록 구동되는 것보다 구동 부하 및 잔류 진동을 최소화할 수 있다.
따라서, 에어리어 카메라(110)의 촬상시, 피측정 기판(10)의 안정화가 신속하게 이루어질 수 있으므로, 피측정 기판(10)의 피측정 영역(11)을 고속으로 측정할 수 있고, 모션 지터(motion jitter)를 최소화할 수 있다. 또한, 에어리어 카메라(110)의 노출 시간이 길게 확보될 수 있으므로, 낮은 조도의 조명으로도 고감도 이미지를 획득할 수 있다. 게다가, 제1 속도 구간(VP_F1a)의 속도를 높여 제1 속도 구간(VP_F1a)의 시간을 단축시킬 수 있으므로, 피측정 기판(10)의 이동 시간을 줄일 수 있다. 그 결과, 피측정 기판(10)의 피촬상 부위 전체를 측정하는데 소요되는 시간을 최소화할 수 있다.
이와 같이, 에어리어 카메라(110)부터 촬상된 이미지는 이미지 처리수단으로 제공될 수 있으며, 이미지 처리수단은 획득된 이미지 정보로부터 피측정 기판(10)의 회로패턴의 선폭, 패턴 간격 등을 측정해서 회로패턴의 불량 유무를 판단할 수 있다.
한편, 제1 스테이지 기구(120)는 제1 스테이지(121), 및 제1 리니어 액추에이터(122)를 포함할 수 있다. 제1 스테이지(121)는 상면에 피측정 기판(10)을 지지하도록 형성된다. 제1 스테이지(121)는 후술되는 제2 스테이지(131) 상에 리니어 가이드(131a)의 안내를 받아서 제1 방향으로 선형 이동할 수 있다.
제1 리니어 액추에이터(122)는 제1 스테이지(121)를 제1 방향으로 선형 이동시킴으로써, 제1 스테이지(121) 상의 피측정 기판(10)을 제1 방향으로 선형 이동시킬 수 있게 한다. 제1 리니어 액추에이터(122)는 제2 스테이지(131) 상에 고정될 수 있다. 제1 리니어 액추에이터(122)는 리니어 모터를 포함할 수 있다. 다른 예로, 제1 리니어 액추에이터(122)는 제1 스테이지(121)에 나사 결합되는 볼 스크류, 및 볼 스크류를 회전시키는 회전 모터를 포함하여 구성될 수 있다.
제2 스테이지 기구(130)는 제2 스테이지(131), 및 제2 리니어 액추에이터(132)를 포함할 수 있다. 제2 스테이지(131)는 상면에 제1 스테이지 기구(120)를 지지하도록 형성된다. 제2 스테이지(131)는 베이스(133) 상에 리니어 가이드(133a)의 안내를 받아서 제1 방향으로 선형 이동할 수 있다.
제2 리니어 액추에이터(132)는 제2 스테이지(131)를 제1 방향으로 선형 이동시킴으로써, 제1 스테이지 기구(120)를 제1 방향으로 선형 이동시킬 수 있게 한다. 그 결과, 제2 리니어 액추에이터(132)는 제1 스테이지(121) 상의 피측정 기판(10)을 제1 방향으로 선형 이동시킬 수 있게 한다. 제2 리니어 액추에이터(132)는 베이스(133) 상에 고정될 수 있다. 제2 리니어 액추에이터(132)는 제1 리니어 액추에이터(122)와 동일하게 구성될 수 있다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 고속 이미지 측정장치에 대한 사시도이다. 도 6은 제3,4 속도 프로파일 및 제3,4 속도 프로파일을 합한 최종 속도 프로파일을 나타낸 그래프이다. 도 7는 도 6에 있어서, 시간에 따른 거리를 나타낸 그래프이다.
도 5 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 고속 이미지 측정장치(200)는 전술한 실시예의 에어리어 카메라(110)와, 제1 스테이지 기구(120), 및 제2 스테이지 기구(130)와 함께, 제3 스테이지 기구(240) 및 제4 스테이지 기구(250)를 포함한다.
제3 스테이지 기구(240)는 제3 속도 프로파일(VP_3)로 제2 스테이지 기구(130)를 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 연속되게 선형 이동시킨다. 여기서, 제1 방향이 X축 방향에 해당한다면, 제2 방향은 Y축 방향에 해당할 수 있다. 예컨대, 도 2에 도시된 바와 같이, 피측정 기판(10)의 제1 방향에 따른 1열의 피측정 영역들에 대한 측정이 끝나면, 제3 스테이지 기구(240)는 옆 열의 피측정 영역(11)들에 대한 측정을 위해 제2 스테이지 기구(130)를 제2 방향으로 선형 이동시킬 수 있다.
제3 속도 프로파일(VP_3)은 최고 속도(V4)와 최저 속도(V5)가 1구간(VP_3a, VP_3b)씩 설정된 형태로 이루어진다. 최저 속도 구간(VP_3b)의 시간은 피측정 기판(10)의 피측정 영역(11)에서 에어리어 카메라(110)에 의한 측정 시간과 동일하게 설정될 수 있다. 최고 속도 구간(VP_3b)의 시간은 최고 속도(V5)의 크기와 함께 피측정 기판(10)의 피측정 영역(11)들 간의 제2 방향 피치(P2)와 관계된다. 이에 대해서는 후술하기로 한다. 제3 속도 프로파일(VP_3)은 사다리꼴 펄스 형태로 이루어질 수 있다. 이 경우, 제2 스테이지 기구(130)의 선형 이동시 가감속이 부드럽게 이루어질 수 있다.
제4 스테이지 기구(250)는 제2 스테이지 기구(130)가 제3 스테이지 기구(240)에 의해 이동할 때, 제4 속도 프로파일(VP_4)로 제3 스테이지 기구(240)를 제2 방향으로 선형 이동시킨다. 제4 속도 프로파일(VP_4)은 제3 속도 프로파일(VP_3)의 최저 속도(V5)와 크기가 동일하고 방향이 반대인 속도(-V5)로 일정하게 유지되는 형태로 이루어진다.
이와 같이, 피측정 기판(10)이 제3 스테이지 기구(240)에 의해 제3 속도 프로파일(VP_3)로 제2 방향을 따라 선형 이동할 때, 제3 스테이지 기구(240)가 제4 속도 프로파일(VP_4)로 제4 스테이지 기구(250)에 의해 제2 방향을 따라 선형 이동하게 되면, 피측정 기판(10)은 제3 속도 프로파일(VP_3)과 제4 속도 프로파일(VP_4)을 합한 최종 속도 프로파일(VP_F2)로 제2 방향을 따라 에어리어 카메라(110)에 대해 선형 이동하게 된다.
최종 속도 프로파일(VP_F2)은 제3 속도 프로파일(VP_3)의 최고 속도 구간(VP_3a)과 대응되는 제1 속도 구간(VP_F2a)에서 V4과 -V5가 합해진 속도(V6)가 되며, 제3 속도 프로파일(VP_3)의 최저 속도 구간(VP_3b)과 대응되는 제2 속도 구간(VP_F2b)에서 V5와 -V5가 합해져 영(zero)이 된다. 피측정 기판(10)은 제1 속도 구간(VP_F2a)에서 에어리어 카메라(110)에 대해 제2 방향으로 V6의 속도로 선형 이동하며, 제2 속도 구간(VP_F2b)에서 에어리어 카메라(110)에 대해 정지해 있는 상태가 된다.
피측정 기판(10)의 피측정 영역(11)들 간의 제2 방향 피치(P2)에 맞게 제1 속도 구간(VP_F2a)의 시간과 속도가 설정되면, 피측정 기판(10)의 피측정 영역(11)이 에어리어 카메라(110)의 촬상 부위(111)에 대응될 수 있다.
피측정 기판(10)이 제2 속도 구간(VP_F2b)에서 정지해 있을 때, 에어리어 카메라(110)는 피측정 기판(10)의 피측정 영역(11)을 촬상하게 된다. 이때, 제3 스테이지 기구(240)는 제3 속도 프로파일(VP_3)로 피측정 기판(10)을 연속되게 선형 이동시키도록 구동되므로, 출발과 정지를 반복하면서 피측정 기판(10)을 선형 이동시키도록 구동되는 것보다 구동 부하 및 잔류 진동을 최소화할 수 있다. 그에 따른 효과는 제1 실시예에서 설명한 바와 같다.
한편, 제3 스테이지 기구(240)는 제3 스테이지(241), 및 제3 리니어 액추에이터(242)를 포함할 수 있다. 제3 스테이지(241)는 상면에 제2 스테이지 기구(130)를 지지하도록 형성된다. 베이스(133)는 제3 스테이지(241) 상에 리니어 가이드(241a)의 안내를 받아서 제2 방향으로 선형 이동할 수 있다.
제3 리니어 액추에이터(242)는 베이스(133)를 제2 방향으로 선형 이동시킴으로써, 제2 스테이지 기구(130)를 제2 방향으로 선형 이동시킬 수 있게 한다. 그 결과, 제3 리니어 액추에이터(242)는 제1 스테이지(121) 상의 피측정 기판(10)을 제2 방향으로 선형 이동시킬 수 있게 한다. 제3 리니어 액추에이터(242)는 제3 스테이지(241) 상에 고정될 수 있다. 제3 리니어 액추에이터(242)는 제1 리니어 액추에이터(122)와 동일하게 구성될 수 있다.
제4 스테이지 기구(250)는 제4 스테이지(251), 및 제4 리니어 액추에이터(252)를 포함할 수 있다. 제4 스테이지(251)는 상면에 제3 스테이지 기구(240)를 지지하도록 형성된다. 제3 스테이지(241)는 제4 스테이지(251) 상에 리니어 가이드(251a)의 안내를 받아서 제2 방향으로 선형 이동할 수 있다.
제4 리니어 액추에이터(252)는 제3 스테이지(241)를 제2 방향으로 선형 이동시킴으로써, 제3 스테이지 기구(240)를 제2 방향으로 선형 이동시킬 수 있게 한다. 그 결과, 제4 리니어 액추에이터(252)는 제1 스테이지(121) 상의 피측정 기판(10)을 제2 방향으로 선형 이동시킬 수 있게 한다. 제4 리니어 액추에이터(252)는 제4 스테이지(241) 상에 고정될 수 있다. 제4 리니어 액추에이터(252)는 제1 리니어 액추에이터(122)와 동일하게 구성될 수 있다. 한편, 에어리어 카메라(110)와, 제1,2,3,4 스테이지 기구(120, 130, 240, 250)는 고속 이미지 측정장치(100, 200)를 전반적으로 제어하는 제어기에 의해 제어될 수 있다.
본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.
10..피측정 기판
110..에어리어 카메라
120..제1 스테이지 기구
130..제2 스테이지 기구
240..제3 스테이지 기구
250..제4 스테이지 기구
VP_1..제1 속도 프로파일
VP_2..제2 속도 프로파일
VP_3..제3 속도 프로파일
VP_4..제4 속도 프로파일
VP_F1, VP_F2..최종 속도 프로파일

Claims (3)

  1. 촬상 부위가 피측정 기판의 피촬상 부위를 향한 상태로 위치 고정되는 에어리어 카메라;
    상기 피측정 기판을 지지하며, 최고 속도(V1)와 최저 속도(V2)가 일정 구간씩 주기적으로 반복되는 형태의 제1 속도 프로파일로 상기 피측정 기판을 제1 방향으로 연속되게 선형 이동시키는 제1 스테이지 기구; 및
    상기 피측정 기판이 상기 제1 방향으로 이동할 때, 상기 제1 속도 프로파일의 최저 속도(V2)와 크기가 동일하고 방향이 반대인 속도(-V2)로 일정하게 유지되는 형태의 제2 속도 프로파일로 상기 제1 스테이지 기구를 상기 제1 방향으로 선형 이동시켜, 상기 피측정 기판이 제1 속도 프로파일의 최고 속도 구간과 대응되는 속도 구간마다 V1과 -V2가 합해진 V3 속도로 선형 이동하게 함과 아울러, 제1 속도 프로파일의 최저 속도 구간과 대응되는 속도 구간마다 상기 에어리어 카메라에 대해 정지해 있는 상태가 되게 하는 제2 스테이지 기구;
    최고 속도(V4)와 최저 속도(V5)가 1구간씩 설정된 형태의 제3 속도 프로파일로 상기 제2 스테이지 기구를 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 연속되게 선형 이동시키는 제3 스테이지 기구; 및
    상기 제2 스테이지 기구가 상기 제3 스테이지 기구에 의해 상기 제2 방향으로 이동할 때, 상기 제3 속도 프로파일의 최저 속도(V5)와 크기가 동일하고 방향이 반대인 속도(-V5)로 일정하게 유지되는 형태의 제4 속도 프로파일로 상기 제3 스테이지 기구를 상기 제2 방향으로 선형 이동시켜, 상기 피측정 기판이 제3 속도 프로파일의 최고 속도 구간과 대응되는 속도 구간마다 V4과 -V5가 합해진 V6 속도로 선형 이동하게 함과 아울러, 제3 속도 프로파일의 최저 속도 구간과 대응되는 속도 구간마다 상기 에어리어 카메라에 대해 정지해 있는 상태가 되게 하는 제4 스테이지 기구;를 포함하며,
    상기 제1,3 속도 프로파일의 최저 속도 구간의 시간은 상기 피측정 기판의 피측정 영역에서 상기 에어리어 카메라에 의한 측정 시간과 동일하게 설정된 것을 특징으로 하는 고속 이미지 측정장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1,3 속도 프로파일은 사다리꼴 펄스 형태로 이루어진 것을 특징으로 하는 고속 이미지 측정장치.
  3. 삭제
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KR102329518B1 (ko) 2020-06-24 2021-11-23 주식회사 크레셈 에어리어 스캔 카메라를 이용하여 대면적 기판 고속 검사를 위한 리니어 멀티영상 취득 방법

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