JP2004037427A - プローバのアライメント装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】探針対物レンズによるプローブ針先の画像観察を極めて正確に行うこと。
【解決手段】共焦点ディスク30を探針対物レンズ6より結像されるプローブ針の針先10の像の位置、すなわちプローブ針8の針先10と共焦点ディスク30とを探針対物レンズ6を介して共役な位置に配置し、プローブ針8の針先10からの反射光を探針対物レンズ6により結像し、共焦点ディスク30の開口を通過させて、そのセクショニング像をCCD12の受光面に結像する。
【選択図】 図1
【解決手段】共焦点ディスク30を探針対物レンズ6より結像されるプローブ針の針先10の像の位置、すなわちプローブ針8の針先10と共焦点ディスク30とを探針対物レンズ6を介して共役な位置に配置し、プローブ針8の針先10からの反射光を探針対物レンズ6により結像し、共焦点ディスク30の開口を通過させて、そのセクショニング像をCCD12の受光面に結像する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、半導体ウエハに形成されたLSIチップ等の集積回路内の任意位置に形成された端子の電気的動作テストを行うプローブ装置に係わり、プローブ針とLSIチップ上のボンディングパットとの位置合わせを行うプローバのアライメント装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図4はプローバのアライメント装置の構成図である。照明光源として照明ファイババンドル1が設けられている。この照明光源は、照明ファイババンドル1に限らず、例えばハロゲン電球、発光ダイオードを用いてもよい。
【0003】
この照明ファイババンドル1から出射される照明光束2の光路上には、照明コンデンサレンズ3、偏光ビームスプリッタ4、λ/4板5及び探針対物レンズ6が配置されている。
【0004】
従って、照明ファイババンドル1から出射された照明光束2は、照明コンデンサレンズ3により集光され、偏光ビームスプリッタ4及びλ/4板5を透過し、さらに探針対物レンズ6により集光されてプローブカード8a上のプローブ針8を照明する。この場合、照明コンデンサレンズ3は、照明ファイババンドル1の端面を探針対物レンズ6の後ろ焦点面に結像させ、プローブ針8に対してケーラ照明を形成する。
【0005】
プローブ針8は、図5に示すようにシャフト9及びこのシャフト9の先端側に形成された針先10から構成され、図6に示すようにプローブカード8aの下面に設けられている。
【0006】
照明光束2が照射されたときのプローブ針8の針先10からの像は、探針対物レンズ6によりその焦点面に結像され、再びλ/4板5を透過して偏光ビームスプリッタ4に入射し、この偏光ビームスプリッタ4で反射して、当該偏光ビームスプリッタ4の反射光路上に配置された結像レンズ11によりCCD12の撮像面上に結像される。
【0007】
このCCD12は、入射したプローブ針8の針先10からの像を光電変換し、その画像信号を出力する。この画像信号は、図示しない画像処理装置によって画像処理され、例えばモニタ装置にプローブ針8の画像として表示される。
【0008】
このようなプローバのアライメント装置では、プローブ針8と半導体ウエハ7上のボンディングパットとの位置合わせを行う必要がある。次にかかる位置合わせ方法について説明する。
【0009】
先ず、図6に示すようにウエハ角度アライメントの粗調整段階が行われる。この段階では、半導体ウエハ7を載置するXYZθステージ13は、所定の高さまで下降される。
【0010】
プローブカード8aとXYZθステージ13との間には、ブリッジ16と呼ばれる測定光学系が設けられている。このブリッジ16には、低倍対物レンズ14及び高倍対物レンズ15が組み込まれている。このブリッジ16は、所定の退避場所に待機しており、XYZθステージ13の下降で生じた空間に退避場所から半導体ウエハ7の真上付近にスライド移動される。
【0011】
この状態で、最初に低倍対物レンズ14によるラフアライメントが行われる。このラフアライメントでは、XYZθステージ13が移動し、低倍対物レンズ14により半導体ウエハ7の両端近くがそれぞれ観察できるように半導体ウエハ7の位置を移動させる。
【0012】
この半導体ウエハ7の移動により低倍対物レンズ14は、図7に示すように半導体ウエハ7の両端近くで得られる各低倍対物撮像範囲17、18においてそれぞれ各像を交互に得る。そして、これら低倍対物撮像範囲17、18の各像は、CCD12により撮像される。なお、図7において半導体ウエハ7面上には、複数のダイ(チップ)19が形成されると共に、エッジ部分の1箇所にノッチ20が形成されている。
【0013】
各低倍対物撮像範囲17、18の各像を撮像して取得された各画像データは、画像処理装置により重ね合わされてモニタ装置に表示される。図8はかかるモニタ表示の一例を示す図であって、一方の低倍対物撮像範囲17で撮像されたダイ19a(実線)と他方の低倍対物撮像範囲18で撮像されたダイ19b(破線)とがずれて観察されている。換言すれば、半導体ウエハ7面上の両端側においてストリート21と呼ばれるダイ19の間隔が異なる位置に観察されている。
【0014】
このようなずれが生じたとき、XYZθステージ13は、当該ずれ量とXYZθステージ13の走行距離とに基づいてずれを無くすようにθステージを動作させて半導体ウエハ7を姿勢制御する。
【0015】
次に、低倍対物レンズ14が高倍対物レンズ15に切り替えられる。この高倍対物レンズ15により半導体ウエハ7のダイ19の観察が行われる。図9は1つのダイ19の構成図であって、ダイ19の周辺には複数のボンディングパッド22が形成されるとともに、ダイ中心部には例えば円形のアライメントマーク23が形成されている。このアライメントマーク23は、ダイ中心部で円形に形成されているが、その形成位置や形状(例えば十字形状)は各種ある。
【0016】
ダイ19の観察では、XYZθステージ13が移動動作し、半導体ウエハ7の両端近くのダイが設計寸法上、高倍対物レンズ15に対して正確に同一位置に来るように半導体ウエハ7の位置を移動させる。そして、高倍対物レンズ15によりそれぞれ半導体ウエハ7の両端近くの各ダイ19の各像を得て、これらダイ19の各像をCCD12により交互に撮像する。
【0017】
これら撮像により取得された各画像データは、画像処理装置により重ね合わされてモニタ装置に表示される。図10はかかるモニタ表示の一例を示す図であって、半導体ウエハ7の両端側でそれぞれ撮像された各アライメントマーク23a(実線)、23b(破線)がずれて観察される。
【0018】
このようにずれがあれば、XYZθステージ13は、かかるずれを無くすようにθステージを動作させて半導体ウエハ7を姿勢制御し、これによりファインアライメントが終了する。
【0019】
次に、プローブ針8とボンディングパッド22との位置合わせ方法について図11を参照して説明する。同図は図6を右側から見た図である。先ず、ブリッジ16がXYZθステージ13とプローブカード8aの間から外部に向って矢印イ方向に退避される。次に、XYZθステージ13が所定の高さまで矢印ロ方向に上昇される。
【0020】
次に、プローブカード8aには、検査に必要なボンディングパッド22の数と、これらボンディングパッド22の各位置に対応して各プローブ針8が配置されており、これらプローブ針8の中から1個又は必要に応じた個数のプローブ針8の針先の画像が探針対物レンズ6によって観察できる位置まで、XYZθステージ13が矢印ハ方向にXY移動される。そして、プローブ針8の針先は、XYZθステージ13の移動によってXY位置が制御され、モニタ画面上の所定位置に表示され、画像認識により針先10のXY座標と、設計寸法上既知であるボンディングパッド22の相対座標が記憶される。
【0021】
以上のアライメント走査が所定の精度で行われることによって、XYZθステージ13の走査精度、停止精度と相俟って、半導体ウエハ7上の全てのダイ19に対してステップアンドリピートにより高速なプロービングテストが可能になる。
【0022】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、プローブ針8は、図5に示すようにシャフト9及び針先10が一体的に形成されているので、探針対物レンズ6により結像されるプローブ針8の観察画像は、針先10の画像(針先端像24)がモニタ表示されることは勿論のこと、図12に示すように探針対物レンズ6の開口数N.A.、プローブ針8のシャフト9及び針先10の高低差によってシャフト9の非合焦像(シャフトボケ像25)も同一モニタ画面内に見えることがある。
【0023】
近年、LSIチップ等の集積度は、半導体技術の進歩と共に高密度化し、さらにその密度が高くなっている。このような状況下にあって、LSIチップ等の集積度の高密度化に応じてプローブ針8の数が多くなり、かつその配置が重畳化し、複雑化すると、図13に示すように複数のプローブ針8のうちいくつかのプローブ針8においてシャフト9の傾きが小さくなる。このような現象は、上記の如くプローブ針8の数が多くなり、かつその配置が重畳化し、複雑化するに従って非常に起こりやすくなる。
【0024】
このようにプローブ針8のシャフト9の傾きが小さくなると、シャフト9のシャフトボケ像25が見え易くなり、肝心の注目物であるプローブ針8の針先10の観察画像を認識することが困難になる。
【0025】
このため、XYZθステージ13のXY位置制御によるボンディングパッド22とプローブ針8の針先の位置一致精度が劣化し、無視できない程大きくなる。
【0026】
そこで本発明は、探針対物レンズによるプローブ針先の画像観察が極めて正確にできるプローバのアライメント装置を提供することを目的とする。
【0027】
【課題を解決するための手段】
本発明は、プローブ針と、このプローブ針の先端部からの像を結像する対物レンズと、この対物レンズを介してプローブ針の先端部と共役な位置に配置され、少なくとも1つの開口が形成された開口手段と、対物レンズにより結像され、開口手段を通過したセクショニング像を表示する表示手段とを具備したことを特徴とするプローバのアライメント装置である。
【0028】
本発明におけるプローバのアライメント装置のプローブ針は、半導体ウエハに形成された集積回路内の任意位置に形成された端子の電気的動作テストを行うプローブ装置に備えられている。
【0029】
本発明におけるプローバのアライメント装置の開口手段は、少なくとも1つの開口が形成されたディスクである。
【0030】
本発明におけるプローバのアライメント装置のディスクは、開口が形成された開口領域と、光透過率の高い透明領域とを有する。
【0031】
本発明におけるプローバのアライメント装置の開口領域と透明領域とは、互いに同心円状に形成され、いずれか一方が対物レンズの結像光路に挿入可能である。
【0032】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図4と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【0033】
図1はプローバのアライメント装置の構成図である。探針対物レンズ6とλ/4板5との間には、共焦点ディスク30が設けられている。この共焦点ディスク30は、探針対物レンズ6より結像されるプローブ針の針先10の像の位置に配置されている。従って、プローブ針8の針先10と共焦点ディスク30とは、探針対物レンズ6を介して共役な位置に配置されている。換言すれば、探針対物レンズ6に対して共焦点ディスク30の面とプローブ針8の針先10とは、物点と像点との関係にある。
【0034】
共焦点ディスク30は、一般にエアリーディスクよりも十分に小さく設計された開口、例えば円形又はスリット状などの開口が複数形成されている。図2は共焦点ディスク30の構成図である。この共焦点ディスク30は、例えば円形又はスリット状などの開口が複数形成されたパターン領域(開口領域)31と、光透過率の高い透明部(透明領域)32とが形成されている。
【0035】
これらパターン領域31と透明部32とは、互いに同心円状に形成されている。ここではパターン領域31が中心に設けられた回転軸33側の外周側に形成され、かつ透明部32がパターン領域31の外周側に形成されている。なお、パターン領域31と透明部32とは、パターン領域31が外周側で、透明部32が内周側に形成してもよい。
【0036】
このうちパターン領域31には、例えば円形又はスリット状などの開口が複数形成されている。十分な共焦点効果を得るために開口の大きさは、一般にエアリーディスクよりも十分に小さく、エアリーディスクの2分の1以下に形成されるのがよい。本発明装置では、プローブ針8におけるシャフト10のシャフトボケ像25(図12)を無くすことに限れば、より大きな開口を形成しても差し支えない。
【0037】
共焦点ディスク30は、回転軸33が照明光束2の光路よりずれた位置に設けられている。これにより、共焦点ディスク30における回転軸33と外周縁との間に照明光束2が照射される。
【0038】
又、共焦点ディスク30の回転軸33には、駆動部34が連結されている。この駆動部34は、共焦点ディスク30を所定の回転数で回転させる。
【0039】
一方、照明コンデンサレンズ3は、照明ファイババンドル1から出射された照明光束2を平行光に整形し、偏光ビームスプリッタ4、λ/4板5を透過させて共焦点ディスク30をケーラ照明する。
【0040】
結像レンズ11は、共焦点ディスク30を物体面とし、CCD12の受光面を像面とする位置に設けられている。
【0041】
次に、上記の如く構成された装置の作用について説明する。
【0042】
照明ファイババンドル1から照明光束2が出射されると、この照明光束2は、照明コンデンサレンズ3により平行光に整形され、偏光ビームスプリッタ4、λ/4板5を透過して所定の回転数で回転している共焦点ディスク30をケーラ照明する。
【0043】
この共焦点ディスク30の開口を通過した照明光束2は、探針対物レンズ6によって物点であるプローブ針8の針先10に照明される。
【0044】
このとき、探針対物レンズ6に対して共焦点ディスク30の面とプローブ針8の針先10とは、物点と像点との関係にあるので、プローブ針8もケーラ照明される。
【0045】
又、共焦点ディスク30の開口は、エアリーディスクよりも十分に小さいサイズに形成されているので、共焦点ディスク30がどのように照明されてもプローブ針8の針先10(物体面)は、殆どクリティカル照明になる。
【0046】
プローブ針8の針先10からの反射光は、探針対物レンズ6により結像され、この結像点に配置された共焦点ディスク30の開口を再び通過し、λ/4板5を透過し、偏光ビームスプリッタ4で反射され、結像レンズ11によりCCD12の受光面に結像される。このCCD12の受光面には、共焦点ディスク30の開口を通過することによるセクショニング像が結像される。
【0047】
ところで、共焦点ディスク30によるセクショニング効果は、照明光束2がエアリーディスクよりも小さな開口サイズである共焦点ディスク30の開口を通過した点光源として物体面に照射され、この物体面からの反射光が再び共焦点ディスク30の開口を通過しなければCCD12の受光面で受光されない。
【0048】
従って、物体面が探針対物レンズ6の合焦位置から少しでもずれると、共焦点ディスク30の開口を通過する物体面からの反射光の光量は急激に減少する。これにより、探針対物レンズ6の合焦位置からずれたプローブ針8の1点からの像が探針対物レンズ6によって結像されても、この像は共焦点ディスク30上でボケた点像となり、この点像の共焦点ディスク30の開口を通過する光量は急激に減少し、殆ど遮光される。
【0049】
この結果、針先10に焦点が合っていれば、CCD12の受光面には、プローブ針8の針先10からの像が入射し、シャフト9からの非合焦像は殆ど入射しない。このCCD12は、入射したプローブ針8の針先10からの像を光電変換し、その画像信号を出力する。この画像信号は、図示しない画像処理装置によって画像処理され、例えばモニタ装置にプローブ針8の針先10の画像として表示される。すなわち、上記図12に示すようにモニタ装置には、針先端像24のみがモニタ表示され、シャフト9の非合焦像(シャフトボケ像25)が同一モニタ画面内に表示されることはない。
【0050】
このように本発明のアライメント装置を用いたプローバであれば、プローブ針8の針先10に探針対物レンズ6の焦点が合っている場合のみに、プローブ針8のシャフト9の非合焦像(シャフトボケ像25)を表示することなく、プローブ針8の針先10の画像(針先端像24)のみを明瞭に認識することができ、従来のアライメント装置よりも簡単な画像認識処理で、しかも高精度にプローブ針8とLSIチップ等の半導体ウエハ7上のボンディングパット22との位置合わせができる。
【0051】
なお、本発明のアライメント装置では、先ず、プローブ針8の針先10に対して探針対物レンズ6の焦点を合せるとき、図2に示すように例えば共焦点ディスク30を矢印ニ方向に移動させて、照明光束2が共焦点ディスク30の透明部32を透過するようにする。図2では照明光束2の照射部分35を示す。このとき、照明ファイババンドル1から出射される照明光束2の光量を低減する。そして、例えばXYZθステージ13を上下移動させてプローブ針8の針先10を探す。
【0052】
次に、プローブ針8の針先10の位置測定を行うときは、例えば共焦点ディスク30を矢印ニ方向に移動させて元の位置に戻し、照明光束2が共焦点ディスク30のパターン領域31を透過するようにする。図2では観察視野36として示す。このとき、照明ファイババンドル1から出射される照明光束2の光量を増加する。観察視野36は、観察に必要な部分が満たされている。
【0053】
なお、探針対物レンズ6の焦点を合せるときと位置測定を行うときとで照明光束2の光量を変化させるのは、パターン領域31を透過する光量が透明部32を透過する光量よりも少なく、パターン領域31を透過して得る画像が透明部32を透過して得る画像よりも暗くなるからである。
【0054】
このように上記一実施の形態においては、共焦点ディスク30を探針対物レンズ6より結像されるプローブ針の針先10の像の位置、すなわちプローブ針8の針先10と共焦点ディスク30とを探針対物レンズ6を介して共役な位置に配置し、プローブ針8の針先10からの反射光を探針対物レンズ6により結像し、共焦点ディスク30の開口を通過させて、そのセクショニング像をCCD12の受光面に結像するので、共焦点ディスク30を用いたことによるセクショニング効果によりプローブ針8の針先10からの像のみがCCD12の受光面に入射し、シャフト9からの非合焦像が入射することはなくなる。これにより、モニタ装置には、針先端像24のみがモニタ表示でき、シャフト9の非合焦像(シャフトボケ像25)は同一モニタ画面内に表示されない。
【0055】
従って、本発明のアライメント装置を用いたプローバであれば、プローブ針8の針先10の画像(針先端像24)のみを明瞭に認識することができ、従来のアライメント装置よりも簡単な画像認識処理で、しかも高精度にプローブ針8とLSIチップ等の半導体ウエハ7上のボンディングパット22との位置合わせができる。
【0056】
近年、LSIチップ等の集積度は、半導体技術の進歩と共に高密度化し、さらにその密度が高くなっている状況下では、LSIチップ等の集積度の高密度化に応じてプローブ針8の数が多くなり、かつその配置が重畳化し、複雑化すると、図13に示すように複数のプローブ針8のうちいくつかのプローブ針8においてシャフト9の傾きが小さくなる。このような現象は、上記の如くプローブ針8の数が多くなり、かつその配置が重畳化し、複雑化するに従って非常に起こりやすくなる。このために、従来はシャフト9の非合焦像(シャフトボケ像25)を表示することがあったが、本発明装置では、シャフト9の非合焦像を表示することがない。
【0057】
又、共焦点ディスク30の開口は、エアリーディスクよりも十分に小さいサイズに形成されているので、共焦点ディスク30がどのように照明されてもプローブ針8の針先10の照明は、クリティカル照明に近い照明となるので、厳密なケーラ照明を得る努力は軽減される。
【0058】
又、共焦点ディスク30にはパターン領域31と透明部32とが形成されているので、プローブ針8の針先10に対して探針対物レンズ6の焦点を合せる場合に透明部32に照明光束2を透過させ、かつ針先10の位置測定を行う場合にパターン領域31に照明光束2を透過させることにより、共焦点ディスク30を観察光路から完全に退避させることがなくなり、両場合において共焦点ディスク30を形成するガラス基板の厚さによる光路長を変化させることがない。
【0059】
共焦点ディスク30は、プローブ針8におけるシャフト9のシャフトボケ像25を無くすことに限れば、前述のように、共焦点効果を限界まで引き出す必要はないので、エアリーディスクの2分の1より大きな開口を形成しても差し支えなく、場合によっては全面開口部のディスクでも、焦点合わせ可能な焦点深度になり得、かつシャフトボケ像25を無くすことができる。この場合には、上記一実施の形態で説明したようなディスクの出し入れ操作が不要になり、メカニカル的にもシークェンス的にも極めて簡単になる。
【0060】
なお、本発明は、上記一実施の形態に限定されるものでなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。
【0061】
さらに、上記実施形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【0062】
例えば、共焦点ディスク30は、パターン部に形成される開口は少なくとも1つあればよい。
【0063】
又、共焦点ディスク30は、図3に示すようなパターン部37及び透明部32からなる構成でもよい。このパターン部37は、複数のスリットが形成された第1のパターン部37aと、このパターン部37aに形成された各スリットの形成方向と垂直方向に複数のスリットが形成された2つの第2のパターン部37b、37cとからなる。第1のパターン部37aは、回転軸33を含む共焦点ディスク30の直径方向に形成され、各第2のパターン部37b、37cは第1のパターン部37aを挟むように形成されている。
【0064】
又、共焦点ディスク30は、例えば特願2001−566073の図2に示すように複数のピンホールを螺旋状に配置したNipkow回転ディスクや、図3Aに示すように直線状に形成された透光部と遮光部とが交互に並んだ直線パータン部と、光が透過する全透光部と、これら直線パータン部と全透光部との間に形成された遮光部とを形成した回転ディスクでもよい。
【0065】
さらに、共焦点ディスク30は、特願2001−566073の図5Aに示すように光を透過する直線状に形成された透光部と、光を遮蔽する直線状に形成された遮光部とのそれぞれのパターンを交互に配置した回転ディスクでもよく、図7に示すように光を透過する直線状に形成された透光部と、光を遮蔽する直線状に形成された遮光部とのそれぞれのパターンを交互に配置し、かつこれらパターンに対して垂直の方向に沿って扇状の各遮光領域を形成した回転ディスクでもよい。
【0066】
又、共焦点ディスク30は、特願2001−566073の図8に示すように円周方向に3分割された扇状の各領域に、それぞれ直線状の透光部と直線状の遮光部とのパターンを交互に配置した回転ディスクでもよく、さらに、図13Aに示すように半径方向に同心円状の3つの領域を形成し、これら領域にそれぞれ直線状の透光部と直線状の遮光部とのパターンを交互に配置した回転ディスクでもよい。
【0067】
さらに、共焦点ディスク30は、特願2001−566073の図2、図3A、図5A、図7、図8、図13Aに示す各回転ディスクを組み合わせた透光部と遮光部とが形成された回転ディスクでもよい。
【0068】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明によれば、探針対物レンズによるプローブ針先の画像観察が極めて正確にできるプローバのアライメント装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わるプローバのアライメント装置の一実施の形態を示す構成図。
【図2】本発明に係わるプローバのアライメント装置の一実施の形態における共焦点ディスクの構成図。
【図3】本発明に係わるプローバのアライメント装置の一実施の形態における共焦点ディスクの変形例を示す構成図。
【図4】従来のプローバのアライメント装置の構成図。
【図5】プローブ針の構成図。
【図6】プローブ針と半導体ウエハ上のボンディングパットとの位置合わせのウエハ角度アライメントの粗調整段階を示す図。
【図7】半導体ウエハ両端側の各低倍対物撮像範囲を示す図。
【図8】半導体ウエハ両端側の各低倍対物撮像範囲の各画像データを重ね合わせたモニタ表示を示す図。
【図9】ダイの構成図。
【図10】半導体ウエハ両端側の各アライメントマークの各画像データを重ね合わせたモニタ表示を示す図。
【図11】プローブ針とボンディングパッドとの位置合わせ方法を説明するための図。
【図12】同一画面内に見えるプローブ針先の針先端像及びシャフトボケ像を示す図。
【図13】シャフトの傾きが小さくなるプローブ針を示す図。
【符号の説明】
1:照明ファイババンドル
2:照明光束
3:照明コンデンサレンズ
4:偏光ビームスプリッタ
5:λ/4波長板
6:探針対物レンズ
7:半導体ウエハ
8:プローブ針
8a:プローブカード
9:シャフト
10:針先
11:結像レンズ
12:CCD
13:XYZθステージ
14:低倍対物レンズ
15:高倍対物レンズ
16:ブリッジ
19:ダイ(チップ)
20:ノッチ
21:ストリート
22:ボンディングパッド
23:アライメントマーク
30:共焦点ディスク
31:パターン領域(開口領域)
32:透明部(透明領域)
33:回転軸
34:駆動部
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、半導体ウエハに形成されたLSIチップ等の集積回路内の任意位置に形成された端子の電気的動作テストを行うプローブ装置に係わり、プローブ針とLSIチップ上のボンディングパットとの位置合わせを行うプローバのアライメント装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図4はプローバのアライメント装置の構成図である。照明光源として照明ファイババンドル1が設けられている。この照明光源は、照明ファイババンドル1に限らず、例えばハロゲン電球、発光ダイオードを用いてもよい。
【0003】
この照明ファイババンドル1から出射される照明光束2の光路上には、照明コンデンサレンズ3、偏光ビームスプリッタ4、λ/4板5及び探針対物レンズ6が配置されている。
【0004】
従って、照明ファイババンドル1から出射された照明光束2は、照明コンデンサレンズ3により集光され、偏光ビームスプリッタ4及びλ/4板5を透過し、さらに探針対物レンズ6により集光されてプローブカード8a上のプローブ針8を照明する。この場合、照明コンデンサレンズ3は、照明ファイババンドル1の端面を探針対物レンズ6の後ろ焦点面に結像させ、プローブ針8に対してケーラ照明を形成する。
【0005】
プローブ針8は、図5に示すようにシャフト9及びこのシャフト9の先端側に形成された針先10から構成され、図6に示すようにプローブカード8aの下面に設けられている。
【0006】
照明光束2が照射されたときのプローブ針8の針先10からの像は、探針対物レンズ6によりその焦点面に結像され、再びλ/4板5を透過して偏光ビームスプリッタ4に入射し、この偏光ビームスプリッタ4で反射して、当該偏光ビームスプリッタ4の反射光路上に配置された結像レンズ11によりCCD12の撮像面上に結像される。
【0007】
このCCD12は、入射したプローブ針8の針先10からの像を光電変換し、その画像信号を出力する。この画像信号は、図示しない画像処理装置によって画像処理され、例えばモニタ装置にプローブ針8の画像として表示される。
【0008】
このようなプローバのアライメント装置では、プローブ針8と半導体ウエハ7上のボンディングパットとの位置合わせを行う必要がある。次にかかる位置合わせ方法について説明する。
【0009】
先ず、図6に示すようにウエハ角度アライメントの粗調整段階が行われる。この段階では、半導体ウエハ7を載置するXYZθステージ13は、所定の高さまで下降される。
【0010】
プローブカード8aとXYZθステージ13との間には、ブリッジ16と呼ばれる測定光学系が設けられている。このブリッジ16には、低倍対物レンズ14及び高倍対物レンズ15が組み込まれている。このブリッジ16は、所定の退避場所に待機しており、XYZθステージ13の下降で生じた空間に退避場所から半導体ウエハ7の真上付近にスライド移動される。
【0011】
この状態で、最初に低倍対物レンズ14によるラフアライメントが行われる。このラフアライメントでは、XYZθステージ13が移動し、低倍対物レンズ14により半導体ウエハ7の両端近くがそれぞれ観察できるように半導体ウエハ7の位置を移動させる。
【0012】
この半導体ウエハ7の移動により低倍対物レンズ14は、図7に示すように半導体ウエハ7の両端近くで得られる各低倍対物撮像範囲17、18においてそれぞれ各像を交互に得る。そして、これら低倍対物撮像範囲17、18の各像は、CCD12により撮像される。なお、図7において半導体ウエハ7面上には、複数のダイ(チップ)19が形成されると共に、エッジ部分の1箇所にノッチ20が形成されている。
【0013】
各低倍対物撮像範囲17、18の各像を撮像して取得された各画像データは、画像処理装置により重ね合わされてモニタ装置に表示される。図8はかかるモニタ表示の一例を示す図であって、一方の低倍対物撮像範囲17で撮像されたダイ19a(実線)と他方の低倍対物撮像範囲18で撮像されたダイ19b(破線)とがずれて観察されている。換言すれば、半導体ウエハ7面上の両端側においてストリート21と呼ばれるダイ19の間隔が異なる位置に観察されている。
【0014】
このようなずれが生じたとき、XYZθステージ13は、当該ずれ量とXYZθステージ13の走行距離とに基づいてずれを無くすようにθステージを動作させて半導体ウエハ7を姿勢制御する。
【0015】
次に、低倍対物レンズ14が高倍対物レンズ15に切り替えられる。この高倍対物レンズ15により半導体ウエハ7のダイ19の観察が行われる。図9は1つのダイ19の構成図であって、ダイ19の周辺には複数のボンディングパッド22が形成されるとともに、ダイ中心部には例えば円形のアライメントマーク23が形成されている。このアライメントマーク23は、ダイ中心部で円形に形成されているが、その形成位置や形状(例えば十字形状)は各種ある。
【0016】
ダイ19の観察では、XYZθステージ13が移動動作し、半導体ウエハ7の両端近くのダイが設計寸法上、高倍対物レンズ15に対して正確に同一位置に来るように半導体ウエハ7の位置を移動させる。そして、高倍対物レンズ15によりそれぞれ半導体ウエハ7の両端近くの各ダイ19の各像を得て、これらダイ19の各像をCCD12により交互に撮像する。
【0017】
これら撮像により取得された各画像データは、画像処理装置により重ね合わされてモニタ装置に表示される。図10はかかるモニタ表示の一例を示す図であって、半導体ウエハ7の両端側でそれぞれ撮像された各アライメントマーク23a(実線)、23b(破線)がずれて観察される。
【0018】
このようにずれがあれば、XYZθステージ13は、かかるずれを無くすようにθステージを動作させて半導体ウエハ7を姿勢制御し、これによりファインアライメントが終了する。
【0019】
次に、プローブ針8とボンディングパッド22との位置合わせ方法について図11を参照して説明する。同図は図6を右側から見た図である。先ず、ブリッジ16がXYZθステージ13とプローブカード8aの間から外部に向って矢印イ方向に退避される。次に、XYZθステージ13が所定の高さまで矢印ロ方向に上昇される。
【0020】
次に、プローブカード8aには、検査に必要なボンディングパッド22の数と、これらボンディングパッド22の各位置に対応して各プローブ針8が配置されており、これらプローブ針8の中から1個又は必要に応じた個数のプローブ針8の針先の画像が探針対物レンズ6によって観察できる位置まで、XYZθステージ13が矢印ハ方向にXY移動される。そして、プローブ針8の針先は、XYZθステージ13の移動によってXY位置が制御され、モニタ画面上の所定位置に表示され、画像認識により針先10のXY座標と、設計寸法上既知であるボンディングパッド22の相対座標が記憶される。
【0021】
以上のアライメント走査が所定の精度で行われることによって、XYZθステージ13の走査精度、停止精度と相俟って、半導体ウエハ7上の全てのダイ19に対してステップアンドリピートにより高速なプロービングテストが可能になる。
【0022】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、プローブ針8は、図5に示すようにシャフト9及び針先10が一体的に形成されているので、探針対物レンズ6により結像されるプローブ針8の観察画像は、針先10の画像(針先端像24)がモニタ表示されることは勿論のこと、図12に示すように探針対物レンズ6の開口数N.A.、プローブ針8のシャフト9及び針先10の高低差によってシャフト9の非合焦像(シャフトボケ像25)も同一モニタ画面内に見えることがある。
【0023】
近年、LSIチップ等の集積度は、半導体技術の進歩と共に高密度化し、さらにその密度が高くなっている。このような状況下にあって、LSIチップ等の集積度の高密度化に応じてプローブ針8の数が多くなり、かつその配置が重畳化し、複雑化すると、図13に示すように複数のプローブ針8のうちいくつかのプローブ針8においてシャフト9の傾きが小さくなる。このような現象は、上記の如くプローブ針8の数が多くなり、かつその配置が重畳化し、複雑化するに従って非常に起こりやすくなる。
【0024】
このようにプローブ針8のシャフト9の傾きが小さくなると、シャフト9のシャフトボケ像25が見え易くなり、肝心の注目物であるプローブ針8の針先10の観察画像を認識することが困難になる。
【0025】
このため、XYZθステージ13のXY位置制御によるボンディングパッド22とプローブ針8の針先の位置一致精度が劣化し、無視できない程大きくなる。
【0026】
そこで本発明は、探針対物レンズによるプローブ針先の画像観察が極めて正確にできるプローバのアライメント装置を提供することを目的とする。
【0027】
【課題を解決するための手段】
本発明は、プローブ針と、このプローブ針の先端部からの像を結像する対物レンズと、この対物レンズを介してプローブ針の先端部と共役な位置に配置され、少なくとも1つの開口が形成された開口手段と、対物レンズにより結像され、開口手段を通過したセクショニング像を表示する表示手段とを具備したことを特徴とするプローバのアライメント装置である。
【0028】
本発明におけるプローバのアライメント装置のプローブ針は、半導体ウエハに形成された集積回路内の任意位置に形成された端子の電気的動作テストを行うプローブ装置に備えられている。
【0029】
本発明におけるプローバのアライメント装置の開口手段は、少なくとも1つの開口が形成されたディスクである。
【0030】
本発明におけるプローバのアライメント装置のディスクは、開口が形成された開口領域と、光透過率の高い透明領域とを有する。
【0031】
本発明におけるプローバのアライメント装置の開口領域と透明領域とは、互いに同心円状に形成され、いずれか一方が対物レンズの結像光路に挿入可能である。
【0032】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図4と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【0033】
図1はプローバのアライメント装置の構成図である。探針対物レンズ6とλ/4板5との間には、共焦点ディスク30が設けられている。この共焦点ディスク30は、探針対物レンズ6より結像されるプローブ針の針先10の像の位置に配置されている。従って、プローブ針8の針先10と共焦点ディスク30とは、探針対物レンズ6を介して共役な位置に配置されている。換言すれば、探針対物レンズ6に対して共焦点ディスク30の面とプローブ針8の針先10とは、物点と像点との関係にある。
【0034】
共焦点ディスク30は、一般にエアリーディスクよりも十分に小さく設計された開口、例えば円形又はスリット状などの開口が複数形成されている。図2は共焦点ディスク30の構成図である。この共焦点ディスク30は、例えば円形又はスリット状などの開口が複数形成されたパターン領域(開口領域)31と、光透過率の高い透明部(透明領域)32とが形成されている。
【0035】
これらパターン領域31と透明部32とは、互いに同心円状に形成されている。ここではパターン領域31が中心に設けられた回転軸33側の外周側に形成され、かつ透明部32がパターン領域31の外周側に形成されている。なお、パターン領域31と透明部32とは、パターン領域31が外周側で、透明部32が内周側に形成してもよい。
【0036】
このうちパターン領域31には、例えば円形又はスリット状などの開口が複数形成されている。十分な共焦点効果を得るために開口の大きさは、一般にエアリーディスクよりも十分に小さく、エアリーディスクの2分の1以下に形成されるのがよい。本発明装置では、プローブ針8におけるシャフト10のシャフトボケ像25(図12)を無くすことに限れば、より大きな開口を形成しても差し支えない。
【0037】
共焦点ディスク30は、回転軸33が照明光束2の光路よりずれた位置に設けられている。これにより、共焦点ディスク30における回転軸33と外周縁との間に照明光束2が照射される。
【0038】
又、共焦点ディスク30の回転軸33には、駆動部34が連結されている。この駆動部34は、共焦点ディスク30を所定の回転数で回転させる。
【0039】
一方、照明コンデンサレンズ3は、照明ファイババンドル1から出射された照明光束2を平行光に整形し、偏光ビームスプリッタ4、λ/4板5を透過させて共焦点ディスク30をケーラ照明する。
【0040】
結像レンズ11は、共焦点ディスク30を物体面とし、CCD12の受光面を像面とする位置に設けられている。
【0041】
次に、上記の如く構成された装置の作用について説明する。
【0042】
照明ファイババンドル1から照明光束2が出射されると、この照明光束2は、照明コンデンサレンズ3により平行光に整形され、偏光ビームスプリッタ4、λ/4板5を透過して所定の回転数で回転している共焦点ディスク30をケーラ照明する。
【0043】
この共焦点ディスク30の開口を通過した照明光束2は、探針対物レンズ6によって物点であるプローブ針8の針先10に照明される。
【0044】
このとき、探針対物レンズ6に対して共焦点ディスク30の面とプローブ針8の針先10とは、物点と像点との関係にあるので、プローブ針8もケーラ照明される。
【0045】
又、共焦点ディスク30の開口は、エアリーディスクよりも十分に小さいサイズに形成されているので、共焦点ディスク30がどのように照明されてもプローブ針8の針先10(物体面)は、殆どクリティカル照明になる。
【0046】
プローブ針8の針先10からの反射光は、探針対物レンズ6により結像され、この結像点に配置された共焦点ディスク30の開口を再び通過し、λ/4板5を透過し、偏光ビームスプリッタ4で反射され、結像レンズ11によりCCD12の受光面に結像される。このCCD12の受光面には、共焦点ディスク30の開口を通過することによるセクショニング像が結像される。
【0047】
ところで、共焦点ディスク30によるセクショニング効果は、照明光束2がエアリーディスクよりも小さな開口サイズである共焦点ディスク30の開口を通過した点光源として物体面に照射され、この物体面からの反射光が再び共焦点ディスク30の開口を通過しなければCCD12の受光面で受光されない。
【0048】
従って、物体面が探針対物レンズ6の合焦位置から少しでもずれると、共焦点ディスク30の開口を通過する物体面からの反射光の光量は急激に減少する。これにより、探針対物レンズ6の合焦位置からずれたプローブ針8の1点からの像が探針対物レンズ6によって結像されても、この像は共焦点ディスク30上でボケた点像となり、この点像の共焦点ディスク30の開口を通過する光量は急激に減少し、殆ど遮光される。
【0049】
この結果、針先10に焦点が合っていれば、CCD12の受光面には、プローブ針8の針先10からの像が入射し、シャフト9からの非合焦像は殆ど入射しない。このCCD12は、入射したプローブ針8の針先10からの像を光電変換し、その画像信号を出力する。この画像信号は、図示しない画像処理装置によって画像処理され、例えばモニタ装置にプローブ針8の針先10の画像として表示される。すなわち、上記図12に示すようにモニタ装置には、針先端像24のみがモニタ表示され、シャフト9の非合焦像(シャフトボケ像25)が同一モニタ画面内に表示されることはない。
【0050】
このように本発明のアライメント装置を用いたプローバであれば、プローブ針8の針先10に探針対物レンズ6の焦点が合っている場合のみに、プローブ針8のシャフト9の非合焦像(シャフトボケ像25)を表示することなく、プローブ針8の針先10の画像(針先端像24)のみを明瞭に認識することができ、従来のアライメント装置よりも簡単な画像認識処理で、しかも高精度にプローブ針8とLSIチップ等の半導体ウエハ7上のボンディングパット22との位置合わせができる。
【0051】
なお、本発明のアライメント装置では、先ず、プローブ針8の針先10に対して探針対物レンズ6の焦点を合せるとき、図2に示すように例えば共焦点ディスク30を矢印ニ方向に移動させて、照明光束2が共焦点ディスク30の透明部32を透過するようにする。図2では照明光束2の照射部分35を示す。このとき、照明ファイババンドル1から出射される照明光束2の光量を低減する。そして、例えばXYZθステージ13を上下移動させてプローブ針8の針先10を探す。
【0052】
次に、プローブ針8の針先10の位置測定を行うときは、例えば共焦点ディスク30を矢印ニ方向に移動させて元の位置に戻し、照明光束2が共焦点ディスク30のパターン領域31を透過するようにする。図2では観察視野36として示す。このとき、照明ファイババンドル1から出射される照明光束2の光量を増加する。観察視野36は、観察に必要な部分が満たされている。
【0053】
なお、探針対物レンズ6の焦点を合せるときと位置測定を行うときとで照明光束2の光量を変化させるのは、パターン領域31を透過する光量が透明部32を透過する光量よりも少なく、パターン領域31を透過して得る画像が透明部32を透過して得る画像よりも暗くなるからである。
【0054】
このように上記一実施の形態においては、共焦点ディスク30を探針対物レンズ6より結像されるプローブ針の針先10の像の位置、すなわちプローブ針8の針先10と共焦点ディスク30とを探針対物レンズ6を介して共役な位置に配置し、プローブ針8の針先10からの反射光を探針対物レンズ6により結像し、共焦点ディスク30の開口を通過させて、そのセクショニング像をCCD12の受光面に結像するので、共焦点ディスク30を用いたことによるセクショニング効果によりプローブ針8の針先10からの像のみがCCD12の受光面に入射し、シャフト9からの非合焦像が入射することはなくなる。これにより、モニタ装置には、針先端像24のみがモニタ表示でき、シャフト9の非合焦像(シャフトボケ像25)は同一モニタ画面内に表示されない。
【0055】
従って、本発明のアライメント装置を用いたプローバであれば、プローブ針8の針先10の画像(針先端像24)のみを明瞭に認識することができ、従来のアライメント装置よりも簡単な画像認識処理で、しかも高精度にプローブ針8とLSIチップ等の半導体ウエハ7上のボンディングパット22との位置合わせができる。
【0056】
近年、LSIチップ等の集積度は、半導体技術の進歩と共に高密度化し、さらにその密度が高くなっている状況下では、LSIチップ等の集積度の高密度化に応じてプローブ針8の数が多くなり、かつその配置が重畳化し、複雑化すると、図13に示すように複数のプローブ針8のうちいくつかのプローブ針8においてシャフト9の傾きが小さくなる。このような現象は、上記の如くプローブ針8の数が多くなり、かつその配置が重畳化し、複雑化するに従って非常に起こりやすくなる。このために、従来はシャフト9の非合焦像(シャフトボケ像25)を表示することがあったが、本発明装置では、シャフト9の非合焦像を表示することがない。
【0057】
又、共焦点ディスク30の開口は、エアリーディスクよりも十分に小さいサイズに形成されているので、共焦点ディスク30がどのように照明されてもプローブ針8の針先10の照明は、クリティカル照明に近い照明となるので、厳密なケーラ照明を得る努力は軽減される。
【0058】
又、共焦点ディスク30にはパターン領域31と透明部32とが形成されているので、プローブ針8の針先10に対して探針対物レンズ6の焦点を合せる場合に透明部32に照明光束2を透過させ、かつ針先10の位置測定を行う場合にパターン領域31に照明光束2を透過させることにより、共焦点ディスク30を観察光路から完全に退避させることがなくなり、両場合において共焦点ディスク30を形成するガラス基板の厚さによる光路長を変化させることがない。
【0059】
共焦点ディスク30は、プローブ針8におけるシャフト9のシャフトボケ像25を無くすことに限れば、前述のように、共焦点効果を限界まで引き出す必要はないので、エアリーディスクの2分の1より大きな開口を形成しても差し支えなく、場合によっては全面開口部のディスクでも、焦点合わせ可能な焦点深度になり得、かつシャフトボケ像25を無くすことができる。この場合には、上記一実施の形態で説明したようなディスクの出し入れ操作が不要になり、メカニカル的にもシークェンス的にも極めて簡単になる。
【0060】
なお、本発明は、上記一実施の形態に限定されるものでなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。
【0061】
さらに、上記実施形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【0062】
例えば、共焦点ディスク30は、パターン部に形成される開口は少なくとも1つあればよい。
【0063】
又、共焦点ディスク30は、図3に示すようなパターン部37及び透明部32からなる構成でもよい。このパターン部37は、複数のスリットが形成された第1のパターン部37aと、このパターン部37aに形成された各スリットの形成方向と垂直方向に複数のスリットが形成された2つの第2のパターン部37b、37cとからなる。第1のパターン部37aは、回転軸33を含む共焦点ディスク30の直径方向に形成され、各第2のパターン部37b、37cは第1のパターン部37aを挟むように形成されている。
【0064】
又、共焦点ディスク30は、例えば特願2001−566073の図2に示すように複数のピンホールを螺旋状に配置したNipkow回転ディスクや、図3Aに示すように直線状に形成された透光部と遮光部とが交互に並んだ直線パータン部と、光が透過する全透光部と、これら直線パータン部と全透光部との間に形成された遮光部とを形成した回転ディスクでもよい。
【0065】
さらに、共焦点ディスク30は、特願2001−566073の図5Aに示すように光を透過する直線状に形成された透光部と、光を遮蔽する直線状に形成された遮光部とのそれぞれのパターンを交互に配置した回転ディスクでもよく、図7に示すように光を透過する直線状に形成された透光部と、光を遮蔽する直線状に形成された遮光部とのそれぞれのパターンを交互に配置し、かつこれらパターンに対して垂直の方向に沿って扇状の各遮光領域を形成した回転ディスクでもよい。
【0066】
又、共焦点ディスク30は、特願2001−566073の図8に示すように円周方向に3分割された扇状の各領域に、それぞれ直線状の透光部と直線状の遮光部とのパターンを交互に配置した回転ディスクでもよく、さらに、図13Aに示すように半径方向に同心円状の3つの領域を形成し、これら領域にそれぞれ直線状の透光部と直線状の遮光部とのパターンを交互に配置した回転ディスクでもよい。
【0067】
さらに、共焦点ディスク30は、特願2001−566073の図2、図3A、図5A、図7、図8、図13Aに示す各回転ディスクを組み合わせた透光部と遮光部とが形成された回転ディスクでもよい。
【0068】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明によれば、探針対物レンズによるプローブ針先の画像観察が極めて正確にできるプローバのアライメント装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わるプローバのアライメント装置の一実施の形態を示す構成図。
【図2】本発明に係わるプローバのアライメント装置の一実施の形態における共焦点ディスクの構成図。
【図3】本発明に係わるプローバのアライメント装置の一実施の形態における共焦点ディスクの変形例を示す構成図。
【図4】従来のプローバのアライメント装置の構成図。
【図5】プローブ針の構成図。
【図6】プローブ針と半導体ウエハ上のボンディングパットとの位置合わせのウエハ角度アライメントの粗調整段階を示す図。
【図7】半導体ウエハ両端側の各低倍対物撮像範囲を示す図。
【図8】半導体ウエハ両端側の各低倍対物撮像範囲の各画像データを重ね合わせたモニタ表示を示す図。
【図9】ダイの構成図。
【図10】半導体ウエハ両端側の各アライメントマークの各画像データを重ね合わせたモニタ表示を示す図。
【図11】プローブ針とボンディングパッドとの位置合わせ方法を説明するための図。
【図12】同一画面内に見えるプローブ針先の針先端像及びシャフトボケ像を示す図。
【図13】シャフトの傾きが小さくなるプローブ針を示す図。
【符号の説明】
1:照明ファイババンドル
2:照明光束
3:照明コンデンサレンズ
4:偏光ビームスプリッタ
5:λ/4波長板
6:探針対物レンズ
7:半導体ウエハ
8:プローブ針
8a:プローブカード
9:シャフト
10:針先
11:結像レンズ
12:CCD
13:XYZθステージ
14:低倍対物レンズ
15:高倍対物レンズ
16:ブリッジ
19:ダイ(チップ)
20:ノッチ
21:ストリート
22:ボンディングパッド
23:アライメントマーク
30:共焦点ディスク
31:パターン領域(開口領域)
32:透明部(透明領域)
33:回転軸
34:駆動部
Claims (5)
- プローブ針と、
このプローブ針の先端部からの像を結像する対物レンズと、
この対物レンズを介して前記プローブ針の先端部と共役な位置に配置され、少なくとも1つの開口が形成された開口手段と、
前記対物レンズにより結像され、前記開口手段を通過したセクショニング像を表示する表示手段と、
を具備したことを特徴とするプローバのアライメント装置。 - 前記プローブ針は、半導体ウエハに形成された集積回路内の任意位置に形成された端子の電気的動作テストを行うプローブ装置に備えられていることを特徴とする請求項1記載のプローバのアライメント装置。
- 前記開口手段は、少なくとも1つの前記開口が形成されたディスクであることを特徴とする請求項1又は2記載のプローバのアライメント装置。
- 前記ディスクは、前記開口が形成された開口領域と、光透過率の高い透明領域とを有することを特徴とする請求項3記載のプローバのアライメント装置。
- 前記開口領域と前記透明領域とは、互いに同心円状に形成され、いずれか一方が前記対物レンズの結像光路に挿入可能であることを特徴とする請求項4記載のプローバのアライメント装置。
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