JP2016054475A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1(A)はマルチコンテキストFPGAの一部のブロック図を示す。マルチコンテキストFPGAは、ルーティングスイッチ100、ロジックブロック102a、ロジックブロック102bを有する。ロジックブロック102a、ロジックブロック102bは、ルーティングスイッチ100を介して接続可能である。
本実施の形態では、断面図を用いて、実施の形態1の半導体装置を製造するステップを説明する。図12および図13は断面図を示す。なお、図12および図13は半導体装置の層構造を理解するためだけのものであり、図12および図13は特定の実在する断面ではない。
素子分離領域201が半導体基板200に形成される。半導体基板200は、例えば、単結晶シリコン基板あるいはシリコン・オン・インシュレータ(SOI)基板でもよい。半導体基板200はn型ドーパントで軽くドーピングされていてもよいし、真性でもよい。素子分離領域201は、例えば、シャロー・トレインチ・アイソレーション(STI)技術によって形成されてもよい。
素子分離領域201とp型領域202の上にゲート絶縁物203が形成される。ゲート絶縁物203はp型領域202の上のみに形成されてもよい。ゲート絶縁物203は、例えば、酸化シリコン、酸化ハフニウム、その他の酸化物でできていてもよい。
層間絶縁物206が、ゲート絶縁物203、配線204a、配線204bの上に形成される。層間絶縁物206は、例えば、酸化シリコン、酸化炭化シリコンあるいはその他の金属酸化物からできていてもよい。層間絶縁物206は誘電率を減らすためにボイドを有してもよい。
層間絶縁物206、配線207a、配線207bの上に層間絶縁物208が形成される。層間絶縁物208の表面は研磨平坦化される。配線209が、層間絶縁物208の上に形成される。さらに、層間絶縁物210が、層間絶縁物208と配線209の上に形成される。層間絶縁物210の表面は研磨平坦化される。
単層あるいは多層の導電層213を、層間絶縁物210、酸化物半導体膜211a、酸化物半導体膜211bの上に、それらを覆い、コンタクトホール212aとコンタクトホール212bを埋めるように形成する。導電層213の表面は研磨平坦化される。さらに、単層あるいは多層の絶縁体214を導電層213の上に形成する。絶縁体214の表面は研磨平坦化される。
一回のリソグラフィーにより、導電層213と絶縁体214を選択的にエッチングし、配線215a、配線215b、配線215c、配線215a上のパターン化された絶縁体216a、配線215b上のパターン化された絶縁体216b、配線215c上のパターン化された絶縁体216cを形成する。配線215a、配線215b、配線215cは、図4(B)、図5、図6あるいは図7の、それぞれ、ノードOUT(の一部)、ビット線BL(の一部)、メモリノードMN(の一部)に相当することがある。
本実施の形態ではプログラマブルスイッチを有する半導体装置(FPGA)の例を説明する。
101 プログラマブルスイッチ
101a プログラマブルスイッチ
101b プログラマブルスイッチ
101c プログラマブルスイッチ
102a ロジックブロック
102b ロジックブロック
103a 書き込みトランジスタ
103b 書き込みトランジスタ
103c 書き込みトランジスタ
104a パストランジスタ
104b パストランジスタ
104c パストランジスタ
105a 容量素子
105b 容量素子
105c 容量素子
106a 選択トランジスタ
106b 選択トランジスタ
106c 選択トランジスタ
107a 選択トランジスタ
108a プリチャージトランジスタ
109a 選択トランジスタ
110a 選択トランジスタ
200 半導体基板
201 素子分離領域
202 p型領域
203 ゲート絶縁物
204 配線
204a 配線
204b 配線
205 n型領域
205a n型領域
205b n型領域
205c n型領域
205d n型領域
206 層間絶縁物
207a 配線
207b 配線
208 層間絶縁物
209 配線
210 層間絶縁物
211a 酸化物半導体膜
211b 酸化物半導体膜
212a コンタクトホール
212b コンタクトホール
213 導電層
214 絶縁体
215a 配線
215b 配線
215c 配線
216a パターン化された絶縁体
216b パターン化された絶縁体
216c パターン化された絶縁体
217 ゲート絶縁体
218a 配線
218b 配線
301 スイッチアレイ
302 ロジックアレイ
303 I/Oアレイ
311 ロジックブロック
312 ルックアップテーブル
313 フリップフロップ
314 マルチプレクサ
315a コンフィギュレーションメモリ
315b コンフィギュレーションメモリ
315c コンフィギュレーションメモリ
316 入力端子
317 出力端子
318a コンフィギュレーションデータ
318b コンフィギュレーションデータ
319 マルチプレクサ
320 入力端子
BL ビット線
CX コンテキスト線
CXa コンテキスト線
CXb コンテキスト線
CXc コンテキスト線
CYa コンテキスト線
IN ノード
I/O 入出力回路
LB ロジックブロック
MN メモリノード
OUT ノード
SN ソースノード
SWa ルーティングスイッチ
SWb ルーティングスイッチ
SWc ルーティングスイッチ
WL ワード線
WLa ワード線
WLb ワード線
WLc ワード線
Claims (5)
- 第1のロジックブロックと第2のロジックブロックとプログラマブルスイッチを有し、
前記第1のロジックブロックと第2のロジックブロックは、前記プログラマブルスイッチによって接続可能であり、
前記プログラマブルスイッチは、パストランジスタ、第1のトランジスタ、第2のトランジスタ、第3のトランジスタを有し、
前記第1のトランジスタ、パストランジスタ、第2のトランジスタは、この順に直列に接続され、
前記第1のトランジスタと前記第2のトランジスタの双方のソースとドレインとは、回路図において、前記第1のロジックブロックと前記第2のロジックブロックの間にあり、
前記第1のトランジスタと前記第2のトランジスタの双方がオフ状態であるときに、前記第3のトランジスタを介して前記パストランジスタのソースとドレインの一方に電位が供給されることを特徴とする半導体装置。 - さらに、書き込みトランジスタとビット線を有し、前記書き込みトランジスタのソースとドレインは、回路図において、前記ビット線と前記パストランジスタのゲートの間に設けられることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記書き込みトランジスタが、活性層として酸化物半導体膜を有することを特徴とする請求項2記載の半導体装置。
- さらに、ワード線を有し、前記書き込みトランジスタと前記第3のトランジスタはワード線の信号により制御されることを特徴とする請求項2または3記載の半導体装置。
- 前記書き込みトランジスタがオフ状態であるとき、前記パストランジスタのゲートが実質的に電気的に分離されることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか一項に記載の半導体装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018022212A (ja) * | 2016-08-01 | 2018-02-08 | 株式会社日立製作所 | 情報処理装置 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6534530B2 (ja) * | 2014-02-07 | 2019-06-26 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP6541376B2 (ja) * | 2014-03-13 | 2019-07-10 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | プログラマブルロジックデバイスの動作方法 |
TWI688211B (zh) * | 2015-01-29 | 2020-03-11 | 日商半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置、電子組件及電子裝置 |
US9954531B2 (en) * | 2015-03-03 | 2018-04-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electronic device |
US10014325B2 (en) * | 2016-03-10 | 2018-07-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and electronic device |
KR20180055701A (ko) | 2016-11-17 | 2018-05-25 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 및 반도체 장치의 제작 방법 |
KR102499699B1 (ko) * | 2021-08-04 | 2023-02-14 | 고려대학교 산학협력단 | 실리콘 트랜지스터를 이용한 가변형 로직 인 메모리 소자 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07321641A (ja) * | 1994-05-26 | 1995-12-08 | Mitsubishi Electric Corp | フィールドプログラマブルゲートアレイ |
JPH10214482A (ja) * | 1997-01-29 | 1998-08-11 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
JP2001024162A (ja) * | 1999-07-07 | 2001-01-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 強誘電体デバイス |
JP2004119970A (ja) * | 2002-09-27 | 2004-04-15 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 強誘電体ゲート電界効果トランジスタを使用する不揮発性メモリ |
US8072237B1 (en) * | 2009-06-04 | 2011-12-06 | Altera Corporation | Computer-aided design tools and memory element power supply circuitry for selectively overdriving circuit blocks |
JP2013251894A (ja) * | 2012-05-02 | 2013-12-12 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | プログラマブルロジックデバイス |
Family Cites Families (141)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4870302A (en) | 1984-03-12 | 1989-09-26 | Xilinx, Inc. | Configurable electrical circuit having configurable logic elements and configurable interconnects |
JPS60198861A (ja) | 1984-03-23 | 1985-10-08 | Fujitsu Ltd | 薄膜トランジスタ |
US4609986A (en) | 1984-06-14 | 1986-09-02 | Altera Corporation | Programmable logic array device using EPROM technology |
US4642487A (en) | 1984-09-26 | 1987-02-10 | Xilinx, Inc. | Special interconnect for configurable logic array |
JPH0244256B2 (ja) | 1987-01-28 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn2o5deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH0244258B2 (ja) | 1987-02-24 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn3o6deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPS63210023A (ja) | 1987-02-24 | 1988-08-31 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | InGaZn↓4O↓7で示される六方晶系の層状構造を有する化合物およびその製造法 |
JPH0244260B2 (ja) | 1987-02-24 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn5o8deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH0244262B2 (ja) | 1987-02-27 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn6o9deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH0244263B2 (ja) | 1987-04-22 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn7o10deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
US5343406A (en) | 1989-07-28 | 1994-08-30 | Xilinx, Inc. | Distributed memory architecture for a configurable logic array and method for using distributed memory |
JPH05251705A (ja) | 1992-03-04 | 1993-09-28 | Fuji Xerox Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
US5352940A (en) | 1993-05-27 | 1994-10-04 | Altera Corporation | Ram convertible look-up table based macrocell for PLDs |
JP3479375B2 (ja) | 1995-03-27 | 2003-12-15 | 科学技術振興事業団 | 亜酸化銅等の金属酸化物半導体による薄膜トランジスタとpn接合を形成した金属酸化物半導体装置およびそれらの製造方法 |
US5808942A (en) | 1995-06-09 | 1998-09-15 | Advanced Micro Devices, Inc. | Field programmable gate array (FPGA) having an improved configuration memory and look up table |
EP0820644B1 (en) | 1995-08-03 | 2005-08-24 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Semiconductor device provided with transparent switching element |
JP3625598B2 (ja) | 1995-12-30 | 2005-03-02 | 三星電子株式会社 | 液晶表示装置の製造方法 |
JP4103968B2 (ja) | 1996-09-18 | 2008-06-18 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 絶縁ゲイト型半導体装置 |
JP3106998B2 (ja) | 1997-04-11 | 2000-11-06 | 日本電気株式会社 | メモリ付加型プログラマブルロジックlsi |
US6057704A (en) | 1997-12-12 | 2000-05-02 | Xilinx, Inc. | Partially reconfigurable FPGA and method of operating same |
JP4170454B2 (ja) | 1998-07-24 | 2008-10-22 | Hoya株式会社 | 透明導電性酸化物薄膜を有する物品及びその製造方法 |
JP2000150861A (ja) | 1998-11-16 | 2000-05-30 | Tdk Corp | 酸化物薄膜 |
JP3276930B2 (ja) | 1998-11-17 | 2002-04-22 | 科学技術振興事業団 | トランジスタ及び半導体装置 |
TW460731B (en) | 1999-09-03 | 2001-10-21 | Ind Tech Res Inst | Electrode structure and production method of wide viewing angle LCD |
JP4089858B2 (ja) | 2000-09-01 | 2008-05-28 | 国立大学法人東北大学 | 半導体デバイス |
KR20020038482A (ko) | 2000-11-15 | 2002-05-23 | 모리시타 요이찌 | 박막 트랜지스터 어레이, 그 제조방법 및 그것을 이용한표시패널 |
JP4014801B2 (ja) | 2000-12-28 | 2007-11-28 | 株式会社ルネサステクノロジ | 不揮発性メモリ装置 |
JP3997731B2 (ja) | 2001-03-19 | 2007-10-24 | 富士ゼロックス株式会社 | 基材上に結晶性半導体薄膜を形成する方法 |
JP2002289859A (ja) | 2001-03-23 | 2002-10-04 | Minolta Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
JP4090716B2 (ja) | 2001-09-10 | 2008-05-28 | 雅司 川崎 | 薄膜トランジスタおよびマトリクス表示装置 |
JP3925839B2 (ja) | 2001-09-10 | 2007-06-06 | シャープ株式会社 | 半導体記憶装置およびその試験方法 |
EP1443130B1 (en) | 2001-11-05 | 2011-09-28 | Japan Science and Technology Agency | Natural superlattice homologous single crystal thin film, method for preparation thereof, and device using said single crystal thin film |
JP4164562B2 (ja) | 2002-09-11 | 2008-10-15 | 独立行政法人科学技術振興機構 | ホモロガス薄膜を活性層として用いる透明薄膜電界効果型トランジスタ |
JP4083486B2 (ja) | 2002-02-21 | 2008-04-30 | 独立行政法人科学技術振興機構 | LnCuO(S,Se,Te)単結晶薄膜の製造方法 |
US7049190B2 (en) | 2002-03-15 | 2006-05-23 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Method for forming ZnO film, method for forming ZnO semiconductor layer, method for fabricating semiconductor device, and semiconductor device |
JP3933591B2 (ja) | 2002-03-26 | 2007-06-20 | 淳二 城戸 | 有機エレクトロルミネッセント素子 |
US7339187B2 (en) | 2002-05-21 | 2008-03-04 | State Of Oregon Acting By And Through The Oregon State Board Of Higher Education On Behalf Of Oregon State University | Transistor structures |
JP2004022625A (ja) | 2002-06-13 | 2004-01-22 | Murata Mfg Co Ltd | 半導体デバイス及び該半導体デバイスの製造方法 |
US7105868B2 (en) | 2002-06-24 | 2006-09-12 | Cermet, Inc. | High-electron mobility transistor with zinc oxide |
US7067843B2 (en) | 2002-10-11 | 2006-06-27 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Transparent oxide semiconductor thin film transistors |
JP4166105B2 (ja) | 2003-03-06 | 2008-10-15 | シャープ株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2004273732A (ja) | 2003-03-07 | 2004-09-30 | Sharp Corp | アクティブマトリクス基板およびその製造方法 |
JP4108633B2 (ja) | 2003-06-20 | 2008-06-25 | シャープ株式会社 | 薄膜トランジスタおよびその製造方法ならびに電子デバイス |
US7262463B2 (en) | 2003-07-25 | 2007-08-28 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Transistor including a deposited channel region having a doped portion |
US7098689B1 (en) | 2003-09-19 | 2006-08-29 | Xilinx, Inc. | Disabling unused/inactive resources in programmable logic devices for static power reduction |
US7656190B2 (en) | 2003-12-24 | 2010-02-02 | Tier Logic, Inc | Incrementer based on carry chain compression |
US7282782B2 (en) | 2004-03-12 | 2007-10-16 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Combined binary oxide semiconductor device |
CN102856390B (zh) | 2004-03-12 | 2015-11-25 | 独立行政法人科学技术振兴机构 | 包含薄膜晶体管的lcd或有机el显示器的转换组件 |
US7297977B2 (en) | 2004-03-12 | 2007-11-20 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Semiconductor device |
US7145174B2 (en) | 2004-03-12 | 2006-12-05 | Hewlett-Packard Development Company, Lp. | Semiconductor device |
US7211825B2 (en) | 2004-06-14 | 2007-05-01 | Yi-Chi Shih | Indium oxide-based thin film transistors and circuits |
US7084665B1 (en) | 2004-07-22 | 2006-08-01 | Altera Corporation | Distributed random access memory in a programmable logic device |
JP2006100760A (ja) | 2004-09-02 | 2006-04-13 | Casio Comput Co Ltd | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
US7285501B2 (en) | 2004-09-17 | 2007-10-23 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method of forming a solution processed device |
US7196942B2 (en) | 2004-10-20 | 2007-03-27 | Stmicroelectronics Pvt. Ltd. | Configuration memory structure |
US7298084B2 (en) | 2004-11-02 | 2007-11-20 | 3M Innovative Properties Company | Methods and displays utilizing integrated zinc oxide row and column drivers in conjunction with organic light emitting diodes |
US7453065B2 (en) | 2004-11-10 | 2008-11-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Sensor and image pickup device |
US7829444B2 (en) | 2004-11-10 | 2010-11-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Field effect transistor manufacturing method |
US7868326B2 (en) | 2004-11-10 | 2011-01-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Field effect transistor |
EP2453480A2 (en) | 2004-11-10 | 2012-05-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Amorphous oxide and field effect transistor |
EP1810335B1 (en) | 2004-11-10 | 2020-05-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Light-emitting device |
US7863611B2 (en) | 2004-11-10 | 2011-01-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Integrated circuits utilizing amorphous oxides |
US7791072B2 (en) | 2004-11-10 | 2010-09-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Display |
US7579224B2 (en) | 2005-01-21 | 2009-08-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing a thin film semiconductor device |
US7608531B2 (en) | 2005-01-28 | 2009-10-27 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, electronic device, and method of manufacturing semiconductor device |
TWI562380B (en) | 2005-01-28 | 2016-12-11 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Semiconductor device, electronic device, and method of manufacturing semiconductor device |
US7858451B2 (en) | 2005-02-03 | 2010-12-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electronic device, semiconductor device and manufacturing method thereof |
US7948171B2 (en) | 2005-02-18 | 2011-05-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting device |
US20060197092A1 (en) | 2005-03-03 | 2006-09-07 | Randy Hoffman | System and method for forming conductive material on a substrate |
US8681077B2 (en) | 2005-03-18 | 2014-03-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, and display device, driving method and electronic apparatus thereof |
US7544967B2 (en) | 2005-03-28 | 2009-06-09 | Massachusetts Institute Of Technology | Low voltage flexible organic/transparent transistor for selective gas sensing, photodetecting and CMOS device applications |
US7645478B2 (en) | 2005-03-31 | 2010-01-12 | 3M Innovative Properties Company | Methods of making displays |
US8300031B2 (en) | 2005-04-20 | 2012-10-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device comprising transistor having gate and drain connected through a current-voltage conversion element |
JP2006344849A (ja) | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Casio Comput Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
US7402506B2 (en) | 2005-06-16 | 2008-07-22 | Eastman Kodak Company | Methods of making thin film transistors comprising zinc-oxide-based semiconductor materials and transistors made thereby |
US7691666B2 (en) | 2005-06-16 | 2010-04-06 | Eastman Kodak Company | Methods of making thin film transistors comprising zinc-oxide-based semiconductor materials and transistors made thereby |
US7507618B2 (en) | 2005-06-27 | 2009-03-24 | 3M Innovative Properties Company | Method for making electronic devices using metal oxide nanoparticles |
KR100711890B1 (ko) | 2005-07-28 | 2007-04-25 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 발광표시장치 및 그의 제조방법 |
JP2007059128A (ja) | 2005-08-23 | 2007-03-08 | Canon Inc | 有機el表示装置およびその製造方法 |
JP4280736B2 (ja) | 2005-09-06 | 2009-06-17 | キヤノン株式会社 | 半導体素子 |
JP5116225B2 (ja) | 2005-09-06 | 2013-01-09 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体デバイスの製造方法 |
JP4850457B2 (ja) | 2005-09-06 | 2012-01-11 | キヤノン株式会社 | 薄膜トランジスタ及び薄膜ダイオード |
JP2007073705A (ja) | 2005-09-06 | 2007-03-22 | Canon Inc | 酸化物半導体チャネル薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
EP3614442A3 (en) | 2005-09-29 | 2020-03-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device having oxide semiconductor layer and manufactoring method thereof |
JP5037808B2 (ja) | 2005-10-20 | 2012-10-03 | キヤノン株式会社 | アモルファス酸化物を用いた電界効果型トランジスタ、及び該トランジスタを用いた表示装置 |
CN101667544B (zh) | 2005-11-15 | 2012-09-05 | 株式会社半导体能源研究所 | 半导体器件及其制造方法 |
TWI292281B (en) | 2005-12-29 | 2008-01-01 | Ind Tech Res Inst | Pixel structure of active organic light emitting diode and method of fabricating the same |
US7867636B2 (en) | 2006-01-11 | 2011-01-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transparent conductive film and method for manufacturing the same |
JP4977478B2 (ja) | 2006-01-21 | 2012-07-18 | 三星電子株式会社 | ZnOフィルム及びこれを用いたTFTの製造方法 |
US7576394B2 (en) | 2006-02-02 | 2009-08-18 | Kochi Industrial Promotion Center | Thin film transistor including low resistance conductive thin films and manufacturing method thereof |
US7977169B2 (en) | 2006-02-15 | 2011-07-12 | Kochi Industrial Promotion Center | Semiconductor device including active layer made of zinc oxide with controlled orientations and manufacturing method thereof |
KR20070101595A (ko) | 2006-04-11 | 2007-10-17 | 삼성전자주식회사 | ZnO TFT |
US20070252928A1 (en) | 2006-04-28 | 2007-11-01 | Toppan Printing Co., Ltd. | Structure, transmission type liquid crystal display, reflection type display and manufacturing method thereof |
JP5028033B2 (ja) | 2006-06-13 | 2012-09-19 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体膜のドライエッチング方法 |
US7797664B2 (en) | 2006-06-23 | 2010-09-14 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | System for configuring an integrated circuit and method thereof |
JP4609797B2 (ja) | 2006-08-09 | 2011-01-12 | Nec液晶テクノロジー株式会社 | 薄膜デバイス及びその製造方法 |
JP4999400B2 (ja) | 2006-08-09 | 2012-08-15 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体膜のドライエッチング方法 |
JP4332545B2 (ja) | 2006-09-15 | 2009-09-16 | キヤノン株式会社 | 電界効果型トランジスタ及びその製造方法 |
JP4274219B2 (ja) | 2006-09-27 | 2009-06-03 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、有機エレクトロルミネッセンス装置、有機薄膜半導体装置 |
JP5164357B2 (ja) | 2006-09-27 | 2013-03-21 | キヤノン株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
US7622371B2 (en) | 2006-10-10 | 2009-11-24 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fused nanocrystal thin film semiconductor and method |
US7772021B2 (en) | 2006-11-29 | 2010-08-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Flat panel displays comprising a thin-film transistor having a semiconductive oxide in its channel and methods of fabricating the same for use in flat panel displays |
JP2008140684A (ja) | 2006-12-04 | 2008-06-19 | Toppan Printing Co Ltd | カラーelディスプレイおよびその製造方法 |
KR101303578B1 (ko) | 2007-01-05 | 2013-09-09 | 삼성전자주식회사 | 박막 식각 방법 |
US8207063B2 (en) | 2007-01-26 | 2012-06-26 | Eastman Kodak Company | Process for atomic layer deposition |
KR100851215B1 (ko) | 2007-03-14 | 2008-08-07 | 삼성에스디아이 주식회사 | 박막 트랜지스터 및 이를 이용한 유기 전계 발광표시장치 |
US7795613B2 (en) | 2007-04-17 | 2010-09-14 | Toppan Printing Co., Ltd. | Structure with transistor |
KR101325053B1 (ko) | 2007-04-18 | 2013-11-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 기판 및 이의 제조 방법 |
KR20080094300A (ko) | 2007-04-19 | 2008-10-23 | 삼성전자주식회사 | 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법과 박막 트랜지스터를포함하는 평판 디스플레이 |
KR101334181B1 (ko) | 2007-04-20 | 2013-11-28 | 삼성전자주식회사 | 선택적으로 결정화된 채널층을 갖는 박막 트랜지스터 및 그제조 방법 |
CN101663762B (zh) | 2007-04-25 | 2011-09-21 | 佳能株式会社 | 氧氮化物半导体 |
KR101345376B1 (ko) | 2007-05-29 | 2013-12-24 | 삼성전자주식회사 | ZnO 계 박막 트랜지스터 및 그 제조방법 |
US7825685B2 (en) | 2007-09-06 | 2010-11-02 | Tabula, Inc. | Configuration context switcher with a clocked storage element |
US8202365B2 (en) | 2007-12-17 | 2012-06-19 | Fujifilm Corporation | Process for producing oriented inorganic crystalline film, and semiconductor device using the oriented inorganic crystalline film |
WO2010019441A1 (en) | 2008-08-14 | 2010-02-18 | Nantero, Inc. | Nonvolatile nanotube programmable logic devices and field programmable gate array |
JP4623179B2 (ja) | 2008-09-18 | 2011-02-02 | ソニー株式会社 | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JP5451280B2 (ja) | 2008-10-09 | 2014-03-26 | キヤノン株式会社 | ウルツ鉱型結晶成長用基板およびその製造方法ならびに半導体装置 |
JP5781720B2 (ja) | 2008-12-15 | 2015-09-24 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
SG10201406869QA (en) | 2009-10-29 | 2014-12-30 | Semiconductor Energy Lab | Semiconductor device |
SG182272A1 (en) * | 2010-01-20 | 2012-08-30 | Semiconductor Energy Lab | Semiconductor device |
KR101899880B1 (ko) * | 2011-02-17 | 2018-09-18 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 프로그래머블 lsi |
WO2012157532A1 (en) | 2011-05-16 | 2012-11-22 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Programmable logic device |
TWI571058B (zh) * | 2011-05-18 | 2017-02-11 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置與驅動半導體裝置之方法 |
US8779799B2 (en) | 2011-05-19 | 2014-07-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Logic circuit |
US8581625B2 (en) | 2011-05-19 | 2013-11-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Programmable logic device |
US9762246B2 (en) | 2011-05-20 | 2017-09-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device with a storage circuit having an oxide semiconductor |
JP5820336B2 (ja) | 2011-05-20 | 2015-11-24 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP6125850B2 (ja) | 2012-02-09 | 2017-05-10 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置及び半導体装置の作製方法 |
US9230683B2 (en) * | 2012-04-25 | 2016-01-05 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and driving method thereof |
US9654107B2 (en) | 2012-04-27 | 2017-05-16 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Programmable LSI |
JP6228381B2 (ja) | 2012-04-30 | 2017-11-08 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
US8975918B2 (en) | 2012-05-01 | 2015-03-10 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Lookup table and programmable logic device including lookup table |
KR102059218B1 (ko) | 2012-05-25 | 2019-12-24 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 프로그래머블 로직 디바이스 및 반도체 장치 |
JP6377317B2 (ja) | 2012-05-30 | 2018-08-22 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | プログラマブルロジックデバイス |
KR102102589B1 (ko) * | 2012-10-17 | 2020-04-22 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 프로그램 가능한 논리 장치 |
KR102112364B1 (ko) | 2012-12-06 | 2020-05-18 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 |
US8952723B2 (en) * | 2013-02-13 | 2015-02-10 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Programmable logic device and semiconductor device |
TW201513128A (zh) * | 2013-07-05 | 2015-04-01 | Semiconductor Energy Lab | 半導體裝置 |
JP6444723B2 (ja) * | 2014-01-09 | 2018-12-26 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 装置 |
KR102253204B1 (ko) * | 2014-02-07 | 2021-05-20 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 장치 |
JP6541376B2 (ja) * | 2014-03-13 | 2019-07-10 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | プログラマブルロジックデバイスの動作方法 |
-
2015
- 2015-04-14 TW TW104111963A patent/TWI643457B/zh not_active IP Right Cessation
- 2015-04-17 US US14/689,262 patent/US9287878B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2015-04-21 KR KR1020150055734A patent/KR20150123724A/ko unknown
- 2015-04-24 JP JP2015088946A patent/JP6480248B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07321641A (ja) * | 1994-05-26 | 1995-12-08 | Mitsubishi Electric Corp | フィールドプログラマブルゲートアレイ |
JPH10214482A (ja) * | 1997-01-29 | 1998-08-11 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
JP2001024162A (ja) * | 1999-07-07 | 2001-01-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 強誘電体デバイス |
JP2004119970A (ja) * | 2002-09-27 | 2004-04-15 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 強誘電体ゲート電界効果トランジスタを使用する不揮発性メモリ |
US8072237B1 (en) * | 2009-06-04 | 2011-12-06 | Altera Corporation | Computer-aided design tools and memory element power supply circuitry for selectively overdriving circuit blocks |
JP2013251894A (ja) * | 2012-05-02 | 2013-12-12 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | プログラマブルロジックデバイス |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018022212A (ja) * | 2016-08-01 | 2018-02-08 | 株式会社日立製作所 | 情報処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20150123724A (ko) | 2015-11-04 |
TWI643457B (zh) | 2018-12-01 |
TW201547197A (zh) | 2015-12-16 |
US9287878B2 (en) | 2016-03-15 |
US20150311897A1 (en) | 2015-10-29 |
JP6480248B2 (ja) | 2019-03-06 |
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