JP2015532722A5

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Publication number: JP2015532722A5
Application number: JP2015526614A
Authority: JP
Filing date: 2013-08-06
Publication date: 2016-07-21
Anticipated expiration: 2033-08-06

Claims

ａ）フォトレジスト成分と、
ｂ）次式のペルフルオロポリエーテルシランであって
（Ｒ^ＰＦＰＥ−Ｘ^１−ＣＯ−ＮＨ）_ｘ−Ｒ^１−（ＮＨ−ＣＯ−Ｘ^２−Ｒ^シリル）_ｙ、
式中、
Ｒ^ＰＦＰＥは、式Ｒ ^{ＰＦＰＥ＊} −Ｑの基を表し、Ｒ ^{ＰＦＰＥ＊} は一価のペルフルオロポリエーテル基であり、Ｑは、二価のアルキレン基であり、前記アルキレンは場合により１個以上のカテナリー（鎖中）窒素又は酸素原子を含有し、場合により１個以上のスルホンアミド、カルボキシアミド、又はカルボキシ官能基を含有し、
Ｘ^１及びＸ^２は、独立して、−Ｏ−、−Ｓ−、又は−ＮＲ^２−であり、Ｒ^２はＨ又はＣ_１〜Ｃ_４アルキルであり、
Ｒ^１は、ポリイソシアネートの残基であり、
Ｒ^シリルは、１つ以上のシリル基を含有するシラン基含有部分であり、
下付き文字ｘ及びｙはそれぞれ独立して１〜６である、ペルフルオロポリエーテルシランと、
ｃ）光開始剤と、を含み、
前記フォトレジスト成分が、ソルダーレジストである、光硬化性組成物。
１００重量部の前記フォトレジスト成分に対して、０．１〜５重量部の前記ペルフルオロポリエーテルシラン化合物を含む、請求項１に記載の光硬化性組成物。
前記ペルフルオロポリエーテル基Ｒ^{ＰＦＰＥ＊}が、式
Ｒ_ｆ ^１−Ｏ−Ｒ_ｆ ^２−（Ｒ_ｆ ^３）_ｑ−であり、式中、Ｒ_ｆ ^１はペルフルオロアルキル基を表し、Ｒ_ｆ ^２はＣ_１〜Ｃ_４ペルフルオロアルキレンオキシ基又はこれらの混合物を表し、Ｒ_ｆ ^３は全フッ素化アルキレン基を表し、ｑは０〜１である、請求項１に記載の光硬化性組成物。
Ｒ_ｆ ^１が、Ｆ−Ｃ_ｎＦ_２ｎ−、Ｆ−ＣＦ（Ｚ）−、Ｆ−ＣＦ（Ｚ）Ｃ_ｎＦ_２ｎ−、Ｆ−Ｃ_ｎＦ_２ｎＣＦ（Ｚ）−、Ｆ−ＣＦ_２ＣＦ（Ｚ）−、及びこれらの組み合わせからなる群から選択される１つ以上の全フッ素化された繰返し単位を含む一価のペルフルオロアルキル基であり、式中、ｎは１〜４であり、Ｚはペルフルオロアルキル基又はペルフルオロアルコキシ基である、請求項３に記載の光硬化性組成物。
前記Ｒ _ｆ ^２が、−（ＣＦ_２−ＣＦ_２−Ｏ）_ｒ−；−（ＣＦ（ＣＦ_３）−ＣＦ_２−Ｏ）_ｓ−；−（ＣＦ_２ＣＦ_２−Ｏ）_ｒ−（ＣＦ_２Ｏ）_ｔ−、−（ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２−Ｏ）_ｕ及び−（ＣＦ_２−ＣＦ_２−Ｏ）_ｒ−（ＣＦ（ＣＦ_３）−ＣＦ_２−Ｏ）_ｓ−のうちの１つ以上から選択され、式中、ｒ、ｓ、ｔ及びｕはそれぞれ１〜５０の整数である、請求項３に記載の光硬化性組成物。
Ｒ^シリルが式
−Ｒ^４−Ｓｉ（Ｙ）_ｐ（Ｒ^３）_３−ｐであり、式中
Ｒ^４は二価のアルキレン基であり、該アルキレン基は１個以上のカテナリー酸素原子を場合により含有し、Ｙは加水分解性基であり、Ｒ^３は一価のアルキル又はアリール基であり、ｐは１、２又は３である、請求項１に記載の光硬化性組成物。
Ｒ^シリルが式
Ｘ−（Ｍ^シリル）_ａ−（Ｍ^２）_ｂ−Ｓ−Ｒ^４−
であり、式中、
Ｘは、Ｈ、又は反応開始剤の残基であり、
Ｍ^シリルは、ペンダントシリル基を有する（メタ）アクリレートモノマーの残基であり、
Ｍ^２は、（メタ）アクリレートエステルモノマーの残基であり、
Ｒ^４は、二価のアルキレン若しくはアリーレン基、又はこれらの組み合わせであり、該アルキレン基は、１個以上のカテナリー酸素原子を場合により含有し、
ａは、少なくとも２であり、ｂは０であってもよく、ａ＋ｂは２〜２０である、請求項１に記載の光硬化性組成物。
前記Ｍ^シリルモノマー単位が次式のモノマーから誘導され、

式中、
Ｒ^２は、Ｈ又はＣ_１〜Ｃ_４アルキルであり、
Ｒ^６は二価のアルキレン基であり、該アルキレン基は１個以上のカテナリー酸素原子を場合により含有し、Ｙは加水分解性基であり、Ｒ^３は一価のアルキル又はアリール基であり、ｐは１、２又は３である、請求項７に記載の光硬化性組成物。
Ｒ^シリル基に対するＲ^ＰＦＰＥ基の当量比が１：１〜１：１０である、請求項１に記載の光硬化性組成物。
Ｒ^シリルが式

であり、式中、
Ｘ^３は、−Ｏ−、−Ｓ−又は−ＮＲ^２−であり、Ｒ^２はＨ又はＣ_１〜Ｃ_４アルキルであり、
Ｒ^５は、多価のアルキレン若しくはアリーレン基、又はこれらの組み合わせであり、該アルキレン基は１個以上のカテナリー酸素原子を場合により含有し、
Ｒ^６は、二価のアルキレン基であり、該アルキレン基は１個以上のカテナリー酸素原子を場合により含有し、
Ｙは、加水分解性基であり、
Ｒ^３は、一価のアルキル又はアリール基であり、
ｐは、１、２、又は３、好ましくは３であり、
ｏは１〜５である、請求項１に記載の光硬化性組成物。
１００重量部の前記フォトレジスト成分を基準にして、５〜４０重量部の量で熱硬化性樹脂を更に含む、請求項１に記載の光硬化性組成物。
ａ）金属性ベース基材又はプリント回路基板基材と、
ｂ）フォトツールと、
ｃ）その間に配置された請求項１に記載の光硬化性層と、を含む、多層物品。
前記フォトツールの表面上に配置されたハードコートを更に含む、請求項１２に記載の多層物品。