JPS63286841A - 感光性樹脂組成物溶液 - Google Patents

感光性樹脂組成物溶液

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JPS63286841A
JPS63286841A JP62121549A JP12154987A JPS63286841A JP S63286841 A JPS63286841 A JP S63286841A JP 62121549 A JP62121549 A JP 62121549A JP 12154987 A JP12154987 A JP 12154987A JP S63286841 A JPS63286841 A JP S63286841A
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solvent
resin composition
group
epoxy
photosensitive resin
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JP62121549A
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Nobuyuki Hayashi
信行 林
Katsushige Tsukada
塚田 勝重
Tadashi Fujii
正 藤井
Katsunori Tsuchiya
勝則 土屋
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Ibiden Co Ltd
Resonac Corp
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Ibiden Co Ltd
Hitachi Chemical Co Ltd
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    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/28Applying non-metallic protective coatings
    • H05K3/285Permanent coating compositions
    • H05K3/287Photosensitive compositions
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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    • G03F7/0048Photosensitive materials characterised by the solvents or agents facilitating spreading, e.g. tensio-active agents
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
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    • G03F7/004Photosensitive materials
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、感光性樹脂組成物溶液に関する。更に詳しく
は、プリント配線板の永久マスク形成用の感光性樹脂組
成物溶液に関する。
〔従来の技術〕
プリント配線板の永久マスク形成用の感光性樹脂組成物
としては、例えば、アクリル系ポリマ及び光重合性モノ
マを主成分とする感光性樹脂組成物(特開昭53−56
018号公報、特開昭54−1018号公報等)、アク
リル系ポリマ、光重合性モノマ及びエポキシ樹脂を主成
分とする感光性樹脂組成物(特公昭52−43091号
公報、特公昭52−43092号公報等)並びに光反応
性が付与されたエポキシ樹脂を主成分とする感光性樹脂
組成物(特開昭54−82073号公報、特開昭58−
62636号公報、特開昭61−132947号公報等
)など既に種々のものが知られている。これらのなかで
は、はんだ耐熱性及び現像性の点から特開昭61−13
2947号公報に示された感光性樹脂組成物が特に永久
マスク用として好ましい。
一方、感光性樹脂組成物を用いた基板への感光層の形成
方法については大別して(a)フィルム法〔ポリエチレ
ンテレフタレートフィルム等の支持体に感光性樹脂組成
物溶液を塗布乾燥させる等して得た均一フィルム状感光
材料をラミネータ等を用いて基板に圧着し、基板上に感
光層を形成する方法〕と(b)直接塗工法〔感光性樹脂
組成物溶液を塗工装置(例えばカーテンフローコート装
置、ロールコート装置等)で直接基板に塗工乾燥し、基
板上に感光層を形成する方法〕が知られている。
前記(a)の方法によると、特別な熟練を必要とするこ
となく簡単に均一な膜厚の感光層を基板上に形成できる
。しかしながら基板の回路厚が大きい場合には、回路と
回路の間の部分に感光層を十分に埋めこむことが難しく
回路間に気泡が残留する。この問題を回避するためには
、厚膜のフィルム状感光材料を用い、さらに真空下で基
板に圧着することが必要となり、このための特殊で高価
な装!(例えば真空ラミネータ)が必要である。
これに対し前記(b)の方法では、装置が安価であり、
比較的薄い感光層を基板上に形成することは容易である
が厚い感光層を均一に形成するには熟練を要する。また
基板の回路厚が大きい場合には、フィルム法に於ける回
路間への気泡の残留は発生しにくいが、別の問題が生じ
る。すなわち樹脂組成物溶液の回路上部からの流れ、ス
ルホール内への流れこみ等によって、回路上及びスルホ
ールの周辺部の感光層膜厚が薄くなり([カバリングが
悪い」と言われる)、その後のはんだ付は処理等でダメ
ージを受けやすい等の問題がある。
前記(b)の方法での問題を解決するための方法が特開
昭54−82073号公報及び特開昭58−62636
号公報に提案されている。
すなわちこれらの公報には、特定の液状の樹脂組成物溶
液をカーテンフローコータを用いて基板に塗布し基板上
に感光層を形成しその後一定の処理をし基板上に永久マ
スクを形成するにあたり、塗布に供する樹脂組成物溶液
の粘度について、充てん剤を含まない組成物の場合には
粘度を500〜1200mPa5 (特開昭54−82
073号公報)、充てん剤を含む組成物の場合には、粘
度を200〜700+*Pas (特開昭58=626
36号公報)で行うことが記載され、かかる方法により
、上述カバリングの問題の解決が達成できるとされてい
る。
しかしながらこれら提案された方法を前述の、特開昭6
1−132947号公報に開示された重合性ビニル基と
熱反応性エポキシ基を含有する樹脂を主成分とする樹脂
組成物の直接塗工法に適用してみると、カバリングの問
題について満足な結果を得ることができないことが判明
した。すなわち樹脂組成物溶液のロールコート法あるい
はカーテンフローコート法に於て、高濃度で高粘度の溶
液では基板の回路間に気泡の残留がしばしば生じ、一方
低濃度で低粘度の溶液では回路のカバリング不良あるい
はスルホールへの流れこみの問題があり。
これら両者の問題を生じず、安定して良好な塗布を行う
ことが可能な粘度領域を見出すことができなかった。
〔発明が解決しようとする問題点〕
本発明の目的は、前記従来技術の欠点を除去し基板の回
路上部及びスルホールの周辺部の永久マスク膜厚が十分
で高い信頼性を有するプリント配線板を得るための樹脂
組成物溶液を提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の提案は、A)側鎖にエポキシ基及び重合性ビニ
ル基を有するオリゴマー、B)光重合開始剤、C)エポ
キシ樹脂硬化剤、D)充てん剤及びE)溶剤を含有して
おり、 ■当該E)の溶剤が、メタノール、エタノール。
メチルエチルケトン、アセトン及び酢酸エチルからなる
群から選ばれた少なくとも一種の低沸点溶剤を溶剤全量
の10ないし20重量%含んでおり、■25℃における
粘度が100mPa5以上200mPa5以下である ことを特徴とする、カーテンフローコート法あるいはロ
ールコート法によって被塗工基板に塗工されるためのプ
リント配線板永久マスク形成用感光性樹脂組成物溶液で
ある。
本発明の樹脂組成物溶液は必須成分A)として側鎖にエ
ポキシ基と重合性ビニル基を有するオリゴマーを含有す
る。かかるオリゴマーの好適な例は、前記した特開昭6
1−132947号公報、特願昭60−107785号
公報、特願昭60−107786号公報に記載されてい
る。
特に、少なくとも2個のエポキシ基を有する化合物と不
飽和カルボン酸とを、酸当量/エポキシ当量比が0.1
〜0.98の範囲で付加反応させて得られる不飽和化合
物に、不飽和化合物の水酸基に対し、イソシアナートエ
チルメタクリレートを、イソシアナート当量/水酸基当
量比が0.1〜1.2 の範囲で反応させて得られるオ
リゴマーが好ましい。
少なくとも2個のエポキシ基を有する化合物としては、
例えばビスフェノールAとエピクロルヒドリンとを反応
させて得られるビスフェノールA型エポキシ樹脂(例え
ばシェル化学製エピコート812、エピコート828.
エピコート1001等)臭素化ビスフェノールA型エポ
キシ樹脂(例えば東部化成■製エピトートYDB−34
0゜YDB−400等)、ビスフェノールF型エポキシ
樹脂(例えば東部化成■製エポトートYDF−170、
YDF−190等)、ビスフェノールAにアルキレンオ
キサイドを付加した後エピクロルヒドリンを反応させて
得られるエポキ”シ化合物(例えば共栄社油脂■製エポ
ライト3002等)。
水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂(例えば東部化成
mtsサントート5T−1000,5T−3000等)
、グリオキザール型エポキシ樹脂(例えば東部化成■製
エポトートYDG−414等)、グリシジルアミン型エ
ポキシ樹脂(例えば東部化成■製エポトートYDM−1
20,YH−434等)、オルソクレゾールノボラック
型エポキシ樹脂(例えば日本化薬■製EOCN102等
)、フェノールノボラック型エポキシ樹脂(例えば東部
化成ftl製YDPN−638等)、臭素化フェノール
ノボラッグ型エポキシ樹脂(例えば日本化薬■製BRE
N等)、脂環式エポキシ化合物(例えばチッソ■製チッ
ソノックス221.チッソノックス201等)、フタル
酸等のジカルボン酸とエピクロルヒドリンとの反応によ
り得られるグリシジルエーテル型エポキシ樹脂(例えば
昭和電工■製ショウダイン508.ショウダイン540
.ショウダイン550等)、グリシジルアミン型エポキ
シ樹脂(シェル化学■製エピコート604等)。
トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル等が挙
げられる。
不飽和カルボン酸としてはアクリル酸、メタクリル酸、
β−フリルアクリル酸、β−スチリルアグリル酸等が用
いられる。
本発明において、これらの少なくとも2個のエポキシ基
を有する化合物と不飽和カルボン酸と、の付加反応は式
(1)に示すようであり、酸当量/エポキシ当量比が0
.1〜0.98の範囲で常法により行なわれる。酸当量
/エポキシ当量比が0.1未満では画像露光後の現像処
理により光硬化被膜が膨潤しやすい、酸当量/エポキシ
当量比が0.98を超える場合には、密着性、耐熱性等
が低下する。
0.15〜0.6の範囲が特に好ましい。
0H・・・(1) 本発明の不飽和化合物は、例えば触媒としてトリエ°チ
ルアミン、トリーn−ブチルアミン、ジエチルシクロヘ
キシルアミン等の3級アミン、塩化ベンジルトリメチル
アンモニウム、塩化ベンジルトリエチルアンモニウム等
の4級アンモニウム塩を、また重合禁止剤としてハイド
ロキノン、p−メトキシフェノール等を用い、70〜1
10℃で前記不飽和カルボン酸と前記エポキシ基を有す
る化合物を攪拌反応させることにより得られる。この反
応にあたっては、反応溶媒としてメチルエチルケトン、
メチルセロソルブアセテート、1,1゜1−)−リクロ
ルエタン等の有機溶剤、ポリプロピレングリコールジア
クリレート、エチルカルピトールアクリレート等の光重
合性単量体を用いることができる。
上記のようにエポキシ基を有する化合物と不飽和カルボ
ン酸とを付加反応させて得られる不飽和化合物に対する
イソシアナートエチルメタクリレートの反応は式(Il
)に示すようであり、不飽和化合物の全水酸基に対する
イソシアナートエチルメタクリレートの反応はインシア
ナート当量/水酸基当量比が0.1〜1.2の範囲で常
法により行われる。イソシアナート当量/水酸基当量比
が0.1未満の場合には、1,1.1−トリクロルエタ
ン等の難燃性有機溶剤による現像が困難となり、また光
硬化性も低下する。イソシアネート当量/水酸基当量比
が1.2 を超える場合には、反応時にゲル化しやすく
、また耐熱性等の特性も低下する。0.9〜1.2の範
囲が特に好ましい。反応後、メタノール、エタノール、
2−ヒドロキシエチルアクリレート等のアルコールを用
いて、残存するイソシアナートエチルメタクリレートを
ウレタン化し失活させることが、安全上および保存安定
性向上の上で望ましい。
H 例えば前記の少なくとも2個のエポキシ基を有する化合
物と不飽和カルボン酸との付加反応を行い、次いでこの
生成物にジブチルチンジラウレート、ジブチルチンジ2
エチルヘキソエート等のウレタン化触媒を添加し、上記
の当量比の範囲でイソシアナートエチルメタクリレート
を50〜110℃で攪拌反応させることにより、側鎖に
エポキシ基と、重合性ビニル基を有するオリゴマーが得
られる。このような反応条件下ではウレタン結合とエポ
キシ基との反応、不飽和結合の熱重合等の副反応を防止
することができ、その結果ゲル状物、を生成させること
なく、側鎖にエポキシ基と重合性ビニル基を有するオリ
ゴマーを得ることができる。
本発明において特に好ましいオリゴマーとしては、オル
ソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂/アクリル酸/
イソシアナートエチルメタクリレート(酸当量/エポキ
シ当量比0.1〜0.98゜イソシアナート当量/水酸
基当量比0.1〜1.2)系反応物、オルソクレゾール
ノボラック型エポキシ樹脂/メタクリル酸/イソシアナ
ートエチルメタクリレート(酸当量/エポキシ当量比0
.1 〜0.98.インシアナート当量/水酸基当量比
0.1〜1.2)系反応物、ビスフェノールA型エポキ
シ樹脂/アクリル酸/イソシアナートエチルメタクリレ
ート(酸当量/エポキシ当量比0.1〜0.98.イソ
シアナート当量/水酸基当量比0.1〜1.2)系反応
物、ビスフェノールA型エポキシ樹脂/メタクリル酸/
イソシアナートエチルメタクリレート(酸当量/エポキ
シ当量比0.1〜0.98.イソシアナート当量/水酸
基当量比0.1〜1.2)系反応物等が挙げられる。
本発明の樹脂組成物溶液は、光重合開始剤を必須成分B
)として含有する。そのような光重合開始剤としては、
置換または非置換の多核キノン類、例えば、2−エチル
アントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、オク
タメチルアントラキノン、1,2−ベンズアントラキノ
ン、2,3−ジフェニルアントラキノン等、ジアセチル
ベンジル等のケトアルドニル化合物、ベンゾイン、ビバ
ロン等のα−ケタルドニルアルコール頚および二一チル
類、α−炭化水素置換芳香族アシロイン類、例えばα−
フェニル−ベンゾイン、α、α−ジェトキシアセトフェ
ノン等、ベンゾフェノン、1−ヒドロキシシクロへキシ
レフェニルケトン、2−メチル−4−(メチルチオ)フ
ェニル−2−モルフォリノ−1プロパノン、4,4′−
ビスジアルキルアミノベンゾフェノン等の芳香族ケトン
類。
2メチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサン
トン、2−クロルチオキサントン、2−イソプロピルチ
オキサントン、2−エチルチオキサントン等のチオキサ
ントン類3,6−ビス(2−メチル−2−モルフォリノ
−1−プロパノニル)−9−nプチレーカルバゾールが
用いられ、これらは単独でも組み合わせて使用してもよ
い0組み合せの例としては例えば2,4.5−トリアリ
ルイミダゾールニ量体と2−メルカプトベンゾキナゾー
ル、ロイコクリスタルバイオレット、トリス(4−ジエ
チルアミノ−2−メチルフェニル)メタン等との組み合
わせが用いられる。またそれ自体で光開始性はないが、
前記物質と組み合わせて用いることにより全体として光
開始性能がより良好となるような添加剤、例えば、ベン
ゾフェノンに対するトリエタノールアミン等の3Rアミ
ン。
チオキサントン類に対するジメチルアミノ安息香酸イソ
アミル、N−メチルジエタールアミン、ビスエチルアミ
ノベンゾフェノン等を用いることもできる。
本発明の樹脂組成物溶液は、A)側鎖にエポキシ基と重
合性ビニル基を有するオリゴマー100重量部に対して
、上記(B)の光開始剤を0.1〜30重量部の範囲で
用いることが、解像度、はんだ耐熱性等に優れた永久マ
スクを形成する上で好ましい。
本発明の樹脂組成物溶液は、エポキシ樹脂硬化剤を必須
成分C)として含有する。そのようなエポキシ樹脂硬化
剤としては、ジシアンジアミド、2−エチル−4メチル
イミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダ
ゾール、2,4−ジアミノ−6−(2’ −ウンデシル
−イミダゾール・−(1)’)−エチル−s−トリアジ
ンなどのイミダゾール系硬化剤、1−(o−トリル)ビ
グアニド、2,6−キシリルビグアニドなどのビグアニ
ド系硬化剤、BF、、モノエチルアミン錯体、BF、−
トリエタノールアミン錯体などの三フッ化ホウ素アミン
錯体アミンイミド型硬化剤(エビキュアYPH−201
.油化シェルエポキシ■製)等がある。イミダゾール系
硬化剤が好ましい。これらの硬化剤は2種以上混合して
使用することができる。
本発明の樹脂組成物溶液中のC)エポキシ樹脂硬化剤の
含有量は、A)側鎖にエポキシ基と重合性ビニル基を有
するオリゴマー100重量部に対して0.1〜10重量
部が好ましく、0.1重量部以下では塗膜の硬化が不十
分になるため耐溶剤性等の特性が悪く、10重量部をこ
えると現像残り等の不良を発生し易くなる傾向がある。
本発明の感光性樹脂組成物溶液は、必須成分D)として
充てん剤を含有する。用い得る充てん剤の例としては、
微粒子状のタルク、シリカ、硫酸バリウム、アルミナ、
水酸化アルミニウム、炭酸カルシウム、カオリンクレー
、二酸化アンチモン等がある。
これらの充てん剤は、単独でもまた混合しても用い得、
A)のオリゴマー100重量部に対し5〜60重量部、
好ましくは10〜50重量部が用いられる。
本発明の感光性樹脂組成物溶液は必須成分E)として溶
剤を含有する。また、この溶剤は少なくとも2種以上の
混合溶剤でなければならず、その−成分としてメタノー
ル、エタノール、メチルエチルケトン、アセトン及び酢
酸エチルからなる群から選ばれた少なくとも一種の低沸
点溶剤を溶剤全量の10ないし20重量%含有せしめる
ことが必要である。低沸点溶剤含量が10重量%未満で
は1本発明の目的であるカバリングが達成できず、一方
、20重量%を越える含量は、かがる低沸点溶剤は揮散
し易いので、本発明の実施において必要な粘度に管理す
ることが困難となり、また1回路間への感光性樹脂組成
物溶液の十分な流れこみが不十分のために、気泡の残留
という問題を生じることかしばしばある、溶剤全量の9
0な)Nし80重量%を占める他の溶剤は、本発明のA
)のオリゴマーを溶解でき、比較的高沸点(少なくとも
100℃以上)のものであればよく、その例としては、
トルエン、キシレン、シクロヘキサノン、メチルイソブ
チルケトン、2−メチル−1−ブタノール、エチレング
リコールあるいはプレピレングリコールのメチルあるい
はエチル、あるし1はブチルモノエーテル、2−エトキ
シエチルアセテート、2−メトキシエチルアセテート、
ジエチレングリコールモノエチルエーテルなどが挙げら
れる。
これらのなかでは2−エトキシエチルアセテートが優れ
た溶解性と比較的低揮発性を有する点で好ましい。勿論
、他の目的、すなわち例えば、前記B)の光重合開始剤
の溶解2分散を効率的に行うために、ここに挙げた以外
の溶剤、例えばメチレンクロリドなどを添加的に小量用
いることは本発明実施の上で障害になるものではない。
本発明に用いるE)溶剤の感光性樹脂組成物溶液中の量
は、組成物溶液の25℃における粘度が100mPa5
以上200mPa5以下になるように調整′することが
必要であり、一般的には40重量%ないし50重景%で
ある。感光性樹脂組成物溶液の粘度が100mPa5未
満である場合には、本発明の目的であるカバリングが達
成できず、一方、200mPa5を越えると、回路間へ
の樹脂組成物溶液の流れこみが不十分となり気泡の残留
等が起こる。カーテンフローコート法あるいはロールコ
ート法による塗工中の組成物溶液の循環により、組成物
溶液中の溶剤の一部は揮発減少するので、絶えず組成物
溶液の粘度が前述の値の範囲になるよう溶剤を追加して
粘度を管理すべきである。実際の作業では、揮発減少す
る溶剤はほとんど低沸点溶剤であるので、混合溶剤でな
く低沸点溶剤のみを追加すればよいことが確かめられた
本発明の感光性樹脂組成物溶液は、上述のA)ないしE
)以外の成分として、例えば熱重合防止剤9着色剤、1
1燃剤1重合性オリゴマーあるいはモノマーなと、通常
感光性樹脂組成物に用いる種種の添加剤を含有せしめる
ことができる。
本発明の感光性樹脂組成物溶液は1通常、A)のオリゴ
マー、D)の充てん剤及びE)の溶剤の一部をロール等
により混合1分散し1次いで残りの成分を加え、回転羽
根を有する攪拌機あるいはプラネタリウムミキサ等によ
る攪拌によって調製される。十分な攪拌により、例えば
、E型回転粘度計(東京計器■製E型粘度計、VISC
ONICE HD。
ロータ角度1°34′)で、回転数6 rpm及びIQ
rpmでの粘度を測定し1両者の値の比(6rpmでの
粘度値/10rpmでの粘度値)が1.05以下になる
よう均一分散を図るべきである。
本発明の感光性樹脂組成物溶液は、カーテンフローコー
ト法あるいはロールコート法によって、基板に塗工でき
る。塗工にあたっては基板は20℃ないしは40℃の温
度に調整しておくことが好ましい、基板に塗工後、20
ないし30℃で10ないし30分間放置し、溶剤の一部
を揮発させたのち、通常60℃ないしは120℃で10
ないし30分間加熱乾燥する。その後、ネガマスクを通
して露光し、現像する。現像後、被膜の特性向上のため
、後露光及び/あるいは80℃ないし200℃での加熱
処理を行う。これらにより、ソルダマスク等の永久マス
クとしての特性を満足する保護膜が得られる。
〔作用〕
本発明の感光性樹脂組成物溶液は、粘度がlo。
+mPa5以上200mPa5以下と比較的低粘度であ
るため、基板に塗工後、直ちに流動して基板裏面の回路
間を埋め、気泡などの残留がない。しかし一方、本発明
の組成物溶液は、塗工後の流動時に、含有しているメタ
ノール等の低沸点溶剤が揮発除去されるので、急激に高
粘度化する。特に、基板表面の回路上あるいはスルホー
ルの周辺部は流動により他より塗工被膜は薄くなるため
、より溶剤の揮発逸散が大きく、高粘度化し、流動性が
低下する。
その結果、これら回路上及びスルホール周辺部での塗工
被膜の流動が抑制され、これら部分での十分な厚膜の被
膜が確保される0本発明の感光性樹脂組成物溶液による
本発明の効果の発現の機序は以上のように推定されるが
、本発明者たちは、これらの記載によって本発明を限定
しようとするものではない。
〔実施例〕
実施例1 (a)側鎖にエポキシ基及び重合性ビニル基を有するオ
リゴマーの製造 温度計、攪拌装置、冷却管を付した500Q反応釜にオ
ルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬株
式会社製、EOCN104S)236kg、セロソルブ
アセテート(2−エトキシエチルアセテートの商品名)
14.5kg 、P−メトキシフェノール0.3kg 
を仕込み、80’Cに加温して内容物を均一にする。塩
化ベンジルトリメチルアンモニウム0.1kgをアクリ
ル酸18)cgに溶解させたものを加え、80℃で約2
5時間反応させて酸価0,8  とした。次いで温度を
60℃に落し、ジブチルチンジラウレート0.05kg
 を加え、更に反応温度を60℃で保ちながら約3時間
かけてイソシアナートエチルメタクリレート51聴を滴
下した。滴下終了後約5時間かけて徐々に反応温度を8
0℃まで昇温させた後、温度を60℃に落し、メタノー
ル0.2kg を加え、約1時間攪拌して、固形分68
重量%のオリゴマー溶液(A)を得た。
(b)感光性樹脂組成物溶液の製造 (a)で得たオリゴマー溶液(A)I Q 3.8kg
 。
シリカ35.6kg、タルク7.1kg、二酸化アンチ
モン2.0kg 、を三本ロール3回通しし、十分に混
練した。得られた混練品に、(a)で得たオリゴマー溶
液46.2kg、セロソルブアセテート16.8−、ベ
ンゾフェノン10.0kg、ミヒラーズケトン1.0k
g 、フタロシアニングリーン(東洋インク株式会社製
、TY−50323)3.7kgを加え、攪拌羽根を備
えた攪拌装置で回転数200〜300RPMで約3時間
攪拌して、樹脂母液溶液(B)を得た。この溶液の固形
分含量は72重量%であった。
上述のようにして得られた樹脂母液溶液(B)、3弗化
ホウ素モノ工チルアミン鉗体の23.5重量%メチルセ
ロソルブ(エチレングリコールモ゛ツメチルエーテルの
商品名)溶液(C)、セロソルブアセテート及び低沸点
溶剤を表1に示す配合で混合し、上述と同様の攪拌装置
で約1時間攪拌し。
感光性樹脂組成物溶液を得た。
(c)プリント配線板への塗工 (b)で得た感光性樹脂組成物溶液を岩田塗装機工業■
製カーテンフローコート装置を用いて平担板での乾燥塗
膜厚が45〜50μmになるようにコンベアスピードを
100〜130m/分の範囲で適宜設定し、直径1■の
スルホール及び厚み53μm9幅160幅用60μm6
0μmの回路を有する 2 5 aI X 20 csの両面銅スルホール基板
の片面に塗工した。この基板を室温で20分間、ついで
80℃で30分間乾燥した。
(d)塗工基板の特性評価 (C)で得た基板を樹脂を塗工した側からオーク製作所
製超高圧3Kw水銀灯で600mJ/aJl光し、つい
で、150℃で30分間加熱処理した。
このものについて以下の評価を行った。
■ 外WAllI察・・・基板全面について、樹脂皮膜
内に気泡が存在しているか否かを肉眼で観察した。
気泡がない場合を0.1〜5個のときΔ、6〜20個の
とき×、21個以上のときを××とした。
@ はんだ耐熱性・・・タムラ化研a製ロジン系フラッ
グスA−226を基板に塗布乾燥後、基板全体を260
℃の溶融はんだ浴に30秒間浸漬後、トリクレン中に浸
漬洗浄した。このものについて、樹脂皮膜の基板からの
浮き、発泡を観察した。浮き、発泡がないものを0.1
〜3ケ所のものをΔ。
4ケ所以上のものをXとした。
O膜厚の測定・・・基板の回路部分及びスルホール部分
を切り取り、エポキシ樹脂で注型後2回路部分及びスル
ホール部分の断面が観察できるようダイヤモンドカッタ
ーで裁断、アルミナ粉で裁断面を研磨後、500倍の金
属顕微鏡で回路上及び。
スルホール開口端部から100μm部分の樹脂皮膜の厚
みを測定した。厚みが10μm以上を0゜9μm以下を
×とした。
以上の三点の評価で、いずれもOのものを0゜2点が0
で1点がΔのものをΔ、2点以上がΔあるいは×のもの
を×と総合評価した。これらの結果を併せて表1に示し
た。
表1に示したように、本発明の方法に従うと、気泡の残
留がなく1回路上及びスルホール周辺部分での十分な膜
厚を有し、その結果としてはんだ耐熱性に優れた樹脂皮
膜を形成できることが分かった。
比較例1 感光性樹脂組成物溶液の配合を表2に示した割合で行う
以外はすべて実施例1と同様にして、カーテンフロート
法で基板に感光性樹脂組成物溶液を塗工し、その特性を
評価した。特性評価結果を併せて表2に示した6 以1”、jζ白 表2から、低沸点溶剤を含有しないか、あるいは少量し
か含有しない感光性樹脂組成物を用いると、粘度が高い
場合には回路間に気泡が残留し、一方、粘度を低くして
ゆくと急激に膜厚が小さくなる結果、いずれにせよ気泡
と膜厚とについてバランスよく所望の特性を得ることが
できず、はんだ耐熱性良好な樹脂皮膜を形成することが
困難であることが分かる。また、大量の低沸点溶剤を含
有せしめると、塗工後の急激な溶剤の揮散によって樹脂
溶液が流動しないため気泡が残留し、また表2には記載
していないが、塗工操作中の低沸点溶剤の揮散も激しく
1作業者の健康及び安全上危険であることが分かった。
実施例2 実施例1で用いた感光性樹脂組成物溶液のうち。
表1中の実験番号、1−3.1−6.1−8の組成物溶
液を実施例1と同様の基板に、ロールコート法によって
塗工した。ロールコータ−としては。
パイロット精工in1mマイクロロールコータ−MRC
−450を用い、コンベアスピード2.7m/分、コー
ティングロールとコンベアとの間隙を1.2■(基板厚
の0.8)として塗工した後、室温で10分間、さらに
80℃で5分間乾燥し。
更に再度同様に重ね塗工、乾燥し、最後にもう一度同一
条件で塗工したのち室温で20分間、80℃と15分間
乾燥した。得られた塗工基板を用いて、実施例1と同様
に特性を評価した。結果を表3に示す。
以下全白 表  3 注1)実施例1の表1の実験番号 注2)膜厚、前者は回路中心上、後者はスルホール開口
端部から100μm部上の値。
表3から、いずれの塗工基板も気泡の残留がなく、十分
な膜厚で、はんだ耐熱性に優れ た樹脂皮膜が形成されていることが分かる。
〔発明の効果〕
実施例から明らかなように、本発明の樹脂組成物溶液を
用いることにより、基板の回路上部及びスルホールのコ
ーナ周辺部の永久マスク膜厚が十分で、高い信頼性を有
するプリント配線板を得ることができる。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、A)側鎖にエポキシ基及び重合性ビニル基を有する
    オリゴマー、B)光重合開始剤、C)エポキシ樹脂硬化
    剤、D)充てん剤及びE)溶剤を含有しており、(1)
    当該E)の溶剤がメタノール、エタノール、メチルエチ
    ルケトン、アセトン及び酢酸エチルからなる群から選ば
    れた少なくとも一種の低沸点溶剤を溶剤全量の10ない
    し20重量%含んでおり、(2)25℃における粘度が
    100mPas以上200mPas以下であることを特
    徴とする、カーテンフローコート法あるいはロールコー
    ト法によって被塗工基板に塗工されるためのプリント配
    線板永久マスク形成用感光性樹脂組成物溶液。 2、側鎖にエポキシ基及び重合性ビニル基を有するオリ
    ゴマーが、少なくとも2個のエポキシ基を有する化合物
    と不飽和カルボン酸とを、酸当量/エポキシ当量比が0
    .1〜0.98の範囲で付加反応させて得られる不飽和
    化合物に、不飽和化合物の水酸基に対し、イソシアナー
    トエチルメタクリレートを、イソシアナート当量/水酸
    基当量比が0.1〜1.2の範囲で反応させて得られる
    オリゴマーであることを特徴とする特許請求範囲第1項
    記載の感光性樹脂組成物溶液。 3、少なくとも2個のエポキシ基を有する化合物がオル
    ソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノ
    ボラック型エポキシ樹脂およびハロゲン化フェノールノ
    ボラック型エポキシ樹脂からなる群から選ばれた少なく
    とも1種のノボラック型エポキシ樹脂であることを特徴
    とする特許請求範囲第2項記載の感光性樹脂組成物溶液
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