JPH11327150A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】現像性、硬化性、タック性および耐溶剤性が優
れているエネルギー線硬化型の感光性樹脂組成物を提供
すること。 【解決手段】一分子中に少なくとも２個のエチレン性不
飽和結合を有するプレポリマー（Ａ）および０．１〜８
５重量％のポリシロキサンを構造の一部とする高分子量
化合物（Ｂ）を含有する感光性樹脂組成物。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は新規で有用な感光性
樹脂組成物に関し、さらに詳しくは、硬化性、タック性
等の諸特性に優れたプリント配線板用のソルダーレジス
ト膜や各種電子部品の絶縁樹脂層の形成に有用な感光性
樹脂組成物に関する。

【０００２】

【従来の技術】プリント配線板では、回路の永久保護皮
膜としてソルダーレジストが広く用いられている。ソル
ダーレジストとは回路導体のはんだ付けする部分を除い
た全面に皮膜形成されるもので、プリント配線板に電子
部品を配線する際、はんだが不必要な部分に付着するの
を防ぐとともに、回路が直接空気に暴露されるのを防止
する保護皮膜として使用されるものである。現在プリン
ト配線板用のソルダーレジストとしては高精度、高密
度、環境問題への配慮の観点から、液状の現像可能なソ
ルダーレジストインキが使用されている。

【０００３】液状のソルダーレジストインキとして、例
えば特開昭６０−２０８３７７号公報および特開昭６１
−５９４４７号公報には、ノボラック型エポキシ樹脂の
アクリル酸との部分反応物を主成分とするソルダーレジ
ストインキ組成物が提案されている。しかしながらこれ
らのインキ組成物は、露光後の硬化性が十分でなく、塗
膜形成後にタックが残る等の問題があった。また、特公
平１−５４３９０号公報には、ノボラック型エポキシ樹
脂と不飽和モノカルボン酸の反応物と多塩基酸無水物の
反応生成物を主成分とする感光性樹脂組成物が提案され
ている。しかしながら、この感光性樹脂組成物は、長時
間インキを放置すると未露光部に現像むらが発生し、硬
化が遅く、塗膜形成後にタックが生じてしまうという問
題点があった。このように現像性、硬化性、タック性な
どの諸特性がすべて良好なソルダーレジスト組成物は、
これまで提供されていなかった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、上記
のような種々の問題を解消し、現像性、硬化性、タック
性に優れかつ露光部の現像液に対する耐性があるエネル
ギー線硬化型の感光性樹脂組成物を提供することを解決
すべき課題とした。さらに本発明は、上記の優れた特性
に加えて、ソルダーレジストに要求される密着性、電気
絶縁性、はんだ耐熱、耐溶剤性、耐酸性、耐アルカリ
性、耐メッキ性等に優れた硬化塗膜を形成することがで
きる特性も備えており、プリント配線板などの製造に適
した感光性樹脂組成物を提供することを解決すべき課題
とした。

【０００５】

【課題を解決するための手段】これらの課題を解決する
ために鋭意検討を進めた結果、本発明者らは、分子中に
ポリシロキサン構造を有する高分子量化合物を使用すれ
ば、諸特性が極めて優れた感光性樹脂組成物を製造し得
ることを見出し、本発明を提供するに至った。すなわち
本発明は、一分子中に少なくとも２個のエチレン性不飽
和結合を有するプレポリマー（Ａ）および０．１〜８５
重量％のポリシロキサンを構造の一部とする高分子量化
合物（Ｂ）を含有する感光性樹脂組成物を提供する。本
発明の好ましい実施態様では、感光性樹脂組成物はさら
に光重合開始剤（Ｃ）、反応性希釈剤（Ｄ）およびエポ
キシ樹脂（Ｅ）を含有する。

【０００６】本発明の別の好ましい実施態様では、感光
性樹脂組成物に使用する高分子量化合物（Ｂ）は、重合
性不飽和単量体（ａ）と、該重合性不飽和単量体（ａ）
と共重合可能なポリシロキサン構造を有する化合物
（ｂ）との共重合体である。本発明の別の好ましい実施
態様では、感光性樹脂組成物に使用する高分子量化合物
（Ｂ）は、一分子中に少なくとも一個の官能基を有する
高分子量化合物（ｃ）と、該高分子量化合物（ｃ）の官
能基と反応可能な官能基を有するポリシロキサン化合物
（ｄ）とのグラフト共重合体である。ポリシロキサン化
合物（ｄ）は、高分子量化合物（ｃ）の官能基と反応可
能な官能基として、水酸基、アミノ基、エポキシ基、カ
ルボキシル基、メルカプト基またはイソシアネート基を
有する化合物であるのが好ましい。本発明のさらに別の
好ましい実施態様では、感光性樹脂組成物に使用する高
分子量化合物（Ｂ）は重合性不飽和基を有する化合物で
ある。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下において、本発明の感光性樹
脂組成物の各成分および用途について詳細に説明する。
なお、本明細書において「（メタ）アクリル酸」との表
記はアクリル酸またはメタクリル酸を意味し、「（メ
タ）アクリロイル」との表記はアクリロイルまたはメタ
クリロイルを意味し、「（メタ）アクリレート」との表
記はアクリレートまたはメタクリレートを意味する。

【０００８】一分子中に少なくとも２個のエチレン性不
飽和結合を有するプレポリマー（Ａ） プレポリマー（Ａ）としては、少なくとも２個のエポキ
シ基を有するエポキシ化合物と該エポキシ化合物の１エ
ポキシ当量あたり０．８〜１．２当量の不飽和カルボン
酸を反応させて得られるプレポリマー（ｉ）、少なくと
も２個のエポキシ基を有するエポキシ化合物と該エポキ
シ化合物の１エポキシ当量あたり０．８〜１．２当量の
不飽和カルボン酸を反応させた反応物に飽和または不飽
和多塩基酸無水物を反応させて得られるプレポリマー
（ｉｉ）、少なくとも２個のエポキシ基を有するエポキ
シ化合物に該エポキシ化合物の１エポキシ当量あたり
０．８〜１．２当量の不飽和カルボン酸を反応させた反
応物に飽和または不飽和多塩基酸無水物を反応させ、さ
らにエチレン性不飽和基とカルボキシル基または水酸基
と反応性のある官能基を有する化合物を反応させて得ら
れるプレポリマー（ｉｉｉ）のいずれかを使用するのが
好ましい。

【０００９】プレポリマー（ｉ）〜（ｉｉｉ）の合成に
用いる少なくとも２個のエポキシ基を有するエポキシ化
合物としては、エポキシ当量が１０００以下、好ましく
は１００〜５００のエポキシ樹脂を用いることができ
る。例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフ
ェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキ
シ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ビキシレノール型
エポキシ樹脂、Ｎ−グリシジル型エポキシ樹脂、トリグ
リシジルイソシアヌレート、フェノールノボラック樹
脂、クレゾールノボラック樹脂、エチルフェノールノボ
ラック樹脂、イソプロピルフェノールノボラック樹脂、
ｔｅｒｔ−ブチルフェノールノボラック樹脂、３，５−
キシレノールノボラック樹脂、ブロムフェノールノボラ
ック樹脂、ビスフェノールＡノボラック樹脂、ナフタレ
ンノボラック樹脂、ポリビニルフェノールのグリシジル
化合物、フェノール類とフェノール性水酸基を有する芳
香族アルデヒドとの縮合物のエポキシ化合物、および
（メタ）アクリル酸アルキルエステルの中から選ばれた
少なくとも１種の単量体とエポキシ基含有（メタ）アク
リル酸エステルから選ばれた少なくとも１種のエポキシ
基含有単量体との共重合体等の公知慣用のエポキシ樹脂
を単独または２種以上組み合わせて用いることができ
る。中でも、フェノールノボラック型、クレゾールノボ
ラック型等のノボラック型エポキシ樹脂が特に好まし
い。

【００１０】プレポリマー（ｉ）〜（ｉｉｉ）の合成に
用いる不飽和カルボン酸として、例えば、（メタ）アク
リル酸、クロトン酸、桂皮酸などを用いることができ
る。これらの不飽和カルボン酸は単独または２種以上組
み合わせて用いることができる。また不飽和カルボン酸
は、エポキシ樹脂のエポキシ基１．０当量に対して０．
８〜１．２当量反応させる。不飽和カルボン酸の量が
０．８当量以下であると感光性樹脂組成物の硬化性が不
十分になり、また１．２当量以上であるとタック性が不
十分になる傾向がある。

【００１１】プレポリマー（ｉｉ）および（ｉｉｉ）の
合成に用いる多塩基酸無水物としては、無水クロレンド
酸、無水トリメリト酸、無水ピロメリト酸、ベンゾフェ
ノンテトラカルボン酸無水物、無水マレイン酸、無水コ
ハク酸、無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、３
−メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、４−ヘキサヒドロ
無水フタル酸、３−エチルヘキサヒドロ無水フタル酸、
４−エチルヘキサヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無
水フタル酸、３−メチルテトラヒドロ無水フタル酸、４
−メチルテトラヒドロ無水フタル酸、３−エチルテトラ
ヒドロ無水フタル酸、４−エチルテトラヒドロ無水フタ
ル酸等が、現像性、熱硬化性成分等の反応性から好適で
ある。この多塩基酸無水物の使用量は、エポキシ樹脂の
エポキシ基１．０当量に対して０．３〜１．０当量が好
ましい。多塩基酸無水物の量が０．３当量以下であると
感光性樹脂組成物の現像性が不十分になり、また１．０
当量以上であると耐水性が不十分になる傾向がある。

【００１２】プレポリマー（ｉｉｉ）の合成に用いられ
るエチレン性不飽和基とカルボキシル基または水酸基と
反応性のある官能基を有する化合物としては、例えば、
３−エポキシプロピル（メタ）アクリレート、３，４−
エポキシブチル（メタ）アクリレート、３，４−エポキ
シシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、ジイソ
シアネート類と一分子中に１個の水酸基を有する（メ
タ）アクリレート類との反応生成物等が挙げられる。

【００１３】０．１〜８５重量％のポリシロキサンを構
造の一部とする高分子量化合物（Ｂ） 本発明の感光性樹脂組成物に使用する高分子量化合物
（Ｂ）は、分子中にポリシロキサン構造を有していて、
そのポリシロキサン構造部分が該高分子量化合物全体の
０．１〜８５重量％である化合物である。高分子量化合
物（Ｂ）としては、［１］重合性不飽和単量体（ａ）
と、該重合性不飽和単量体（ａ）と共重合可能なポリシ
ロキサン構造を有する化合物（ｂ）との共重合体；
［２］一分子中に少なくとも一個の官能基を有する高分
子量化合物（ｃ）と、該高分子量化合物（ｃ）の官能基
と反応可能な官能基を有するポリシロキサン化合物
（ｄ）との反応により得られるグラフト共重合体；
［３］前記［１］または前記［２］で得られた共重合体
にさらに重合性不飽和基を導入した高分子量化合物等が
挙げられる。これらの反応に使用するポリシロキサン化
合物の数平均分子量は１，０００〜５０，０００の範囲
内であるのが好ましく、３，０００〜２０，０００の範
囲内であるのがより好ましい。

【００１４】上記［１］で用いられる重合性不飽和単量
体（ａ）としては、例えば、メチル（メタ）アクリレー
ト、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メ
タ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレー
ト、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｓｅｃ−ブチル
（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチル（メタ）アク
リレート、ｎ−へキシル（メタ）アクリレート、シクロ
ヘキシル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル
（メタ）アクリレート、ｎ−オクチル（メタ）アクリレ
ート、イソデシル（メタ）アクリレート、トリデシル
（メタ）アクリレート、ｎ−ラウリル（メタ）アクリレ
ート、ｎ−ステアリル（メタ）アクリレート、イソステ
アリル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル
（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メ
タ）アクリレート、３−ヒドロキシプロピル（メタ）ア
クリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレー
ト、３−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、４−
ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、メトキシエチ
レングリコール（メタ）アクリレート、メトキシトリエ
チレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシポリ
エチレングリコール（メタ）アクリレート、ｎ−ブトキ
シエチル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリ
ル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレー
ト、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、イソボル
ニル（メタ）アクリレート、ジメチルアミノエチル（メ
タ）アクリレート、ジエチルアミノエチル（メタ）アク
リレート、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート
四級化物、３−エポキシプロピル（メタ）アクリレー
ト、３，４−エポキシブチル（メタ）アクリレート、
３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリ
レート、３−クロロ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）
アクリレート、トリフルオロエチル（メタ）アクリレー
ト、２，２，３，３−テトラフルオロプロピル（メタ）
アクリレート、２，２，３，４，４，４−ヘキサフルオ
ロブチル（メタ）アクリレート、パーフルオロオクチル
エチル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル酸、ク
ロトン酸、桂皮酸、２−（メタ）アクリロイルオキシエ
チルヘキサヒドロフタル酸、２−（メタ）アクリロイル
オキシエチルコハク酸、２−（メタ）アクリロイルオキ
シエチル−２−ヒドロキシプロピルフタレート、２−
（メタ）アクリロイルオキシエチルリン酸、スチレン、
無水マレイン酸等の公知慣用の重合性不飽和単量体を単
独または２種以上を組み合わせて用いることができる。

【００１５】上記［１］で用いられる重合性不飽和単量
体（ａ）と共重合可能なポリシロキサン構造を有する化
合物（ｂ）としては、下記式（Ｉ）：

【化１】 で表されるものを使用することができる。

【００１６】式（Ｉ）において、Ａは、ビニル基、ビニ
ルアルキレン基、ビニルヒドロキシアルキレン基、およ
び（メタ）アクリロイルオキシアルキレン基からなる群
より選ばれたラジカル重合性を有する不飽和基を示し、
Ｒ¹ 、Ｒ² 、Ｒ³ 、Ｒ⁴ 、Ｒ⁵ 及びＲ⁶ は、それぞれ独
立に水素原子、フェニル基、炭素数１〜１０のアルキル
基、ポリオキシアルキレン基、末端がエーテルまたはエ
ステル置換されたポリオキシアルキレン基、ポリアルキ
レンポリアミン基、脂肪酸基またはポリシロキサン基を
示す。

【００１７】Ｒ⁷ は、水素原子、フェニル基、炭素数１
〜１０のアルキル基、ポリオキシアルキレン基、末端が
エーテルまたはエステル置換されたポリオキシアルキレ
ン基、ポリアルキレンポリアミン基、脂肪酸基、ポリシ
ロキサン基、ビニル基、ビニルアルキレン基、ビニルヒ
ドロキシアルキレン基、または（メタ）アクリロイルオ
キシアルキレン基を示す。ｍは４〜１５０の整数を示
し、ｎは０〜１５０の整数を示すが、ｍとｎとの和は１
５０以内である。

【００１８】上記式（Ｉ）表されるポリシロキサン構造
を有する化合物（ｂ）の具体例としては、例えば、（メ
タ）アクリロイルポリシロキサン、ビニルポリシロキサ
ン、スチリルポリシロキサン、ビニルアルキレンポリシ
ロキサン、ビニルヒドロキシアルキレンポリシロキサ
ン、（メタ）アクリロイルオキシアルキレンポリシロキ
サン、片末端メルカプト変性ポリシロキサン、両末端メ
ルカプト変性ポリシロキサン、側鎖メルカプト変性ポリ
シロキサン等が挙げられる。

【００１９】ポリシロキサン構造を有する化合物（ｂ）
の共重合体中の使用量は０．１〜８５重量％、好ましく
は５〜３０重量％である。ポリシロキサン構造を有する
化合物（ｂ）の共重合体中の量が０．１重量％以下であ
ると感光性樹脂組成物のタック性が不十分になり、また
８５重量％以上であると感光性樹脂組成物の現像性が不
十分になる。

【００２０】上記［２］で用いられる一分子中に少なく
とも一個の官能基を有する高分子量化合物（ｃ）として
は、例えば水酸基、エポキシ基、カルボキシル基、酸無
水物基、イソシアネート基から選ばれる官能基を含有す
る不飽和単量体と前記重合性不飽和単量体（ａ）との共
重合体が挙げられる。水酸基、エポキシ基、カルボキシ
ル基、酸無水物基、イソシアネート基から選ばれる官能
基を含有する不飽和単量体の具体例を以下に挙げる。

【００２１】水酸基含有不飽和単量体としては、例えば
２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒド
ロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシ
プロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル
（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシブチル（メタ）
アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレ
ート等が、エポキシ基含有不飽和単量体としては、例え
ば３−エポキシプロピル（メタ）アクリレート、３，４
−エポキシブチル（メタ）アクリレート、３，４−エポ
キシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレートが、カ
ルボキシル基含有不飽和単量体としては、例えば（メ
タ）アクリル酸、クロトン酸、桂皮酸、２−（メタ）ア
クリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸、２−
（メタ）アクリロイルオキシエチルコハク酸等が、酸無
水物基含有不飽和単量体としては、例えば無水マレイン
酸等が、イソシアネート基含有不飽和単量体としては、
例えば（メタ）アクリロイルイソシアネート、２−イソ
シアネートエチル（メタ）アクリレート等が挙げられ
る。

【００２２】上記［２］で用いられる高分子量化合物
（ｃ）の官能基と反応可能な官能基を有するポリシロキ
サン化合物（ｄ）としては、下記式（ＩＩ）：

【化２】 で表されるものを使用することができる。

【００２３】式（ＩＩ）において、Ｒ⁸ 、Ｒ⁹ 、Ｒ¹⁰、
Ｒ¹¹、Ｒ¹²及びＲ¹³は、それぞれ独立に水素原子、フェ
ニル基、炭素数１〜１０のアルキル基、ポリオキシアル
キレン基、末端がエーテルまたはエステル置換されたポ
リオキシアルキレン基、ポリアルキレンポリアミン基、
脂肪酸基、またはポリシロキサン基を示す。Ｒ¹⁴は、末
端が水酸基で置換された炭素数１〜２０のアルキル基、
末端がアミノ基で置換された炭素数１〜２０のアルキル
基、末端がエポキシ基で置換された炭素数１〜２０のア
ルキル基、末端がカルボキシル基で置換された炭素数１
〜２０のアルキル基、末端がメルカプト基で置換された
炭素数１〜２０のアルキル基、末端がイソシアネート基
で置換された炭素数１〜２０のアルキル基を示す。Ｒ¹⁵
は、水素原子、フェニル基、炭素数１〜１０のアルキル
基、ポリオキシアルキレン基、末端がエーテルまたはエ
ステル置換されたポリオキシアルキレン基、末端が水酸
基で置換された炭素数１〜２０のアルキル基、末端がア
ミノ基で置換された炭素数１〜２０のアルキル基、末端
がエポキシ基で置換された炭素数１〜２０のアルキル
基、末端がカルボキシル基で置換された炭素数１〜２０
のアルキル基、末端がメルカプト基で置換された炭素数
１〜２０のアルキル基、末端がイソシアネート基基で置
換された炭素数１〜２０のアルキル基を示す。ｍは４〜
１５０の整数を示し、ｎは０〜１５０の整数を示す。ｍ
とｎの和は１５０以内である。

【００２４】上記式（ＩＩ）で表されるポリシロキサン
化合物（ｄ）の具体例としては、例えば、水酸基変性ポ
リシロキサン、アミノ基変性ポリシロキサン、エポキシ
基変性ポリシロキサン、カルボキシル基変性ポリシロキ
サン、メルカプト基変性ポリシロキサン、イソシアネー
ト基変性ポリシロキサン等が挙げられる。これらは、公
知慣用のポリシロキサン化合物を始めとする化合物であ
り、単独または２種以上を組み合わせて用いることがで
きる。

【００２５】ポリシロキサン化合物（ｄ）のグラフト共
重合体中の使用量は０．１〜８５重量％、好ましくは５
〜３０重量％である。ポリシロキサン化合物（ｄ）の量
が０．１重量％以下であると感光性樹脂組成物のタック
性が不十分になり、また８５重量％以上であると感光性
樹脂組成物の現像性が不十分になる。

【００２６】上記［３］の高分子量化合物は、［１］ま
たは［２］で得られた共重合体にさらに重合性不飽和基
を導入することによって得られる。［１］を利用する場
合は、重合性不飽和単量体（ａ）として水酸基、エポキ
シ基、カルボキシル基を有する単量体を用いて、該重合
性不飽和単量体（ａ）と共重合可能なポリシロキサン構
造を有する化合物（ｂ）と共重合を行い、更にこの共重
合体に水酸基、エポキシ基、カルボキシル基と反応性の
ある重合性不飽和単量体を反応させることにより得られ
る。また、［２］を利用する場合は、一分子中に少なく
とも一個の官能基を有する高分子量化合物（ｃ）の一部
に、該高分子量化合物（ｃ）と反応可能な官能基を有す
るポリシロキサン化合物（ｄ）を反応させ、残りの部分
に該高分子量化合物（ｃ）と反応可能な官能基を有する
重合性不飽和単量体を反応させることにより得られる。

【００２７】これらの方法等により得られた高分子量化
合物（Ｂ）の使用量は、プレポリマー（Ａ）１００重量
部に対して、好ましくは０．１〜５０重量部、より好ま
しくは１〜１０重量部である。高分子量化合物（Ｂ）の
量が０．１重量部以下であると感光性樹脂組成物のタッ
ク性が不十分になり、５０重量部を超えると感光性樹脂
組成物の現像性が不十分になる傾向がある。

【００２８】光重合開始剤（Ｃ） 上記（Ｃ）の光重合開始剤としては、ベンゾイン、ベン
ゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベ
ンゾインイソプロピルエーテルなどのベンゾインとその
アルキルエーテル類；アセトフェノン、２，２−ジメト
キシ−２−フェニルアセトフェノン、２，２−ジエトキ
シ−２−フェニルアセトフェノン、１，１−ジクロロア
セトフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニル
ケトン、２−メチル−１−[ ４−メチルチオフェニル]
−２−モルフォリノ−プロパン−１−オン、２−ベンジ
ル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェ
ニル）−１−ブタノンなどのアセトフェノン類；２−メ
チルアントラキノン、２−エチルアントラキノン、２−
ｔｅｒｔ−ブチルアントラキノン、１−クロロアントラ
キノン、２−アミルアントラキノンなどのアントラキノ
ン類；２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエ
チルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，
４−ジイソプロピルチオキサントンなどのチオキサント
ン類；アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメ
チルケタールなどのケタール類；ベンゾフェノンなどの
ベンゾフェノン類；またはキサントン類等があり、これ
らの公知慣用化合物を始めとする光重合開始剤を単独又
は２種以上組み合わせて用いることができる。

【００２９】また、かかる光重合開始剤は、安息香酸系
又は第３級アミン系など公知慣用の光重合促進剤の１種
あるいは２種以上と組み合わせて用いることができる。
これらの光重合開始剤（Ｃ）の使用量は、プレポリマー
（Ａ）１００重量部に対して好ましくは１〜３０重量
部、より好ましくは３〜２５重量部である。光重合開始
剤（Ｃ）の使用量が１重量部より少ない場合には感光性
樹脂組成物の光硬化性が悪くなり、３０重量部より多い
場合にはソルダーレジストとしての特性が低下する傾向
がある。

【００３０】反応性希釈剤（Ｄ） 反応性希釈剤（Ｄ）は、感光性樹脂組成物のエネルギー
線による光硬化を更に十分にして、耐水性、耐熱性、耐
アルカリ性を有する塗膜を得るために使用する。反応性
希釈剤（Ｄ）は、２重結合を少なくとも２個以上有する
化合物であり、例えば、１，４−ブタンジオールジ（メ
タ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メ
タ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）
アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アク
リレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリ
レート、ネオペンチルグリコールアジペートジ（メタ）
アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリ
コールジ（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニルジ
（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ジシクロペ
ンテニルジ（メタ）アクリレート、エチレンオキシド変
性ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、エチレン
オキシド変性リン酸ジ（メタ）アクリレート、アリル化
シクロヘキシルジ（メタ）アクリレート、イソシアヌレ
ートジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパン
ジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ
（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メ
タ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メ
タ）アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ（メ
タ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メ
タ）アクリレート、プロピオン酸変性ジペンタエリスリ
トールトリ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシド
変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレー
ト、トリス（アクリロキシエチル）イソシアヌレート、
プロピオン酸変性ジペンタエリスリトールテトラ（メ
タ）アクリレート、プロピオン酸変性ジペンタエリスリ
トールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリ
トールヘキサ（メタ）アクリレート、カプロラクロン変
性ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート
等の反応性希釈剤が挙げられる。

【００３１】上記２官能、３官能、４官能、５官能、６
官能の多官能反応性希釈剤は単独あるいは２種以上組み
合わせて用いることができる。反応性希釈剤（Ｄ）の使
用量は、プレポリマー（Ａ）１００重量部に対して好ま
しくは１〜１００重量部、より好ましくは２〜５０重量
部である。反応性希釈剤（Ｄ）の量が１重量部以下であ
ると感光性樹脂組成物の光硬化性が不十分になり、１０
０重量部を超えるとタック性が不十分になる傾向があ
る。

【００３２】エポキシ樹脂（Ｅ） エポキシ樹脂（Ｅ）は、ポストキュアー後において十分
に強靱な塗膜を得るために感光性樹脂組成物に加えられ
る。本目的に使用されるエポキシ樹脂としてはエポキシ
基を２個以上含む多官能エポキシ樹脂が挙げられる。例
えばビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノール
Ｆ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、
ビフェニル型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ
樹脂、Ｎ−グリシジル型エポキシ樹脂、トリグリシジル
イソシアヌレート、フェノールノボラック樹脂、クレゾ
ールノボラック樹脂、エチルフェノールノボラック樹
脂、イソプロピルフェノールノボラック樹脂、ｔｅｒｔ
−ブチルフェノールノボラック樹脂、３，５−キシレノ
ールノボラック樹脂、ブロムフェノールノボラック樹
脂、ビスフェノールＡノボラック樹脂、ナフタレンノボ
ラック樹脂、ポリビニルフェノールのグリシジル化合
物、フェノール類とフェノール性水酸基を有する芳香族
アルデヒドとの縮合物のエポキシ化合物等、エチレング
リコールジグリシジルエーテル、ジエチレングリコール
ジグリシジルエーテル、テトラエチレングリコールジグ
リシジルエーテル等のポリエチレングリコールジグリシ
ジルエーテル類、プロピレングリコールジグリシジルエ
ーテル、ジプロピレングリコールジグリシジルエーテ
ル、トリプロピレングリコールジグリシジルエーテル等
のポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル類、
グリセロールポリグリシジルエーテル、ジグリセロール
ポリグリシジルエーテル等のポリグリセロールポリグリ
シジルエーテル類、ソルビトールポリグリシジルエーテ
ル、ソルビタンポリグリシジルエーテル、ペンタエリス
リトールポリグリシジルエーテル、トリメチロールプロ
パンポリグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコール
ジグリシジルエーテル、１，６−ヘキサンジオールジグ
リシジルエーテル、トリグリシジルトリス（２−ヒドロ
キシエチル）イソシアネート、アジピン酸ジグリシジル
エステル等の公知慣用のエポキシ樹脂を単独または２種
以上組み合わせて用いることができる。

【００３３】エポキシ樹脂（Ｅ）の使用量は、プレポリ
マー（Ａ）１００重量部に対して好ましくは２〜１００
重量部、より好ましくは１０〜５０重量部である。エポ
キシ樹脂（Ｅ）の量が２重量部より少ないと塗膜の硬度
が低下する傾向があり、１００重量部を超えると光硬化
性が低下する傾向がある。

【００３４】その他の使用材料 本発明の感光性樹脂組成物に用いる樹脂を合成する時に
は溶剤を使用するのが好ましい。溶剤としてはメチルエ
チルケトン等のケトン類、トルエン、キシレン、テトラ
メチルベンゼン等の芳香族炭化水素類、メチルセルソル
ブ、メチルカルビトール、ジエチレングリコールジメチ
ルエーテル等のグリコールエーテル類、酢酸エチル及び
エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エ
チレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチ
レングリコールモノプロピルエーテルアセテート、エチ
レングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチ
レングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチ
レングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチ
レングリコールモノプロピルエーテルアセテート、ジエ
チレングリコールモノブチルエーテルアセテート等のグ
リコールエーテル類の酢酸エステル化合物等のエステル
類、エチレングリコール、プロピレングリコール等のア
ルコール類、オクタン等の脂肪族炭化水素、石油ナフ
サ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤、水等が挙げられ
る。これらの溶剤は単独あるいは２種類以上混合して用
いられ、使用量の好適な範囲は、例えばプレポリマー
（Ａ）１００重量部に対して好ましくは５〜１０００重
量部である。

【００３５】また、本発明の目的を逸脱させることな
く、あるいは本発明の効果を損なわない範囲で更に必要
に応じて、種々の添加剤を感光性樹脂組成物に加えるこ
とができる。例えばシリカ、アルミナ、タルク、クレ
ー、炭酸カルシウム、硫酸バリウム等の無機充填剤；フ
タロシアニン系、アゾ系等の有機顔料；消泡剤、レベリ
ング剤、チクソ剤等の塗料用添加剤；尿素誘導体等の硬
化促進剤；あるいはハイドロキノン、ハイドロキノンモ
ノメチルエーテル、ピロガロール、ｔｅｒｔ−ブチルカ
テコール、フェノチアジン、Ｎ−ニトロソフェニルヒド
ロキシルアミンアルミニウム塩、Ｎ−ニトロソフェニル
ヒドロキシルアミンアンモニウム塩等の重合禁止剤を加
えても良い。

【００３６】本発明の感光性樹脂組成物は、用途に応じ
て、アルミニウム、ステンレス、などの金属板、スクリ
ーンメッシュ、紙、木材、合成樹脂、半導体基盤、ある
いはその他の任意の基材上に塗布し、乾燥して使用され
る。本発明の感光性樹脂組成物は、電子線、α線、β
線、γ線、Ｘ線、中性子線または紫外線といった各種の
電離放射線や光などのエネルギー線で硬化させることが
できるため、簡単に適用して利用することができる。

【００３７】

【実施例】以下に例を挙げて本発明をさらに具体的に説
明する。以下の例に示す材料、割合、操作条件等は、本
発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更することができ
る。したがって、本発明の範囲は以下に示す具体例に制
限されるものではない。

【００３８】合成例１〜３では、一分子中に少なくとも
２個のエチレン性不飽和結合を有するプレポリマー
（Ａ）の具体例として、プレポリマー（Ａ−１）〜（Ａ
−３）の合成法を示す。また、合成例４〜１４では、
０．１〜８５重量％のポリシロキサンを構造の一部とす
る高分子量化合物（Ｂ）の具体例および対照例として、
高分子量化合物（Ｂ−１）〜（Ｂ−１０）と（Ｂ−比
較）の合成法を示す。さらに、実施例および比較例では
これらの材料を用いた感光性樹脂組成物の製造法と性能
試験結果を示す。

【００３９】（合成例１）温度計、攪拌器および還流冷
却管を備えたフラスコに、エポキシ樹脂（油化シェルエ
ポキシ社製：エピコート１８０Ｓ６５、エポキシ当量＝
２１６）２１６ｇとジエチレングリコールジメチルエー
テル７８．５ｇとを加えて溶解した後、ハイドロキノン
モノメチルエーテル０．２６ｇ、アクリル酸７２ｇおよ
びテトラメチルアンモニウムブロミド１．８ｇとを加
え、酸化が２以下となるまで１１０℃で反応させること
によってプレポリマー（Ａ−１）を生成させた。得られ
た樹脂溶液の不揮発成分量は約７０％であった。

【００４０】（合成例２）温度計、攪拌器および還流冷
却管を備えたフラスコに、エポキシ樹脂（油化シェルエ
ポキシ社製：エピコート１８０Ｓ８０、エポキシ当量＝
２１８）２１８ｇとジエチレングリコールモノエチルエ
ーテルアセテート７８．５ｇとを加えて溶解した後、ハ
イドロキノンモノメチルエーテル０．２６ｇ、Ｎ−ニト
ロソフェニルヒドロキシルアミンアルミニウム塩０．１
６ｇ、アクリル酸７２ｇおよびトリフェニルホスフィン
１．８ｇとを加え、酸化が２以下となるまで１１０℃で
反応させた。その後、テトラヒドロ無水フタル酸７６．
１ｇおよび石油系溶剤（エクソン化学社製：ソルベッソ
１５０）７８．５ｇを加え１００℃で４時間反応させる
ことによりプレポリマー（Ａ−２）を生成させた。得ら
れた樹脂溶液の不揮発成分量は約７０％であった。

【００４１】（合成例３）温度計、攪拌器および還流冷
却管を備えたフラスコに、エポキシ樹脂（日本化薬社
製：ＥＯＣＮ１０４Ｓ、エポキシ当量＝２１６）２１６
ｇとジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテー
ト７８．５ｇとを加えて溶解した後、ハイドロキノンモ
ノメチルエーテル０．２６ｇ、Ｎ−ニトロソフェニルア
ミンアルミニウム塩０．１６ｇ、アクリル酸７２ｇおよ
びトリフェニルホスフィン１．８ｇとを加え、酸化が２
以下となるまで１１０℃で反応させた。その後、テトラ
ヒドロ無水フタル酸１３６．９ｇおよび石油系溶剤２３
４ｇ（エクソン化学社製：ソルベッソ１５０）７８．５
ｇを加え１００℃で４時間反応させ、さらにグリシジル
メタクリレート４２．６ｇを加え１１０℃で４時間反応
させることによってプレポリマー（Ａ−３）を生成させ
た。得られた樹脂溶液の不揮発成分量は約６０％であっ
た。

【００４２】（合成例４）温度計、攪拌器および還流冷
却管を備えたフラスコに、メタクリル酸メチル９５ｇ、
メタクリロイルポリシロキサン（チッソ社製：ＦＭ０７
２５）５ｇ、溶剤としてソルベッソ２００ｇ、触媒とし
てＡＩＢＮ１ｇを入れ、窒素雰囲気下８０℃で４時間攪
拌した。その後、ＡＩＢＮ０．５ｇを添加して８０℃で
２時間攪拌し、さらにＡＩＢＮ０．５ｇを添加して８０
℃で２時間攪拌することによって、高分子量化合物（Ｂ
−１）を生成させた。得られた樹脂溶液の不揮発成分量
は３３％であった。

【００４３】（合成例５）メタクリル酸メチルの代わり
にスチレンを用いて合成例４と同じ合成法を繰り返すこ
とによって、高分子量化合物（Ｂ−２）を生成させた。
得られた樹脂溶液の不揮発成分量は３５％であった。

【００４４】（合成例６）温度計、攪拌器および還流冷
却管を備えたフラスコに、メタクリル酸メチル６５ｇ、
メタクリル酸３０ｇ、メタクリロイルポリシロキサン
（チッソ社製：ＦＭ０７２１）５ｇ、溶剤としてメチル
エチルケトン２００ｇ、触媒としてＡＩＢＮ１ｇを入
れ、窒素雰囲気下８０℃で４時間攪拌した。その後、Ａ
ＩＢＮ０．５ｇを添加して８０℃で２時間攪拌し、さら
にＡＩＢＮ０．５ｇを添加して８０℃で２時間攪拌する
ことによって、高分子量化合物（Ｂ−３）を生成させ
た。得られた樹脂溶液の不揮発成分量は３４％であっ
た。

【００４５】（合成例７）温度計、攪拌器および還流冷
却管を備えたフラスコに、メタクリル酸メチル６５ｇ、
２−ヒドロキシエチルメタアクリレート３０ｇ、メタク
リロイルポリシロキサン（チッソ社製：ＦＭ０７２１）
５ｇ、溶剤としてメチルエチルケトン２００ｇ、触媒と
してＡＩＢＮ１ｇを入れ、窒素雰囲気下８０℃で４時間
攪拌した。その後、ＡＩＢＮ０．５ｇを添加して８０℃
で２時間攪拌し、さらにＡＩＢＮ０．５ｇを添加して８
０℃で２時間攪拌することによって、高分子量化合物
（Ｂ−４）を生成させた。得られた樹脂溶液の不揮発成
分量は３４％であった。

【００４６】（合成例８）温度計、攪拌器および還流冷
却管を備えたフラスコに、メタクリル酸メチル５４ｇ、
Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルメタアクリレート３ｇ、
メタクリロイルポリシロキサン（チッソ社製：ＦＭ０７
２５）３ｇ、溶剤としてメチルエチルケトン１４０ｇ、
触媒としてＡＩＢＮ１ｇを入れ、窒素雰囲気下８０℃で
４時間攪拌した。その後、ＡＩＢＮ０．５ｇを添加して
８０℃で２時間攪拌し、さらにＡＩＢＮ０．５ｇを添加
して８０℃で２時間攪拌することによって高分子量化合
物（Ｂ−５）を生成させた。得られた樹脂溶液の不揮発
成分量は３０％であった。

【００４７】（合成例９）温度計、攪拌器および還流冷
却管を備えたフラスコに、メタクリル酸メチル５４ｇ、
Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルメタアクリレート３ｇ、
メタクリロイルポリシロキサン（チッソ社製：ＦＭ０７
２５）３ｇ、溶剤としてメチルエチルケトン１４０ｇ、
触媒としてＡＩＢＮ０．３ｇを入れ、窒素雰囲気下８０
℃で４時間攪拌した。その後、ＡＩＢＮ０．１５ｇを添
加して８０℃で２時間攪拌し、さらにＡＩＢＮ０．１５
ｇを添加して８０℃で２時間攪拌した。その後、硫酸ジ
エチル３．０ｇを加えて８０℃で２時間攪拌することに
よって高分子量化合物（Ｂ−６）を生成させた。得られ
た樹脂溶液の不揮発成分量は３１％であった。

【００４８】（合成例１０）温度計、攪拌器および還流
冷却管を備えたフラスコに、メタクリル酸メチル９５
ｇ、ジメルカプト変性ポリシロキサン（信越化学工業社
製：Ｘ２２−１６７Ｂ）５ｇ、溶剤としてメチルエチル
ケトン２００ｇ、触媒としてＡＩＢＮ１ｇを入れ、窒素
雰囲気下８０℃で４時間攪拌した。その後、ＡＩＢＮ
０．５ｇを添加して８０℃で２時間攪拌し、さらにＡＩ
ＢＮ０．５ｇを添加して８０℃で２時間攪拌することに
よって高分子量化合物（Ｂ−７）を生成させた。得られ
た樹脂溶液の不揮発成分量は３０％であった。

【００４９】（合成例１１）温度計、攪拌器および還流
冷却管を備えたフラスコに、メタクリル酸メチル９５
ｇ、グリシジルメタクリレート５ｇ、溶剤としてメチル
イソブチルケトン２００ｇ、触媒としてＡＩＢＮ２ｇを
入れ、窒素雰囲気下８０℃で４時間攪拌した。その後、
カルボキシル基変性ポリシロキサン（チッソ社製：ＦＭ
０６２１）５ｇ、ハイドロキノンモノメチルエーテル
０．０５ｇ、トリフェニルホスフィン１ｇを加え、１１
０℃で８時間攪拌することによって高分子量化合物（Ｂ
−８）を生成させた。得られた樹脂溶液の不揮発成分量
は３５％であった。

【００５０】（合成例１２）温度計、攪拌器および還流
冷却管を備えたフラスコに、メタクリル酸メチル５９
ｇ、グリシジルメタアクリレート３６ｇ、メタクリロイ
ルポリシロキサン（チッソ社製：ＦＭ０７２５）５ｇ、
溶剤としてメチルイソブチルケトン２００ｇ、触媒とし
てＡＩＢＮ２ｇを入れ、窒素雰囲気下８０℃で４時間攪
拌した。その後、アクリル酸１８ｇ、ハイドロキノンモ
ノメチルエーテル０．０５ｇ、トリフェニルホスフィン
１ｇを加え、１１０℃で８時間攪拌することによって高
分子量化合物（Ｂ−９）を生成させた。得られた樹脂溶
液の不揮発成分量は３７％であった。

【００５１】（合成例１３）温度計、攪拌器および還流
冷却管を備えたフラスコに、エポキシ樹脂（油化シェル
エポキシ社製：エピコート１００４、エポキシ当量９２
５）９２．５ｇとジエチレングリコールモノエチルエー
テルアセテート３４７ｇとを加えて溶解した後、ハイド
ロキノンモノメチルエーテル０．０５ｇ、トリフェニル
ホスフィン０．５ｇ、アクリル酸３．６ｇ、カルボキシ
ル基変性ポリシロキサン（チッソ社製：ＦＭ０６２１）
２５０ｇを加え、１１０℃で８時間攪拌することによっ
て高分子量化合物（Ｂ−１０）を生成させた。得られた
樹脂溶液の不揮発成分量は５０％であった。

【００５２】（合成例１４）温度計、攪拌器および還流
冷却管を備えたフラスコに、メタクリル酸メチル７０
ｇ、メタクリル酸３０ｇ、溶剤としてメチルエチルケト
ン２００ｇ、触媒としてＡＩＢＮ１．０ｇを入れ、窒素
雰囲気下８０℃で４時間攪拌した。その後、ＡＩＢＮ
０．５ｇを添加して８０℃で２時間攪拌し、さらにＡＩ
ＢＮ０．５ｇを添加して８０℃で２時間攪拌することに
よって高分子量化合物（Ｂ−比較）を生成させた。得ら
れた樹脂溶液の不揮発成分量は３３％であった。

【００５３】（実施例１〜１２および比較例１〜４）合
成例１〜３で得られたプレポリマー（Ａ）、合成例４〜
１４で得られた高分子量化合物（Ｂ）、光重合開始剤
（Ｃ）としてベンジルジメチルケタール（チバガイギー
社製：商品名イルガキュア９０７）、反応性希釈剤
（Ｄ）としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレー
ト、エポキシ樹脂（Ｅ）としてクレゾールノボラック型
エポキシ樹脂（油化シェルエポキシ社製：Ｅ１８０Ｓ８
０）、必要に応じてエチルカルビトールアセテート（Ｅ
ＣＡ）を下記の表１に記載される重量割合で混合分散さ
せることによって２３種類の感光性樹脂組成物を得た。

【００５４】各感光性樹脂組成物をブリキ板の上に塗布
して８０℃の温風中で３０分間乾燥することによって、
膜厚３０μｍの塗膜を形成した。形成した塗膜につい
て、現像性、硬化性、タック性および耐溶剤性を以下の
手順で評価した。現像性の評価は、１％炭酸ナトリウム
水溶液で１．０ｋｇ／ｃｍ² のスプレー圧で６０秒間現
像を行い、塗膜の溶解状態を以下の基準で目視判定する
ことにより行った。 ○：ブリキ板に塗膜が殆ど残っていない △：ブリキ板に塗膜が若干残っている ×：ブリキ面に塗膜が残っている

【００５５】硬化性の評価は、コダックステップタブレ
ットを通し高圧水銀ランプを用いて紫外線を２００ｍＪ
／ｃｍ² 照射し、さらに１％炭酸ナトリウム水溶液を用
いて１．０ｋｇ／ｃｍ² のスプレー圧で６０秒間現像を
行い塗膜の除去されない部分を観察することによって行
った。タック性の評価は、ＰＥＴフィルムを接触させて
５０℃で３０分間真空乾燥し、ＰＥＴフィルムをレオメ
ータで剥離したときの剥離強度を測定することにより行
った。耐溶剤性の評価は、各試験片を２５℃のジクロロ
メタン中に１時間浸漬させた後、塗膜の状態と密着性を
以下の基準で総合的に判定することにより行った。 ◎：全く変化が認められない ○：ほんの僅か変化している △：顕著に変化している ×：途膜が膨潤して脱落している 結果を表１にまとめて示す。

【００５６】

【表１】

【００５７】表１に示すように、一分子中に少なくとも
２個のエチレン性不飽和結合を有するプレポリマー
（Ａ）および０．１〜８５重量％のポリシロキサンを構
造の一部とする高分子量化合物（Ｂ）を含有する本発明
の感光性樹脂組成物は、現像性、硬化性、タック性およ
び耐溶剤性のすべてが良好であった。これに対して、
０．１〜８５重量％のポリシロキサンを構造の一部とす
る高分子量化合物（Ｂ）を含まない比較例の感光性樹脂
組成物は、塗膜形成したときのタック性をはじめとする
諸性能に問題があった。

【００５８】

【発明の効果】本発明の感応性樹脂組成物は、現像性、
硬化性、タック性および耐溶剤性が優れており、プリン
ト配線板用のソルダーレジスト膜や各種電子部品の絶縁
樹脂層の形成に極めて有効である。

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一分子中に少なくとも２個のエチレン性
   不飽和結合を有するプレポリマー（Ａ）および０．１〜
   ８５重量％のポリシロキサンを構造の一部とする高分子
   量化合物（Ｂ）を含有する感光性樹脂組成物。
2. 【請求項２】 光重合開始剤（Ｃ）、反応性希釈剤
   （Ｄ）およびエポキシ樹脂（Ｅ）をさらに含有する請求
   項１記載の感光性樹脂組成物。
3. 【請求項３】 前記プレポリマー（Ａ）が、少なくとも
   ２個のエポキシ基を有するエポキシ化合物と該エポキシ
   化合物の１エポキシ当量あたり０．８〜１．２当量の不
   飽和カルボン酸を反応させて得られるプレポリマーであ
   る請求項１または２記載の感光性樹脂組成物。
4. 【請求項４】 前記プレポリマー（Ａ）が、少なくとも
   ２個のエポキシ基を有するエポキシ化合物と該エポキシ
   化合物の１エポキシ当量あたり０．８〜１．２当量の不
   飽和カルボン酸を反応させた反応物に飽和または不飽和
   多塩基酸無水物を反応させて得られるプレポリマーであ
   る請求項１または２記載の感光性樹脂組成物。
5. 【請求項５】 前記プレポリマー（Ａ）が、少なくとも
   ２個のエポキシ基を有するエポキシ化合物に該エポキシ
   化合物の１エポキシ当量あたり０．８〜１．２当量の不
   飽和カルボン酸を反応させた反応物に飽和または不飽和
   多塩基酸無水物を反応させ、さらにエチレン性不飽和基
   とカルボキシル基または水酸基と反応性のある官能基を
   有する化合物を反応させて得られるプレポリマーである
   請求項１または２記載の感光性樹脂組成物。
6. 【請求項６】 前記高分子量化合物（Ｂ）が、重合性不
   飽和単量体（ａ）と該重合性不飽和単量体（ａ）と共重
   合可能なポリシロキサン構造を有する化合物（ｂ）との
   共重合体である請求項１〜５のいずれかに記載の感光性
   樹脂組成物。
7. 【請求項７】 前記高分子量化合物（Ｂ）が、一分子中
   に少なくとも一個の官能基を有する高分子量化合物
   （ｃ）と該高分子量化合物（ｃ）の官能基と反応可能な
   官能基を有するポリシロキサン化合物（ｄ）とのグラフ
   ト共重合体である請求項１〜５のいずれかに記載の感光
   性樹脂組成物。
8. 【請求項８】 前記ポリシロキサン化合物（ｄ）が、高
   分子量化合物（ｃ）の官能基と反応可能な官能基として
   水酸基、アミノ基、エポキシ基、カルボキシル基、メル
   カプト基またはイソシアネート基を有する請求項７記載
   の感光性樹脂組成物。
9. 【請求項９】 前記高分子量化合物（Ｂ）が重合性不飽
   和基を有する請求項１〜５のいずれかに記載の感光性樹
   脂組成物。