JP2015177153A - 電子デバイス、電子モジュール、電子機器および移動体 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は本実施形態に係る電子デバイスを示し、(a)は第2基材を省略した状態での平面図、(b)は(a)に示すA−A´部の断面図である。
図4は、第2実施形態に係る電子デバイスを示す第2基材を省略した状態の平面図である。図4に示す本実施形態に係る電子デバイスとしてのセンサーデバイス200は、第1実施形態に係るセンサーデバイス100における、隔壁接合領域45に交差するように第1の接合領域41と、第2の接合領域42と、が配置され、配線51,52,53,54,55,56が延出される第1の方向d1と、第2の方向d2と、が隔壁接合領域45の延在方向に沿っている点で異なる。従って、第1実施形態に係るセンサーデバイスと同じ構成要素には同じ符号を付し、説明は省略する。
図7は、第3実施形態に係る電子モジュールを示し、(a)はモールド部材を省略した平面図、(b)は(a)に示すL−L´部の断面図である。図7に示す電子モジュール1000は、ベース基板1100に接合された第1実施形態に係る、3軸回りの角速度を検出する第1機能素子としての角速度センサー素子31と、3軸方向の加速度を検出する第2機能素子としての加速度センサー素子32と、を備えるセンサーデバイス100を備えている。
図8は、第4実施形態に係る電子モジュールを示し、(a)はモールド部材を省略した平面図、(b)は(a)に示すM−M´部の断面図である。図8に示す電子モジュール2000は、ベース基板2100に接合された第2実施形態に係る、3軸回りの角速度を検出する第1機能素子としての角速度センサー素子31と、3軸方向の加速度を検出する第2機能素子としての加速度センサー素子32と、を備えるセンサーデバイス200を備えている。
第5実施形態に係る電子機器として、第1実施形態に係るセンサーデバイス100、第2実施形態に係るセンサーデバイス200、第3実施形態に係る電子モジュール1000もしくは第4実施形態に係る電子モジュール2000を備えるスマートフォンおよびデジタルスチルカメラについて説明する。
第1実施形態に係るセンサーデバイス100、第2実施形態に係るセンサーデバイス200、第3実施形態に係る電子モジュール1000もしくは第4実施形態に係る電子モジュール2000を備える第6実施形態に係る移動体の具体例として、自動車について説明する。図11は、第6実施形態に係る自動車5000の外観図である。図11に示すように、自動車5000には第3実施形態に係る電子モジュール1000が組み込まれている。電子モジュール1000は車体5100の姿勢を検出する。電子モジュール1000の検出信号は車体姿勢制御装置5200に供給される。車体姿勢制御装置5200は供給された信号に基づき車体5100の姿勢状態を演算し、例えば車体5100の姿勢に応じた緩衝装置(いわゆるサスペンション)の硬軟を制御したり、個々の車輪5300の制動力を制御したりすることができる。このような電子モジュール1000を用いた姿勢制御は、二足歩行ロボット、航空機、あるいはラジコンヘリコプターなどの玩具に利用することができる。
Claims (13)
- 第1基材と、
前記第1基材に接合されている第2基材と、
前記第1基材と前記第2基材との間に設けられ封止されている収容空間部と、
前記収容空間部に収容されている第1機能素子と、第2機能素子と、を備え、
前記収容空間部は、平面視において、前記第1基材と前記第2基材と、を接合している枠状の接合部の内部領域に配置され、
前記接合部は、少なくとも一方に設けられている第1の接合領域と、他方に設けられている第2の接合領域と、を含み、
前記第1機能素子と電気的に接続され、前記内部領域から前記第1の接合領域を介して前記収容空間部の外部に向かう第1の方向を有する第1配線部と、
前記第2機能素子と電気的に接続され、前記内部領域から前記第2の接合領域を介して前記収容空間部の外部に向かう第2の方向を有する第2配線部と、を備えている、
ことを特徴とする電子デバイス。 - 前記収容空間部は、隔壁部を備え、
少なくとも前記第1の接合領域と前記隔壁部と、を含む領域で構成される第1収容空間部と、
少なくとも前記第2の接合領域と前記隔壁部と、を含む領域で構成される第2収容空間部と、を備え、
前記隔壁部の延設方向が、少なくとも前記第1の接合領域および前記第2の接合領域の一方の延設方向に沿って配置され、
前記第1収容空間部には前記第1機能素子が収容され、前記第2収容空間部には前記第2機能素子が収容され、
前記第1収容空間部と、前記第2収容空間部と、の空間環境が異なっている、
ことを特徴とする請求項1に記載の電子デバイス。 - 前記第1収容空間部に前記第1機能素子として角速度センサー素子が収容され、前記第2収容空間部に前記第2機能素子として加速度センサー素子が収容され、
前記第1収容空間部の空間環境が減圧雰囲気であり、前記第2収容空間部の空間環境が大気圧雰囲気である、
ことを特徴とする請求項2に記載の電子デバイス。 - 前記角速度センサー素子および前記加速度センサー素子の少なくとも一方は、少なくとも直交する2方向の検出軸を備えている、
ことを特徴とする請求項3に記載の電子デバイス。 - 第1基材と、
前記第1基材に接合されている第2基材と、
前記第1基材と前記第2基材との間に設けられ封止されている収容空間部と、
前記収容空間部に収容されている第1機能素子と、第2機能素子と、を備え、
前記収容空間部は、平面視において、前記第1基材と前記第2基材と、を接合している枠状の接合部の内部領域に配置され、
前記接合部は、少なくとも一方に設けられている第1の接合領域と、他方に設けられている第2の接合領域と、を含み、
前記第1機能素子と電気的に接続され、前記内部領域から前記第1の接合領域を介して前記収容空間部の外部に向かう第1の方向を有する第1配線部と、
前記第2機能素子と電気的に接続され、前記内部領域から前記第2の接合領域を介して前記収容空間部の外部に向かう第2の方向を有する第2配線部と、を備える電子デバイスと、
前記電子デバイスと平面視で少なくとも一部を重ねて配置されている回路素子と、を備え、
前記回路素子は、前記第1配線部と電気的に接続される第1端子部と、前記第2配線部と電気的に接続される第2端子部と、を備え、
前記第1端子部は、前記電子デバイスの前記第1の接合領域側に配設され、前記第2端子部は、前記電子デバイスの前記第2の接合領域側に配設されている、
ことを特徴とする電子モジュール。 - 前記収容空間部は、隔壁部を備え、
少なくとも前記第1の接合領域と前記隔壁部と、を含む領域で構成される第1収容空間部と、
少なくとも前記第2の接合領域と前記隔壁部と、を含む領域で構成される第2収容空間部と、を備え、
前記隔壁部の延設方向が、少なくとも前記第1の接合領域および前記第2の接合領域の一方の延設方向に沿って配置され、
前記第1収容空間部には前記第1機能素子が収容され、前記第2収容空間部には前記第2機能素子が収容され、
前記第1収容空間部と、前記第2収容空間部と、の空間環境が異なっている、
ことを特徴とする請求項5に記載の電子モジュール。 - 前記第1収容空間部に前記第1機能素子として角速度センサー素子が収容され、前記第2収容空間部に前記第2機能素子として加速度センサー素子が収容され、
前記第1収容空間部の空間環境が減圧雰囲気であり、前記第2収容空間部の空間環境が大気圧雰囲気である、
ことを特徴とする請求項5または6に記載の電子モジュール。 - 前記角速度センサー素子および前記加速度センサー素子の少なくとも一方は、少なくとも直交する2方向の検出軸を備えている、
ことを特徴とする請求項7に記載の電子モジュール。 - 前記第1配線部と、前記第1端子部と、はワイヤーにより電気的に接続され、
前記第2配線部と、前記第2端子部と、はワイヤーにより電気的に接続されている、
ことを特徴とする請求項5から8のいずれか一項に記載の電子モジュール。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載の電子デバイスを備えていることを特徴とする電子機器。
- 請求項5から9のいずれか一項に記載の電子モジュールを備えていることを特徴とする電子機器。
- 請求項1から4のいずれか一項に記載の電子デバイスを備えていることを特徴とする移動体。
- 請求項5から9のいずれか一項に記載の電子モジュールを備えていることを特徴とする移動体。
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