JP2015150699A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015150699A5 JP2015150699A5 JP2014023736A JP2014023736A JP2015150699A5 JP 2015150699 A5 JP2015150699 A5 JP 2015150699A5 JP 2014023736 A JP2014023736 A JP 2014023736A JP 2014023736 A JP2014023736 A JP 2014023736A JP 2015150699 A5 JP2015150699 A5 JP 2015150699A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- main surface
- terminal portion
- structure according
- conductive layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 134
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 9
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 claims 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 16
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 12
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014023736A JP6354188B2 (ja) | 2014-02-10 | 2014-02-10 | 導通構造、導通構造の製造方法、液滴吐出ヘッドおよび印刷装置 |
| US14/616,466 US9708715B2 (en) | 2014-02-10 | 2015-02-06 | Conduction structure, method of manufacturing conduction structure, droplet ejecting head, and printing apparatus |
| CN201510063749.5A CN104827775A (zh) | 2014-02-10 | 2015-02-06 | 导通构造、导通构造的制造方法、液滴排出头及打印装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014023736A JP6354188B2 (ja) | 2014-02-10 | 2014-02-10 | 導通構造、導通構造の製造方法、液滴吐出ヘッドおよび印刷装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2015150699A JP2015150699A (ja) | 2015-08-24 |
| JP2015150699A5 true JP2015150699A5 (enExample) | 2017-03-09 |
| JP6354188B2 JP6354188B2 (ja) | 2018-07-11 |
Family
ID=53776202
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2014023736A Active JP6354188B2 (ja) | 2014-02-10 | 2014-02-10 | 導通構造、導通構造の製造方法、液滴吐出ヘッドおよび印刷装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9708715B2 (enExample) |
| JP (1) | JP6354188B2 (enExample) |
| CN (1) | CN104827775A (enExample) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5278654B2 (ja) * | 2008-01-24 | 2013-09-04 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
| JP6314519B2 (ja) * | 2014-02-10 | 2018-04-25 | セイコーエプソン株式会社 | 導通構造、導通構造の製造方法、液滴吐出ヘッドおよび印刷装置 |
| TWI727870B (zh) | 2019-07-29 | 2021-05-11 | 精材科技股份有限公司 | 晶片結構及其製造方法 |
| TWI732678B (zh) * | 2019-09-17 | 2021-07-01 | 精材科技股份有限公司 | 晶片封裝體及其製造方法 |
Family Cites Families (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3660918B2 (ja) * | 2001-07-04 | 2005-06-15 | 松下電器産業株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
| JP2004063569A (ja) * | 2002-07-25 | 2004-02-26 | Seiko Epson Corp | 半導体装置及びその製造方法、回路基板並びに電子機器 |
| US8040059B2 (en) * | 2003-08-29 | 2011-10-18 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device comprising a conductive barrier body in direct contact with a sealing material |
| JP3956955B2 (ja) * | 2004-04-22 | 2007-08-08 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体基板の製造方法、電気光学装置の製造方法 |
| JP4737502B2 (ja) | 2004-11-11 | 2011-08-03 | ソニー株式会社 | 配線接続方法、ならびに表示装置の製造方法 |
| JP4581664B2 (ja) * | 2004-12-08 | 2010-11-17 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体基板の製造方法、半導体素子の製造方法及び電気光学装置の製造方法 |
| JP4356683B2 (ja) | 2005-01-25 | 2009-11-04 | セイコーエプソン株式会社 | デバイス実装構造とデバイス実装方法、液滴吐出ヘッド及びコネクタ並びに半導体装置 |
| JP4492520B2 (ja) * | 2005-01-26 | 2010-06-30 | セイコーエプソン株式会社 | 液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置。 |
| JP4930678B2 (ja) * | 2005-03-30 | 2012-05-16 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドの製造方法 |
| JP4483738B2 (ja) * | 2005-08-19 | 2010-06-16 | セイコーエプソン株式会社 | デバイス実装構造、デバイス実装方法、電子装置、液滴吐出ヘッド、及び液滴吐出装置 |
| JP2007066965A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Seiko Epson Corp | 配線構造、デバイス、デバイスの製造方法、液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、及び液滴吐出装置 |
| JP2007283691A (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Seiko Epson Corp | 配線構造、デバイス、デバイスの製造方法、液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、及び液滴吐出装置 |
| JP5082285B2 (ja) * | 2006-04-25 | 2012-11-28 | セイコーエプソン株式会社 | 配線構造、デバイス、デバイスの製造方法、液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、及び液滴吐出装置 |
| JP5098656B2 (ja) * | 2008-01-18 | 2012-12-12 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドの製造方法 |
| JP2012195514A (ja) * | 2011-03-17 | 2012-10-11 | Seiko Epson Corp | 素子付き基板、赤外線センサー、および貫通電極形成方法 |
| JP5821284B2 (ja) * | 2011-05-30 | 2015-11-24 | セイコーエプソン株式会社 | 配線基板、赤外線センサー及び貫通電極形成方法 |
| KR20130027628A (ko) * | 2011-06-27 | 2013-03-18 | 삼성전자주식회사 | 적층형 반도체 장치 |
| JP6201584B2 (ja) * | 2013-09-30 | 2017-09-27 | ブラザー工業株式会社 | 液滴噴射装置及び液滴噴射装置の製造方法 |
-
2014
- 2014-02-10 JP JP2014023736A patent/JP6354188B2/ja active Active
-
2015
- 2015-02-06 US US14/616,466 patent/US9708715B2/en active Active
- 2015-02-06 CN CN201510063749.5A patent/CN104827775A/zh active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105826353B (zh) | 覆晶薄膜和显示装置 | |
| CN206976318U (zh) | 模块 | |
| CN100424866C (zh) | 带式电路基板及使用该带式电路基板的半导体芯片封装 | |
| US11569190B2 (en) | Semiconductor structure and manufacturing method thereof | |
| CN101170867B (zh) | 配线电路基板和电子部件装置 | |
| US20160174365A1 (en) | Wiring board with dual wiring structures integrated together and method of making the same | |
| TW201507556A (zh) | 具有散熱墊及電性突柱之散熱增益型線路板 | |
| CN104681531A (zh) | 封装基板及其制法 | |
| CN104867908A (zh) | 倒装芯片堆叠封装 | |
| CN104103531A (zh) | 封装结构及其制作方法 | |
| KR100711675B1 (ko) | 반도체 장치 및 그 제조 방법 | |
| TW200843071A (en) | Flexible substrate and semiconductor device | |
| JP2015150699A5 (enExample) | ||
| CN103545286B (zh) | 线路基板、半导体封装结构及线路基板制作工艺 | |
| CN103400810A (zh) | 半导体芯片的层叠封装结构及其制造方法 | |
| CN101499453A (zh) | 配线电路基板及其制造方法 | |
| CN203691751U (zh) | 印刷电路板和显示装置 | |
| CN203481215U (zh) | 芯片型电子部件 | |
| US20140264938A1 (en) | Flexible Interconnect | |
| US10242774B2 (en) | Chip resistance element and chip resistance element assembly | |
| JP2010034119A (ja) | 半導体装置 | |
| CN104218015A (zh) | 封装结构及其制作方法 | |
| JP2012174710A (ja) | 多層配線板及びその製造方法 | |
| JP2008226943A (ja) | 半導体装置 | |
| CN107622950A (zh) | 封装基板及其制造方法 |