JP5098656B2 - 液体噴射ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
かかる態様では、流路形成基板上に駆動回路を設けることで、液体噴射ヘッドを厚さ方向に小型化することができる。更に、ワイヤボンディング法を用いずに、接続配線を介して圧電素子と駆動回路とを接続したので、各接続配線の間隔を可及的に狭めることができる。これにより、液体噴射ヘッドの高集積化を図ることができ、吐出するインク滴の高密度化を容易に図ることができる。また、圧電素子と駆動回路の端子部とを接続する接続配線は、傾斜面を通って形成されている。これにより接続配線は、傾斜面と駆動回路の上面との境界近傍、又は傾斜面と流路形成基板の表面との境界近傍で、緩やかな角度で折れ曲がることになるので、接続配線の切断を防止することができる。
かかる態様では、傾斜面を有する駆動回路が形成され、圧電素子と駆動回路とを接続する接続配線は、該傾斜面を通るように形成される。これにより、傾斜面には、接続配線を構成する金属が付き易くなるので、十分な厚さの接続配線を形成することができ、傾斜面近傍での接続配線の剥離や切断を防止することができる。さらに、駆動回路は部品としての完成品を流路形成基板に固着されるだけであるので、工程が複雑になることもない。
かかる態様では、上述のごとき液体噴射ヘッドが有する効果を液体噴射ヘッドとしても具備させることができる。
図1は、本実施形態に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図、図2(a)は図1の平面図、図2(b)は図2(a)のA−A´線断面図及び図3は図2(b)の一部を抽出して示す拡大断面図である。
Claims (3)
- ノズル開口に連通する圧力発生室が形成された流路形成基板と、該流路形成基板上にあって前記圧力発生室に相対向する領域に設けられた下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子と、前記流路形成基板の前記圧電素子が設けられた面に配設されると共に接続配線を介して前記圧電素子を駆動する駆動回路とを具備する液体噴射ヘッドの製造方法であって、
上面に前記圧電素子との接点となる端子部を有する複数の駆動回路となる駆動回路用ウェハの一方面側に、開口から底部に向けて幅が漸減する分割溝を各駆動回路の境界となるようにエッチングにより形成すると共に、
前記駆動回路用ウェハを前記分割溝を境界として分割することにより、該分割溝の表面を傾斜面として有する前記複数の駆動回路を形成する工程と、
前記流路形成基板の前記圧電素子が設けられた面に前記駆動回路を配設すると共に、前記駆動回路の前記端子部から前記傾斜面を通って前記圧電素子の前記上電極に至る接続配線を金属薄膜形成工程及びフォトリソグラフィ工程により形成する工程とを具備することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。 - 請求項1に記載する液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記駆動回路用ウェハは、面方位が(100)であるシリコンウェハであり、
前記複数の駆動回路を形成する工程では、異方性ウェットエッチングにより前記分割溝を形成することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。 - 請求項1又は請求項2に記載する液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記複数の駆動回路を形成する工程では、前記分割溝を形成後、前記駆動回路用ウェハの他方面側を前記分割溝に達するまで研削して該分割溝を境界として分割することにより、該分割溝の表面を前記傾斜面として有する前記複数の駆動回路を形成する
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
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